JP3681538B2 - 滅菌方法、滅菌装置及び無菌試験装置 - Google Patents

滅菌方法、滅菌装置及び無菌試験装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、医薬品の包装容器や医療器具等をオゾンにより滅菌するための方法及び装置に関し、また、この滅菌装置を主たる構成要素とした無菌性確認試験のための装置に関する。ここで、「滅菌」とは全ての微生物(病原性、非病原性を問わない)を芽胞も含めて死滅、除去し無菌の状態にすることをいい、無菌が達成されるプロセス自体を表す「殺菌」とは異なる。
【0002】
【従来の技術】
医療用具やその他の滅菌対象物を滅菌する方法としては、従来、高圧下で高温蒸気を用いる方法、エチレンオキサイドガスや過酸化水素の蒸気を用いる方法等が知られている。
【0003】
しかし、高温蒸気を用いる方法は、熱に強い滅菌対象物に対しては有効であるが、耐熱性に欠ける滅菌対象物には不適用である。また、エチレンオキサイドガスは残留性があり、滅菌作業後の排気処理に長時間を要し、加えて発ガン性の問題も指摘されている。過酸化水素の蒸気を用いる方法は、過酸化水素ガスのガス濃度測定が困難であり、バリデーション(工程や方法を科学的根拠、妥当性をもって設計し、それが所期の目的通りに機能していることをシステマチックに検証すること)ができないという欠点がある。
【0004】
このため、前述の滅菌技術の代替法としてオゾンを用いた方法が注目されている。オゾンは、酸化作用で微生物を死滅させるもので、強い殺菌力を有している。しかも、酸化作用による殺菌のため、薬品による場合とは異なり、耐性を有する微生物が突然変異で発生することもない。また、オゾンは自己分解が早く残留性がないという特性を有している。その残留物についても無害な水又は酸素である。更に、オゾンは、その濃度をリアルタイムに測定することができるため、オゾン滅菌の場合はバリデーションも可能である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような優れた特性を有するオゾンを用いる滅菌方法は今後、広く採用されていくものと考えられる。
【0006】
しかしながら、滅菌というには芽胞までも死滅させる必要があることから、滅菌工程は長時間となる傾向がある。従って、滅菌が可能な環境を可能な限り短時間のうちに作り出し、滅菌工程時間を短縮することが要請されている。また、滅菌工程中はオゾン濃度を一定範囲内で保ち、且つ、高湿度条件を維持しなければならない。更に、一度作った無菌状態の環境を有効利用するために、滅菌が終了した後は、無菌状態を維持したまま、酸化作用の強いオゾンを可能な限り短時間のうちに除去することも望まれる。
【0007】
本発明は、このような課題を解決することを目的としてなされたものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による滅菌方法は、チャンバ内に滅菌対象物を収容する第1ステップと、チャンバの出口ポートからチャンバ内の空気を吸引し、この吸引した空気をチャンバの入口ポートからチャンバ内に戻す第2ステップと、前記第2ステップを実行しながら、チャンバ内の相対湿度が規定値に達するまで蒸気をチャンバ内に供給する第3ステップと、前記第2ステップを実行しながら、チャンバ内のオゾン濃度が規定の上限値に達するまでオゾンをチャンバ内に供給する第4ステップと、前記第4ステップの実行によりチャンバ内のオゾン濃度が前記上限値に達したならば、規定時間が経過するまでチャンバ内のオゾン濃度を規定範囲内で維持する第5ステップとを含むことを特徴としている。
【0009】
この方法によれば、空気がチャンバ内で流動している状態で蒸気或いはオゾンを供給するので、蒸気及びオゾンはチャンバ内全体に行き渡りやすく、短時間でチャンバ内は所望の滅菌環境となる。
【0010】
また、蒸気の供給は、出口ポートから吸引した空気に蒸気を随伴させて入口ポートからチャンバ内に供給することにより行うことが好ましい。これは、蒸気を単独でチャンバに直接送り込むよりも、予め循環空気に混合させて供給した方が蒸気をチャンバ内に、より均一に行き渡らせることが可能となるからである。同様に、オゾンについても、出口ポートから吸引した空気に随伴させて入口ポートからチャンバ内に供給することが好ましい。
【0011】
オゾン濃度を維持する場合、オゾンの自己分解性によりオゾン濃度が徐々に低下するため、フィードバック制御を行うことが必要となる。この際、チャンバ内のオゾン濃度が規定の上限値に達した後、規定の下限値に下降するまでは、空気の循環を停止してチャンバ内を閉空間とすることが好ましい。チャンバ内の空気が流動している場合、オゾンの分解が促進され、オゾン供給の頻度が増すからである。
【0012】
更に、本発明による滅菌方法は、滅菌工程が終了した後、チャンバの出口ポートから空気を吸引し、この吸引した空気をオゾン分解器に通し入口ポートからチャンバ内に戻す第8ステップを更に含むことを特徴としている。これにより、無菌状態のオゾン富化空気を無菌の通常の組成の空気に迅速に戻すことができ、無菌状態での各種試験をチャンバ内で行うことが可能となる。
【0013】
本発明は上記の滅菌方法に適した滅菌装置にも及び、当該滅菌装置は、滅菌対象物を収容するチャンバと、チャンバに設けられた入口ポート及び出口ポート間に接続された管路と、出口ポートからチャンバ内の空気を吸引し、この吸引した空気を入口ポートからチャンバ内に戻すべく、管路に設けられた送風手段と、チャンバ内に蒸気を供給するための蒸気供給手段と、チャンバ内にオゾンを供給するためのオゾン供給手段とを備えることを特徴としている。
【0014】
更に、この滅菌装置は、バリデーションや自動制御を可能とするために、チャンバ内の相対湿度を検出する湿度検出手段と、チャンバ内のオゾン濃度を検出するオゾン濃度検出手段と、湿度検出手段により検出された相対湿度及びオゾン濃度検出手段により検出されたオゾン濃度に従って、送風手段、蒸気供給手段及びオゾン供給手段を制御する制御手段とを備えることが好ましい。
【0015】
また、蒸気又はオゾンをチャンバ導入前に循環空気に効率良く混合、随伴させるために、送風手段と入口ポートの間の管路にミキシングチャンバを設けることが有効である。
【0016】
本発明による滅菌装置は、更に好ましくは、出口ポートと送風手段との間の管路にバイパス管路を接続し、該バイパス管路にオゾン分解器を設けて、出口ポートから吸引した空気を選択的にバイパス管路に流通させ、滅菌終了後のオゾン分解の促進が可能なよう構成されている。
【0017】
上述したような滅菌装置は、無菌性の確認試験を行うための無菌試験装置として用いることが可能である。かかる場合、上記構成の滅菌装置を2基用意して、2つのチャンバを並設し、これらを互いに閉鎖可能に連通することが有効である。このような構成においては、主チャンバで無菌試験器具を収容して無菌性の試験を行うこととし、機材等の追加が必要な場合には、副チャンバでその追加機材等を滅菌した後に、滅菌環境を破ることなく、副チャンバから主チャンバに追加機材等を搬入することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明による滅菌装置ないしは無菌試験装置の好適な実施形態について説明する。
【0019】
図1及び図2に示す実施形態の滅菌装置10は、アンプル剤や注射剤のような容器入り医薬品を被検体(図示せず)としてロット毎に抽出して無菌性を確認するための無菌試験器具(図示せず)と共に用いられるものである。無菌性の確認試験は、偶発的なコンタミネーションによる疑陽性の発生を防止するために、無菌試験器具及び被検体の外表面(環境に曝される面)が滅菌された状態で行われることが望ましい。そこで、図示実施形態においては、無菌試験器具及び被検体を滅菌装置10の主チャンバ12内に収容してその内部でオゾン滅菌し、その後、続けて試験を行うこととしている。なお、無菌試験器具は、例えば日本ミリポア株式会社により販売されている「Steritest(商標)」等の従来から知られたものを使用することができる。
【0020】
図示の滅菌装置10における主チャンバ12はいわゆるグローブボックスであり、正面壁に操作用のゴム製等の非通気性手袋14が取り付けられている。この主チャンバ12の各壁は、オゾンに対して耐性がある材料、例えば塩化ビニルから作られている。また、目視により内部を確認することができるよう、少なくとも正面壁の一部、好ましくは全てのチャンバ壁が透明とされている。主チャンバの一側の側壁には、開閉扉16が設けられており、この開閉扉16を開けることで、主チャンバ12に対して無菌試験器具及び被検体等を出し入れすることができる。
【0021】
主チャンバ12の他側には、容積が主チャンバ12よりも小さな副チャンバ18が並設されている。副チャンバ18は主チャンバ12と同様に、内部でオゾン滅菌を行うものであるが、主として、滅菌・試験中に追加機材等を主チャンバ12に入れる場合に使用される。この副チャンバ18もグローブボックス型であり、手袋20を有し、各壁は、好ましくは透明な塩化ビニルから作られている。主チャンバ12と副チャンバ18とは隔壁(主チャンバ12及び副チャンバ18の共通の側壁をなすもの)22により仕切られている。この隔壁22には開閉扉24があり、必要に応じて両チャンバ12,18間を連通させることが可能となっている。また、隔壁22とは反対側の副チャンバ側壁には、追加機材等を搬入するための開閉扉26が設けられている。
【0022】
主チャンバ12及び副チャンバ18の内部にはオゾン及び蒸気が供給されるようになっている。主チャンバ12に対するオゾン及び蒸気の供給系と、副チャンバ18に対するオゾン及び蒸気の供給系とは、別個独立に制御されるものであるが、オゾン供給手段であるオゾン発生器28と、蒸気供給手段である加湿器30とについては、本実施形態では両供給系で共用している。
【0023】
主チャンバ12に対するオゾン・蒸気供給系は、主チャンバ底板に設けられた入口ポート32aと出口ポート34aとの間に接続された管路36aと、この管路36aに出口ポート34aの側から順に設けられた電動式の開閉弁(ダンパ)38a、ブロア(送風手段)40a及びミキシングチャンバ42aとを有している。また、管路36aには、開閉弁38aをバイパスするバイパス管路44aが接続されている。このバイパス管路44aには、電動式の開閉弁46a、オゾン分解器48a及び滅菌フィルタ50aが介設されている。オゾン分解器48aは、活性炭又はマンガン等のオゾン分解触媒が内包されており、ここを通ったオゾンは酸素に分解されて無害化される。
【0024】
副チャンバ18に対するオゾン・蒸気供給系も、主チャンバ18のオゾン・蒸気供給系における上記構成と同様な構成を有している。従って、ここではその詳細な説明は省略し、主チャンバ18のオゾン・蒸気供給系の構成要素と同一の参照符号を付し、その参照符号の添字にa,bを付すことで両者を区別することとする。
【0025】
両オゾン・蒸気供給系に共通なオゾン発生器28としては色々な型式のものを用いることができるが、図示実施形態のオゾン発生器28は、放電により酸素を酸化してオゾンを生成する放電式のものであり、内蔵型高周波高圧電源52のオンオフによりオゾンの発生が制御される。このオゾン発生器28には、酸素ボンベ54からの高純度の酸素ガスが管路56を通って供給されるようになっている。なお、管路56には、酸素ガスの供給のオンオフを制御する電磁式の開閉弁58、供給酸素の圧力を一定とするための減圧弁60、供給酸素の圧力を検出する圧力センサ62、及び供給酸素の流量を調整する流量調整弁64が設けられている。
【0026】
オゾン発生器28で発生されたオゾンは、酸素ボンベ54の吐出し圧力によって、管路66から2本の分岐管路68a,68bを経て各オゾン・蒸気供給系のミキシングチャンバ42a,42b内に送り込まれる。分岐管路68a,68bのそれぞれには、オゾン供給をオンオフ制御する電磁式開閉弁70a,70bが設けられている。
【0027】
また、加湿器30は、オゾン滅菌工程の際、オゾン富化空気を高湿度状態(80%RH以上)にして芽胞を開かせて死滅させるためのものであり、この実施形態では超音波加湿器が用いられている。加湿器30には、エアポンプ72から空気が滅菌フィルタ74を経て導入され、この空気をキャリアガスとして、加湿器30で発生された蒸気は管路76から分岐管路78a,78bを経て各オゾン・蒸気供給系のミキシングチャンバ42a,42b内に送り込まれる。これらの分岐管路78a,78bにも電磁式開閉弁80a,80bが設けられている。
【0028】
主チャンバ12及び副チャンバ18内のオゾン濃度を検出するために、各チャンバ12,18の内部には小径の空気取出し管82a,82bの一端が配置され、その他端は1つのオゾン濃度計84に接続されている。空気取出し管82a,82bには電磁式開閉弁86a,86bが取り付けられており、これを開閉制御することで、主チャンバ12と副チャンバ18のいずれか一方の内部空気をオゾン濃度計84に送ることができるようになっている。オゾン濃度計84の排気口にはオゾン分解器86が配設されており、オゾン濃度計84に送られたオゾン富化空気を無害化した状態で大気に放出することが可能となっている。
【0029】
オゾン・蒸気供給系の制御、すなわちオゾン発生器28の電源52、加湿器30、開閉弁38,46.58,70,80,86等の制御は制御装置88により行われる。制御装置88は、主チャンバ12及び副チャンバ18のそれぞれに設けられた温湿度センサ90a,90bからの検出信号、更にはオゾン濃度計84や操作スイッチ等の入力装置92からの検出信号が入力され、これらの信号に基づいて制御を行うよう構成されている。なお、バリデーションを容易化する目的で、温湿度センサ90a,90b及びオゾン濃度計84により検出された温度、相対湿度、オゾン濃度は記録計94により記録されることが好ましい。
【0030】
なお、図2の符号96はチャンバ12,18を載置する机であり、その内部にはオゾン・蒸気供給系の構成要素が配置されている。
【0031】
次に、上記構成の滅菌装置(無菌試験装置)10において、アンプル剤の無菌性の確認試験を行う場合について、チャンバ12,18内の相対湿度とオゾン濃度の経時的変化を示す図3を参照して説明する。
【0032】
まず、開閉扉16を開けて、主チャンバ12に無菌試験器具と最初に試験が行われるアンプル剤を入れ、副チャンバ18に、次に続けて試験されるアンプル剤と必要な交換機材ないしは追加機材を開閉扉26から入れる。また、主チャンバ12の内部と副チャンバ18の内部とを、一つのオゾン・蒸気供給系で同時に滅菌環境とするために、隔壁22の開閉扉24を開放状態とする。
【0033】
開閉扉16,26を気密に閉じたならば、主チャンバ12及び副チャンバ18の同時滅菌を開始するためのスイッチ92を投入する。スイッチ92が投入されると、制御装置88は主チャンバ12に対するオゾン・蒸気供給系のブロア40aを作動させると共に、管路36aの開閉弁38aを開として、主副両チャンバ12,18内の空気を循環させる。なお、図1に示す開閉弁38,46,58,70,80,86は全て常閉型であり、特に示さない限り閉じられているものとする。
【0034】
次いで、制御装置88は、開閉弁80aを開放すると共に、エアポンプ72及び加湿器30を作動させる。これにより、加湿器30により生成された蒸気はミキシングチャンバ42a内に導入され、循環空気と混合される。蒸気は直接、単独で主チャンバ12に送り込んでもよい。しかし、仮に加湿器30から蒸気を主チャンバ12内に直接導入した場合、循環空気の流れには乗らず、蒸気が局部的に停滞する可能性が高いが、図示実施形態の如く蒸気を循環空気に随伴させることにより、チャンバ12,18内における蒸気濃度の分布をより迅速に均一化させることができる。
【0035】
制御装置88は、常時、温湿度センサ90a,90bからの検出信号に基づきチャンバ12,18内の相対湿度を検出している。この相対湿度が規定値(例えば滅菌の絶対条件となる80%RHよりも数%高い値)に達したならば、制御装置88は開閉弁を閉じ、加湿器及びエアポンプを停止して、蒸気の供給を停止する(図3のポイントA)。この後、開閉扉16,26が開かれるまでは、チャンバ12,18は実質的に密閉された空間のまま維持され、オゾンが導入されてもその内圧は僅かに上昇するに止まるので、相対湿度が下限である80%RHを下回ることはない。
【0036】
この加湿工程の終了後、制御装置88はオゾン発生器28の電源52をオンにすると共に、開閉弁58を開けて、酸素ボンベ54から酸素ガスをオゾン発生器28に導いてオゾンを発生させる。これと同時に分岐管路68aの開閉弁70aを開くと、オゾン発生器28からのオゾンはミキシングチャンバ42a内に導入される。オゾンは、前述した蒸気と同様な効果をもって、循環空気に混合された状態でチャンバ12,18内に導入され、チャンバ12内の空気中のオゾン濃度は高まっていく。この際、空気取出し管82a,82bの開閉弁86a,86bは交互に開放され、チャンバ12,18内の空気の一部はオゾン濃度計84に送り込まれる。制御装置88はこのオゾン濃度計84からの信号に基づきオゾン濃度を検出し、その値が規定のオゾン濃度の上限値に達したところで、開閉弁70a,58を閉じ且つオゾン発生器28の電源52をオフにする(図3のポイントB)。この状態で、チャンバ12,18内に置かれたアンプル剤や無菌試験器具等の滅菌工程が開始される。
【0037】
ここで、オゾンの供給よりも先に蒸気の供給を行ったのは、蒸気を搬送するための空気に何らかの微生物が混入している可能性があるからである。
【0038】
滅菌には、規定値以上のオゾン濃度を規定の滅菌時間(例えば2時間)、保つ必要があるが、オゾンは自己分解性が高いため、空気の動きによる自己分解を抑制するために、オゾン濃度が規定値に達したならば、ブロア40aを停止することが好ましい。
【0039】
また、オゾンの自己分解によりオゾン濃度が規定の下限値(例えば1500ppm)を下回ったならば、制御装置88はその状態をオゾン濃度計84からの信号により認識し、再度、ブロア40aを作動させると共に、開閉弁70a,58を開け、オゾン発生器28の電源52をオンとし、不足のオゾンをチャンバ12,18に追加する。内部に入れた機材の種類や量によってもオゾンの自己分解の速さが異なるので、このようなフィードバック制御を用いることは重要である。
【0040】
なお、滅菌に必要なチャンバ12,18内の相対湿度の規定値、及びオゾン濃度の上限値と下限値、滅菌時間は適宜変更可能であるが、試験片の上に106個の枯草菌の芽胞を載せたものを完全に滅菌するための条件に従って設定することが好ましい。この滅菌条件は、ガス滅菌の場合のISOによる条件である。また、オゾン濃度の上限値は、過度に高くするとオゾンの強い酸化作用により機器等に悪影響を及ぼすおそれがあること、逆に低くした場合には、オゾンの自己分解により短時間でオゾン濃度の下限値に達して頻繁に開閉弁の開閉等を行う必要性が生ずること等を考慮して定めるべきである。
【0041】
加湿工程中及び滅菌工程中、エアポンプ72や酸素ボンベ54による吐出し圧力によってチャンバ12,18内部は陽圧となる。このため、図2に示すようにゴム手袋14,20が裏返ってチャンバ12,18の外側に突出すると共に、ピンと張った状態となる。この状態においては、ゴム手袋14,20のチャンバ側の表面に十分な蒸気とオゾンが接するため、ゴム手袋14,20の滅菌も完全に行われる。
【0042】
規定の滅菌時間が経過したならば、隔壁22の開閉扉24を閉じ、主チャンバ12内で無菌性の確認試験を行う。この確認試験では、アンプル内の医薬品や試薬にオゾンが混入するのを防止するために、主チャンバ12内のオゾン富化空気を無菌且つほぼ通常の組成の空気にする必要がある。そこで、制御装置88は、開閉弁38aを閉じ、開閉弁46aを開け、更にブロワ40aを作動させることとしている。これにより、主チャンバ12内のオゾン富化空気はオゾン分解器48aを通って循環し、極めて短時間のうちにオゾンを酸素に分解し、無菌状態の通常の空気に戻すことができる。主チャンバ12内のオゾン濃度が規定値を下回ったならば、ブロア40aが停止され、続けて所望の試験を行うことが可能となる(図3のポイントC)。試験はゴム手袋14を介して外部から行われる。
【0043】
無菌性の確認試験が終了したならば、アンプルや無菌試験器具の菌培養容器等の使用済み機材を外部に搬出する。この搬出は主チャンバ12の開閉扉16を用いて行ってもよい。しかしながら、開閉扉16が開放されると、主チャンバ12内を再度滅菌しなければならない。そこで、無菌であると確認された場合には、隔壁22の開閉扉24を開けて、使用済み機材を主チャンバ12から副チャンバ18に移し、副チャンバ18で既に滅菌された交換機材ないしは追加機材、アンプル剤を主チャンバ12に移す。そして、開閉扉24を閉じた後、副チャンバ18の側壁の開閉扉26を開け、そこから使用済み機材等を外部に搬出する。このような手順を経ることで、主チャンバ12に新たに搬入されたアンプル剤や機材等はそれ以上の滅菌を行う必要はなく、すぐに無菌性の確認試験を実行することが可能となる。また、副チャンバ18には次の試験のための機材や被検体を入れ、主チャンバ12内での試験と並行して、上述したのと同様な手順に従って副チャンバ18のオゾン・蒸気供給系を制御し、副チャンバ18内で滅菌を行うことが有効である。
【0044】
なお、無菌性試験で菌の存在が確認された場合には、副チャンバ18に使用済み機材等を移動させると、副チャンバ18内で滅菌された機材等を汚染するおそれがあるので、主チャンバ12の開閉扉16から機材等を取り出すこととなる。
【0045】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【0046】
例えば、上記実施形態では本発明の滅菌装置を無菌試験装置として用いているが、滅菌対象物は容器入り医薬品や試験器具に限られない。勿論、単なる滅菌装置として用いる場合には副チャンバは不要であり、チャンバの形態もグローブボックスである必要はない。
【0047】
また、本発明の滅菌装置におけるチャンバは、非殺菌物をクリーンルームに入れる場合の滅菌パスボックス等としても利用可能である。無菌動物を飼育するための飼育室内の滅菌にも使用することができるが、その場合には、飼育室自体をチャンバとし、飼育室の内壁面が滅菌対象物となるよう、オゾン・蒸気供給系を飼育室に脱着可能に構成することもできる。
【0048】
更に、上記実施形態における加湿工程及び滅菌工程における手順も適宜変更可能である。
【0049】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、滅菌が可能な環境を迅速に作ることができ、且つ、その状態を維持することができるので、滅菌の作業効率の向上を図ることができる。
【0050】
また、オゾン滅菌が完了したチャンバ内を、短時間のうちにオゾンの含まれない無菌状態の空間にすることができ、滅菌工程後の作業、例えば無菌性の確認試験等に便利である。
【0051】
更に、本発明は、オゾン滅菌自体の利点、すなわち耐性を有する菌の発生の防止、残留物の無害性、バリデーションの容易性を損なうこともない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による滅菌装置(無菌試験装置)の一実施形態を示す系統図である。
【図2】本発明による滅菌装置の全体構成を示す斜視図である。
【図3】本発明による滅菌方法の一実施形態に従った場合のチャンバ内の相対湿度とオゾン濃度の経時的変化を示すグラフである。
【符号の説明】
10…滅菌装置(無菌試験装置)、12…主チャンバ、14,20…手袋、16,24,26…開閉扉、28…オゾン発生器、30…加湿器、32…入口ポート、34…出口ポート、36…管路、38,46,58,70,80,86…開閉弁、40…ブロア、42…ミキンシグチャンバ、44…バイパス管路、48…オゾン分解器、84…オゾン濃度計、88…制御装置、90…温湿度センサ、92…入力装置。

Claims (12)

  1. チャンバ内に滅菌対象物を収容する第1ステップと、
    前記チャンバの出口ポートから前記チャンバ内の空気を吸引し、この吸引した空気を前記チャンバの入口ポートから前記チャンバ内に戻す第2ステップと、
    前記第2ステップを実行しながら、前記チャンバ内の相対湿度が規定値に達するまで蒸気を前記チャンバ内に供給する第3ステップと、
    前記第3ステップの終了後、蒸気の供給を停止した後、前記第2ステップを実行しながら、前記チャンバ内のオゾン濃度が規定の上限値に達するまでオゾンを前記チャンバ内に供給する第4ステップと、
    前記第4ステップの実行により前記チャンバ内のオゾン濃度が前記上限値に達したならば、規定時間が経過するまで前記チャンバ内のオゾン濃度を規定範囲内で維持する第5ステップと
    を含むことを特徴とする滅菌方法。
  2. 前記第3ステップにおける蒸気の供給は、前記出口ポートから吸引した空気に蒸気を随伴させて前記入口ポートから前記チャンバ内に供給することにより行うことを特徴とする請求項1に記載の滅菌方法。
  3. 前記第4ステップにおけるオゾンの供給は、前記出口ポートから吸引した空気にオゾンを随伴させて前記入口ポートから前記チャンバ内に供給することにより行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の滅菌方法。
  4. 前記第5ステップにおけるオゾン濃度の維持は、
    前記チャンバ内のオゾン濃度が前記上限値に達したならば、オゾン濃度が規定の下限値に下降するまで、前記第2ステップの実行を停止して前記チャンバ内を閉空間とすると共に、オゾンの供給を停止する第6ステップと、
    前記チャンバ内のオゾン濃度が前記下限値に達したならば、オゾン濃度が前記上限値に上昇するまで、前記第2ステップを実行しながら、オゾンを前記チャンバ内に供給する第7ステップと
    を繰り返し実行することにより行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の滅菌方法。
  5. 前記第5ステップの終了後、前記チャンバの前記出口ポートから空気を吸引し、この吸引した空気をオゾン分解器に通し前記入口ポートから前記チャンバ内に戻す第8ステップを更に含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の滅菌方法。
  6. 滅菌対象物を収容するチャンバと、
    前記チャンバに設けられた入口ポート及び出口ポート間に接続された管路と、
    前記出口ポートから前記チャンバ内の空気を吸引し、この吸引した空気を前記入口ポートから前記チャンバ内に戻すべく、前記管路に設けられた送風手段と、
    前記チャンバ内に蒸気を供給するための蒸気供給手段と、前記チャンバ内にオゾンを供給するためのオゾン供給手段と
    を備え、前記蒸気供給手段により蒸気を前記チャンバ内に供給し、前記チャンバ内の相対湿度が規定値に達したならば蒸気の供給を停止し、その後、前記オゾン供給手段によりオゾンを前記チャンバ内に供給するようになっていることを特徴とする滅菌装置。
  7. 前記送風手段と前記入口ポートの間の前記管路にはミキシングチャンバが設けられ、前記蒸気供給手段からの蒸気及び前記オゾン供給手段からのオゾンが前記ミキシングチャンバ内に供給されるようになっていることを特徴とする請求項6に記載の滅菌装置。
  8. 前記出口ポートと前記送風手段との間の前記管路にはバイパス管路が接続され、該バイパス管路にオゾン分解器が設けられており、前記出口ポートから吸引した空気を選択的に前記バイパス管路に流通させることができるようになっている請求項6又は7に記載の滅菌装置。
  9. 前記チャンバ内の相対湿度を検出する湿度検出手段と、
    前記チャンバ内のオゾン濃度を検出するオゾン濃度検出手段と、
    前記湿度検出手段により検出された相対湿度及び前記オゾン濃度検出手段により検出されたオゾン濃度に従って、前記送風手段、前記蒸気供給手段及び前記オゾン供給手段を制御する制御手段と
    を更に備えることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の滅菌装置。
  10. 無菌性の確認試験を行う無菌試験器具と、
    前記無菌試験器具を収容する主チャンバと、
    前記主チャンバに並設され、前記主チャンバ内に閉鎖可能に連通している副チャンバと、
    前記主チャンバ及び前記副チャンバのそれぞれに設けられたオゾン及び蒸気を供給するオゾン・蒸気供給系と
    を具備し、前記オゾン・蒸気供給系の各々は、
    対応の前記主チャンバ又は前記副チャンバに設けられた入口ポート及び出口ポート間に接続された管路と、
    前記出口ポートから前記対応のチャンバ内の空気を吸引し、この吸引した空気を前記入口ポートから前記対応のチャンバ内に戻すべく、前記管路に設けられた送風手段と、
    前記対応のチャンバ内に蒸気を供給するための蒸気供給手段と、
    前記対応のチャンバ内にオゾンを供給するためのオゾン供給手段と、
    前記出口ポート及び前記送風手段の間の前記管路に接続されたバイパス管路と、
    前記バイパス管路に設けられたオゾン分解器と、
    前記出口ポートから吸引した空気を前記バイパス管路に選択的に流通させる手段と、
    前記対応のチャンバ内の相対湿度を検出する湿度検出手段と、
    前記対応のチャンバ内のオゾン濃度を検出するオゾン濃度検出手段と、
    前記湿度検出手段により検出された相対湿度及び前記オゾン濃度検出手段により検出されたオゾン濃度に従って、前記送風手段、前記蒸気供給手段及び前記オゾン供給手段を制御する制御手段であり、前記蒸気供給手段を制御して蒸気を前記チャンバ内に供給し、前記チャンバ内の相対湿度が規定値に達したことを湿度検出段により検出したならば前記蒸気供給手段を制御して蒸気の供給を停止し、その後、前記オゾン供給手段を制御してオゾンを前記チャンバ内に供給するようにした前記制御手段と
    を備えることを特徴とする無菌試験装置。
  11. 前記送風手段と前記入口ポートの間の前記管路にはミキシングチャンバが設けられ、前記蒸気供給手段からの蒸気及び前記オゾン供給手段からのオゾンが前記ミキシングチャンバ内に供給されるようになっていることを特徴とする請求項10に記載の無菌試験装置。
  12. 前記主チャンバ及び前記副チャンバはグローブボックスである請求項10又は11に記載の無菌試験装置。
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