JP3720064B2 - 半導体集積回路 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は半導体集積回路に関し、特に、それぞれが所定の機能を有する複数の半導体素子群と、該複数の半導体素子群上に順次積層された第1、第2および第3の配線パターンとを備えた半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
メガビットクラスの半導体メモリ、特にダイナミックランダムアクセスメモリ(以下、DRAMと略記する。)ではESSCIRC PROCEEDINGS, Sep 1991 pp.21-24. に記されているように2層のアルミ配線パターンAl1,Al2を使用したメモリアレイアーキテクチャーが主流になっている。
【0003】
図25は従来のDRAMチップの構成を示すブロック図である。図において、このDRAMチップは、複数のメモリアレイ領域31と、その間に設けられた周辺回路領域32とを含む。また、各メモリアレイ領域31は、ロウ方向に配列された複数のサブアレイ33と、サブアレイ33の間および両端に設けられた複数のセンスアンプ帯34と、ロウデコーダ35と、コラムデコーダ36とを含む。周辺回路領域32は、複数のNANDゲートやNORゲートなどを含む。
【0004】
このDRAMチップは、具体的には、シリコン基板と、シリコン基板表面に形成された複数のトランジスタやキャパシタと、その上に順次積層された高融点金属配線パターンWおよびアルミ配線パターンAl1,Al2とから構成されている。
【0005】
図26は図25に示したDRAMチップのメモリアレイ領域31の具体的な構成を例示する図であって、サブアレイ33およびセンスアンプ帯34の構成を示す一部省略した平面図である。図において、サブアレイ33は、フォールデッドビット線構成を採用していて、ロウおよびコラム方向に配列された複数のメモリセルMCを含み、センスアンプ帯34は、各コラムに対応して設けられた複数のセンスアンプ34aを含む。この領域においては、1層目の高融点金属配線パターンWは、各コラムのメモリセルMCとセンスアンプ34aを接続するためのビット線BL,/BLとして使用されている。また、2層目のアルミ配線パターンAl1は、ワード線WLの一部として使用されており、ワード線WLの時定数を小さくするためのシャント(杭打ち)として使用されている。また、3層目のアルミ配線パターンAl2は、コラムデコーダ36の出力を伝送するコラム選択線CSLとして使用されている。
【0006】
なお、ビット線BL,/BLを高融点金属配線パターンWで構成しているのは、ビット線BL,/BLの材料のシリコン基板中へのマイグレーションを防止するためである。高融点金属としては、たとえばタングステンシリサイド(WSi)が用いられている。
【0007】
また、ビット線BL,/BLは、データ読出の高速化のため低抵抗化が要求されるが、それ以上にビット線BL,/BL自身の容量を低減して低消費電力化を図ったり、メモリセルMCからの読出信号量を大きくして動作マージンを確保したり、ビット線BL,/BL間容量を低減してビット線BL,/BL間ノイズを低減することが要求されるため、ビット線BL,/BLすなわち高融点金属配線パターンWは薄膜化されている。
【0008】
また、図27は図25に示したDRAMチップの周辺回路領域32の具体的構成を例示する図であって、2入力CMOS−NANDゲート(以下、NANDゲートと略記する。)を含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図、図28は図27の要部拡大図である。図において、NANDゲートは、2行2列に配置されたPチャネルMOSトランジスタP1,P2およびNチャネルMOSトランジスタN1,N2を含み、各トランジスタP1,P2,N1,N2は、図中Y方向に延在するゲートGと、その両側に設けられたソースSおよびドレインDとを含む。各トランジスタP1,P2,N1,N2のゲートGの一端にはパッドPDが設けられており、PチャネルMOSトランジスタP1,P2のパッドPDとNチャネルMOSトランジスタN1,N2のパッドPDとは隣接して設けられている。
【0009】
メモリアレイ領域31においてコラム選択線CSLとして使用されていた3層目のアルミ配線パターンAl2は、周辺回路領域32にあっては図中X方向に延在する電源配線VL,VL′および信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…として使用されている。電源配線VLは、2つのPチャネルMOSトランジスタP1,P2が配置されたP領域を覆うようにして設けられており、電源電位Vcc(Hレベル)が印加される。電源配線VL′は、2つのNチャネルMOSトランジスタN1,N2が配置されたN領域を覆うようにして設けられており、電源電位Vss(Lレベル)が印加される。
【0010】
信号配線SL1,SL2,…は、電源配線VLから外側に向けて所定のピッチで設けられており、NANDゲート部と、その外部との間で信号を入出力するために使用される。信号配線SL1′,SL2′,…は、電源配線VL′から外側に向けて所定のピッチで設けられており、NANDゲートと、その外部との間で信号を入出力するために使用される。
【0011】
また、メモリアレイ領域31においてワード線WLのシャントとして使用されていた2層目のアルミ配線パターンAl1は、この領域にあってはNANDゲート内部を接続するためのローカル配線RLとして使用される。
【0012】
詳しく説明すると、PチャネルMOSトランジスタP1,P2のソースはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL2,RL3に接続されており、ローカル配線RL2,RL3はスルーホールTHを介して電源配線VLに接続されている。PチャネルMOSトランジスタP1,P2およびNチャネルMOSトランジスタN1のドレインDはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL4に接続されており、ローカル配線RL4はスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL1′に接続される。信号配線SL1′がNANDゲートの出力信号配線Cとなる。
【0013】
NチャネルMOSトランジスタN1のソースSとNチャネルMOSトランジスタN2のドレインはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL5に共通接続されている。NチャネルMOSトランジスタN2のソースはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL6に接続されており、ローカル配線RL6はスルーホールTHを介して電源配線VL′に接続されている。
【0014】
PチャネルMOSトランジスタP1とNチャネルMOSトランジスタN1のゲートGは、パッドPDおよびコンタクトホールCHを介してローカル配線RL1に共通接続されており、ローカル配線RL1はスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL2に接続される。信号配線SL2がNANDゲートの一方入力信号配線Aとなる。
【0015】
また、PチャネルMOSトランジスタP2とNチャネルMOSトランジスタN2のゲートGはパッドPDおよびコンタクトホールCHを介してローカル配線RL7に共通接続されており、ローカル配線RL7はスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL3′に接続される。信号配線SL3′がNANDゲートの他方入力信号配線Bとなる。
【0016】
なお、トランジスタP1,P2,N1,N2は、図29に示すような電気回路を構成し、一般に図30に示すような記号で表されるNANDゲートを構成する。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のDRAMチップにあっては、1層目の高融点金属配線パターンWは、メモリアレイ領域31においてはビット線BL,/BLとして使用されていたが、周辺回路領域32においてはほとんど使用されていなかった。これは、タングステンシリサイド(WSi)で形成されていた従来の高融点金属配線パターンWではシート抵抗が大きく、これをトランジスタP1,P2,N1,N2間を接続するためのローカル配線RLとして用いた場合、信号遅延が大きかったからである。
【0018】
ところが、最近、従来に比べシート抵抗が小さな高融点金属配線パターンWの使用が可能になってきた。具体的な材料としてはタングステン(W)やチタンシリサイド(TiSi)などである。このような材料で形成された高融点金属配線パターンWを周辺回路領域32の配線として使用すれば、従来問題となっていた信号遅延が起きることもない。したがって、従来ビット線BL,/BLとしてのみ使用されていた高融点金属配線パターンWを利用した新しいレイアウトの創作が可能となる。
【0019】
それゆえに、この発明の主たる目的は、レイアウトの自由度が高く、レイアウト面積が小さく、電源配線の抵抗が小さく、信号配線のカップリングノイズが小さな半導体集積回路を提供することである。
【0029】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体集積回路は、半導体基板上に形成された半導体集積回路であって、行列状に配列された複数のメモリセルと、それぞれ複数のメモリセル列に対応して設けられた複数のビット線とを含むメモリアレイ領域、第1の領域に形成された第1の導電形式のトランジスタと、第1の領域の第1の方向に隣接する第2の領域に形成された第2の導電形式のトランジスタとを含む論理回路、ビット線と同じ第1の配線層で形成され、第1の導電形式のトランジスタと第2の導電形式のトランジスタとを接続するためのローカル配線、第1の配線層の上方に設けられた第2の配線層で形成され、第1の領域の上方において第1の方向と直交する第2の方向に延在する複数の第1の信号配線、および第2の配線層の上方に設けられた第3の配線層で複数の第1の信号配線を覆うように形成され、第1の領域の上方において第2の方向に延在する第1の電源配線を備え、第1の配線層はタングステンシリサイドよりも低抵抗の材料で形成されているものである。
好ましくは、さらに、第2の配線層で形成され、第2の領域の上方において第2の方向に延在する複数の第2の信号配線と、複数の第2の信号配線を覆うようにして第3の配線層で形成され、第2の領域の上方において第2の方向に延在し、第1の電源配線と異なる電位を受ける第2の電源配線とが設けられる。
また好ましくは、さらに、第2の配線層で形成され、第2の領域の第1の方向に隣接する第3の領域の上方において第2の方向に延在する複数の第3の信号配線が設けられる。
【0030】
また、この発明に係る他の半導体集積回路は、半導体基板上に形成された半導体集積回路であって、行列状に配列された複数のメモリセルと、それぞれ複数のメモリセル列に対応して設けられた複数のビット線とを含むメモリアレイ領域、第1の領域に形成された第1の導電形式のトランジスタと、第1の領域の第1の方向に隣接する第2の領域に形成された第2の導電形式のトランジスタとを含む論理回路、ビット線と同じ第1の配線層で形成され、第1の導電形式のトランジスタと第2の導電形式のトランジスタとを接続するためのローカル配線、第1の配線層の上方に形成された第2の配線層で形成され、第1の領域の上方において第1の方向と直交する第2の方向に延在する第1の電源配線、および第2の配線層の上方に設けられた第3の配線層で第1の電源配線を覆うように形成され、第1の複数の上方において第2の方向に延在する複数の第1の信号配線を備え、第1の配線層はタングステンシリサイドよりも低抵抗の材料で形成されているものである。
好ましくは、さらに、第2の配線層で形成され、第2の領域の上方において第2の方向に延在し、第1の電源配線と異なる電位を受ける第2の電源配線と、第2の電源配線を覆うようにして第3の配線層で形成され、第2の領域の上方において第2の方向に延在する複数の第2の信号配線とが設けられる。
また好ましくは、さらに、第3の配線層で形成され、第2の領域の第1の方向に隣接する第3の領域の上方において第2の方向に延在する複数の第3の信号配線が設けられる。
【0031】
【作用】
この発明に係る半導体集積回路にあっては、複数の半導体素子群上に積層された第1、第2および第3の配線パターンのうち第1の配線パターンを各半導体素子群内の半導体素子間を接続するためのローカル配線として使用する。したがって、従来ローカル配線として使用されていた第2の配線パターンを下層信号配線や下層電源配線として自由に使用でき、また、第3の配線パターンを上層信号配線や上層電源配線として自由に使用できる。よって、レイアウトの自由度の向上およびレイアウト面積の縮小化を図ることができる。
【0032】
また、第2および第3の配線パターンの一方を電源配線として使用するとともに他方を信号配線として使用し、または第2および第3の配線パターンの両方を電源配線として使用すれば、電源配線の幅を所望の幅に広げることができ、電源配線の低抵抗化を図ることができる。
【0033】
また、第2の配線パターンを下層電源配線として使用するとともに第3の配線パターンを上層信号配線として使用し、下層電源配線がローカル配線を覆うようにして設ければ、上層信号配線とローカル配線とを下層電源配線によってシールドすることができ、上層信号配線とローカル配線の間のカップリングノイズを低減できる。
【0034】
また、上層信号配線と下層信号配線の少なくとも一部が上下に重ならないようにすれば、上層信号配線と下層信号配線の間のカップリングノイズを軽減できる。
【0035】
また、第2の配線パターンの一部を上層信号配線や上層電源配線と半導体素子群を接続するための接続電極として使用すれば、上層の配線と半導体素子群を容易に接続できる。
【0036】
また、第1、第2および第3の配線パターンをすべてアルミニウムで形成すれば、配線パターンの低抵抗化を図ることができる。
【0037】
また、第1の配線パターンをタングステンのような高融点金属で形成し、第2および第3の配線パターンをアルミニウムで形成すれば、配線パターン材料の半導体基板中へのマイグレーションを防止でき、かつ配線パターンの低抵抗化を図ることができる。
【0038】
【実施例】
[実施例1]
図1はこの発明の第1実施例によるDRAMチップの周辺回路領域32のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図、図2はその要部拡大図、図3はその要部断面図である。DRAMチップのメモリアレイ領域31の構成は図25および図26に示した従来のDRAMチップと同様であるので、説明は省略される。
【0039】
図において、NANDゲートは、従来と同様、2行2列に配置されたPチャネルMOSトランジスタP1,P2およびNチャネルMOSトランジスタN1,N2を含む。DRAMチップのメモリアレイ領域31においてコラム選択線CSLとして使用されている3層目のアルミ配線パターンAl2は、この領域においては電源配線VL,VL′として使用されている。電源配線VLは、P領域を覆うようにして設けられており、電源電位Vccが印加される。電源配線VL′は、N領域を覆うようにして設けられており、電源電位Vssが印加される。
【0040】
また、メモリアレイ領域31においてワード線WLのシャントとして使用されている2層目のアルミ配線パターンAl1は、この領域においては信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…として使用されている。信号配線SL1,SL2,…は、P領域とN領域の境界から見てP領域側に向かって所定のピッチで配列されており、信号配線SL1′,SL2′,…は、P領域とN領域の境界から見てN領域側に向かって所定のピッチで配列されている。そのうち信号配線SL1〜SL7はP領域上に設けられており、信号配線SL1′〜SL6′はN領域上に設けられている。なお、後述するが信号配線SL7,SL6′は電源配線VL,VL′とNANDゲートを接続するための接続電極として使用される。
【0041】
また、メモリアレイ領域31においてビット線BL,/BLとして使用されている1層目の高融点金属配線層Wは、ここではトランジスタP1,P2,N1,N2同士、トランジスタP1,P2,N1,N2と電源配線VL,VL′、トランジスタP1,P2,N1,N2と信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…を接続するためのローカル配線RLとして使用されている。この高融点金属配線パターンWは、PチャネルMOSトランジスタP1,P2のP+ 拡散領域とNチャネルMOSトランジスタN1,N2のN+ 拡散領域の両方と接続可能な構造となっている。
【0042】
詳しく説明すると、PチャネルMOSトランジスタP1,P2のソースSはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL2,RL3に接続されており、ローカル配線RL2,RL3はスルーホールTHを介して信号配線SL7に接続され、信号配線SL7はスルーホールTHを介して電源配線VLに接続されている。PチャネルMOSトランジスタP1,P2およびNチャネルMOSトランジスタN1のドレインDはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL4に接続されており、ローカル配線RL4はスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL1′に接続される。信号配線SL1′はNANDゲートの出力信号配線Cとなる。
【0043】
NチャネルMOSトランジスタN1のソースSとNチャネルMOSトランジスタN2のドレインDは、コンタクトホールCHを介してローカル配線RL5に共通接続されている。NチャネルMOSトランジスタN2のソースSはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL6に接続されており、ローカル配線RL6はスルーホールTHを介して信号配線SL6′に接続され、信号配線SL6′はスルーホールTHを介して電源配線VL′に接続されている。
【0044】
PチャネルMOSトランジスタP1とNチャネルMOSトランジスタN1のゲートGは、パッドPDおよびコンタクトホールCHを介してローカル配線RL1に共通接続されており、ローカル配線RL1はスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL5に接続される。したがって、信号配線SL1がNANDゲートの一方入力信号配線Aとなる。
【0045】
また、PチャネルMOSトランジスタP2とNチャネルMOSトランジスタN2のゲートGは、パッドPDおよびコンタクトホールCHを介してローカル配線RL7に接続されており、ローカル配線RL7はスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL2′に接続される。したがって、信号配線SL2′はNANDゲートの他方入力信号配線Bとなる。
【0046】
この実施例においては、信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…を回路領域(P領域およびN領域)の上にも配列できるので、図27で示した従来のレイアウトに比べレイアウト面積を大幅に縮小することができる。また、トランジスタP1,P2,N1,N2の端子と信号配線SL,SL′とを接続するクロスアンダーの距離を短縮化できる。
【0047】
なお、図4に示すように、ローカル配線RL4の一端を回路領域外まで延在させてたとえば信号配線SL11′に接続してもよい。図1ないし図4からわかるように、トランジスタP1,P2,N1,N2と入出力信号配線A,B,Cの配列には全く制限がなく自由にレイアウト可能である。
【0048】
また、図1ないし図4においては電源配線VL,VL′の幅を回路領域の幅と同程度にしたが、回路領域以外の信号配線領域まで広げて電源配線VL,VL′の電気抵抗を下げることも可能である。
【0049】
[実施例2]
図5はこの発明の第2実施例によるDRAMチップの周辺回路領域32のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図、図6はその要部拡大図、図7はその要部断面図である。NANDゲートは、従来と同様、2行2列に配置されたPチャネルMOSトランジスタP1,P2およびNチャネルMOSトランジスタN1,N2を含む。
【0050】
DRAMチップのメモリアレイ領域31においてコラム選択線CSLとして使用されている3層目のアルミ配線パターンAl2は、この領域にあっては、信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…として使用されている。信号配線SL1,SL2,…は、P領域とN領域の境界から見てP領域側に向かって所定のピッチで配列されており、信号配線SL1′,SL2′,…は、P領域とN領域の境界から見てN領域側に向かって所定のピッチで配列されている。信号配線SL1〜SL7はP領域上に設けられており、信号配線SL1′〜SL6′はN領域上に設けられている。
【0051】
また、メモリアレイ領域31においてワード線WLのシャントとして使用されている2層目のアルミ配線パターンAl1は、ここでは電源配線VL,VL′および接続電極ELとして使用されている。電源配線VLは、P領域を覆うようにして設けられており、電源電位Vccが印加される。電源配線VL′は、N領域を覆うようにして設けられており、電源電位Vssが印加される。接続電極ELは、その周囲を電源配線VL,VL′から絶縁されて回路領域上に複数個設けられており、信号配線SL,SL′のいずれかとローカル配線RLの接続に使用される。
【0052】
また、メモリアレイ領域31においてビット線BLとして使用されている1層目の高融点金属配線パターンWは、トランジスタP1,P2,N1,N2間を接続するためのローカル配線RLとして使用されている。この高融点金属配線パターンWは、PチャネルMOSトランジスタP1,P2のP+ 拡散領域とNチャネルMOSトランジスタN1,N2のN+ 拡散領域の両方と接続できる構造となっている。
【0053】
詳しく説明すると、PチャネルMOSトランジスタP1,P2のソースはコンタクトホールCHを介して電源配線VLに直接接続されており、NチャネルMOSトランジスタN2のソースはコンタクトホールCHを介して電源配線VL′に直接接続されている。
【0054】
PチャネルMOSトランジスタP1,P2およびNチャネルMOSトランジスタN1のドレインはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL4に接続されており、ローカル配線RL4はスルーホールTHを介して接続電極ELに接続され、接続電極ELはスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL1′に接続される。したがって、信号配線SL1′はNANDゲートの出力信号配線Cとなる。NチャネルMOSトランジスタN1のソースSとNチャネルMOSトランジスタN2のドレインDはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL5に共通接続される。
【0055】
PチャネルMOSトランジスタP1とNチャネルMOSトランジスタN1のゲートGは、パッドPDおよびコンタクトホールCHを介してローカル配線RL1に共通接続されており、ローカル配線RL1はスルーホールTHを介して接続電極ELに接続され、接続電極ELはスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL5に接続される。したがって、信号配線SL5はNANDゲートの一方入力信号配線Aとなる。
【0056】
また、PチャネルMOSトランジスタP2とNチャネルMOSトランジスタN2のゲートGはパッドPDおよびコンタクトホールCHを介してローカル配線RL7に共通接続されており、ローカル配線RL7はスルーホールTHを介して接続電極ELに接続され、接続電極ELはスルーホールTHを介してたとえば信号配線SL2′に接続される。したがって、信号配線SL2′はNANDゲートの他方入力信号配線Bとなる。
【0057】
この実施例においては、3層目のアルミ配線層Al2で形成された信号配線SL,SL′を回路領域の上にも配置できるので、図27に示した従来のレイアウトに比べ大幅にレイアウト面積を小さくできる。また、トランジスタP1,P2,N1,N2の端子と信号配線SL,SL′を接続するクロスアンダーの距離を短縮できる。
【0058】
また、トランジスタP1,P2,N2のソースと2層目のアルミ配線層Al1とを直接接続できるので、ソース抵抗を低減できる。また、信号配線SL,SL′とローカル配線RLの間にアルミ配線パターンAl1で形成された電源配線VL,VL′を設けたので、シールド効果により信号配線SL,SL′間、ローカル配線RL間、信号配線SL,SL′とローカル配線RL間のカップリングノイズを低減することができ、動作マージンを広げることができる。
【0059】
また、第1実施例においては信号配線SL,SL′の上に3層目のアルミ配線パターンAl2で形成された電源配線VL,VL′があり、配線容量はその分増加したが、この実施例では配線容量の増加はなく信号伝達の速度の点で有利である。
【0060】
なお、図8に示すように、図5ないし図7におけるローカル配線RL4の一端を信号配線領域まで延在させ、その端部をスルーホールTHおよび接続電極ELを介してたとえば信号配線SL11′に接続してもよい。図5および図8からわかるように、トランジスタP1,P2,N1,N2の配置と信号入出力線A,B,Cの配列は全く制限がなく自由にレイアウト可能である。
【0061】
また、図5および図8においては2層目のアルミ配線パターンAl1で形成された電源配線VL,VL′の幅は回路領域と同程度になっているが、図9および図10に示すように、電源配線VL,VL′の幅を信号配線領域まで拡げて電源配線VL,VL′の抵抗を下げる構成も可能である。
【0062】
[実施例3]
図11はこの発明の第3実施例によるDRAMチップの周辺回路領域32のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。このレイアウトは図1のレイアウトを改良したものであり、図1において2層目のアルミ配線パターンAl1だけで構成された信号配線領域を2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2の両方を用いて信号配線領域を構成したものである。
【0063】
すなわち、3層目のアルミ配線パターンAl2を電源配線VL,VL′だけでなく信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…としても使用している。信号配線SL21,SL22,…は、電源配線VLから外側に向けて所定のピッチで配列されており、信号配線SL21′,SL22′,…は電源配線VL′から外側に向けて所定のピッチで配列されている。また、図からわかるように、信号配線領域において2層目のアルミ配線パターンAl1で構成された信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…と3層目のアルミ配線パターンAl2で構成された信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…とは半ピッチずらせて配列されている。
【0064】
この実施例においては、2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2の両方を信号配線SL,SL′として使用するので、図1の実施例に比べて信号配線領域の幅をほぼ半分にすることができ、より一層のレイアウト面積の低減が可能となる。
【0065】
また、2層目の信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…と3層目の信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…とを半ピッチずらせて上下に重なる面積を小さくしたので、配線間ノイズや配線時定数は小さい。
【0066】
なお、この構成は図5の実施例にも適用できる。すなわち、図5において2層目のアルミ配線パターンAl1を電源配線VL,VL′だけでなく信号配線SL,SL′にも使用すれば同様に信号配線領域の面積を低減できる。
【0067】
[実施例4]
図12はこの発明の第4実施例によるDRAMチップの周辺回路領域32のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。このレイアウトは図1のレイアウトを改良したものであり、図1において2層目のアルミ配線パターンAl1だけで構成された信号配線領域を2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2の両方を用いて構成し、かつ信号配線領域において2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2が上下に重ならないようにしたものである。
【0068】
すなわち、信号配線領域において2層目の信号配線SL8,SL9,…;SL7′,SL8′,…を図1の実施例の2倍のピッチで配列している。また、3層目の信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…を2層目の信号配線SL8,SL9,…;SL7′,SL8′,…と同じピッチで、かつ1/2ピッチずらせて設けている。したがって、2層目の信号配線SL8,SL9,…;SL7′,SL8′,…と3層目の信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…とは、上面視で互いに重ならないようにして交互に配置されている。
【0069】
この実施例においては、信号配線SL,SL′のピッチを図1の実施例の2倍にしたので、線間容量が半減し、配線間ノイズや配線時定数が減少する。しかも、2層目のアルミ配線パターンAl1と、3層目のアルミ配線パターンAl2の両方を信号配線SL,SL′として使用したので、レイアウト面積が増大することもない。
【0070】
なお、この構成は図5の実施例にも適用できる。すなわち、図5において2層目のアルミ配線パターンAL1を電源配線VL,VL′だけでなく信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…としても使用し、2層目の信号配線SL21,SL22,…;SL21′,SL22′,…と3層目の信号配線SL1,SL2,…;SL1′,SL2′,…とが信号配線領域で上下に重ならないようにして配列すれば、同様に線間容量を低減できる。
【0071】
[実施例5]
実施例1〜4ではビット線BL,/BLのレイヤーである1層目の高融点金属配線パターンWはN+ 拡散領域とP+ 拡散領域の両方に接続可能な構造であるとした。しかし、一般的にはメモリセルMCがNチャネルMOSトランジスタで構成されているので、高融点金属配線パターンWのN+ 拡散領域への接続は可能であるが、P+ 拡散領域への接続が不可能な場合もある。そこで、ここでは高融点金属配線層WがN+ 拡散領域にのみ接続可能な場合の実施例について説明する。
【0072】
図13はこの発明の第5実施例によるDRAMチップの周辺回路領域32のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図であり、図14はその要部拡大図である。NチャネルMOSトランジスタN1,N2が設けられたN領域と、N領域に隣接する信号配線領域とは図1に示した実施例と同じレイアウトとなる。すなわち、ローカル配線RLは1層目の高融点金属配線パターンWで構成され、信号配線SL1′〜SL6′は2層目のアルミ配線パターンAL1で構成され、電源配線VL′は3層目のアルミ配線パターンAL2で構成される。一方、PチャネルMOSトランジスタP1,P2が設けられたP領域と、P領域に隣接する信号配線領域とは図27で示した従来例と同じレイアウトとなる。
【0073】
すなわち、NチャネルMOSトランジスタN1のソースとNチャネルMOSトランジスタN2のドレインDはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL5に共通接続されている。NチャネルMOSトランジスタN2のソースSは、コンタクトホールCH、ローカル配線RL6、スルーホールTH、信号配線SL6′およびスルーホールTHを介して電源配線VL′に接続されている。NチャネルMOSトランジスタN2のゲートDとPチャネルMOSトランジスタP2のゲートGは、パッドPD、コンタクトホールCH、ローカル配線RL7、スルーホールTHを介して信号配線SL2′に接続されている。NチャネルMOSトランジスタN1のドレインDはコンタクトホールCHを介してローカル配線RL4bに接続されており、ローカル配線RL4bの一端はP領域まで延在している。
【0074】
ローカル配線RL4bの端部はスルーホールTHを介してローカル配線RL4aに接続されており、ローカル配線RL4aはコンタクトホールCHを介してPチャネルMOSトランジスタP1,P2のドレインDに接続されている。また、ローカル配線RL4aはスルーホールTHを介して信号配線SL1に接続されている。PチャネルMOSトランジスタP1,P2のソースSは、コンタクトホールCH、ローカル配線RL2,RL3およびスルーホールTHを介して電源配線VLに接続されている。NチャネルMOSトランジスタN1のゲートGとPチャネルMOSトランジスタP1のゲートGは、ローカル配線RL1bに接続されており、ローカル配線RL1bの一端はスルーホールTHを介してローカル配線RL1aの一端に接続され、ローカル配線RL1aの他端はスルーホールTHを介して信号配線SL3に接続されている。
【0075】
この実施例においては、N領域上にも信号配線SL1′〜SL6′を設けたので、図27で示した従来例に比べレイアウト面積が大幅に小さくなる。ただし、レイアウト面積の低減効果は図1の実施例の約半分になる。
【0076】
なお、この構成で電源配線VL′の幅を図9の実施例のように信号配線領域まで拡げてそのインピーダンスを下げることも可能である。
【0077】
また、この構成でN領域側の信号配線領域の信号配線SL′を図11および図2のように2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2に両方で構成することも可能である。
【0078】
また、メモリセルMCがPチャネルMOSトランジスタで構成されており、1層目の高融点金属配線パターンWがP+ 拡散領域にだけ接続可能な場合は、N領域とP領域の構成が逆になるだけで同様に構成できる。
【0079】
[実施例6]
図15はこの発明の第6実施例によるDRAMチップの周辺回路領域32のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図、図16はその要部拡大図である。このレイアウトは、図5の実施例で1層目の高融点金属配線パターンWをP+ 拡散領域に接続できない場合に適用される。N領域においては、図5の実施例と同様に、ローカル配線RLが1層目の高融点金属配線パターンWで構成され、電源配線VL′は2層目のアルミ配線パターンAl1で構成され、3層目の信号配線SL1′,SL2′,…は3層目のアルミ配線パターンAl1で構成される。一方、P領域は、図27の従来例と同じレイアウトとなる。接続関係は、NチャネルMOSトランジスタN2のソースSがコンタクトホールCHを介して電源配線VL′に直接接続されている点と、ローカル配線RL7がスルーホールTH、接続電極ELおよびスルーホールTHを介して信号配線SL2′に接続されている点を除き、図13の実施例と同様である。
【0080】
この実施例においては、N領域にも信号配線SL1′〜SL6′を配列したので、図27の従来例に比べてレイアウト面積が大幅に小さくなる。ただし、レイアウト面積の低減効果は図1の実施例に比べて約半分になる。
【0081】
なお、この構成で電源配線VL′の幅を図10の実施例のようにN領域に隣接する信号配線領域にまで広げ、そのインピーダンスを下げる構成も可能である。さらに、この構成でN領域に隣接する信号配線領域に信号配線SL,SL′を図11および図12の実施例のように、2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2の両方で構成することも可能である。
【0082】
また、メモリセルMCがPチャネルMOSトランジスタで構成されており、1層目の高融点金属配線パターンWがP+ 拡散領域にだけ接続可能な場合では、N領域とP領域の構成が逆になるだけで同様に構成できる。
【0083】
[実施例7]
2層目のアルミ配線パターンAl1は、平坦化のため3層目のアルミ配線パターンAl2よりも薄く形成されるため、3層目のアルミ配線パターンAl2よりも抵抗値が大きい。また、2層目のアルミ配線パターンAl1は、上下に配線パターンAl2,Wがあるため、3層目のアルミ配線パターンAl2よりも容量が小さい。したがって、配線長が長い配線を3層目のアルミ配線パターンAl2で形成し、配線長が短い配線を2層目のアルミ配線パターンAl1で形成すれば、効率のよいレイアウトを実現できる。
【0084】
図17(a)はこの発明の第7実施例によるDRAMチップの構成を示すブロック図、図17(b)はその要部拡大図、図18はその要部断面図である。図において、このDRAMチップは、複数のメモリアレイ領域1と、その間に設けられた周辺回路領域5を含む。各メモリアレイ領域1は、複数のサブアレイ2と、各サブアレイ2に対応して設けられたロウデコーダ3およびコラムデコーダ4を含む。メモリアレイ領域1の具体的な構成は図25および図26で示した従来のDRAMチップと同様であるので説明は省略される。
【0085】
周辺回路領域5は、このDRAMチップの動作の基本となる主制御信号を発生する主制御信号発生回路6と、主制御信号に応答して副制御信号を発生し、対応するサブアレイ2を駆動させる副制御信号発生回路7と、外部から電源電位Vcc,Vssを印加される複数の外部電源パッド8とを含む。
【0086】
メモリアレイ領域1においてコラム選択線CSLとして使用されている3層目のアルミ配線パターンAl2は、周辺回路領域5では主電源配線VL(main),VL(main)′および主信号配線SL(main)として使用される。主電源配線VL(main),VL(main)′は、副制御信号発生回路7を覆うようにして設けられる。主信号配線SL(main)は多数の短冊状に形成され、主制御信号発生回路6を覆うようにして設けられる。
【0087】
外部電源パッド8に印加された電源電位Vcc,Vssは、主電源配線VL(main),VL(main)′を介して周辺回路領域5全域に供給される。主制御信号発生回路6で生成された主制御信号A(main),B(main),C(main)は、主信号配線SL(main)を介して副制御信号発生回路7に伝送される。
【0088】
これらの配線VL(main),VL(main)′,SL(main)は配線長が長いが低抵抗・低容量の3層目のアルミ配線パターンAl2で形成されるので、配線VL(main),VL(main)′,SL(main)による電力消費や信号遅延は小さく保たれる。
【0089】
また、メモリアレイ領域1においてワード線WLのシャントとして使用されている2層目のアルミ配線パターンAl1は、周辺回路領域5では副電源配線VL(sub),VL(sub)′および副信号配線SL(sub)として使用される。副電源配線VL(sub),VL(sub)′は、主制御信号発生回路6を覆うようにして設けられ、主電源配線VL(main),VL(main)′に接続される。副信号配線SL(sub)は、多数の短冊状に形成され、副制御信号発生回路7を覆うようにして設けられる。
【0090】
外部電源パッド8に印加され主電源配線VL(main),VL(main)′を介して周辺回路領域5全域に供給された電源電位Vcc,Vssは、さらに副電源配線VL(sub),VL(sub)′を介して主制御信号発生回路6に与えられる。副制御信号発生回路7で生成された副制御信号A(sub),B(sub),C(sub)は、副信号配線SL(sub)を介して対応するサブアレイ2に伝送される。
【0091】
これらの配線VL(sub),VL(sub)′,SL(sub)は、高抵抗・高容量の2層目のアルミ配線パターンAl1で形成されるが配線長が短いので、配線VL(sub),VL(sub)′,SL(sub)による電力消費や信号遅延は問題にならない。
【0092】
また、メモリアレイ領域1においてビット線BL,/BLとして使用されている1層目の高融点金属配線パターンWは、上記第1〜第6実施例と同様に、主制御信号発生回路6および副制御信号発生回路7内を接続するためのローカル配線RLとして使用される。
【0093】
詳しく説明すると、図18および図19に示すように、主制御信号発生回路6においては副制御信号発生回路7との境界部で主電源配線VL(main),VL(main)′がスルーホールTHを介して副電源配線VL(sub),VL(sub)′に接続され、主電源配線VL(main),VL(main)′から副電源配線VL(sub),VL(sub)′に電源電位Vcc,Vssが与えられる。副電源配線VL(sub),VL(sub)′は、主制御信号発生回路6を構成するトランジスタ6aなどにコンタクトホールCHを介して接続され、副電源配線VL(sub),VL(sub)′からトランジスタ6aなどに電源電位Vcc,Vssが与えられる。
【0094】
また、主制御信号発生回路6においては、第2実施例で説明したのと同様に主電源配線VL(main),VL(main)′の一部が周囲から絶縁されて接続電極ELになっている。主制御信号発生回路6を構成するトランジスタ6aなどで生成された主制御信号A(main),B(main),C(main)は、接続電極ELを介して主信号配線SL(main)に与えられ、主信号配線SL(main)を介して周辺回路領域5全域に伝送される。
【0095】
一方副制御信号発生回路7においては、図20に示すように、第1実施例で説明したのと同様に副信号配線SL(sub)のいずれかが接続電極ELとして使用される。主電源配線VL(main),VL(main)′はスルーホールTHを介して接続電極ELに接続され、主電源配線VL(main),VL(main)′から接続電極ELに電源電位Vcc,Vssが与えられる。接続電極ELは、副制御信号発生回路7を構成するトランジスタ7aなどにコンタクトホールCHを介して接続され、接続電極ELからトランジスタ7aなどに電源電位Vcc,Vssが与えられる。
【0096】
副制御信号発生回路7を構成するトランジスタ7aなどは主制御信号A(main),B(main),C(main)に応答して副制御信号A(sub),B(sub),C(sub)を生成する。副制御信号A(sub),B(sub),C(sub)は、副信号配線SL(sub)に与えられ、副信号配線SL(sub)を介して対応するサブアレイ2に伝送される。
【0097】
この実施例においても、1層目の高融点金属配線パターンWをローカル配線RLとして使用するので、2層目のアルミ配線パターンAl1をローカル配線RLとして使用していた従来に比べレイアウト面積を大幅に縮小できる。
【0098】
また、配線長が長い配線VL(main),VL(main)′,SL(main)を低抵抗・低容量の3層目のアルミ配線パターンAl2で形成し、配線長が短い配線VL(sub),VL(sub)′,SL(sub)を高抵抗・高容量の2層目のアルミ配線パターンAl1で形成するので、効率のよいレイアウトを実現できる。
【0099】
[実施例8]
図21はこの発明の第8実施例によるDRAMチップの構成を示す一部省略したブロック図である。図において、このDRAMチップは、外部電源パッド8、ボルテージダウンコンバータ(以下、VDCと略記する)9および複数の回路ブロック10を含む。外部電源パッド8は外部電源電位extVccを印加される。VDC9は外部電源電位extVccを降圧して内部電源電位intVccを出力する。回路ブロック10は、DRAMチップの全域に分散して配置され、内部電源電位intVccを受けて所定の動作を行なう。
【0100】
このDRAMチップにおいては、3層目のアルミ配線パターンAl2は主電源配線VL(main)として使用され、2層目のアルミ配線パターンAl1は副電源配線VL(sub)として使用され、1層目の高融点金属配線パターンWは回路ブロック10内を接続するためのローカル配線RLとして使用される。
【0101】
主電源配線VL(main)は、外部電源パッド8とVDC9の間に設けられるとともに、VDC9の出力ノードからDRAMチップの全域にわたって設けられる。副電源配線VL(sub)は、主電源配線VL(main)と各回路ブロック10の間に設けられる。
【0102】
外部電源パッド8に印加された外部電源電位extVccは主電源配線VL(main)を介してVDC9に与えられる。VDC9から出力された内部電源電位intVccは主電源配線VL(main)を介してDRAMチップの全域に供給され、さらに副電源配線VL(sub)を介して各回路ブロック10に与えられる。各回路ブロック10は、内部電源電位intVccを受けて所定の動作を行なう。
【0103】
この実施例においては、1層目の高融点金属配線パターンWをローカル配線RLとして使用し、2層目のアルミ配線パターンAl1と3層目のアルミ配線パターンAl2を電源配線VL(sub),VL(main)として使用するので、レイアウト面積を大きくすることなく電源配線VL(sub),VL(main)の低抵抗化を図ることができる。電源の低抵抗化により電源配線VL(sub),VL(main)の電位の浮き上がりを防止でき、電位の浮き上がりに伴なうアクセス遅延などを防止できる。
【0104】
なお、図22に示すように、複数のVDC9をDRAMチップの全域に分散配置してもよい。この場合主電源配線VL(main)は外部電源パッド8と複数のVDC9の間に設けられ、副電源配線VL(sub)は各VDC9とその近傍の回路ブロック10の間に設けられる。外部電源パッド8に印加された外部電源電位extVccは、主電源配線VL(main)を介して各VDC9に与えられる。VDC9から出力された内部電源電位intVccは、副電源配線VL(sub)を介して回路ブロック10に与えられる。
【0105】
この構成によっても、図21で示した実施例と同様の効果が得られる。
[実施例9]
図23はこの発明の第9実施例によるDRAMチップの構成を示す一部省略したブロック図である。図において、このDRAMチップは、直列接続された4つのインバータ13〜16を含むインバータ列17と、活性化信号/φ,φに応じてインバータ列17に電源電位Vcc,Vssを印加するためのPチャネルMOSトランジスタ11およびNチャネルMOSトランジスタ12を含む。インバータ13,15の正側電源端子13a,15aには電源電位Vccが直接印加され、インバータ14,16の正側電源端子14a,16aにはPチャネルMOSトランジスタ11を介して電源電位Vccが印加される。インバータ14,16の負側電源端子14b,16bには電源電位Vssが直接印加され、インバータ13,15の負側電源端子13b,15bにはNチャネルMOSトランジスタ12を介して電源電位Vssが印加される。
【0106】
インバータ列17は、活性化信号/φ,φが活性化レベル(「L」レベル,「H」レベル)になり、入力が「L」レベルに確定したとき「L」レベルの信号を出力する。
【0107】
この回路では、活性化信号/φ,φが活性化レベルになったときのみインバータ列17に電源電位Vcc,Vssが印加されるので、インバータ列17を使用しない時に電流が無駄に消費されることがない。また、入力が「L」レベルに確定したときに「H」レベルを出力するインバータ13,15の正側電源端子13a,15aには電源電位Vccが直接印加され、入力が「L」レベルに確定したときに「L」レベルを出力するインバータ14,16の負側電源端子14b,16bには電源電位Vssが直接印加される。したがって、各インバータ13〜16は高速に動作する。
【0108】
この回路自体は1993 Symposium on VLSI Circuit Dig. of Tech Papers pp.47-48 およびpp.83-84に記載されたものであるが、この回路をDRAMチップに搭載する場合に本発明のレイアウト手法を適用するとチップ面積の増大を防止できる。
【0109】
すなわち、3層目のアルミ配線パターンAl2を主電源配線VL(main),VL(main)′として使用し、2層目のアルミ配線パターンAl1を副電源配線VL(sub),VL(sub)′として使用し、1層目の高融点金属配線パターンWをインバータ列17内を接続するためのローカル配線RLとして使用する。
【0110】
主電源配線VL(main)には電源電位Vccが印加され、主電源配線VL(main)はインバータ13,15の正側電源端子13a,15aに接続される。主電源配線VL(main)′には電源電位Vssが印加され、主電源配線VL(main)′はインバータ14,16の負側電源端子14b,16bに接続される。副電源配線VL(sub)はインバータ14,16の正側電源端子14a,16aに接続され、負側電源配線VL(sub)′はインバータ13,15の負側電源端子13b,15bに接続される。PチャネルMOSトランジスタ11のソースは主電源配線VL(main)に接続され、そのドレインは副電源配線VL(sub)に接続され、そのゲートは活性化信号/φを受ける。NチャネルMOSトランジスタ12のソースは主電源配線VL(main)′に接続され、そのドレインは副電源配線VL(sub)′に接続され、そのゲートは活性化信号/φの相補信号φを受ける。
【0111】
この実施例においては、1層目の高融点金属配線パターンWをインバータ列17内を接続するためのローカル配線RLとして使用し、2層目および3層目のアルミ配線パターンAl1,Al2を電源配線VL(sub),VL(sub)′;VL(main),VL(main)′として使用するので、2層目のアルミ配線パターンAl1をローカル配線RLとして使用していた従来に比べレイアウト面積の縮小化と電源配線の低抵抗化を図ることができる。
【0112】
なお、図24に示すように、複数(図では3つ)の回路ブロック20,23,26と、各回路ブロック20,23,26に電源電位Vcc,Vssを印加するためのPチャネルMOSトランジスタ18,21,24およびNチャネルMOSトランジスタ19,22,25とを含む回路をDRAMチップに搭載する場合にも本発明のレイアウト手法を適用できる。
【0113】
この場合は3層目のアルミ配線パターンAlを主電源配線VL(main),VL(main)′として使用し、2層目のアルミ配線パターンAl2を副電源配線VL(sub)1,VL(sub)1′;VL(sub)2,VL(sub)2′;VL(sub)3,VL(sub)3′として使用し、1層目の高融点金属配線パターンWを各回路ブロック20,23,26内を接続するためのローカル配線RLとして使用する。
【0114】
主電源配線VL(main),VL(main)′には電源電位Vcc,Vssが印加される。副電源配線VL(sub)1,VL(sub)′;VL(sub)2,VL(sub)2′;VL(sub)3,VL(sub)3′はそれぞれ回路ブロック20,23,26の電源端子に接続される。PチャネルMOSトランジスタ18,21,24のソースはともに主電源配線VL(main)に接続され、そのドレインはそれぞれ副電源配線VL(sub)1,VL(sub)2,VL(sub)3に接続され、そのゲートはそれぞれ活性化信号/φ1,/φ2,/φ3を受ける。NチャネルMOSトランジスタ19,22,25のソースはともに主電源配線VL(main)′に接続され、そのドレインはそれぞれ副電源配線VL(sub)1′,VL(sub)2′,VL(sub)3′に接続されて、そのゲートはそれぞれ活性化信号/φ1,/φ2,/φ3の相補信号φ1,φ2,φ3を受ける。
【0115】
この場合もレイアウト面積の縮小化と電源配線の低抵抗化を図ることができる。
【0116】
なお、上記実施例1〜9では、1層目を高融点金属配線パターンW、2層目をアルミ配線パターンAl1、3層目をアルミ配線パターンAl2としたが、3層ともアルミ配線パターンとしてもよい。その場合は、1層目をローカル配線、2層目を電源配線、3層目をバス信号配線とするのが好適である。
【0117】
なお、この発明の実施態様は次のとおりである。
1.それぞれが第1および第2の導電形式の複数の半導体素子を含み、所定の機能を有する複数の半導体素子群と、該複数の半導体素子群上に順次積層された第1、第2および第3の配線パターンとを備えた半導体集積回路において、
前記第1の配線パターンは前記各半導体素子群内の前記第1の導電形式の半導体素子間を接続するための下層ローカル配線として使用されていることを特徴とする、半導体集積回路。
【0118】
2.行および列方向に配列された複数のメモリセルと、それぞれが第1および第2の導電形式の複数の半導体素子を含み、所定の機能を有する複数の半導体素子群と、前記複数のメモリセルおよび半導体素子群上に順次積層された第1、第2および第3の配線パターンとを備え、前記第1の配線パターンが前記各メモリセル列に対応するビット線として使用されている半導体集積回路において、
前記第1の配線パターンは、さらに前記各半導体素子群内の前記第1の導電形式の半導体素子間を接続するための下層ローカル配線として使用されていることを特徴とする、半導体集積回路。
【0119】
3.1.または2.の半導体集積回路の前記第2の配線パターンは、前記各半導体素子群とその外部との間で信号を入出力するための下層信号配線、および前記各半導体素子群内の前記第2の導電形式の半導体素子間を接続するための上層ローカル配線として使用され、
前記第3の配線パターンは前記各半導体素子群に電源電位を印加するための上層電源配線として使用されていてもよい。
【0120】
4.前記第2の配線パターンは、さらに前記上層電源配線と前記各半導体素子群の前記第1の導電形式の半導体素子を接続するための接続電極として使用されていてもよい。
【0121】
5.前記第3の配線パターンは、さらに前記各半導体素子群とその外部との間で信号を入出力するための上層信号配線として使用されていてもよい。
【0122】
6.前記第2の配線パターンは、さらに前記各半導体素子群に電源電位を印加するための下層電源配線として使用されていてもよい。
【0123】
7.1.または2.の半導体集積回路の前記第2の配線パターンは、前記各半導体素子群の前記第1の導電形式の半導体素子に電源電位を印加するための下層電源配線、および前記各半導体素子群内の前記第2の導電形式の半導体素子間を接続するための上層ローカル配線として使用され、
前記第3の配線パターンは、前記各半導体素子群とその外部との間で信号を入出力するための上層信号配線、および前記各半導体素子群の前記第2の導電形式の半導体素子に電源電位を印加するための上層電源配線として使用されていてもよい。
【0124】
8.前記第2の配線パターンは、さらに前記ローカル配線と前記上層信号配線を接続するための接続電極として使用されていてもよい。
【0125】
9.前記第2の配線パターンは、さらに前記各半導体素子群とその外部との間で信号を入出力するための下層信号配線として使用されていてもよい。
【0126】
10.前記第3の配線パターンは、さらに前記各半導体素子群に電源電位を印加するための上層電源配線として使用されていてもよい。
【0127】
11.前記下層電源配線は、前記下層ローカル配線を覆うようにして設けられていてもよい。
【0128】
12.前記上層信号配線と前記下層信号配線の少なくとも一部が上下に重ならないようにして設けられていてもよい。
【0129】
13.前記第1、第2および第3の配線パターンは、アルミニウムで形成されていてもよい。
【0130】
14.前記第1の配線パターンはタングステンのような高融点金属で形成され、前記第2および第3の配線パターンはアルミニウムで形成されていてもよい。
【0131】
【発明の効果】
以上のように、この発明にあっては、3層の配線パターンのうち1層目の配線パターンをローカル配線として使用するので、従来ローカル配線として使用されていた第2の配線パターンを下層信号配線や下層電源配線として自由に使用することができ、また、第3の配線パターンを上層信号配線や上層電源配線として自由に使用できる。したがって、レイアウトの自由度の向上およびレイアウト面積の縮小化を図ることができる。
【0132】
また、第2および第3の配線パターンの一方を電源配線として使用するとともに他方を信号配線として使用し、または第2および第3の配線パターンの両方を電源配線として使用すれば、電源配線の幅を所望の幅に広げることができ、電源配線の低抵抗化を図ることができる。
【0133】
また、第2の配線パターンを下層電源配線として使用するとともに第3の配線パターンを上層信号配線として使用し、下層電源配線がローカル配線を覆うようにして設ければ、上層信号配線とローカル配線を下層電源配線によってシールドすることができ、上層信号配線とローカル配線の間のカップリングノイズを軽減できる。
【0134】
また、上層信号配線と下層信号配線の少なくとも一部が上下に重ならないようにすれば、上層信号配線と下層信号配線の間のカップリングノイズを軽減できる。
【0135】
また、第2の配線パターンの一部を上層信号配線や下層電源配線と半導体素子群を接続するための接続電極として使用すれば、上層の配線と半導体素子群を容易に接続できる。
【0136】
また、第1、第2および第3の配線パターンをすべてアルミニウムで形成すれば、配線パターンの低抵抗化を図ることができる。
【0137】
また、第1の配線パターンをタングステンのような高融点金属で形成し、第2および第3の配線パターンをアルミニウムで形成すれば、配線パターン材料の半導体基板中へのマイグレーションを防止でき、かつ配線パターンの低抵抗化を図ることができる。
【0138】
また、レイアウト面積の縮小化、電源配線の低抵抗化およびカップリングノイズの低減化により、半導体集積回路の高速化、低消費電力化、動作マージン拡大、高密度化が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1実施例によるDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図2】 図1に示したNANDゲートを含む領域の要部拡大図である。
【図3】 図1に示したNANDゲートを含む領域の要部断面図である。
【図4】 第1実施例の改良例を示す一部破断した平面図である。
【図5】 この発明の第2実施例によるDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図6】 図5に示したNANDゲートを含む領域の要部拡大図である。
【図7】 図5に示したNANDゲートを含む領域の要部断面図である。
【図8】 第2実施例の改良例を示す一部破断した平面図である。
【図9】 第2実施例の他の改良例を示す一部破断した平面図である。
【図10】 第2実施例のさらに他の改良例1を示す一部破断した平面図である。
【図11】 この発明の第3実施例によるDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図12】 この発明の第4実施例によるDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図13】 この発明の第5実施例によるDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図14】 図13に示したNANDゲートを含む領域の要部拡大図である。
【図15】 この発明の第6実施例によるDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図16】 図15に示したNANDゲートを含む領域の要部拡大図である。
【図17】 (a)はこの発明の第7実施例によるDRAMチップの構成を示すブロック図、(b)はその要部拡大図である。
【図18】 図17に示したDRAMチップの要部断面図である。
【図19】 図17に示したDRAMチップの周辺回路領域の主制御信号発生回路のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図20】 図17に示したDRAMチップの周辺回路領域の副制御信号発生回路のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図21】 この発明の第8実施例によるDRAMチップの構成を示すブロック図である。
【図22】 第8実施例の改良例を示すブロック図である。
【図23】 この発明の第9実施例によるDRAMチップの構成を示すブロック図である。
【図24】 第9実施例の改良例を示すブロック図である。
【図25】 従来のDRAMチップの構成を示すブロック図である。
【図26】 図25に示したDRAMチップのメモリアレイ領域の構成を示す一部省略した平面図である。
【図27】 図25に示したDRAMチップの周辺回路領域のNANDゲートを含む領域のレイアウトを示す一部破断した平面図である。
【図28】 図27に示したNANDゲートを含む領域の要部拡大図である。
【図29】 NANDゲートの構成を示す回路図である。
【図30】 NANDゲートを示す記号図である。
【符号の説明】
RL ローカル配線、VL,VL′ 電源配線、SL,SL′ 信号配線、EL 接続電極、W 1層目の高融点金属配線パターン、Al1 2層目のアルミ配線パターン、Al2 3層目のアルミ配線パターン、P1,P2 PチャネルMOSトランジスタ、N1,N2 NチャネルMOSトランジスタ、MC メモリセル、WL ワード線、BL ビット線、1 メモリ領域、2 周辺回路領域、6 主制御信号発生回路、7 副制御信号発生回路。
Claims (6)
- 半導体基板上に形成された半導体集積回路であって、
行列状に配列された複数のメモリセルと、それぞれ複数のメモリセル列に対応して設けられた複数のビット線とを含むメモリアレイ領域、
第1の領域に形成された第1の導電形式のトランジスタと、前記第1の領域の第1の方向に隣接する第2の領域に形成された第2の導電形式のトランジスタとを含む論理回路、
前記ビット線と同じ第1の配線層で形成され、前記第1の導電形式のトランジスタと前記第2の導電形式のトランジスタとを接続するためのローカル配線、
前記第1の配線層の上方に設けられた第2の配線層で形成され、前記第1の領域の上方において前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する複数の第1の信号配線、および
前記第2の配線層の上方に設けられた第3の配線層で前記複数の第1の信号配線を覆うように形成され、前記第1の領域の上方において前記第2の方向に延在する第1の電源配線を備え、
前記第1の配線層はタングステンシリサイドよりも低抵抗の材料で形成されている、半導体集積回路。 - さらに、前記第2の配線層で形成され、前記第2の領域の上方において前記第2の方向に延在する複数の第2の信号配線、および
前記複数の第2の信号配線を覆うようにして前記第3の配線層で形成され、前記第2の領域の上方において前記第2の方向に延在し、前記第1の電源配線と異なる電位を受ける第2の電源配線を備える、請求項1に記載の半導体集積回路。 - さらに、前記第2の配線層で形成され、前記第2の領域の前記第1の方向に隣接する第3の領域の上方において前記第2の方向に延在する複数の第3の信号配線を備える、請求項1または請求項2に記載の半導体集積回路。
- 半導体基板上に形成された半導体集積回路であって、
行列状に配列された複数のメモリセルと、それぞれ複数のメモリセル列に対応して設けられた複数のビット線とを含むメモリアレイ領域、
第1の領域に形成された第1の導電形式のトランジスタと、前記第1の領域の第1の方向に隣接する第2の領域に形成された第2の導電形式のトランジスタとを含む論理回路、
前記ビット線と同じ第1の配線層で形成され、前記第1の導電形式のトランジスタと前記第2の導電形式のトランジスタとを接続するためのローカル配線、
前記第1の配線層の上方に設けられた第2の配線層で形成され、前記第1の領域の上方において前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する第1の電源配線、および
前記第2の配線層の上方に設けられた第3の配線層で前記第1の電源配線を覆うように形成され、前記第1の複数の上方において前記第2の方向に延在する複数の第1の信号配線を備え、
前記第1の配線層はタングステンシリサイドよりも低抵抗の材料で形成されている、半導体集積回路。 - さらに、前記第2の配線層で形成され、前記第2の領域の上方において前記第2の方向に延在し、前記第1の電源配線と異なる電位を受ける第2の電源配線、および
前記第2の電源配線を覆うようにして前記第3の配線層で形成され、前記第2の領域の上方において前記第2の方向に延在する複数の第2の信号配線を備える、請求項4に記載の半導体集積回路。 - さらに、前記第3の配線層で形成され、前記第2の領域の前記第1の方向に隣接する第3の領域の上方において前記第2の方向に延在する複数の第3の信号配線を備える、請求項4または請求項5に記載の半導体集積回路。
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KR100403631B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2003-10-30 | 삼성전자주식회사 | 비트라인 센스앰프 드라이버의 배치방법 |
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US7082064B2 (en) * | 2004-01-29 | 2006-07-25 | Micron Technology, Inc. | Individual I/O modulation in memory devices |
KR100610022B1 (ko) * | 2005-01-18 | 2006-08-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
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US7413981B2 (en) * | 2005-07-29 | 2008-08-19 | Micron Technology, Inc. | Pitch doubled circuit layout |
US7696567B2 (en) | 2005-08-31 | 2010-04-13 | Micron Technology, Inc | Semiconductor memory device |
US7557032B2 (en) | 2005-09-01 | 2009-07-07 | Micron Technology, Inc. | Silicided recessed silicon |
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