JP3560316B2 - ガスセンサとその製造方法及びガスセンサシステム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスセンサとそれを用いたガスセンサシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車等の排気ガスに含有される炭化水素（以下、ＨＣという）やＣＯ等の可燃ガス成分を検出するためのセンサとして、抵抗型センサが知られている。例えば、ＨＣやＣＯ等の可燃ガス成分検出用のものは、検出素子としてＳｎＯ２等の酸化物半導体（ｎ型）を使用し、以下の原理により測定を行う。すなわち、雰囲気中の酸素は検出素子に負電荷吸着するが、雰囲気中にＨＣやＣＯ等の可燃ガス成分が含有されていると、その吸着酸素との間で燃焼反応を起こし、該吸着酸素を離脱させる。そして、この吸着酸素の離脱に伴う検出素子の電気抵抗値変化が、雰囲気中の可燃ガス成分の濃度に依存して増減することから、これを測定することにより該可燃ガス成分の濃度を知ることができる。しかしながら、上述のような抵抗型センサにおいては、酸化物半導体による検出素子の出力が、排気ガス中に含有される酸素濃度や水蒸気濃度により変化しやすい欠点を有し、同じ可燃ガス成分濃度に対しても、排気ガス中の酸素濃度等により検出出力値が変動してしまう問題がある。
【０００３】
そこで、これを解決するために、特開平８−２４７９９５号公報には、次のような構造の可燃ガス成分の測定装置が開示されている。すなわち、該装置においてはセンシング素子が２つの処理ゾーンを有し、第一拡散律速手段を介して排気ガスを第一処理ゾーンに導き、そこで第一酸素濃度調整用ポンプ素子により酸素を汲み出して、該第一処理ゾーン内の酸素濃度を可燃ガス成分が実質的に燃焼され得ない低い値に低下させる。次に、こうして酸素濃度を低下させた気体を第二拡散律速手段を介して第二処理ゾーンに導き、第二酸素濃度調整用ポンプ素子を用いてここに酸素を汲み込むことで可燃ガス成分を燃焼させ、そのときに第二酸素濃度調整用ポンプ素子を流れる電流又は電圧の値に基づいて、可燃ガス成分量を測定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
さて、上記公報の装置においては、第二処理室内にて可燃ガス成分を電極上で燃焼させるために、第二の酸素ポンプ素子により該第二処理室内に酸素を汲み入れる構成が採用されている。そして、酸素濃淡電池素子により第二処理室内の酸素濃度を検出し、その検出起電力の値が一定となるように第二の酸素ポンプ素子を作動させたときのポンピング電流から可燃ガス成分の検出を行うようにしている。しかしながら、この構成では、可燃ガス成分の燃焼に伴い酸素濃度が変化すると、これが酸素濃淡電池素子により検出され、さらにポンピング電流の制御部にフィードバックされる形になるので、その分だけ可燃ガス成分の検出応答に遅れが生じやすい欠点がある。
【０００５】
また、上記公報の装置においては、第一処理ゾーンへ導入された排気ガス中の酸素濃度は第一酸素濃度調整用ポンプ素子により、「可燃ガス成分が実質的に燃焼され得ない低い値」に低下させられるが、この値は、公報の記載によれば具体的には１０−１４ａｔｍ以下、好ましくは１０−１６ａｔｍ以下であり、通常は１０−２０ａｔｍ程度の極めて低い値である。しかしながら、第一処理ゾーン酸素濃度をこのような低圧に設定すると、可燃ガス成分の測定精度に関係する以下に述べるような問題が引き起こされることがある。
【０００６】
すなわち、排気ガス中には、一般には炭化水素、一酸化炭素、水素といった可燃ガス成分以外に水蒸気が相当量存在し、この水蒸気量は内燃機関の運転条件等により刻々変化するのが通常である。本発明者らの検討によれば、このような排気ガスを被検ガスとして、その酸素濃度を上述のような値にまで低下させると、水蒸気の一部が水素と酸素とに分解することが判明している。分解の結果発生した酸素と水素のうち、酸素は第一酸素濃度調整用ポンプ素子により汲み出されるが、水素は排出されることなく第二処理室に運ばれ、そこで燃焼を起こす。このような状態になると、例えば可燃ガス成分として主に炭化水素を含有する被検ガスの場合は、水蒸気の分解で生じた水素の燃焼により、炭化水素濃度の測定精度が大きく影響を受けてしまうことになるのである。なお、付言すれば、上記公報に開示された測定例は全て、被検ガス中の水蒸気濃度を一定にした条件でのみ行われており、水蒸気濃度変化の影響等については全く言及されていない。
【０００７】
この場合、前述の公報に開示されているように、プロトンポンプを併設して発生した水素の汲み出しも行い、炭化水素のみを選択的に燃焼させることにより測定精度を改善することも考えられる。しかし、この方法は結局のところは水蒸気の分解による水素発生を是認した上での窮余策に過ぎないものであり、プロトンポンプを追加する分だけセンサ構造及びその制御機構が複雑化して装置価格が高騰することはいうまでもなく、またプロトンポンプにより排出しきれなかった残留水素が測定誤差を招く恐れもある。
【０００８】
また、上記したものとは別に、次のような問題もある。すなわち、近年では、大気汚染防止に対する排気ガス規制はますます強化される傾向にあり、不完全燃焼等に伴う炭化水素の発生量を抑さえるために、ガソリンエンジンあるいはディーゼルエンジン等の内燃機関は、リーンバーン作動型のものに移行しつつある。ここで、リーンバーン条件での排気ガスはストイキあるいはリッチ条件でのものより酸素濃度が高く、これに上記従来の装置を適用した場合は、酸素濃度を上述のような低い値にまで低下させるために、酸素濃度調整用ポンプ素子にかなりの負担がかかることとなる。その結果、酸素濃度調整用ポンプ素子の寿命が短くなったり、あるいは酸素濃度調整用ポンプ素子の作動パワーを上げるために、周辺の制御回路も高出力のものを用いなければならず、装置価格の高騰を招く等の問題につながる。
【０００９】
本発明の第一の課題は、排気ガス等の被測定ガス中の酸素濃度や素子温度が変動しても、該被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度を高精度で検出できて、しかも可燃ガス成分の検出応答特性に優れたガスセンサとそれを用いたガスセンサシステムとを提供することにある。また、第二の課題は、水蒸気の分解による可燃ガス成分検出精度への影響が生じにくく、またリーンバーン条件での作動にも適したガスセンサと、それを用いたガスセンサシステムとを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
本発明のガスセンサは、下記の要件を含んで構成されることを特徴とする。
▲１▼第一処理室：周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される。
▲２▼第二処理室：同じく周囲から区画されるとともに、第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる。
▲３▼酸素濃度検出素子：第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する。
▲４▼酸素濃度調整用ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を第一処理室から汲み出す又は第一処理室へ汲み込むことにより、当該第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を所定のレベルに調整する。
▲５▼酸化触媒部：第二気体流通部を介して第一処理室から第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる。
▲６▼測定用酸素供給ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を第二処理室に汲み込む。
▲７▼可燃ガス成分濃度検出素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して第二処理室から酸素を汲み出す向き（すなわち、第二処理室に面する電極側が負となる向き）に一定の電圧が印加されるようになっており、第一処理室から第二処理室内に導入された気体中の、可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される。
【００１１】
また、本発明のガスセンサシステムは、下記の要件を含んで構成されることを特徴とする。
（Ａ）ガスセンサ：下記の要件を含んで構成される。
▲１▼第一処理室：周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される。
▲２▼第二処理室：同じく周囲から区画されるとともに、第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる。
▲３▼酸素濃度検出素子：第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する。
▲４▼酸素濃度調整用ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を第一処理室から汲み出す又は第一処理室へ汲み込む。
▲５▼酸化触媒部：酸素濃度調整用ポンプ素子により酸素濃度が調整された後に第二気体流通部を介して第一処理室から第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる。
▲６▼測定用酸素供給ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を第二処理室に汲み込む。
▲７▼可燃ガス成分濃度検出素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して第二処理室から酸素を汲み出す方向に一定の電圧が印加されるようになっており、第一処理室から第二処理室内に導入された気体中の、可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される。
（Ｂ）酸素ポンプ作動制御手段：第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が所定のレベルまで減少するように酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御する。
（Ｃ）電圧印加手段：可燃ガス成分濃度検出素子に対し電圧を印加する。
（Ｄ）ポンピング電流通電手段：測定用酸素供給ポンプ素子の両電極間に、測定用酸素汲み込みのためのポンピング電流を通電する。
【００１２】
なお、本発明のガスセンサ及びガスセンサシステムが検出の対象とする可燃ガス成分としては、例えば炭化水素（ＨＣ）、一酸化炭素及び水素のうちの１種類又は２種以上からなるものを例示できる。
【００１３】
上記構成においては、被測定ガスは、第一処理室において酸素濃度調整用ポンプ素子の作動により酸素濃度が所定レベルに調整される。そして、これを第二処理室に導いて酸化触媒部の補助により可燃ガス成分を燃焼させる。可燃ガス成分濃度検出素子は、定電圧が印加された状態で上記燃焼により酸素量が変化すると、その酸素量変化に応じて出力電流を変化させるので、該出力電流の値から、もとの被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度情報を得ることができる。測定対象となる被測定ガスは、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が所定レベルに調整された後、可燃ガス成分の含有量測定が行なわれる形となるので、その検出出力が被測定ガス中に本来含まれている酸素の濃度の影響を受けにくく、可燃ガス成分濃度検出素子の出力電流の可燃ガス成分濃度に対する直線性も良好である。
【００１４】
他方、上記本発明のセンサでは、第二処理室内での可燃ガス成分の燃焼に必要な酸素は、測定用酸素供給ポンプ素子が汲み込む酸素により補われる。この測定用酸素供給ポンプ素子の役割は、前記公報の装置における第二の酸素ポンプ素子と一見類似しているようであるが、下記のような大きな違いがある。すなわち、公報の装置では第二の酸素ポンプ素子は、酸素濃淡電池素子の酸素濃度検出情報によりフィードバック制御され、かつそのポンプ電流値が可燃ガス成分濃度として取り出されていた。しかしながら、本発明のセンサでは、これに相当する測定用酸素供給ポンプ素子の役割は、第二処理室に可燃ガス成分の燃焼に必要十分な酸素を供給するに留り、可燃ガス成分濃度は可燃ガス成分濃度検出素子の電流情報に基づいて検出するようになっている。すなわち、公報の装置のようにフィードバック系を使用せず、可燃ガス成分濃度の変化が素子の電流情報変化に直接表れるので、検出の応答性に優れる利点を有しているのである。かくして、上記構成により、本発明の第一の課題が解決される。
【００１５】
なお、第二処理室への酸素の供給速度はなるべく一定であることが、可燃ガス成分濃度の正確な検出を行う上で望ましい。すなわち、測定用酸素供給ポンプ素子に通ずる電流値は一定であることが望ましい。また、可燃ガス成分濃度が高くなった場合、未燃焼の可燃ガス成分が残留したりすると測定精度を同様に低下させることにつながる。従って、第二処理室への酸素の供給速度（すなわち、測定用酸素供給ポンプ素子への通電電流値レベル）は、可燃ガス成分の必要とされる検出濃度の上限値に応じて、可燃ガス成分の燃焼が十分促進されるよう、適当な値に設定する必要がある。この場合、第二処理室における可燃ガス成分燃焼のための酸素が不足しないようにするには、可燃ガス成分濃度検出素子を流れる電流の向きが常時酸素が汲み出される向きのものとなるよう、第二処理室に酸素を幾分余剰気味に供給すること、換言すれば測定用酸素供給ポンプ素子への通電電流値レベルをやや大きめに設定することが望ましいといえる。定電流の供給レベルの好ましい数値範囲としては、例えばメタンを１０００ｐｐｍまでのレンジで測定したい場合、２０〜５０μＡである。
【００１６】
また、可燃ガス成分濃度検出素子に印加される定電圧のレベルは、第二処理室内の酸素分圧が、導入された気体中の窒素酸化物の分解が実質的に生じない範囲で調整するのがよい。これにより、窒素酸化物分解により発生する酸素の影響で、可燃ガス成分濃度の検出精度が低下することが防止できるようになる。
【００１７】
次に、上記本発明のガスセンサにおいて酸素濃度調整用ポンプ素子は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内に調整するものとすることができる。この場合、ガスセンサシステムの酸素ポンプ作動制御手段は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内で調整されるように、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御するものとする。
【００１８】
該構成のように、酸素濃度の調整により水蒸気の分解による水素発生を実質的に起こらなくすることで、該水素の燃焼による可燃ガス成分の検出精度低下を防止することができる。また、本発明のガスセンサ及びガスセンサシステムはＨＣ、特にメタンに対する選択性に優れ、メタン濃度を従来型のガスセンサよりもより正確に測定できる利点も有する。すなわち、本発明の第二の課題が解決される。
【００１９】
なお、被測定ガス中に二酸化炭素が含有される場合、これが分解されると、水蒸気の場合の水素と同様に、可燃ガス成分である一酸化炭素が発生し、この一酸化炭素の燃焼により可燃ガス成分の検出精度低下が生じる場合がある。この場合、酸素濃度調整用ポンプ素子は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、二酸化炭素の分解反応が実質的に起こらない所定の範囲に調整するものとすることがさらに望ましい。なお、二酸化炭素の分解が生ずる酸素濃度は、通常は水蒸気が分解する酸素濃度よりも低いので、水蒸気の分解が阻止される酸素濃度条件の採用により、二酸化炭素の分解も同時に阻止できる場合が多い。
【００２０】
また、酸素濃度調整用ポンプ素子は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度を１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲で調整するものとして構成することができる。この場合、ガスセンサシステムの酸素ポンプ作動制御手段は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が、１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲で調整されるように、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御するものとされる。
【００２１】
上記構成においては、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動による第一処理室内の酸素濃度到達レベルを、上述の範囲内で調整することにより、水蒸気の分解が抑制され、ガスセンサあるいはガスセンサシステムの可燃ガス成分の検出精度を高めることができる。また、調整すべき到達酸素濃度レベルが、前述の従来技術における１０−２０〜１０−１４ａｔｍと比較してはるかに高いので、例えばリーンバーン条件での測定でも酸素濃度調整用ポンプ素子への負担がかかりにくく、酸素濃度調整用ポンプ素子の寿命を延ばすことができる。また、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動パワーもそれほど高くする必要がないので、周辺の制御回路等も安価に構成できる利点がある。なお、この場合も、酸素濃度調整用ポンプ素子（あるいはその制御手段）は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内に調整するように構成することが望ましい。また、上記ガスセンサ及びガスセンサシステムにおいて、水蒸気の分解をさらに効果的に防止ないし抑制するには、導入された被測定ガスに含まれる可燃ガス成分の一部が第一電極を酸化触媒として燃焼する程度の値に第一処理室内の酸素濃度が調整されるよう、酸素濃度調整用ポンプ素子を作動させることが望ましい。
【００２２】
また、可燃ガス成分のうち、炭化水素（特に、燃焼活性のやや低いメタンなど）の選択的検出性を特に向上させたい場合には、第一処理室内の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、炭化水素よりも燃焼活性の高い成分（例えば、一酸化炭素、水素、アンモニアなど）が、検出対象となる炭化水素よりも優先的に燃焼される範囲のものとなるように調整することが望ましい。これにより、炭化水素（例えばメタン）の選択検出精度をより良好なものとすることができる。この場合の酸素濃度の範囲は、例えば後述する第一電極や第四電極の有する、各種可燃ガス成分への燃焼触媒活性によっても異なるが、１０−１２〜１０−６ａｔｍ、望ましくは１０−１１〜１０−９ａｔｍである。
【００２３】
なお、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度が１０−１２ａｔｍ未満になると、被測定ガス中に水蒸気が含有されている場合、その水蒸気の分解が顕著となり、生じた水素による可燃ガス成分の検出精度低下が著しくなる場合がある。一方、酸素濃度が１０−６ａｔｍを超えると、第一処理室内での可燃ガス成分の燃焼が著しくなり、第二処理室へ送り込まれる気体中の可燃ガス成分濃度が小さくなって、所期の検出精度が達成されなくなる場合がある。なお、上記酸素濃度は、より望ましくは１０−１１〜１０−９ａｔｍの範囲で調整するのがよい。
【００２４】
例えばガスセンサの作動温度が６５０〜７００℃程度に設定され、被測定ガス中の水蒸気濃度が５〜１５％程度の範囲で変動する場合、水蒸気及び水素と平衡する酸素の分圧の最小値は１０−１２ａｔｍ程度となり、これよりも酸素分圧が低くなると水蒸気の分解が進行して、可燃ガス成分の検出精度に影響が出るようになる。従って、この場合は、第一処理室の酸素濃度を上記分圧値よりも大きく設定することが望ましいといえる。
【００２５】
なお、本明細書において第一処理室内の酸素濃度は、特に断らない限り、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を意味するものとする。例えば被測定ガス中の可燃ガス成分の一部が燃焼して酸素を消費するような場合等においては、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度は、その燃焼消費が生ずる前の酸素濃度を必ずしも意味しない場合がある。また、第一処理室に面して可燃ガス成分の燃焼触媒となりうる多孔質電極等が存在したり、あるいは酸素濃度調整用ポンプ素子による酸素のポンピング等の要因により、第一処理室内の酸素濃度は場所によってばらつくこともある。この場合も、酸素濃度検出素子により検出される酸素濃度が、第一処理室内の酸素濃度を代表して示すものと考える。
【００２６】
上記ガスセンサ（及びセンサシステム）において、外部から第一処理室に被測定ガスを導く第一気体流通部、及び第一処理室と第二処理室とを連通させる第二気体流通部とは、その少なくとも一方を、一定の拡散抵抗のもとに気体の流通を許容する拡散規制流通部として構成することができる。このようにすることで、被検出雰囲気における被測定ガス濃度が変動しても、第一処理室ないし第二処理室に一旦導入されたガスの組成変動は、流通部の拡散抵抗に応じて定まる一定の期間は小さく抑さえられるので、可燃ガス成分の検出精度を高めることができる。具体的には、拡散規制流通部は、小孔やスリットあるいは各種絞り機構のほか、連通気孔を有する金属ないしセラミックスの多孔質体で構成することができる。
【００２７】
次に、上記ガスセンサ及びガスセンサシステムにおいては、酸素濃度検出素子は、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極が第一処理室と接するように配置された酸素濃淡電池素子とすることができる。この場合、可燃ガス成分濃度検出素子の第二処理室と接する電極を第二電極とし、測定用酸素供給ポンプ素子の第二処理室と接する電極を第三電極とし、酸素濃淡電池素子の第一処理室と接する電極を第一電極とし、酸素濃度調整用ポンプ素子の第一処理室と接する電極を第四電極として、それら第一〜第四電極は、いずれも酸素分子解離能を有する多孔質電極として構成されるととともに、第二電極及び第三電極の少なくともいずれかが、被測定ガス中の可燃ガス成分に対する酸化触媒活性を有して酸化触媒部として機能するものとして構成することができる。この場合、第一電極〜第四電極は、第一処理室よりも第二処理室において、可燃ガス成分の燃焼による酸素消費量が大きくなるように、その酸化触媒活性が調整するようにする。これにより、第一処理室内で燃焼せずに残留した可燃ガス成分の少なくとも一部を、第二処理室内では燃焼させることが確実に行えるようになり、センサの感度を高めることができる。さらに、可燃ガス成分濃度検出素子の第二処理室に面する電極（第二電極）が酸化触媒部に兼用されるため、センサないしセンサシステムの構成をより単純化できる利点がある。
【００２８】
次に、可燃ガス成分濃度検出素子の第二処理室と接する電極（第二電極）は、第二気体流通部と干渉しない位置に形成することが、可燃ガス成分の検出出力を安定化させる上で望ましい。上記電極を第二気体流通部と干渉する位置に形成した場合、第一処理室から導入された被測定ガスと既に第二処理室内に導入されているガスとが平衡に到達する前の状態で、可燃ガス成分の燃焼が起こる可能性があるが、干渉しない位置に形成した場合はこのような現象が起こりにくくなり、出力安定化を図ることができるようになるものと考えられる。
【００２９】
被検出成分が例えばＣＯあるいはＨＣの場合、酸化触媒活性が高くなるべき電極は、Ｐｔ、Ｐｄ及びＲｈのいずれかを主体とする金属（単体又は合金）、あるいはＰｔ−Ｒｈ系合金、Ｒｈ−Ｐｄ系合金、Ｐｄ−Ａｇ系合金等（以下、本明細書においては、これらを高活性金属グループという）で構成することができる。また、逆に酸化触媒活性が低くなるべきものは、Ａｕ、Ｎｉ及びＡｇのいずれかを主体とする金属（単体又は合金）、あるいはＰｔ−Ｐｄ合金、Ｐｔ−Ａｕ系合金、Ｐｔ−Ｎｉ系合金、Ｐｔ−Ａｇ系合金，Ａｇ−Ｐｄ系合金、Ａｕ−Ｐｄ系合金等（以下、本明細書において、これらを低活性金属グループという）により構成することができる。この場合、酸素濃度調整用ポンプ素子、酸素濃淡電池素子あるいは可燃ガス成分濃度検出素子の要部を構成する酸素イオン伝導性固体電解質が、後述のＺｒＯ２固体電解質である場合、低活性金属グループとしては、ＺｒＯ２固体電解質（一般的な焼成温度範囲１４５０〜１５５０℃）と同時焼成可能な材質を採用することが、センサの製造能率を向上させる上で望ましい。例えばＰｔ−Ａｕ系合金を使用する場合は、Ｐｔに対しＡｕを０．１〜３重量％の範囲で添加するのがよい。Ａｕの含有量が０．１重量％未満になると電極の酸化触媒活性が高くなりすぎる問題が生ずる場合がある。
【００３０】
一方、本発明のガスセンサにおいては、以下のような構成の電極を用いるとさらによい。具体的には、酸素濃度調整用ポンプ素子を、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極（以下、第四電極という）が第一処理室と接するように配置されたものとして構成する。そして、被検出成分が例えばＣＯあるいはＨＣの場合、その第四電極を、構成金属がＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金である多孔質金属からなる主電極層と、その主電極層を覆う形で該第四電極の表層部を構成し、構成金属がＡｕ及びＡｇのいずれかを主成分とする金属、Ｐｔ−Ａｕ系合金、Ａｕ−Ｐｄ系合金、Ｐｔ−Ａｇ系合金及びＰｔ−Ｎｉ系合金のいずれか（以下、これらを総称して不活性金属という）である多孔質金属からなる表面電極層との二層を含むものとして構成することができる。なお、本明細書において、「Ｘ−Ｙ系合金」とは、該合金に含まれるもっとも重量含有率の高い金属成分（すなわち主成分）がＸであり、２番目に重量含有率が高い金属成分がＹである合金を意味し、Ｘ−Ｙ系二元系合金、あるいはＸ−Ｙとそれ以外の合金成分とを含んだ三元系以上の合金とすることができる。
【００３１】
酸素濃淡電池素子あるいは酸素濃度調整用ポンプ素子の電極材料は、酸素分子に対する解離あるいは再結合に対する十分な触媒活性を有している必要がある。例えばＰｔ単体金属は、この点に関しては優れている材料であるが、第一処理室に面する電極の材料としては可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性も極めて高いので、これを若干緩和してやる必要がある。例えば、従来より行われているように、燃焼触媒活性の低いＡｕを２０重量％程度の範囲内で配合してＰｔ−Ａｕ合金とするのも一法であるが、Ａｕの含有量が増大すると、可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性とともに酸素分子に対する解離能も急速に低下するから、これら二つの触媒活性のバランス調整がなかなか行いにくい側面がある。
【００３２】
そこで、上記構成のように、酸素分子に対する解離能が高いＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金からなる多孔質の主電極層の表面を、可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性が低い不活性金属からなる多孔質の表面電極層にて覆う多層構造電極の採用により、酸素分子解離は良好に維持しつつ可燃ガス成分への燃焼触媒活性はなるべく小さくするという、都合のよい調整が行いやすくなる。
【００３３】
次に、表面電極層の構成金属は、ＣＯあるいはＨＣに対する燃焼触媒活性が特に小さく、酸素分子に対する解離・再結合の触媒能もある程度有しているＡｕ系の多孔質金属が本発明に好適に使用できるが、その他に例えばＡｇを主成分とする金属、Ｐｔ−Ａｕ系合金（例えばＡｕが５重量％以上）、Ｐｔ−Ｐｂ系合金（例えばＰｂが１重量％以上）、Ｐｔ−Ａｇ系合金（例えばＡｇが１重量％以上）、Ｐｔ−Ｎｉ系合金（例えばＮｉが１重量％以上）等の多孔質金属も使用できる。
【００３４】
また、表面電極層と主電極層とは、一層又は二層以上の別の層を介して間接的に接する構成とすることもできる。ただし、主電極層と表面電極層との二層構造を採用すれば、製造工程が簡略なもので済む利点がある。この場合、構成金属がＡｕを主成分とするＡｕ系金属である多孔質金属体からなる表面電極層を採用することにより、酸素分子解離は良好に維持しつつ可燃ガス成分への燃焼触媒活性を抑制する効果をとりわけ顕著に達成することができる。
【００３５】
なお、上記のような多層構造電極は、酸素濃度に対する鋭敏な応答性がそれほど要求されない酸素濃度調整用ポンプ素子側の第四電極に特に好適に採用できるが、酸素濃淡電池素子側の第一電極に用いることも不可能ではない。ただし、酸素濃淡電池素子による第一処理室中の酸素濃度の検出精度をさらに向上させるには、第一電極は、構成金属がＰｔ、Ｐｔ−Ａｕ合金又はＰｔ−Ａｇ合金で構成するのがよい。この場合、第一電極の面積を第四電極の面積よりも小さくすることにより、第一処理室内での第一電極に由来する可燃ガス成分の燃焼が抑制されるので、第一処理室内での可燃ガス成分の燃焼によるロスを小さくでき、センサの感度を一層高めることができる。
【００３６】
第一電極にＰｔ−ＡｕあるいはＰｔ−Ａｇ合金を使用する場合、ＡｕあるいはＡｇはＣＯあるいはＨＣに対する燃焼触媒活性を抑制する目的で配合される。この場合、ＡｕあるいはＡｇの含有量が１％を超えると酸素分子解離能が低くなりすぎ、酸素濃度検出能の低下につながる。他方、Ａｕあるいは含有量が０．１重量％未満になると、燃焼触媒活性の抑制効果はほとんど期待できなくなる。なお、ＡｕとＡｇとをＰｔに対して、その合計含有量が１重量％以下となるように共添加することも可能である。
【００３７】
また、可燃ガス成分のうち、炭化水素の選択的検出性を特に向上させたい場合には、第一処理室において、炭化水素よりも燃焼活性の高い成分が、検出対象となる炭化水素よりも優先的に燃焼されるようにすることが望ましい。この場合、前述のように、第一処理室内の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を調整することのほかに、該第一処理室に面する第一電極あるいは第四電極の燃焼触媒活性あるいは第一処理室内の温度も重要な因子となる。そして、第四電極の材質を、燃焼触媒活性の比較的低い上記のような多層構造の電極とする一方、第一電極を燃焼触媒活性の高いＰｔあるいはＰｔ合金で構成することにより、燃焼活性のやや低い炭化水素成分（例えばメタンなど）はあまり燃焼しない一方、それよりも燃焼活性の高い一酸化炭素、水素あるいはアンモニア等の成分は、第一電極上で優先的に燃焼し、炭化水素成分を選択的に検出するために好都合な環境を形成することができる。また、第一処理室内の温度が上昇すると、燃焼反応が進行しやすくなり、材質の異なる電極間の燃焼触媒活性にも差を生じにくくなるので、炭化水素成分の選択検出には一般には不利となる。しかしながら、第四電極を前記のような多層構造とした場合は、かなりの高温（例えば７００〜８００℃）になっても、Ｐｔ等で構成した第一電極との間に顕著な触媒活性差を付与でき、炭化水素成分の選択検出を効果的に行うことができる。
【００３８】
なお、第四電極を前記のような多層構造電極とする場合、本発明のガスセンサは以下の工程を含む方法により製造できる。
▲１▼下地電極層形成工程：酸素濃度調整用ポンプ素子に含まれる酸素イオン伝導性固体電解質層の未焼成成形体（以下、未焼成固体電解質成形体という）に対し、第四電極の主電極層の原料粉末の未焼成層（以下、主未焼成電極層という）を含んだ下地電極パターンを形成してこれを未焼成固体電解質成形体とともに一体焼成することにより、酸素イオン伝導性固体電解質層の上に主電極層を含む下地電極層を形成する。
▲２▼表面電極層形成工程：その下地電極層の上に、表面電極層の原料粉末層を形成してこれを上記一体焼成時よりも低温にて二次焼成することにより、表面電極層を形成する。原料粉末層は、例えば原料粉末のペーストを主電極層上に塗布することにより形成することができる。
【００３９】
主電極層を含む下地電極層は、Ｐｔあるいは前記組成のＰｔ−ＡｕあるいはＰｔ−Ａｇ合金のような高融点金属で構成されるので、各素子の要部を構成するジルコニア等の固体電解質セラミックと該層との同時焼成が可能である。しかしながら、表面電極層をＡｕ系金属で構成する場合、Ａｕ系金属は融点が低いことから固体電解質セラミックと同時焼成すると、多孔質状態を保持することが不可能であり、かつ下地電極層へＡｕが拡散して燃焼触媒活性を抑制する効果が達成できなくなる。そこで、表面電極層を、下地電極層と固体電解質層との一体焼成温度よりも低温で二次焼成して、下地電極層上に焼きつける工程を採用することで、このような不具合を解消でき、所期の性能の多層電極が得られる。
【００４０】
なお、二次焼成時、あるいは高温となるセンサ使用時において、表面電極層の成分（例えばＡｕ）が、主電極層中に拡散する場合がある。例えば、二次焼成前の主電極層の構成金属を実質的にＰｔからなるものとして構成していても、表面電極層側からのＡｕの拡散により、主電極層の構成金属がＰｔ−Ａｕ合金となる場合がある。この場合、表面電極層の主電極層側への拡散が進み過ぎると、表面電極層の厚さが不十分となったり、あるいは甚だしい場合には表面電極層が消失したりするといった不具合が発生することもありうる。例えば、表面電極層をＡｕを主体に構成し、主電極層をＰｔを主体に構成したい場合には、Ａｕ成分の主電極層側への過度の拡散を防止するために、二次焼成温度は８００〜１０５０℃程度に設定するのがよい。二次焼成温度が８００℃未満になると、表面電極層の燒結が不十分となり、密着不足による表面電極層の剥離等の不具合につながる場合がある。他方、二次焼成温度が１０５０℃を超えると、Ａｕ成分の拡散により表面電極層の厚さが不十分となったり、あるいは燒結が進行し過ぎて多孔質構造が損なわれ、多孔質電極として必要な酸素透過性を確保できなくなる場合がある。なお、主電極層の構成金属中にはじめから３〜１０重量％程度の範囲でＡｕを配合しておけば、Ｐｔ中へのＡｕの固溶限界が比較的小さい（８００℃で５重量％程度）ことを利用して、表面電極層から主電極層へのＡｕの拡散を抑制することができ、ひいては表面電極層の厚さ減少等の発生を効果的に防止することができる。
【００４１】
本発明のガスセンサを、酸素濃度調整用ポンプ素子を含んで構成されたポンプセルユニットと、酸素濃度検知素子、第二処理室、可燃ガス成分濃度検出素子を含んで構成されたセンサセルユニットとを各々別体に形成し、それら両ユニットを接合材を用いて互いに接合し一体化する構成としておけば、上記二次焼成工程を含んだ製造方法を合理的に実施することが可能となる。この場合、表面電極層を形成せず、下地電極層を形成した状態のポンプセルユニットを焼成により製造し、次いでそのポンプセルユニット上の下地電極層の上に二次焼成により表面電極層を形成し、これを別途焼成により製造したセンサセルユニットと一体化することによりガスセンサを得るようにする。なお、ポンプセルユニットにポンプセル側嵌合部を形成し、センサセルユニットにこれと嵌合するセンサセル側嵌合部を形成しておけば、それら両嵌合部の嵌合面においてポンプセルユニットとセンサセルユニットとを嵌合させることにより、接合時の位置決めが行いやすく、センサの製造能率を向上させることができる。
【００４２】
上記本発明のガスセンサにおいて酸素濃淡電池素子あるいは可燃ガス成分濃度検出素子は、ＺｒＯ２を主体とする酸素イオン伝導性固体電解質（ＺｒＯ２固体電解質）で構成することができる。ここで、ＺｒＯ２固体電解質を用いた酸素濃淡電池素子において、一方の電極が酸素と可燃ガス成分が混在した被測定ガスに接するようにしておき、他方の電極が一定酸素濃度の基準雰囲気に接するように配置した場合、その濃淡電池起電力は、酸素と可燃ガス成分とが過不足なく反応する存在比率で混在している組成（以下、ストイキ組成という）付近を境にして急激に変化する性質を有している。ここで、一般のガソリンエンジンあるいはディーゼルエンジンをリーンバーン条件で運転したときの、発生する被測定ガス中には可燃ガス成分の総濃度はおおむね０〜１０００ｐｐｍＣ（ｐｐｍＣは炭素当量で表した１００万分率を示す）程度のものとなる。そして、この可燃ガス成分濃度において、第一処理室で調整される被測定ガスの酸素濃度を前述の１０−６ａｔｍ（望ましくは１０−９ａｔｍ）以下の範囲に調整することで、第二処理室に導入されるガスは概ねストイキ組成か若干リッチ側の組成となり、可燃ガス成分濃度検出素子の出力を高めることができ、ひいてはガスセンサの感度を良好なものとすることが可能となる。
【００４３】
なお、上記酸素濃度調整用ポンプ素子、酸素濃淡電池素子及び可燃ガス成分濃度検出素子が上記ＺｒＯ２固体電解質で構成される場合、これを所定の作動温度に加熱するための加熱素子を設けることができる。この場合、その作動温度は、６５０〜８００℃に設定するのがよい。作動温度が８００℃を超えると、可燃ガス成分濃度検出素子の出力電流値のレベルが低くなり過ぎ、ガスセンサの感度が低下する場合がある。これは、被測定ガス中のＨＣ成分などの可燃ガス成分が、高温のため第一処理室に導入された段階で大半が燃焼してしまうためであると考えられる。一方、作動温度が６５０℃未満になると、酸素濃度調整用ポンプ素子の内部抵抗が増大して作動が不安定化し、可燃ガス成分の検出精度が損なわれる場合がある。
【００４４】
本発明のガスセンサ及びガスセンサシステムにおいては、酸素濃度検出素子は前記した通り、酸素イオン伝導性固体電解質層の両面に多孔質金属からなる電極が形成され、一方の電極（以下、第一電極という）が第一処理室と接する検出側電極とされ、他方の電極が酸素基準電極とされる酸素濃淡電池素子とすることができる。この場合、可燃ガス成分濃度検出素子において、第二処理室に接する電極（第二電極）とは異なる側の電極を、酸素濃淡電池素子の酸素基準電極と共有化させることができる。このようにすれば、酸素濃度検出素子と可燃ガス成分濃度検出素子との酸素基準電極を共通化できるのでセンサをコンパクトに構成できる。
【００４５】
より具体的には、第一処理室と第二処理室とを、酸素イオン伝導性固体電解質で構成された隔壁を挟んで互いに隣接して配置することができる。この場合、隔壁には、第一処理室と第二処理室とを連通させる第二気体流通部を形成し、厚さ方向中間部に酸素基準電極を埋設することができる。そして、隔壁の第一処理室に面する表面には第一電極を形成し、該第一電極と、酸素基準電極と、それら電極の間に挟まれた酸素イオン伝導性固体電解質の隔壁部分とが酸素濃淡電池素子を構成するようにする。また、隔壁の第二処理室に面する表面には第二電極を形成し、該第二電極と、酸素基準電極と、それら電極の間に挟まれた酸素イオン伝導性固体電解質の隔壁部分とが可燃ガス成分濃度検出素子を構成するようにする。また、第一処理室を挟んで隔壁と反対側に酸素濃度調整用ポンプ素子が配置される。これにより、全ての素子を積層形成できるため、センサを一層コンパクトに構成できる。
【００４６】
なお、酸素濃淡電池素子の酸素基準電極は、検出側電極との間にて当該酸素基準電極側に酸素が汲み込まれる方向に微小なポンピング電流が印加され、その汲み込まれた酸素により自身の内部に所定レベルの基準酸素濃度が形成される自己生成型酸素基準電極とすることができる。これにより、酸素基準電極側の酸素濃度レベルを安定化でき、より高精度の酸素濃度測定が可能となる。
【００４７】
また、酸素濃淡電池素子と可燃ガス成分濃度検出素子との間で酸素基準電極を共有化させ、かつ該酸素基準電極を自己生成型酸素基準電極として構成する場合には、第二電極と酸素基準電極との間にて、所定の範囲を超えた電流が流れることを阻止する電流制限回路を設けておくことが望ましい。具体的には、電流制限回路は、酸素基準電極から第二電極に向けて所定値を超える電流が流れることを阻止するものとして構成できる。このような電流が過大に流れると酸素基準電極側に多量の酸素が流れ込み、酸素基準電極内部の圧力が大きくなり過ぎて電極の破損を起こす等の不具合につながる場合がある。そこで、上記のような電流制限回路を設けておけば、該不具合を回避することができる。
【００４８】
他方、電流制限回路は、第二電極側から酸素基準電極に向けて所定値を超える電流が流れることを阻止するものとして構成することもできる。第二電極から酸素基準電極に向けて電流が流れるということは、両者の間に介在するのが酸素イオン伝導性固体電解質であるから、酸素基準電極から第二電極に向けて酸素が流出するということを意味する。そして、このような電流が過大に流れると酸素基準電極から多量の酸素が流出して、酸素基準電極として必要な酸素濃度が確保できなくなる。その結果、酸素濃淡電池素子の正常な作動ひいては第一処理室内の酸素濃度制御が不可能となり、センサの検出精度低下につながる。そこで、上記のような電流制限回路を設けておけば、このような不具合を回避することができる。
【００４９】
この場合、酸素基準電極と、第二電極との少なくともいずれかを、隔壁に対し第二気体流通部と干渉しない位置に形成することが望ましく、双方ともに第二気体流通部と干渉しない位置に形成すればさらによい。第二電極をこのような位置関係で配置することの利点については、前述の通りである。また、酸素基準電極を第二気体流通部と干渉しない位置関係で設けることにより、酸素基準電極内に保持された酸素が第二気体流通部を通って漏洩することが阻止され、酸素基準レベルひいては可燃ガス成分の検出出力をさらに安定化させることができる。
【００５０】
また、上記ガスセンサの酸素濃度調整用ポンプ素子を流れる電流値、すなわち酸素ポンプ電流値は、被測定ガス中の酸素濃度に応じて変化するため、該ポンプ電流値は、被測定ガス中の酸素濃度の情報を反映したものとなる。そこで、本発明のガスセンサシステムにおいては、上記ポンプ電流値に反映された被測定ガス中の酸素濃度の情報に基づいて、可燃ガス成分濃度検出素子の検出出力を補正する補正手段を設けることができる。すなわち、本発明のガスセンサシステムにおいて、可燃ガス成分濃度検出素子の検出出力は前述の通り被測定ガス中の酸素濃度を本質的に受けにくい特質を有するが、酸素濃度により検出出力に多少の変動が生ずる場合は、これを上記補正手段により補正することで、可燃ガス成分濃度の検出精度を一層向上させることが可能となる。
【００５１】
この場合、上記補正手段は具体的には、可燃ガス成分濃度検出素子の出力電流値と可燃ガス成分濃度との関係を表す出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報を、各種酸素濃度（あるいはポンプ電流値）毎に記憶する出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報記憶手段と、可燃ガス成分濃度検出素子の検出された出力電流値と、上記出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報とに基づいて、補正後の出力電流値（あるいは対応する可燃ガス成分濃度）の値を決定する補正値決定手段とを備えるものとして構成できる。これにより、検出される可燃ガス成分濃度の補正を合理的に行なうことが可能となる。
【００５２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に示すいくつかの実施例を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施例としてのガスセンサ１を示している。すなわち、ガスセンサ１は、それぞれ横長板状に形成された第一ヒータ２、酸素濃度調整用ポンプ素子３、酸素濃淡電池素子（酸素濃度検出素子）４、可燃ガス成分濃度検出素子５、測定用酸素供給ポンプ素子６及び第二ヒータ８がこの順序で積層され一体化されたものとして構成されている。また、酸素濃度調整用ポンプ素子３と酸素濃淡電池素子４との間には第一処理室９が、可燃ガス成分濃度検出素子５と測定用酸素供給ポンプ素子６との間には第二処理室１０が形成されている。また、酸素濃度調整用ポンプ素子３と酸素濃淡電池素子４との間には、スペーサ部２５が一体化されており、第一処理室がそのスペーサ部２５の空隙２５ａにより形成されるようになっている。
【００５３】
各素子３〜６及びスペーサ部２５は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質により構成されている。そのような固体電解質としては、Ｙ２Ｏ３ないしＣａＯを固溶させたＺｒＯ２が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属ないし希土類金属の酸化物とＺｒＯ２との固溶体を使用してもよい。また、ベースとなるＺｒＯ２にはＨｆＯ２が含有されていてもよい。本実施例では、Ｙ２Ｏ３ないしＣａＯを固溶させたＺｒＯ２固体電解質セラミックが使用されているものとする。一方、第一及び第二ヒータ２，８は、公知のセラミックヒータで構成されており、各素子３〜６を所定の作動温度（６５０〜８００℃）に加熱する役割を果たす。そして、各素子３〜５及び測定用酸素供給ポンプ素子６の境界部分には、Ａｌ２Ｏ３等を主体とした絶縁層（図３に示す絶縁層２６０等：図１では示さず）が介挿されている。このような積層一体化されたセンサの構造は、上記各素子３〜６となるべきセラミックグリーンシート（セラミック成形体）を積層して焼成することにより製造することができる。
【００５４】
次に、第一処理室９の両側壁部分には、該第一処理室９と外部の被測定空間とを連通させる第一気体流通部１１が形成されている。図１（ｂ）に示すように、第一気体流通部１１は、第一処理室９の幅方向両側において酸素濃度調整用ポンプ素子３と酸素濃淡電池素子４との間にまたがる形態で形成されるとともに、第一処理室９の側縁に沿って酸素濃度調整用ポンプ素子３ないし酸素濃淡電池素子４の長手方向に延びており、多孔質Ａｌ２Ｏ３焼成体等により連通気孔を有する多孔質セラミック体として構成されている。これにより、該第一気体流通部１１は、外部からの被測定ガスを一定の拡散抵抗のもとに第一処理室９内に導く拡散規制流通部として機能する。
【００５５】
次に、酸素濃淡電池素子４と可燃ガス成分濃度検出素子５とは互いに重ね合わされるとともに、第一処理室９と第二処理室１０とに挟まれた部分は、酸素イオン伝導性固体電解質で構成された隔壁１２となっている。換言すれば、上記２つの処理室９，１０は、該隔壁１２を挟んで隣接して配置されている。そして、この隔壁１２には、第一処理室９と第二処理室１０とを連通させる第二気体流通部１３が形成されており、その厚さ方向中間部には酸素基準電極１４が埋設されている。第二気体流通部１３も、第一気体流通部１１と同様に多孔質セラミック体として構成されており、第一処理室９内の気体を第二処理室１０へ一定の拡散抵抗のもとに導く拡散規制流通部として機能する。なお、上記拡散規制流通部は、多孔質セラミック体（あるいは金属体）で形成する代わりに、小孔やスリットで構成してもよい。
【００５６】
隔壁１２の第一処理室９に面する表面には電極１５（以下、これを第一電極１５と称する）が形成されており、酸素濃淡電池素子４の要部は、該第一電極１５と、酸素基準電極１４と、それら電極１５，１４の間に挟まれた隔壁部分１２ａとによって構成されている。一方、隔壁１２の第二処理室１０に面する表面には電極１６（以下、これを第二電極と称する）が形成されており、該第二電極１６と、酸素基準電極１４と、それら電極１６，１４の間に挟まれた隔壁部分１２ｂとが可燃ガス成分濃度検出素子５の要部を構成している。なお、電極１５，１４は、酸素濃淡電池素子４の長手方向において互いにずれた位置関係で形成されている。
【００５７】
また、酸素濃度調整用ポンプ素子３にも、その両面に電極１９，２０（以下、前者を特に第四電極１９と称する）がそれぞれ形成されている。他方、測定用酸素供給ポンプ素子６には、酸素濃度調整用ポンプ素子３とほぼ同様に、第二処理室１０に面する側とこれと反対側にそれぞれ電極１７，１８が形成される（以下、前者を特に第三電極１７と称する）。
【００５８】
上記各電極１４〜２０はいずれも、各素子３〜６を構成する固体電解質層へ酸素を注入するための酸素分子の解離反応、及び該固体電解質から酸素を放出させるための酸素の再結合反応に対する可逆的な触媒機能（酸素解離触媒機能）を有するものとされている。その材質であるが、第一処理室９に面する２つの電極、すなわち酸素濃度調整用ポンプ素子３の電極１９と酸素濃淡電池素子４の第一電極１５とは、第二処理室１０に面する電極、すなわち可燃ガス成分濃度検出素子５の第二電極１６よりも、メタン等の被検出成分の酸化（すなわち燃焼）の触媒活性が小さくなるように選定されている。このような多孔質電極は、例えば上記金属ないし合金の粉末と、下地となる固体電解質セラミックとの密着強度を向上させるために該下地と同材質の固体電解質セラミック粉末を適量配合してペーストを作り、これを用いて下地となるべきセラミックグリーンシート上に電極パターンを印刷形成して、一体焼成することにより形成される。
【００５９】
なお、図１に示すように、各素子３〜６の各電極１４〜２０からは、素子の長手方向に沿ってガスセンサ１の取付基端側に向けて延びる電極リード部１４ａ〜２０ａがそれぞれ一体に形成されており、該基端側において各素子３〜６には接続端子１４ｂ〜２０ｂの一端が埋設されている。そして、図２に示すように、各接続端子（２０ｂ）は、金属ペーストの焼結体として素子の厚さ方向に形成された導通部（２０ｃ）により、電極リード部（２０ａ）の末端に対して電気的に接続されている（図では、電極リード部２０ａの場合について代表させて示している）。
【００６０】
なお、図１に示すように、酸素基準電極１４と可燃ガス成分濃度検出素子５の第二電極１６とは、第二気体流通部１３と干渉しない位置に形成されている。これにより、可燃ガス成分の検出出力をより安定化させることができる。一方、酸素濃淡電池素子４の第一電極１５は、第二気体流通部１３と重なりを有する位置に形成され、該第二気体流通部１３に対応する位置には、気体の流通を確保するために貫通穴１５ｈが形成されている。
【００６１】
次に、図３（ｂ）に示すように、第一処理室９及び第二処理室１０の少なくとも一方、例えば本実施例では第二処理室１０には、焼成時の処理室空間の潰れを防止する支柱部２１０が、散点状あるいは千鳥状に形成されている。すなわち、図３（ａ）に示すように、可燃ガス成分濃度検出素子５となるべきセラミックグリーンシート２２０と、同じく測定用酸素供給ポンプ素子６となるべきセラミックグリーンシート２３０との各々の対向面において第二処理室１０に予定された領域に、セラミック粉末ペースト（例えば多孔質Ａｌ２Ｏ３粉末ペースト）を用いて、支柱部２１０となるべき支柱部パターン２６６ａ及び２６６ｂを形成する。また、その支柱部パターン２６６ａ及び２６６ｂと重なりを生じない位置において同じく該第一処理室９に予定された領域に、焼成時に燃焼ないし分解する材質の粉末ペースト（例えばカーボンペースト）により補助支持パターン２６７ａ及び２６７ｂを形成する。さらに、上記第一処理室９に予定された領域を除く他の領域には、絶縁層パターンとしての貼合わせコート２６９がＡｌ２Ｏ３粉末ペースト等により支柱部パターン２１０の高さよりも小さい厚さで形成される。
【００６２】
これを焼成することにより、図３（ｂ）に示すように、可燃ガス成分濃度検出素子５と測定用酸素供給ポンプ素子６との間においては、補助支持パターン２６７ａ及び２６７ｂが消失するとともに、上記支柱部パターン２６６ａ，２６６ｂが焼成により一体化して支柱部２１０が形成される。また、この支柱部２１０により大きさが規定された形で第二処理室１０が形成される。一方、第二処理室１０を除く他の領域においてそれら可燃ガス成分濃度検出素子５と測定用酸素供給ポンプ素子６とは、貼合わせコート２６９に基づく絶縁層２６０を介して互いに接合される。
【００６３】
ここで、図４に示すように、支柱部パターン２６６ａ，２６６ｂと、補助支持パターン２６７ａ，２６７ｂとは平面をほぼ埋め尽くすように相補的に形成され、例えば図３（ａ）のグリーンシート２２０及び２３０を互いに積層した際に、補助支持パターン２６７ａ，２６７ｂによる補強効果に基づき、支柱部パターン２６６ａ，２６６ｂが両者の間で潰れることが防止ないし抑制される。また、図３（ａ）に誇張して示すように、貼合わせコート２６９が２６６ａ，２６６ｂの合計厚さよりもかなり薄く形成されていたとしても、グリーンシート２２０及び２３０は柔軟であり、グリーンシート２２０及び２３０が少し橈むことで、両者は貼合わせコート２６９を介して密着でき、焼成により支障なく一体化することができる。
【００６４】
次に、図１に示すようにセンサ１の全体が、そのスペーサ部２５と酸素濃淡電池素子４との間で二分され、図５に示すように、酸素濃度調整用ポンプ素子３が含まれる側がポンプセルユニット１１１、酸素濃淡電池素子４（酸素濃度検知素子）及び第二処理室１０、可燃ガス成分濃度検出素子５及び測定用酸素供給ポンプ素子６の含まれる側がセンサセルユニット１１２となっている。これらポンプセルユニット１１１とセンサセルユニット１１２とは第四電極１９と第一電極１５とが対向するように互いに積層されるとともに、その積層面においてガラス等の接合材により接合・一体化される。また、ポンプセルユニット１１１の積層面には、その幅方向両側においてその縁に沿う形でリブ状の嵌合凸部１１１ａ，１１１ａ（ポンプセル側嵌合部）が形成され、これがセンサセルユニット１１２側の対応する位置に形成された嵌合凹部１１２ａ，１１２ａ（センサセル側嵌合部）と嵌合し、積層の位置決めがなされている。
【００６５】
次に、第四電極１９は、図６（ａ）に示すように、構成金属がＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金（本実施例では、その略全体がＰｔからなるものとする）である多孔質金属体からなる主電極層１５１と、電極表層部を構成し、構成金属がＡｕを主体とするＡｕ系金属（本実施例では、実質的にその全体がＡｕからなるものとする）である多孔質金属体からなる表面電極層１５２とからなる二層構造を有するものとなっている。他方、図１において第一電極１５は、第四電極１９以外の他の電極とともに、構成金属がＰｔ又はＡｕ含有量１重量％以下のＰｔ−Ａｕ合金（本実施例では、その略全体がＰｔからなるものとする）である多孔質金属として構成されている。
【００６６】
酸素分子に対する解離能が高いＰｔからなる多孔質の主電極層１５１の表面を、可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性が低いＡｕからなる多孔質の表面電極層１５２にて覆うことにより、第一処理室内において、酸素分子解離は良好に維持しつつ可燃ガス成分への燃焼触媒活性を小さくできるので、ＨＣ等の可燃ガス成分からなる被検出成分のロスを少なくでき、センサ感度を向上させることができる。なお、主電極層１５１の構成金属の実質的にほぼ全体がＰｔからなり、同じく表面電極層１５２の構成金属の実質的にほぼ全体がＡｕからなる場合、第四電極１９全体におけるＰｔの重量含有量をＷＰｔ、同じくＡｕの重量含有量をＷＡｕとして、｛ＷＡｕ／（ＷＰｔ＋ＷＡｕ）｝×１００の値が２〜２０重量％、好ましくは３〜１０重量％となっているのがよい。該値が２重量％未満では、第四電極１９の燃焼触媒活性を十分に小さくできなくなり、センサの感度低下につながる場合がある。他方、該値が２０重量％を超えると、第四電極１９の酸素分子の解離・再結合反応に対する触媒能が小さくなり過ぎ、酸素濃度調整用ポンプ素子３の機能が不十分となる場合がある。
【００６７】
主電極層１５１上に表面電極層１５２を形成する方法としては、例えば図６（ｂ）に示すように、表面電極層１５２の材料粒子を含んだペーストを、焼成済の主電極層１５１上に塗付して、その主電極層１５１の焼成温度よりも低温で焼成する方法により形成することができる。他方、同図（ｃ）に示すように、真空蒸着やスパッタリング等の気相製膜法により表面電極層１５２を形成することができる。なお、上記図６（ｂ）ないし（ｃ）に示すように、多孔質に形成された主電極層１５１には、多数の空隙Ｐが入り組んで形成されているため、表面電極層１５２がそのような空隙Ｐの内面奥深くにまで必ずしも形成されない場合もありうる。これにより、主電極層１５１には表面電極層１５２で覆われない露出部が形成されることとなるが、この露出部は酸素分子に対する解離・再結合反応に対しては強い触媒活性を示すので、酸素濃度調整用ポンプ素子の機能確保上はむしろ望ましいことともいえる。
【００６８】
以下、図１及び図５に示すポンプセルユニット１１１とセンサセルユニット１１２との製造方法の一例を、図７及び図８を参照して説明する。まず、図７は、ポンプセルユニット１１１を製造するための第一未焼成組立体２１１の積層構造を示している。第一未焼成組立体２１１は、酸素濃度調整用ポンプ素子３の本体となるべきＺｒＯ２グリーンシート（以下、単にグリーンシートともいう）２２０を主体とする第一部分２１１ａと、スペーサ部２５となるべきグリーンシート２３１を主体とする第二部分２１１ｂとを含んでいる。グリーンシートは、ＺｒＯ２粉末を有機バインダ等の成形助剤及び有機溶媒とともに混練した生素地をシート状に加工して作られるものである。
【００６９】
第一部分２１１ａにおいては、グリーンシート２２０の両面の、電極２０，１９（図１）の形成が予定された部分を除く領域に、リード部２０ａ，１９ａと酸素濃度調整用ポンプ素子３との間を絶縁するための絶縁コート（絶縁層パターン）２２１及び２２２がＡｌ２Ｏ３ペースト等を用いて形成される。それら絶縁コート２２１及び２２２を形成した後、電極２０，１９（ただし、後者は主電極層１５１（図５）のみ）及びリード部２０ａ，１９ａを形成するための電極パターン２２３及び２２４ａがＰｔペースト等により印刷形成される。また外側電極２０となる側の電極パターン２２３の上には保護用のオーバーコート２２５がＡｌ２Ｏ３ペースト等により形成される。
【００７０】
他方、第二部分２１１ｂにおいては、グリーンシート２３１の両面に絶縁コート２３０，２３２が同様に形成され、そのグリーンシート２３１への積層側の面には、第一の気体流通部１１を形成するためのパターン２２９が多孔質Ａｌ２Ｏ３粉末ペーストにより形成されている。また、グリーンシート２３１の反対側の面には、嵌合凸部１１１ａ，１１１ａを形成するためのグリーンシート２３４が、貼合わせコート２３３（アルミナペーストからなる）を用いて接合されている。
【００７１】
上記第一部分２１１ａと第二部分２１１ｂとは、各電極２０，１９の端子部となるべきＰｔ−Ｒｈ合金線２２７ａ，２２７ｂの端部を挟み込んだ形で、貼合わせコート２２８により積層・一体化される。そして、上記第一未焼成組立体２１１を焼成することにより、第四電極１９の表面電極層１５２（図６）が未形成の状態のポンプセルユニットが得られる。そして、図７に示すように、Ａｕ粉末ペーストを用いてパターン２２４ｂを、焼成済の主電極層の対応する位置にペースト印刷し、さらにセラミックスの焼成温度より低い温度（例えば８５０〜１０００℃）で焼き付けて二次メタライズ処理することにより、多層構造の第四電極１９が形成されてポンプセルユニット１１１が完成する。
【００７２】
次に、図８は、センサセルユニット１１２を製造するための第二未焼成組立体２１２の積層構造を示している。第二未焼成組立体２１２は、酸素濃淡電池素子４の要部となるグリーンシート２３８及び可燃ガス成分濃度検出素子５の要部となるグリーンシート２４４とを主体とする第一部分２１２ａと、測定用酸素供給ポンプ素子６となるべきグリーンシート２５３を主体とする第二部分２１２ｂとを含んでいる。
【００７３】
第一部分２１２ａにおいては、グリーンシート２３８の両面の、電極１５，１４（図１）の形成が予定された部分を除く領域に、リード部１５ａ，１４ａと酸素濃淡電池素子４との間を絶縁するための絶縁コート２３７，２３９が形成される。それら絶縁コート２３７，２３９を形成した後、電極１５，１４及びリード部１５ａ，１４ａを形成するための電極パターン２３６及び２４０がＰｔペースト等により印刷形成される。またグリーンシート２４４の両面には絶縁コート２４３，２４５が施され、グリーンシート２３８の積層側と反対の面に電極１６及びリード部１６ａを形成するための電極パターン２４６が形成される。そして、グリーンシート２３８の積層側の面は貼合わせコート２４１によりグリーンシート２３８側に接合される。なお、グリーンシート２３８及び２４４には、第二の気体流通部１３を形成するための貫通孔２３８ａ及び２４４ａが孔設されており、ここにパターン２４２の印刷により多孔質Ａｌ２Ｏ３粉末ペーストが充填されている。また、グリーンシート２３８の幅方向両縁部は、嵌合凹部１１２ａ（図５）を形成するために切り欠かれている。
【００７４】
他方、第二部分２１２ｂにおいては、グリーンシート２５３の両面に絶縁コート２５２，２５４が形成され、そのグリーンシート２５３への積層側の面には、第三電極１７（図１）を形成するためのパターン２５１がＰｔペースト等により印刷形成される。そして、そのさらに上側には、第二処理室１０を形成するために、図４等に示したものと同様に、支柱部となるべき支柱部パターン２５０と補助支持パターン２４９とが形成されている。他方、グリーンシート２５３の反対側の面には電極１８を形成するためのパターン２５５がＰｔペースト等により印刷形成され、さらにアルミナペーストによるオーバーコート２５６が施される。
【００７５】
上記第一部分２１２ａと第二部分２１２ｂとは、各電極１４〜２０の端子部となるべきＰｔ−Ｒｈ合金線２４７ａ，２４７ｂ，２４７ｃの端部を挟み込んだ形で、貼合わせコート２４８により積層・一体化される。そして、上記第二未焼成組立体２１２を焼成することにより、図５のセンサセルユニット１１２が得られる。
【００７６】
以下、上記ガスセンサ１を使用したガスセンサシステムの構成例について説明する。
図９は、ガスセンサ１を用いたガスセンサシステム（以下、単にセンサシステムという）の一例の電気的構成を示すブロック図である。すなわち、該センサシステム５０は、上記ガスセンサ１と、マイクロプロセッサ５２と、ガスセンサ１とマイクロプロセッサ５２とを接続する周辺回路５１とから構成されている。マイクロプロセッサ５２は、出力変換部の要部を構成するものであり、出入力インターフェースとしてのＩ／Ｏポート５６と、これに接続されたＣＰＵ５３、ＲＡＭ５４、ＲＯＭ５５等により構成されている。ＲＡＭ５４には、ＣＰＵ５３のワークエリア５４ａと、被検出成分の濃度算出値の格納エリア５４ｂとが形成されている。また、ＲＯＭ５５には、センサシステム５０の被検出成分の出力値決定の演算とその出力制御を司る制御プログラム５５ａと、該制御プログラム５５ａが使用するＨＣ濃度変換テーブル５５ｂとが格納されている。なお、ＣＰＵ５３は、ＲＯＭ５５に格納された制御プログラム５５ａにより、濃度決定手段の主体をなす。
【００７７】
上記ガスセンサシステム５０におけるガスセンサ１の作動の概略は以下の通りである。すなわち、ガスセンサ１は図１に示す第一ヒータ２及び第二ヒータ８（いずれか一方を省略してもよい）により、所定の作動温度、すなわち各素子３〜６を構成するＺｒＯ２固体電解質が活性化する温度まで加熱され、その状態で気体流通部１１を通って第一処理室９に被測定ガスとしての排気ガスが導入される。この導入された排気ガス中の酸素濃度は酸素濃淡電池素子４により検出され、酸素濃度調整用ポンプ素子３はその酸素濃度が１０−１２〜１０−６ａｔｍ（望ましくは１０−１１〜１０−９ａｔｍ）の範囲で設定された所定の目標値に近づくように、より具体的には排気ガスに含まれる水蒸気の分解反応が実質的に起こらない酸素濃度目標値に近づくように、第一処理室９内の気体から酸素を汲み出すあるいは汲み込む作動をする。なお、排気ガス中の酸素濃度は、一般には上記酸素濃度目標値よりも大きいのが通常であり、この場合には酸素濃度調整用ポンプ素子３は第一処理室９内の酸素濃度を減少させる方向に作動することとなる。
【００７８】
こうして、酸素濃度が一定レベルまで減少させられた気体は第二気体流通部１３を通って第二処理室１０内に流入する。ここで、ＨＣ等の可燃ガス成分に対する酸化触媒活性が第一電極１５よりも第二電極１６の方が大きく設定されているので、第二処理室１０内に流入した気体中の可燃ガス成分は、第二電極１６を酸化触媒部として燃焼し、酸素を消費する。第二処理室１０内の酸素濃度はこの燃焼による消費量、すなわち可燃ガス成分の濃度に応じて変化する。
【００７９】
他方、測定用酸素供給ポンプ素子６は、第三電極１７側が正となるように定電流電源８０により電極１７，１８間に定電流が通電される。これにより、被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を第二処理室１０に汲み込む。本実施例では、定電流電源８０は、定電圧電源８１に対し、センサ作動温度における酸素濃度検出素子４の内部抵抗値よりも十分大きい抵抗値（例えば該内部抵抗値の５００〜５０００倍程度）を有する抵抗器８２が接続された構成のものが採用されているが、他の構成の電源を採用してもよい。なお、定電流電源８０の通電電流値は、可燃ガス成分濃度検出素子５を流れる電流の向きを常時酸素が汲み出される向きのものとするために、第二処理室１０に酸素が幾分余剰気味に供給されるよう適宜設定される。
【００８０】
次に、可燃ガス成分濃度検出素子５には、図９の直流定電圧電源７１により、電極１４，１６を介して一定の電圧ＶＣが印加されるようになっている。この電圧ＶＣの印加の極性は、第二電極１６が負となる極性、すなわち第二処理室１０から酸素を汲み出す極性にて設定される。また、ＶＣの電圧レベルは、気体中の可燃ガス成分の含有量が略ゼロの時に素子５を流れる電流値が略ゼロとなり、かつ第二処理室１０内の酸素分圧が、排気ガス中の窒素酸化物（ＮＯＸ）の分解が生じるレベルまでは低下しない範囲で設定される。
【００８１】
そして、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流値は、第二処理室１０内に導入された気体中の、可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じて変化し、当該出力電流の値から排気ガス中の可燃ガス成分の濃度を知ることができる。第二処理室１０にて燃焼消費される酸素の量が増えるほど、電圧ＶＣとは逆極性となる可燃ガス成分濃度検出素子５の濃淡電池起電力が増大する。そのため、電圧ＶＣの印加方向を正とすれば、可燃ガス成分濃度が増加するほど、素子５の出力電流値は減少することとなる。
【００８２】
以下、センサシステム５０の回路構成と作動について、図９によりさらに詳細に説明する。ガスセンサ１は、酸素濃度調整用ポンプ素子３の第一処理室９側の電極１９と、酸素濃淡電池素子４の第一電極１５とが接地される。また、酸素基準電極１４は、差動増幅器５７の一方の入力端子に接続される。また、可燃ガス成分濃度検出素子５には、前述の通り電極１４，１６を介してこれに電圧ＶＣを印加するための直流定電圧電源７１が接続されるようになっている。これにより、差動増幅器５７の上記一方の端子には、酸素濃淡電池素子４の濃淡電池起電力Ｅに上記電圧ＶＣが重畳されて入力されるようになっている。
【００８３】
一方、差動増幅器５７の他方の入力端子には酸素濃度設定目標値に対応する起電力目標値ＥＣを与えるための電源回路５８（ただし、実際の設定電圧はＥＣ＋ＶＣとなる）が接続されている。そして、差動増幅器５７は濃淡電池起電力Ｅと起電力目標値ＥＣとの差を増幅して、これを酸素濃度調整用ポンプ素子３の電極２０側に入力する。酸素濃度調整用ポンプ素子３は、差動増幅器５７からの出力を受けて、酸素濃淡電池素子４の濃淡電池起電力Ｅ（すなわち第一処理室９内の酸素濃度）が、前述の酸素濃度目標値に対応する起電力目標値ＥＣに近づく方向に、第一処理室９に対し酸素を汲み出す又は汲み込むように作動する。すなわち、増幅器５７は酸素ポンプ作動制御手段を構成する。なお、電源回路５８は、固定電圧出力により起電力目標値ＥＣを固定的に設定するものとしてもよいが、この設定値を可変に構成してもよい。
【００８４】
なお、酸素濃淡電池素子４と可燃ガス成分濃度検出素子５とは共通の酸素基準電極１４を有しているが、この酸素基準電極１４と第一電極１５（あるいは第二電極１６）との間には、定電流電源７２により、酸素基準電極側１４側へ酸素が汲み込まれる方向の微小直流電流が常時印加されている（すなわち、いわゆる自己生成型基準電極となっている）。これにより、酸素基準電極１４内の空隙は常時酸素１００％に近い基準ガスで満たされた状態となるので、酸素濃淡電池素子４及び可燃ガス成分濃度検出素子５の濃淡電池起電力が高められ、ひいてはガスセンサ１の測定精度及び感度の向上が図られている。
【００８５】
上記定電流電源７２による印加電圧のレベルは、酸素濃淡電池素子４の濃淡電池起電力Ｅの出力レベルよりも十分小さく、かつ酸素基準電極１４内の酸素濃度を１００％に十分近付けられる程度の大きさに設定される。
【００８６】
可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流は、例えば電流検出用の抵抗器７０の両端電圧の差として検出される。本実施例では、該出力電流信号は、差動増幅器６０（オペアンプ６０ａと周辺の抵抗器６０ｂ〜６０ｅとから構成される）により電圧変換した形で取り出された後、さらにＡ／Ｄ変換器７５でデジタル変換されてマイクロプロセッサ５２に入力されるようになっている。
【００８７】
次に、マイクロプロセッサ５２のＲＯＭ５５には、前述の通り制御プログラム５５ａと濃度変換テーブル５５ｂとが格納されている。図１０は、濃度変換テーブル５５ｂの内容の一例を示すものであり、可燃ガス成分濃度（例えばＨＣ濃度）の各値Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、‥‥に対応する可燃ガス成分濃度検出素子５の検出電流値Ｉｄ１、Ｉｄ２、Ｉｄ３、‥‥の値を記憶している。これらの値は、実験等により予め定められたものである。そして、図９に示すＣＰＵ５３は、制御プログラム５５ａによりＲＡＭ５４をワークエリアとして、図１１のフローチャートに示すようなセンサ出力制御を実行する。
【００８８】
すなわち、図示しないタイマーにより測定タイミングを計測し、Ｓ１において該タイミングが到来したら、Ｓ２で可燃ガス成分濃度検出素子５からの検出電流値Ｉｄのサンプリングを行う。そして、Ｓ３でそのサンプリングされた値に対応する可燃ガス成分濃度の値を、図１０の濃度変換テーブル５５ｂを参照して補間法により算出し、Ｓ４でその算出した値をＲＡＭ５４の算出値格納エリア５４ｂに格納する。なお、該エリア５４ｂに書き込まれていた値は上書き消去する。そして、Ｓ５において、そのエリア５４ｂに書き込まれた算出値を、排気ガス中の可燃ガス成分濃度の情報としてＩ／Ｏポート５６より出力する。なお、この出力はそのままデジタル出力してもよいし、Ｉ／Ｏポート５６に接続されたＤ／Ａ変換器６２でアナログ変換して出力してもよい。
【００８９】
上記ガスセンサシステム５０の構成及び作動によれば、第一処理室９において酸素濃度調整用ポンプ素子３の作動により、排気ガス中の酸素濃度が所定レベル、具体的には１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲内にある所定値に調整され、これが第二処理室１０に導かれて可燃ガス成分が燃焼する。そして、その燃焼により消費される酸素量に応じて可燃ガス成分濃度検出素子５の検出電流値Ｉｄが変化し、当該出力を排気ガス中の可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出すようにしている。ここで、酸素濃度調整用ポンプ素子３の作動により達成される第一処理室９内の上記酸素濃度到達レベルは、排気ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらないか、起こってもごく僅かな程度のものであるため、水蒸気の分解により発生した水素の燃焼による可燃ガス成分の検出精度低下が、極めて効果的に防止されることとなる。
【００９０】
以下、上記本発明のガスセンサ１あるいはガスセンサシステム５０の適用例について説明する。まず、図１２はガソリンエンジンの排気ガス浄化システムを模式的に示しており、排気管に対しエンジンに近い側から、エンジンの空燃比制御のための酸素センサ、排気ガス中のＨＣの酸化とＮＯＸの還元とを同時に行ってこれを浄化する三元触媒コンバータ、及び浄化後の排気ガス中の酸素濃度を測定するための酸素センサとしての機能（後述）を有する本発明のガスセンサ１がこの順序で取り付けられている。そして、本発明のガスセンサ１は、例えば触媒の劣化判別のために浄化後の排気ガス中のＨＣ濃度を測定するものとされている。
【００９１】
一方、図１３は、ディーゼルエンジンの排気ガス中の排気ガス浄化システムを模式的に示しており、排気管に対しエンジンに近い側から、ＨＣ源としての軽油を排気ガス中に噴射するための軽油噴射弁と、ＮＯＸ浄化触媒とがこの順序で配置されており、該ＮＯＸ浄化触媒は軽油噴射により添加されたＨＣを還元剤としてＮＯＸを窒素と酸素とに分解することによりこれを浄化する働きをなす。そして、本発明のガスセンサ１は上記ＮＯＸ浄化触媒の上流側に配置され、排気ガス中に噴射すべき軽油の量をフィードバック制御するために、軽油噴射後の排気ガス中のＨＣ濃度をモニタする役割を果たすこととなる。
【００９２】
なお、上記ガスセンサ１の酸素濃淡電池素子４及び可燃ガス成分濃度検出素子５はＺｒＯ２固体電解質で構成されている。ここで、ＺｒＯ２固体電解質を用いた酸素濃淡電池素子において、一方の電極が酸素と可燃ガス成分が混在した被測定ガスに接するようにしておき、他方の電極が一定酸素濃度の基準雰囲気に接するように配置した場合、その濃淡電池起電力は、酸素と可燃ガス成分とが過不足なく反応する存在比率で混在している組成（ストイキ組成）付近を境にして急激に変化する性質を有している。一方、一般のガソリンエンジンあるいはディーゼルエンジンをリーンバーン条件で運転したときに、発生する排気ガス中の可燃ガス成分の総濃度はおおむね０〜１０００ｐｐｍＣ程度の範囲のものとなる。そして、この可燃ガス成分濃度において、第一処理室９で調整される排気ガスの酸素濃度を前述の１０−６ａｔｍ（望ましくは１０−９ａｔｍ）以下の範囲に調整することで、第二処理室１０に導入されるガスは概ねストイキ組成か若干リッチ側の組成となるので、可燃ガス成分濃度検出素子５の濃淡電池起電力出力が高められ、ひいてはガスセンサ１の感度も良好なものとなる。
【００９３】
上記ガスセンサシステム５０においては、第一処理室９内で酸素濃度を一定レベルまで減じてから第二処理室１０内で可燃ガス成分濃度の検出を行なうようにしているから、可燃ガス成分濃度検出素子５の検出出力は排気ガス中の酸素濃度の影響を本質的に受けにくい特質を有している。しかしながら、酸素濃度により検出出力に多少の変動が生じる場合は、排気ガス中の酸素濃度に応じて可燃ガス成分濃度検出素子５の検出出力を補正するようにすれば、可燃ガス成分濃度の検出精度を一層向上させることができる。
【００９４】
この場合、排気ガス中の酸素濃度は、別途設けられた酸素センサを用いて測定してもよいが、上記ガスセンサ１の酸素濃度調整用ポンプ素子３を流れる電流値、すなわち酸素ポンプ電流値ＩＰは、排気ガス中の酸素濃度に応じてほぼ直線的に変化するため、該ポンプ電流値ＩＰにより排気ガス中の酸素濃度の情報を得るようにすれば、新たな酸素センサを設けなくて済む利点がある。
【００９５】
具体例としては例えば以下のような構成が可能である。すなわち、図９に示すように、差動増幅器５７の出力路上に電流検出用の抵抗器７３を設け、その抵抗器７３の両端電圧の形でポンプ電流値ＩＰを差動増幅器５９（オペアンプ５９ａと周辺の抵抗器５９ｂ〜５９ｅとから構成される）により検出し、これをＡ／Ｄ変換器７４を介してマイクロプロセッサ５２に入力する。そして、ＲＯＭ５５の濃度変換テーブル５５ｂは、図１４に示すように、可燃ガス成分濃度検出素子５の検出電流の各種値Ｉｄ１、Ｉｄ２、Ｉｄ３、‥‥に対応する可燃ガス成分濃度（例えばＨＣ濃度）の値の組を、各種ポンプ電流値ＩＰ（すなわち酸素濃度）の値毎に記憶した二次元テーブルとしておく。そして、測定されたポンプ電流値ＩＰと検出電流値Ｉｄの値の組に対応する可燃ガス成分濃度の値を、上記濃度変換テーブル５５ｂを参照して二次元補間法により算出し、これを補正された濃度検出値として出力する。この場合、濃度変換テーブル５５ｂの内容が出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報を構成し、ＲＯＭ５５はその記憶手段となる。また、マイクロプロセッサ５２のＣＰＵ５３は、補正手段として機能する。
【００９６】
なお、図９において、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流（すなわち、第二電極１６と酸素基準電極１４との間に流れる電流）の極性は、本来ならば第二処理室１０から酸素を汲み出す向きのもの、すなわち基準電極１４から第二電極１６へ向かうものとなるべきである。しかしながら、第二処理室１０に流れ込む気体中の可燃ガス成分濃度が極端に高くなると、第二処理室１０内での酸素の燃焼消費が進み過ぎ、可燃ガス成分濃度検出素子５に生ずる濃淡電池起電力との兼ね合いで電流が逆流してしまうことがある。
【００９７】
図１５を用いてこのことを説明する。すなわち、第二処理室１０側の酸素濃度は酸素基準電極１４内の酸素濃度よりも必ず低いから、電源７１の電圧の絶対値をＶＣ、可燃ガス成分濃度検出素子５の酸素濃淡電池起電力の絶対値をＥａとすれば、ＩｄはＶＣ−Ｅａに依存して変化する。ここで、ＶＣとＥａとが等しければＩｄはほぼゼロとなるが、第二処理室１０に流れ込む気体中の可燃ガス成分濃度が高くなって燃焼消費される酸素の量が大きくなると酸素濃淡電池起電力Ｅａが大きくなり、Ｉｄは酸素基準電極１４に向かう方向（すなわち、酸素が第二電極１６に向かう方向：以下、これをＩｄの極性が負であると定義する）に流れる。他方、可燃ガス成分濃度が低くなると、酸素濃淡電池起電力Ｅａが小さくなり、Ｉｄは第二電極１６に向かう方向（すなわち、酸素が酸素基準電極１４に向かう方向：以下、これをＩｄの極性が正であると定義する）に流れる。
【００９８】
この場合、自己生成型基準電極として構成されている酸素基準電極１４は、酸素濃淡電池素子４と可燃ガス成分濃度検出素子５との間で共有されているので、Ｉｄが負の方向に大きくなり過ぎた場合（すなわち、負のある限界値を−Ｉｄｎ（Ｉｄｎ＞０）として、Ｉｄ＜−Ｉｄｎとなった場合）は、多量の酸素が第二電極１６側に流出し、酸素基準電極として必要な酸素濃度が確保できなくなる。その結果、酸素濃淡電池素子４の正常な作動ひいては第一処理室９内の酸素濃度制御が不可能となり、センサ１の検出精度低下につながる。
【００９９】
他方、内燃機関からの排気ガス中の炭化水素濃度等を検出する場合、フューエル・カット（燃料遮断：例えば、スロットルバルブ全閉状態の減速時等において、触媒の過熱防止や燃料節約の目的で行われる）等により、測定対象となる排気ガス中の酸素濃度が極端に高くなることがある。この場合は、Ｉｄは逆に正の方向に過度に大きくなり（すなわち、正のある限界値をＩｄｐ（Ｉｄｐ＞０）として、Ｉｄ＞Ｉｄｐとなる）、多量の酸素が酸素基準電極１４側に流れ込み、酸素基準電極１４の内部圧力が大きくなり過ぎて電極の破損を起こす等の不具合につながる場合がある。
【０１００】
このような不具合を避けるためには、可燃ガス成分濃度検出素子５に対する直流定電圧電源７１による通電経路上に、Ｉｄが、−Ｉｄｎ＜Ｉｄ＜Ｉｄｐの範囲を外れて流れることを阻止する電流制限回路を設けておくことが有効である。図１５には、その回路例を示している（図９の回路と共通の部分については同一の符号を付与して詳細な説明は省略する）。この回路例では、直流定電圧電源７１による定電圧ＶＣがボルテージフォロワ１２５を介して酸素基準電極１４側が正となるように印加され、第二電極１６からの電流出力経路上に電流制限回路１２０が設けられる形となっている。また、定電流電源７２は、センサ作動温度における酸素濃淡電池素子４の内部抵抗値よりも十分大きい抵抗値（例えば該内部抵抗値の１０００〜５０００倍程度）を有する抵抗器７２ａを介して、該酸酸素濃淡電池素子に対し電源電圧ＡＶｃｃを印加するようになっている。これにより、酸素濃度検出素子４には第一処理室９側から該酸素基準電極１４側に酸素が汲み込まれる方向に、略一定の微小電流Ｉ０が印加される。
【０１０１】
電流制限回路１２０においては、第二電極１６側からの電流Ｉｄが、抵抗器１２７ａ及び１２７ｂとともに電流−電圧変換回路を構成するオペアンプ１２７（以下、電流−電圧変換回路１２７と称する）にて対応する出力電圧Ｖｄに変換され、電圧制御点ＰＣに供給される。該電圧制御点ＰＣにはツェナーダイオード１２９，１３１が接続され、各々電圧Ｖｋ及び−Ｖｋ（ただし、Ｖｋ＞０）が印加される。なお、各ツェナーダイオード１２９，１３１は、前記した電流限界値Ｉｄｎ及びＩｄｐにそれぞれ対応するツェナー電圧（Ｖｋ＋Ｖｄｎ）及び（Ｖｋ＋Ｖｄｐ）を有するものが選ばれている。なお、Ｖｋ及び−Ｖｋは、車載バッテリーを入力電圧ＶＢとして、例えばＤＣ−ＤＣコンバータ１３５により電圧調整する形で作られる。
【０１０２】
そして、制御点ＰＣの電圧がＶｄｐを超えようとした場合（すなわち、電流ＩｄがＩｄｐを超えようとした場合）はツェナーダイオード１３１が導通し、逆に−Ｖｄｎを下回ろうとした場合は、ツェナーダイオード１２９が導通する。これにより、電流値Ｉｄは、−Ｉｄｎ＜Ｉｄ＜Ｉｄｐの範囲に維持されることとなる。
【０１０３】
なお、Ｉｄ＜−Ｉｄｎとなることを防止するのみでよい場合には、双方向の電流制限回路１２０は単方向の電流制限回路にて置き換えることが可能である。また、Ｉｄ＜０となること（すなわち、酸素が酸素基準電極１４から第二電極１６側に漏れ出すこと）を阻止するのみで十分な場合には、図１６に示すように、電流制限回路１２０を該向きの電流を遮断するダイオード１２１にて置き換えることが可能である。
【０１０４】
また、酸素基準電極１４側の基準電位レベル（あるいはその空隙に保持されるガス中の酸素濃度レベル）を、測定上の支障を来たさない範囲に維持できるようであれば、ＶＣの印加極性は上記と逆、すなわち、酸素基準電極１４側から第二処理室１０側へ酸素が汲み込まれる方向に設定してもよい。また、酸素基準電極１４は隔壁１２に埋設された自己生成型の電極となっているが、例えば図１７に示すように、大気連通部を介して基準ガスとしての大気が導入される基準室ＯＲを隔壁１２に設け、この基準室ＯＲの内面に、酸素濃淡電池素子３側の酸素基準電極１４ｓと可燃ガス成分濃度検出素子５側の酸素基準電極１４ｐとを併設する形としてもよい。他方、図１８に示すように、酸素濃淡電池素子３及び可燃ガス成分濃度検出素子５のそれぞれに対応して、自己生成型として構成された個別の酸素基準電極１４ｓ，１４ｐを、例えばアルミナ等を主体とする絶縁層ＩＲに隔てられた形で、隔壁１２に埋設するようにしてもよい。これらの場合、ＶＣの印加極性は第二処理室１０側から酸素基準電極１４側へ酸素が汲み出される方向に設定しても、酸素基準電極１４側から第二処理室１０側へ酸素が汲み込まれる方向に設定しても、いずれでもよい。
【０１０５】
【実施例】
（実験例１）
図１に示すガスセンサ１において、Ｙ２Ｏ３を５重量％含有するＺｒＯ２固体電解質で各素子３〜６を構成した。各多孔質電極１４〜２０のうち、第四電極１９を除く他の電極をＰｔ−１重量％Ａｕ合金により構成した。また、第四電極１９は、Ｐｔ−１重量％Ａｕ合金により主電極層１５１（図６）をポンプセルユニット１１１との一体焼成により形成する一方、その主電極層１５１の上にＡｕペーストを塗布して二次焼成（二次焼成温度９００℃）することにより表面電極層１５２を形成して得られる二層構造電極とした。第一処理室９及び第二処理室１０は、それぞれ高さ０．０２ｍｍ、幅２２ｍｍ、長さ７ｍｍとした。また、第四電極１９の膜厚方向の断面をとり、その断面上にて電子線プローブ微小分析（ＥＰＭＡ：ただしエネルギー分散方式）による組成分析を行ったところ、第四電極１９の主電極部におけるＡｕの含有量（ＷＡｕ）が４．１重量％、同じくＰｔの含有量が９５．９重量％であり、表層にはＡｕリッチ層が確認された。
【０１０６】
他方、試験ガスとして、酸素１％又は７％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、及び可燃性ガス成分としての以下のいずれかのＨＣ成分を各種範囲で含有し、残部窒素からなるものを用意した。
＊ＨＣ成分の含有レンジ
ＣＨ４ （メタン）：０〜４００ｐｐｍＣ
Ｃ２Ｈ６（エタン）：０〜６００ｐｐｍＣ
Ｃ３Ｈ８（プロパン）：０〜２０００ｐｐｍＣ
ｉ−Ｃ４Ｈ１０（イソブタン）：０〜１２００ｐｐｍＣ
（ｐｐｍＣは、炭素当量により表示した百万分率濃度である）
そして、上記センサ１を図９のガスセンサシステム５０に組み込み、試験ガス中に該センサ１を保持して各素子３〜６が７５０℃となるようにヒータ２，８により加熱した。なお、ガス温度は３００℃であり、流量は１５リットル／分とした。また、本実施例を通じて試験ガスの分析は、ＨＣ量を水素炎イオン化分析計（Ｆｌａｍｅ Ｉｏｎｉｚｅｄ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）により、酸素量を磁気流量分析装置（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｐｎｅｕｍａｔｉｃ Ａｎａｌｙｚｅｒ）により、炭酸ガス量（あるいは後述の実験では一酸化炭素量）を非分散型赤外吸光分析装置（Ｎｏｎｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ）、一酸化窒素量を化学発光分析装置（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）により、それぞれ行っている。
【０１０７】
この状態で、ガスセンサ１を酸素濃淡電池素子４の起電力目標値ＥＣを、第一処理室９内の酸素濃度設定目標値ＰＸが１０−１１ａｔｍとなる値（約５５０ｍＶ）に設定してセンサシステム５０を作動させるとともに、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流Ｉｄがメタン濃度によりどのように変化するかを調べた。ただし、定電圧直流電源５８（図９）による可燃ガス成分濃度検出素子５への電圧ＶＣの印加レベルは３５０ｍＶとし、定電流電源８０による測定用酸素供給ポンプ素子６への通電電流レベルは１５μＡとした。該結果を図１９に示す。すなわち、本発明のガスセンサ１の出力電流Ｉｄは、いずれのＨＣ成分についても濃度により略直線的に変化しており、良好な検出能を有していることがわかる。とりわけ、メタンに対する感度は良好である。また、図２０は、酸素濃度を７％とした場合の結果であるが、同様に良好な検出能を有しており、かつ酸素濃度の影響もあまり受けていないことがわかる。
【０１０８】
なお、図３０は、二次焼成後において未使用状態の第四電極に対しＳＥＭに付属するＥＰＭＡにより調べた、Ｐｔ（（ａ））、Ａｕ（（ｂ））及びＺｒ（（ｃ））の各元素に対する断面の特性Ｘ線像（倍率：約１０００倍）である。図中、明るい部分ほど、特性Ｘ線の強度（すなわち元素濃度）が高いことを示している。（ａ）と（ｃ）とを比較することにより、ＺｒＯ２を主体とする固体電解質層の上にＰｔ多孔質からなる主電極層が厚さ約２０μｍ程度にて形成されていることがわかる。また、多孔質電極と固体電解質層との間の熱膨張率の差を小さくして電極の密着強度を向上させるために、ＺｒＯ２粉末を配合したＰｔペーストを電極原料として使用したので、主電極層中にもＺｒの特性Ｘ線の分布領域が観察される。また、（ａ）と（ｂ）とを比較することにより、主電極層の最表層部には、Ａｕを主体とする表面電極層が形成されていることがわかる。他方、主電極層に対応する領域にはＡｕの特性Ｘ線が薄く分散しているが、これは、二次焼成時に表面電極層側から主電極層側にＡｕが拡散したためであると考えられる。
【０１０９】
次に、図３１は、センサを大気中にて７８０℃にて５００時間エージングを施した後の、Ｐｔ（（ａ））、Ａｕ（（ｂ））及びＺｒ（（ｃ））の各元素に対する、第四電極の断面の特性Ｘ線像（倍率：約１０００倍）である。これによれば、図２３と比較して、Ａｕ濃度の高い表面電極層の領域が広がるとともに、該領域内のＰｔの濃度が高くなっていることがわかる。Ａｕ−Ｐｔ系平衡状態図によると、７８０℃におけるＡｕ側のＰｔの固溶限界が約２０重量％と高い一方、Ｐｔ側のＡｕの固溶限界は約５重量％と低い。そして、主電極層中の、表面電極層との界面付近のＡｕ濃度は、二次焼成により、Ｐｔ中における飽和濃度に比較的近い値まで上昇している可能性が高いと思われることから、上記のようなエージングを施すと、表面電極層側のＡｕの主電極層側への拡散は比較的鈍く、他方、主電極層側から表面電極層側へのＰｔ成分の拡散は比較的進みやくなると考えられる。
【０１１０】
その結果、Ｐｔ成分の表面電極層側へ拡散が優先的に進行して、表面電極層の領域が広がったものと推測される。なお、このエージングにより表面電極層中のＰｔ濃度は上記Ａｕに対する固溶限界程度（例えば７８０℃で２０重量％）までは増大するが、この程度の濃度までであれば、表面電極層による電極の燃焼触媒活性抑制の効果は十分に確保することができる。また、センサ使用時における表面電極層中のＰｔ濃度の経時変化が小さければ、センサ特性（例えば酸素濃淡電池素子のオフセット起電力）の経時的安定性を向上させる上で都合がよいこともある。このような場合は、センサを出荷する前に上記のようなエージングを積極的に施して、表面電極層側へのＰｔの拡散を十分進行させておくことが望ましいといえる。
【０１１１】
なお、以下のような参考実験を行っている。すなわち、電極１５及び１６をＰｔ−１重量％Ａｕ合金の多孔質電極とし、他をＰｔ多孔質電極とした同様のセンサ（実施例センサＢ）を作製した。これと、第四電極を二層構造とした前述のセンサ（実施例センサＡ）とのそれぞれについて、酸素７％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、一酸化窒素５００ｐｐｍ、及び可燃性ガス成分としてのメタンを２００ｐｐｍＣ含有し、残部窒素からなる試験ガスを用いた以外は同一の条件にてセンサを作動させたときのセンサ出力を調べた。これによると、実施例センサＢの出力電流Ｉｄの値は１μＡ程度であったのに対し、実験例センサＡの出力電流Ｉｄの値は４μＡとなり、より良好な感度が得られることがわかった。その理由として、第四電極１９を上記二層構造とすることによりメタンに対する燃焼触媒活性が和らげられ、メタンの第一処理室９内における燃焼損失が少なくなったことが考えられる。
【０１１２】
（実験例２）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気０〜１５％、炭酸ガス１０％、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２１に示す。すなわち、いずれの水蒸気濃度においても出力電流Ｉｄは概ね安定しており、特に水蒸気濃度が３〜１５％の範囲ではメタンの存在の有無によらず出力電流の変化はほとんど見られない。本発明のガスセンサ１は、検出中に水蒸気の分解をほとんど起こさないため、水蒸気濃度によらず、メタンに対して常に安定した濃度検出出力が得られるものと考えられる。
【０１１３】
（実験例３）
実験例１と同じセンサシステム５０を用い、試験ガス中のメタンを０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気３〜１５％、炭酸ガス１０％、残部窒素とした試験ガス中にガスセンサ１を配置して、各素子３〜６が６５０℃になるようにヒータ２，８により加熱した。そして、酸素濃淡電池素子４の起電力目標値ＥＣを、第一処理室９内の酸素濃度設定目標値ＰＸが１０−１５〜１０−５ａｔｍとなる各種値に設定してセンサシステム５０を作動させ、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流Ｉｄを測定した。なお、定電圧直流電源５８（図９）による可燃ガス成分濃度検出素子５への電圧ＶＣの印加レベルは３５０ｍＶとし、定電流電源８０による測定用酸素供給ポンプ素子６への通電電流レベルは１５μＡとした。
【０１１４】
図２２は、各メタン濃度に対するＩｄとＰＸとの関係を示している。ＰＸが１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲にて、いずれのメタン濃度においてもＰＸの値によらずほぼ一定のセンサ出力が得られていることがわかる。他方、ＰＸが１０−１２ａｔｍ以下の条件では、本来一定であるべきＩｄが急速に減少している（すなわち、見かけの可燃ガス成分濃度が増加している）。これは、水蒸気の分解により、可燃ガス成分である水素が多量に発生し、第二処理室で酸素を消費したためであると推測される。他方、ＰＸが１０−６ａｔｍ以上の条件では、Ｉｄが急速に増大しているが、これは第一処理室でくみ残される酸素量が急増するためであると考えられる。また、ＰＸが１０−１２〜１０−６の範囲で大きくなるほど、メタンに対する感度ΔＩｄは減少する傾向があるが、これは、酸素濃度が過剰であるため第一処理室内でメタンが燃焼し、いわば目減りしてしまうためであると考えられる。
【０１１５】
（実験例４）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素０〜１０％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２３に示す。いずれの酸素濃度においても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化していない。このことから、本発明のガスセンサ１は、被測定ガス中の酸素濃度によらず、メタンに対して常に安定した濃度検出出力が得られることがわかる。
【０１１６】
（実験例５）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス０〜１５％、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２４に示す。いずれの炭酸ガス濃度においても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。
【０１１７】
（実験例６）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、亜硫酸ガス０〜１００ｐｐｍ、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２５に示す。いずれの亜硫酸ガスにおいても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。
【０１１８】
（実験例７）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、一酸化窒素０〜１２００ｐｐｍ、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２６に示す。いずれの一酸化窒素においても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。
【０１１９】
（実験例８）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、一酸化炭素０〜１２０００ｐｐｍ、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２７に示す。一酸化炭素濃度が３０００ｐｐｍ以下では、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。また、一酸化炭素濃度が３０００ｐｐｍ以上になっても、若干センサ出力は変化しているが、概ね安定していることがわかる。ここで、一酸化炭素は可燃ガス成分であるにもかかわらず、メタンの検出出力への影響は１２０００ｐｐｍという高濃度まで小さくなっている。これは、一酸化炭素が共存する場合でも、メタンが選択検出性に優れていることを示すものである。例えば第一電極を触媒として、一酸化炭素が第一処理室内でメタンよりも優先的に燃焼することがその理由として考えられる。
【０１２０】
また、一酸化炭素に代えて、水素あるいはアンモニアを使用した場合の結果を図２８及び図２９にそれぞれ示している。これによれば、可燃ガス成分として水素あるいはアンモニアが共存する場合でも、メタンに対するセンサ出力はその影響を受けにくく、選択検出性に優れていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガスセンサの一例を示す正面断面図、及びそのＡ−Ａ断面図とＢ−Ｂ断面図。
【図２】電極リード部と端子部との接続構造の一例を示す断面図。
【図３】図１のガスセンサにおける処理室の形成方法を示す説明図。
【図４】同じく別の説明図。
【図５】図１のガスセンサを、ポンプセルユニットの裏面側の様子とともに示す分解斜視図。
【図６】その第四電極の構造を示す模式図。
【図７】図１のガスセンサのポンプセルユニットの製造方法を示す分解斜視図。
【図８】同じくセンサセルユニットの製造方法を示す分解斜視図。
【図９】図１のガスセンサを用いたガスセンサシステムの回路構成例を示すブロック図。
【図１０】濃度変換テーブルの内容例を示す説明図。
【図１１】図９のガスセンサシステムの制御プログラムの処理の流れを示すフローチャート。
【図１２】本発明のガスセンサを、ガソリンエンジンに対するＨＣ検出センサとして用いる例を示す模式図。
【図１３】本発明のガスセンサを、ディーゼルエンジンに対するＨＣ検出センサとして用いる例を示す模式図。
【図１４】濃度変換テーブルの別の例を示す説明図。
【図１５】電流制限回路を設けたセンサ周辺回路の一例を示す回路図。
【図１６】電流制限回路をダイオードにて簡略に構成した例を示す回路図。
【図１７】図１のセンサの変形例を示す断面図。
【図１８】同じく別の変形例を示す断面図。
【図１９】本発明のガスセンサを用いた実験例１の実験における、センサ出力の各種ＨＣ濃度依存性の結果を示すグラフ（酸素濃度１％）。
【図２０】本発明のガスセンサを用いた実験例１の実験における、センサ出力の各種ＨＣ濃度依存性の結果を示すグラフ（酸素濃度７％）。
【図２１】実験例２の実験における、センサ出力に及ぼす水蒸気濃度の影響を示すグラフ。
【図２２】実験例３の実験における、センサ出力に及ぼす第一処理室内の酸素濃度設定値の影響を示すグラフ。
【図２３】実験例４の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の酸素濃度の影響を示すグラフ。
【図２４】実験例５の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の炭酸ガス濃度の影響を示すグラフ。
【図２５】実験例６の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の亜硫酸ガス濃度の影響を示すグラフ。
【図２６】実験例７の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の一酸化窒素濃度の影響を示すグラフ。
【図２７】実験例８の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の一酸化炭素濃度の影響を示すグラフ。
【図２８】同じく水素濃度の影響を示すグラフ。
【図２９】同じくアンモニア濃度の影響を示すグラフ。
【図３０】実験例１で使用したセンサの第四電極断面の、ＥＰＭＡによるＰｔ、Ａｕ、Ｚｒの特性Ｘ線像（エージング前）
【図３１】実験例１で使用したセンサの第四電極断面の、ＥＰＭＡによるＰｔ、Ａｕ、Ｚｒの特性Ｘ線像（エージング後）
【符号の説明】
１ ガスセンサ
２ 第一ヒータ
３ 酸素濃度調整用ポンプ素子
４ 酸素濃淡電池素子（酸素濃度検出素子）
５ 可燃ガス成分濃度検出素子
６ 測定用酸素供給ポンプ素子
８ 第二ヒータ
９ 第一処理室
１０ 第二処理室
１１ 第一気体流通部
１２ 隔壁
１３ 第二気体流通部
１４ 酸素基準電極
１５ 第一電極
１６ 第二電極（酸化触媒部）
１７ 第三電極（酸化触媒部）
１９ 第四電極
５０ ガスセンサシステム
５１ 周辺回路
５２ マイクロプロセッサ
５３ ＣＰＵ（補正手段）
５４ ＲＡＭ
５５ ＲＯＭ
５６ Ｉ／Ｏポート
５７ 差動増幅器（酸素ポンプ作動制御手段）
７１ 直流定電圧電源（電圧印加手段）
８０ 定電流電源（ポンピング電流通電手段）
１２０ 電流制限回路
１１１ ポンプセルユニット
１１１ａ 嵌合凸部（ポンプセル側嵌合部）
１１２ センサセルユニット
１１２ａ 嵌合凹部（センサセル側嵌合部）
１５１ 主電極層
１５２ 表面電極層
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスセンサとそれを用いたガスセンサシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車等の排気ガスに含有される炭化水素（以下、ＨＣという）やＣＯ等の可燃ガス成分を検出するためのセンサとして、抵抗型センサが知られている。例えば、ＨＣやＣＯ等の可燃ガス成分検出用のものは、検出素子としてＳｎＯ２等の酸化物半導体（ｎ型）を使用し、以下の原理により測定を行う。すなわち、雰囲気中の酸素は検出素子に負電荷吸着するが、雰囲気中にＨＣやＣＯ等の可燃ガス成分が含有されていると、その吸着酸素との間で燃焼反応を起こし、該吸着酸素を離脱させる。そして、この吸着酸素の離脱に伴う検出素子の電気抵抗値変化が、雰囲気中の可燃ガス成分の濃度に依存して増減することから、これを測定することにより該可燃ガス成分の濃度を知ることができる。しかしながら、上述のような抵抗型センサにおいては、酸化物半導体による検出素子の出力が、排気ガス中に含有される酸素濃度や水蒸気濃度により変化しやすい欠点を有し、同じ可燃ガス成分濃度に対しても、排気ガス中の酸素濃度等により検出出力値が変動してしまう問題がある。
【０００３】
そこで、これを解決するために、特開平８−２４７９９５号公報には、次のような構造の可燃ガス成分の測定装置が開示されている。すなわち、該装置においてはセンシング素子が２つの処理ゾーンを有し、第一拡散律速手段を介して排気ガスを第一処理ゾーンに導き、そこで第一酸素濃度調整用ポンプ素子により酸素を汲み出して、該第一処理ゾーン内の酸素濃度を可燃ガス成分が実質的に燃焼され得ない低い値に低下させる。次に、こうして酸素濃度を低下させた気体を第二拡散律速手段を介して第二処理ゾーンに導き、第二酸素濃度調整用ポンプ素子を用いてここに酸素を汲み込むことで可燃ガス成分を燃焼させ、そのときに第二酸素濃度調整用ポンプ素子を流れる電流又は電圧の値に基づいて、可燃ガス成分量を測定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
さて、上記公報の装置においては、第二処理室内にて可燃ガス成分を電極上で燃焼させるために、第二の酸素ポンプ素子により該第二処理室内に酸素を汲み入れる構成が採用されている。そして、酸素濃淡電池素子により第二処理室内の酸素濃度を検出し、その検出起電力の値が一定となるように第二の酸素ポンプ素子を作動させたときのポンピング電流から可燃ガス成分の検出を行うようにしている。しかしながら、この構成では、可燃ガス成分の燃焼に伴い酸素濃度が変化すると、これが酸素濃淡電池素子により検出され、さらにポンピング電流の制御部にフィードバックされる形になるので、その分だけ可燃ガス成分の検出応答に遅れが生じやすい欠点がある。
【０００５】
また、上記公報の装置においては、第一処理ゾーンへ導入された排気ガス中の酸素濃度は第一酸素濃度調整用ポンプ素子により、「可燃ガス成分が実質的に燃焼され得ない低い値」に低下させられるが、この値は、公報の記載によれば具体的には１０−１４ａｔｍ以下、好ましくは１０−１６ａｔｍ以下であり、通常は１０−２０ａｔｍ程度の極めて低い値である。しかしながら、第一処理ゾーン酸素濃度をこのような低圧に設定すると、可燃ガス成分の測定精度に関係する以下に述べるような問題が引き起こされることがある。
【０００６】
すなわち、排気ガス中には、一般には炭化水素、一酸化炭素、水素といった可燃ガス成分以外に水蒸気が相当量存在し、この水蒸気量は内燃機関の運転条件等により刻々変化するのが通常である。本発明者らの検討によれば、このような排気ガスを被検ガスとして、その酸素濃度を上述のような値にまで低下させると、水蒸気の一部が水素と酸素とに分解することが判明している。分解の結果発生した酸素と水素のうち、酸素は第一酸素濃度調整用ポンプ素子により汲み出されるが、水素は排出されることなく第二処理室に運ばれ、そこで燃焼を起こす。このような状態になると、例えば可燃ガス成分として主に炭化水素を含有する被検ガスの場合は、水蒸気の分解で生じた水素の燃焼により、炭化水素濃度の測定精度が大きく影響を受けてしまうことになるのである。なお、付言すれば、上記公報に開示された測定例は全て、被検ガス中の水蒸気濃度を一定にした条件でのみ行われており、水蒸気濃度変化の影響等については全く言及されていない。
【０００７】
この場合、前述の公報に開示されているように、プロトンポンプを併設して発生した水素の汲み出しも行い、炭化水素のみを選択的に燃焼させることにより測定精度を改善することも考えられる。しかし、この方法は結局のところは水蒸気の分解による水素発生を是認した上での窮余策に過ぎないものであり、プロトンポンプを追加する分だけセンサ構造及びその制御機構が複雑化して装置価格が高騰することはいうまでもなく、またプロトンポンプにより排出しきれなかった残留水素が測定誤差を招く恐れもある。
【０００８】
また、上記したものとは別に、次のような問題もある。すなわち、近年では、大気汚染防止に対する排気ガス規制はますます強化される傾向にあり、不完全燃焼等に伴う炭化水素の発生量を抑さえるために、ガソリンエンジンあるいはディーゼルエンジン等の内燃機関は、リーンバーン作動型のものに移行しつつある。ここで、リーンバーン条件での排気ガスはストイキあるいはリッチ条件でのものより酸素濃度が高く、これに上記従来の装置を適用した場合は、酸素濃度を上述のような低い値にまで低下させるために、酸素濃度調整用ポンプ素子にかなりの負担がかかることとなる。その結果、酸素濃度調整用ポンプ素子の寿命が短くなったり、あるいは酸素濃度調整用ポンプ素子の作動パワーを上げるために、周辺の制御回路も高出力のものを用いなければならず、装置価格の高騰を招く等の問題につながる。
【０００９】
本発明の第一の課題は、排気ガス等の被測定ガス中の酸素濃度や素子温度が変動しても、該被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度を高精度で検出できて、しかも可燃ガス成分の検出応答特性に優れたガスセンサとそれを用いたガスセンサシステムとを提供することにある。また、第二の課題は、水蒸気の分解による可燃ガス成分検出精度への影響が生じにくく、またリーンバーン条件での作動にも適したガスセンサと、それを用いたガスセンサシステムとを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
本発明のガスセンサは、下記の要件を含んで構成されることを特徴とする。
▲１▼第一処理室：周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される。
▲２▼第二処理室：同じく周囲から区画されるとともに、第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる。
▲３▼酸素濃度検出素子：第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する。
▲４▼酸素濃度調整用ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を第一処理室から汲み出す又は第一処理室へ汲み込むことにより、当該第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を所定のレベルに調整する。
▲５▼酸化触媒部：第二気体流通部を介して第一処理室から第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる。
▲６▼測定用酸素供給ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を第二処理室に汲み込む。
▲７▼可燃ガス成分濃度検出素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して第二処理室から酸素を汲み出す向き（すなわち、第二処理室に面する電極側が負となる向き）に一定の電圧が印加されるようになっており、第一処理室から第二処理室内に導入された気体中の、可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される。
【００１１】
また、本発明のガスセンサシステムは、下記の要件を含んで構成されることを特徴とする。
（Ａ）ガスセンサ：下記の要件を含んで構成される。
▲１▼第一処理室：周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される。
▲２▼第二処理室：同じく周囲から区画されるとともに、第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる。
▲３▼酸素濃度検出素子：第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する。
▲４▼酸素濃度調整用ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を第一処理室から汲み出す又は第一処理室へ汲み込む。
▲５▼酸化触媒部：酸素濃度調整用ポンプ素子により酸素濃度が調整された後に第二気体流通部を介して第一処理室から第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる。
▲６▼測定用酸素供給ポンプ素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を第二処理室に汲み込む。
▲７▼可燃ガス成分濃度検出素子：酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して第二処理室から酸素を汲み出す方向に一定の電圧が印加されるようになっており、第一処理室から第二処理室内に導入された気体中の、可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される。
（Ｂ）酸素ポンプ作動制御手段：第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が所定のレベルまで減少するように酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御する。
（Ｃ）電圧印加手段：可燃ガス成分濃度検出素子に対し電圧を印加する。
（Ｄ）ポンピング電流通電手段：測定用酸素供給ポンプ素子の両電極間に、測定用酸素汲み込みのためのポンピング電流を通電する。
【００１２】
なお、本発明のガスセンサ及びガスセンサシステムが検出の対象とする可燃ガス成分としては、例えば炭化水素（ＨＣ）、一酸化炭素及び水素のうちの１種類又は２種以上からなるものを例示できる。
【００１３】
上記構成においては、被測定ガスは、第一処理室において酸素濃度調整用ポンプ素子の作動により酸素濃度が所定レベルに調整される。そして、これを第二処理室に導いて酸化触媒部の補助により可燃ガス成分を燃焼させる。可燃ガス成分濃度検出素子は、定電圧が印加された状態で上記燃焼により酸素量が変化すると、その酸素量変化に応じて出力電流を変化させるので、該出力電流の値から、もとの被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度情報を得ることができる。測定対象となる被測定ガスは、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が所定レベルに調整された後、可燃ガス成分の含有量測定が行なわれる形となるので、その検出出力が被測定ガス中に本来含まれている酸素の濃度の影響を受けにくく、可燃ガス成分濃度検出素子の出力電流の可燃ガス成分濃度に対する直線性も良好である。
【００１４】
他方、上記本発明のセンサでは、第二処理室内での可燃ガス成分の燃焼に必要な酸素は、測定用酸素供給ポンプ素子が汲み込む酸素により補われる。この測定用酸素供給ポンプ素子の役割は、前記公報の装置における第二の酸素ポンプ素子と一見類似しているようであるが、下記のような大きな違いがある。すなわち、公報の装置では第二の酸素ポンプ素子は、酸素濃淡電池素子の酸素濃度検出情報によりフィードバック制御され、かつそのポンプ電流値が可燃ガス成分濃度として取り出されていた。しかしながら、本発明のセンサでは、これに相当する測定用酸素供給ポンプ素子の役割は、第二処理室に可燃ガス成分の燃焼に必要十分な酸素を供給するに留り、可燃ガス成分濃度は可燃ガス成分濃度検出素子の電流情報に基づいて検出するようになっている。すなわち、公報の装置のようにフィードバック系を使用せず、可燃ガス成分濃度の変化が素子の電流情報変化に直接表れるので、検出の応答性に優れる利点を有しているのである。かくして、上記構成により、本発明の第一の課題が解決される。
【００１５】
なお、第二処理室への酸素の供給速度はなるべく一定であることが、可燃ガス成分濃度の正確な検出を行う上で望ましい。すなわち、測定用酸素供給ポンプ素子に通ずる電流値は一定であることが望ましい。また、可燃ガス成分濃度が高くなった場合、未燃焼の可燃ガス成分が残留したりすると測定精度を同様に低下させることにつながる。従って、第二処理室への酸素の供給速度（すなわち、測定用酸素供給ポンプ素子への通電電流値レベル）は、可燃ガス成分の必要とされる検出濃度の上限値に応じて、可燃ガス成分の燃焼が十分促進されるよう、適当な値に設定する必要がある。この場合、第二処理室における可燃ガス成分燃焼のための酸素が不足しないようにするには、可燃ガス成分濃度検出素子を流れる電流の向きが常時酸素が汲み出される向きのものとなるよう、第二処理室に酸素を幾分余剰気味に供給すること、換言すれば測定用酸素供給ポンプ素子への通電電流値レベルをやや大きめに設定することが望ましいといえる。定電流の供給レベルの好ましい数値範囲としては、例えばメタンを１０００ｐｐｍまでのレンジで測定したい場合、２０〜５０μＡである。
【００１６】
また、可燃ガス成分濃度検出素子に印加される定電圧のレベルは、第二処理室内の酸素分圧が、導入された気体中の窒素酸化物の分解が実質的に生じない範囲で調整するのがよい。これにより、窒素酸化物分解により発生する酸素の影響で、可燃ガス成分濃度の検出精度が低下することが防止できるようになる。
【００１７】
次に、上記本発明のガスセンサにおいて酸素濃度調整用ポンプ素子は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内に調整するものとすることができる。この場合、ガスセンサシステムの酸素ポンプ作動制御手段は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内で調整されるように、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御するものとする。
【００１８】
該構成のように、酸素濃度の調整により水蒸気の分解による水素発生を実質的に起こらなくすることで、該水素の燃焼による可燃ガス成分の検出精度低下を防止することができる。また、本発明のガスセンサ及びガスセンサシステムはＨＣ、特にメタンに対する選択性に優れ、メタン濃度を従来型のガスセンサよりもより正確に測定できる利点も有する。すなわち、本発明の第二の課題が解決される。
【００１９】
なお、被測定ガス中に二酸化炭素が含有される場合、これが分解されると、水蒸気の場合の水素と同様に、可燃ガス成分である一酸化炭素が発生し、この一酸化炭素の燃焼により可燃ガス成分の検出精度低下が生じる場合がある。この場合、酸素濃度調整用ポンプ素子は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、二酸化炭素の分解反応が実質的に起こらない所定の範囲に調整するものとすることがさらに望ましい。なお、二酸化炭素の分解が生ずる酸素濃度は、通常は水蒸気が分解する酸素濃度よりも低いので、水蒸気の分解が阻止される酸素濃度条件の採用により、二酸化炭素の分解も同時に阻止できる場合が多い。
【００２０】
また、酸素濃度調整用ポンプ素子は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度を１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲で調整するものとして構成することができる。この場合、ガスセンサシステムの酸素ポンプ作動制御手段は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が、１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲で調整されるように、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御するものとされる。
【００２１】
上記構成においては、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動による第一処理室内の酸素濃度到達レベルを、上述の範囲内で調整することにより、水蒸気の分解が抑制され、ガスセンサあるいはガスセンサシステムの可燃ガス成分の検出精度を高めることができる。また、調整すべき到達酸素濃度レベルが、前述の従来技術における１０−２０〜１０−１４ａｔｍと比較してはるかに高いので、例えばリーンバーン条件での測定でも酸素濃度調整用ポンプ素子への負担がかかりにくく、酸素濃度調整用ポンプ素子の寿命を延ばすことができる。また、酸素濃度調整用ポンプ素子の作動パワーもそれほど高くする必要がないので、周辺の制御回路等も安価に構成できる利点がある。なお、この場合も、酸素濃度調整用ポンプ素子（あるいはその制御手段）は、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内に調整するように構成することが望ましい。また、上記ガスセンサ及びガスセンサシステムにおいて、水蒸気の分解をさらに効果的に防止ないし抑制するには、導入された被測定ガスに含まれる可燃ガス成分の一部が第一電極を酸化触媒として燃焼する程度の値に第一処理室内の酸素濃度が調整されるよう、酸素濃度調整用ポンプ素子を作動させることが望ましい。
【００２２】
また、可燃ガス成分のうち、炭化水素（特に、燃焼活性のやや低いメタンなど）の選択的検出性を特に向上させたい場合には、第一処理室内の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、炭化水素よりも燃焼活性の高い成分（例えば、一酸化炭素、水素、アンモニアなど）が、検出対象となる炭化水素よりも優先的に燃焼される範囲のものとなるように調整することが望ましい。これにより、炭化水素（例えばメタン）の選択検出精度をより良好なものとすることができる。この場合の酸素濃度の範囲は、例えば後述する第一電極や第四電極の有する、各種可燃ガス成分への燃焼触媒活性によっても異なるが、１０−１２〜１０−６ａｔｍ、望ましくは１０−１１〜１０−９ａｔｍである。
【００２３】
なお、第一処理室内へ導入された被測定ガス中の酸素濃度が１０−１２ａｔｍ未満になると、被測定ガス中に水蒸気が含有されている場合、その水蒸気の分解が顕著となり、生じた水素による可燃ガス成分の検出精度低下が著しくなる場合がある。一方、酸素濃度が１０−６ａｔｍを超えると、第一処理室内での可燃ガス成分の燃焼が著しくなり、第二処理室へ送り込まれる気体中の可燃ガス成分濃度が小さくなって、所期の検出精度が達成されなくなる場合がある。なお、上記酸素濃度は、より望ましくは１０−１１〜１０−９ａｔｍの範囲で調整するのがよい。
【００２４】
例えばガスセンサの作動温度が６５０〜７００℃程度に設定され、被測定ガス中の水蒸気濃度が５〜１５％程度の範囲で変動する場合、水蒸気及び水素と平衡する酸素の分圧の最小値は１０−１２ａｔｍ程度となり、これよりも酸素分圧が低くなると水蒸気の分解が進行して、可燃ガス成分の検出精度に影響が出るようになる。従って、この場合は、第一処理室の酸素濃度を上記分圧値よりも大きく設定することが望ましいといえる。
【００２５】
なお、本明細書において第一処理室内の酸素濃度は、特に断らない限り、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を意味するものとする。例えば被測定ガス中の可燃ガス成分の一部が燃焼して酸素を消費するような場合等においては、酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度は、その燃焼消費が生ずる前の酸素濃度を必ずしも意味しない場合がある。また、第一処理室に面して可燃ガス成分の燃焼触媒となりうる多孔質電極等が存在したり、あるいは酸素濃度調整用ポンプ素子による酸素のポンピング等の要因により、第一処理室内の酸素濃度は場所によってばらつくこともある。この場合も、酸素濃度検出素子により検出される酸素濃度が、第一処理室内の酸素濃度を代表して示すものと考える。
【００２６】
上記ガスセンサ（及びセンサシステム）において、外部から第一処理室に被測定ガスを導く第一気体流通部、及び第一処理室と第二処理室とを連通させる第二気体流通部とは、その少なくとも一方を、一定の拡散抵抗のもとに気体の流通を許容する拡散規制流通部として構成することができる。このようにすることで、被検出雰囲気における被測定ガス濃度が変動しても、第一処理室ないし第二処理室に一旦導入されたガスの組成変動は、流通部の拡散抵抗に応じて定まる一定の期間は小さく抑さえられるので、可燃ガス成分の検出精度を高めることができる。具体的には、拡散規制流通部は、小孔やスリットあるいは各種絞り機構のほか、連通気孔を有する金属ないしセラミックスの多孔質体で構成することができる。
【００２７】
次に、上記ガスセンサ及びガスセンサシステムにおいては、酸素濃度検出素子は、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極が第一処理室と接するように配置された酸素濃淡電池素子とすることができる。この場合、可燃ガス成分濃度検出素子の第二処理室と接する電極を第二電極とし、測定用酸素供給ポンプ素子の第二処理室と接する電極を第三電極とし、酸素濃淡電池素子の第一処理室と接する電極を第一電極とし、酸素濃度調整用ポンプ素子の第一処理室と接する電極を第四電極として、それら第一〜第四電極は、いずれも酸素分子解離能を有する多孔質電極として構成されるととともに、第二電極及び第三電極の少なくともいずれかが、被測定ガス中の可燃ガス成分に対する酸化触媒活性を有して酸化触媒部として機能するものとして構成することができる。この場合、第一電極〜第四電極は、第一処理室よりも第二処理室において、可燃ガス成分の燃焼による酸素消費量が大きくなるように、その酸化触媒活性が調整するようにする。これにより、第一処理室内で燃焼せずに残留した可燃ガス成分の少なくとも一部を、第二処理室内では燃焼させることが確実に行えるようになり、センサの感度を高めることができる。さらに、可燃ガス成分濃度検出素子の第二処理室に面する電極（第二電極）が酸化触媒部に兼用されるため、センサないしセンサシステムの構成をより単純化できる利点がある。
【００２８】
次に、可燃ガス成分濃度検出素子の第二処理室と接する電極（第二電極）は、第二気体流通部と干渉しない位置に形成することが、可燃ガス成分の検出出力を安定化させる上で望ましい。上記電極を第二気体流通部と干渉する位置に形成した場合、第一処理室から導入された被測定ガスと既に第二処理室内に導入されているガスとが平衡に到達する前の状態で、可燃ガス成分の燃焼が起こる可能性があるが、干渉しない位置に形成した場合はこのような現象が起こりにくくなり、出力安定化を図ることができるようになるものと考えられる。
【００２９】
被検出成分が例えばＣＯあるいはＨＣの場合、酸化触媒活性が高くなるべき電極は、Ｐｔ、Ｐｄ及びＲｈのいずれかを主体とする金属（単体又は合金）、あるいはＰｔ−Ｒｈ系合金、Ｒｈ−Ｐｄ系合金、Ｐｄ−Ａｇ系合金等（以下、本明細書においては、これらを高活性金属グループという）で構成することができる。また、逆に酸化触媒活性が低くなるべきものは、Ａｕ、Ｎｉ及びＡｇのいずれかを主体とする金属（単体又は合金）、あるいはＰｔ−Ｐｄ合金、Ｐｔ−Ａｕ系合金、Ｐｔ−Ｎｉ系合金、Ｐｔ−Ａｇ系合金，Ａｇ−Ｐｄ系合金、Ａｕ−Ｐｄ系合金等（以下、本明細書において、これらを低活性金属グループという）により構成することができる。この場合、酸素濃度調整用ポンプ素子、酸素濃淡電池素子あるいは可燃ガス成分濃度検出素子の要部を構成する酸素イオン伝導性固体電解質が、後述のＺｒＯ２固体電解質である場合、低活性金属グループとしては、ＺｒＯ２固体電解質（一般的な焼成温度範囲１４５０〜１５５０℃）と同時焼成可能な材質を採用することが、センサの製造能率を向上させる上で望ましい。例えばＰｔ−Ａｕ系合金を使用する場合は、Ｐｔに対しＡｕを０．１〜３重量％の範囲で添加するのがよい。Ａｕの含有量が０．１重量％未満になると電極の酸化触媒活性が高くなりすぎる問題が生ずる場合がある。
【００３０】
一方、本発明のガスセンサにおいては、以下のような構成の電極を用いるとさらによい。具体的には、酸素濃度調整用ポンプ素子を、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極（以下、第四電極という）が第一処理室と接するように配置されたものとして構成する。そして、被検出成分が例えばＣＯあるいはＨＣの場合、その第四電極を、構成金属がＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金である多孔質金属からなる主電極層と、その主電極層を覆う形で該第四電極の表層部を構成し、構成金属がＡｕ及びＡｇのいずれかを主成分とする金属、Ｐｔ−Ａｕ系合金、Ａｕ−Ｐｄ系合金、Ｐｔ−Ａｇ系合金及びＰｔ−Ｎｉ系合金のいずれか（以下、これらを総称して不活性金属という）である多孔質金属からなる表面電極層との二層を含むものとして構成することができる。なお、本明細書において、「Ｘ−Ｙ系合金」とは、該合金に含まれるもっとも重量含有率の高い金属成分（すなわち主成分）がＸであり、２番目に重量含有率が高い金属成分がＹである合金を意味し、Ｘ−Ｙ系二元系合金、あるいはＸ−Ｙとそれ以外の合金成分とを含んだ三元系以上の合金とすることができる。
【００３１】
酸素濃淡電池素子あるいは酸素濃度調整用ポンプ素子の電極材料は、酸素分子に対する解離あるいは再結合に対する十分な触媒活性を有している必要がある。例えばＰｔ単体金属は、この点に関しては優れている材料であるが、第一処理室に面する電極の材料としては可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性も極めて高いので、これを若干緩和してやる必要がある。例えば、従来より行われているように、燃焼触媒活性の低いＡｕを２０重量％程度の範囲内で配合してＰｔ−Ａｕ合金とするのも一法であるが、Ａｕの含有量が増大すると、可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性とともに酸素分子に対する解離能も急速に低下するから、これら二つの触媒活性のバランス調整がなかなか行いにくい側面がある。
【００３２】
そこで、上記構成のように、酸素分子に対する解離能が高いＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金からなる多孔質の主電極層の表面を、可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性が低い不活性金属からなる多孔質の表面電極層にて覆う多層構造電極の採用により、酸素分子解離は良好に維持しつつ可燃ガス成分への燃焼触媒活性はなるべく小さくするという、都合のよい調整が行いやすくなる。
【００３３】
次に、表面電極層の構成金属は、ＣＯあるいはＨＣに対する燃焼触媒活性が特に小さく、酸素分子に対する解離・再結合の触媒能もある程度有しているＡｕ系の多孔質金属が本発明に好適に使用できるが、その他に例えばＡｇを主成分とする金属、Ｐｔ−Ａｕ系合金（例えばＡｕが５重量％以上）、Ｐｔ−Ｐｂ系合金（例えばＰｂが１重量％以上）、Ｐｔ−Ａｇ系合金（例えばＡｇが１重量％以上）、Ｐｔ−Ｎｉ系合金（例えばＮｉが１重量％以上）等の多孔質金属も使用できる。
【００３４】
また、表面電極層と主電極層とは、一層又は二層以上の別の層を介して間接的に接する構成とすることもできる。ただし、主電極層と表面電極層との二層構造を採用すれば、製造工程が簡略なもので済む利点がある。この場合、構成金属がＡｕを主成分とするＡｕ系金属である多孔質金属体からなる表面電極層を採用することにより、酸素分子解離は良好に維持しつつ可燃ガス成分への燃焼触媒活性を抑制する効果をとりわけ顕著に達成することができる。
【００３５】
なお、上記のような多層構造電極は、酸素濃度に対する鋭敏な応答性がそれほど要求されない酸素濃度調整用ポンプ素子側の第四電極に特に好適に採用できるが、酸素濃淡電池素子側の第一電極に用いることも不可能ではない。ただし、酸素濃淡電池素子による第一処理室中の酸素濃度の検出精度をさらに向上させるには、第一電極は、構成金属がＰｔ、Ｐｔ−Ａｕ合金又はＰｔ−Ａｇ合金で構成するのがよい。この場合、第一電極の面積を第四電極の面積よりも小さくすることにより、第一処理室内での第一電極に由来する可燃ガス成分の燃焼が抑制されるので、第一処理室内での可燃ガス成分の燃焼によるロスを小さくでき、センサの感度を一層高めることができる。
【００３６】
第一電極にＰｔ−ＡｕあるいはＰｔ−Ａｇ合金を使用する場合、ＡｕあるいはＡｇはＣＯあるいはＨＣに対する燃焼触媒活性を抑制する目的で配合される。この場合、ＡｕあるいはＡｇの含有量が１％を超えると酸素分子解離能が低くなりすぎ、酸素濃度検出能の低下につながる。他方、Ａｕあるいは含有量が０．１重量％未満になると、燃焼触媒活性の抑制効果はほとんど期待できなくなる。なお、ＡｕとＡｇとをＰｔに対して、その合計含有量が１重量％以下となるように共添加することも可能である。
【００３７】
また、可燃ガス成分のうち、炭化水素の選択的検出性を特に向上させたい場合には、第一処理室において、炭化水素よりも燃焼活性の高い成分が、検出対象となる炭化水素よりも優先的に燃焼されるようにすることが望ましい。この場合、前述のように、第一処理室内の酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を調整することのほかに、該第一処理室に面する第一電極あるいは第四電極の燃焼触媒活性あるいは第一処理室内の温度も重要な因子となる。そして、第四電極の材質を、燃焼触媒活性の比較的低い上記のような多層構造の電極とする一方、第一電極を燃焼触媒活性の高いＰｔあるいはＰｔ合金で構成することにより、燃焼活性のやや低い炭化水素成分（例えばメタンなど）はあまり燃焼しない一方、それよりも燃焼活性の高い一酸化炭素、水素あるいはアンモニア等の成分は、第一電極上で優先的に燃焼し、炭化水素成分を選択的に検出するために好都合な環境を形成することができる。また、第一処理室内の温度が上昇すると、燃焼反応が進行しやすくなり、材質の異なる電極間の燃焼触媒活性にも差を生じにくくなるので、炭化水素成分の選択検出には一般には不利となる。しかしながら、第四電極を前記のような多層構造とした場合は、かなりの高温（例えば７００〜８００℃）になっても、Ｐｔ等で構成した第一電極との間に顕著な触媒活性差を付与でき、炭化水素成分の選択検出を効果的に行うことができる。
【００３８】
なお、第四電極を前記のような多層構造電極とする場合、本発明のガスセンサは以下の工程を含む方法により製造できる。
▲１▼下地電極層形成工程：酸素濃度調整用ポンプ素子に含まれる酸素イオン伝導性固体電解質層の未焼成成形体（以下、未焼成固体電解質成形体という）に対し、第四電極の主電極層の原料粉末の未焼成層（以下、主未焼成電極層という）を含んだ下地電極パターンを形成してこれを未焼成固体電解質成形体とともに一体焼成することにより、酸素イオン伝導性固体電解質層の上に主電極層を含む下地電極層を形成する。
▲２▼表面電極層形成工程：その下地電極層の上に、表面電極層の原料粉末層を形成してこれを上記一体焼成時よりも低温にて二次焼成することにより、表面電極層を形成する。原料粉末層は、例えば原料粉末のペーストを主電極層上に塗布することにより形成することができる。
【００３９】
主電極層を含む下地電極層は、Ｐｔあるいは前記組成のＰｔ−ＡｕあるいはＰｔ−Ａｇ合金のような高融点金属で構成されるので、各素子の要部を構成するジルコニア等の固体電解質セラミックと該層との同時焼成が可能である。しかしながら、表面電極層をＡｕ系金属で構成する場合、Ａｕ系金属は融点が低いことから固体電解質セラミックと同時焼成すると、多孔質状態を保持することが不可能であり、かつ下地電極層へＡｕが拡散して燃焼触媒活性を抑制する効果が達成できなくなる。そこで、表面電極層を、下地電極層と固体電解質層との一体焼成温度よりも低温で二次焼成して、下地電極層上に焼きつける工程を採用することで、このような不具合を解消でき、所期の性能の多層電極が得られる。
【００４０】
なお、二次焼成時、あるいは高温となるセンサ使用時において、表面電極層の成分（例えばＡｕ）が、主電極層中に拡散する場合がある。例えば、二次焼成前の主電極層の構成金属を実質的にＰｔからなるものとして構成していても、表面電極層側からのＡｕの拡散により、主電極層の構成金属がＰｔ−Ａｕ合金となる場合がある。この場合、表面電極層の主電極層側への拡散が進み過ぎると、表面電極層の厚さが不十分となったり、あるいは甚だしい場合には表面電極層が消失したりするといった不具合が発生することもありうる。例えば、表面電極層をＡｕを主体に構成し、主電極層をＰｔを主体に構成したい場合には、Ａｕ成分の主電極層側への過度の拡散を防止するために、二次焼成温度は８００〜１０５０℃程度に設定するのがよい。二次焼成温度が８００℃未満になると、表面電極層の燒結が不十分となり、密着不足による表面電極層の剥離等の不具合につながる場合がある。他方、二次焼成温度が１０５０℃を超えると、Ａｕ成分の拡散により表面電極層の厚さが不十分となったり、あるいは燒結が進行し過ぎて多孔質構造が損なわれ、多孔質電極として必要な酸素透過性を確保できなくなる場合がある。なお、主電極層の構成金属中にはじめから３〜１０重量％程度の範囲でＡｕを配合しておけば、Ｐｔ中へのＡｕの固溶限界が比較的小さい（８００℃で５重量％程度）ことを利用して、表面電極層から主電極層へのＡｕの拡散を抑制することができ、ひいては表面電極層の厚さ減少等の発生を効果的に防止することができる。
【００４１】
本発明のガスセンサを、酸素濃度調整用ポンプ素子を含んで構成されたポンプセルユニットと、酸素濃度検知素子、第二処理室、可燃ガス成分濃度検出素子を含んで構成されたセンサセルユニットとを各々別体に形成し、それら両ユニットを接合材を用いて互いに接合し一体化する構成としておけば、上記二次焼成工程を含んだ製造方法を合理的に実施することが可能となる。この場合、表面電極層を形成せず、下地電極層を形成した状態のポンプセルユニットを焼成により製造し、次いでそのポンプセルユニット上の下地電極層の上に二次焼成により表面電極層を形成し、これを別途焼成により製造したセンサセルユニットと一体化することによりガスセンサを得るようにする。なお、ポンプセルユニットにポンプセル側嵌合部を形成し、センサセルユニットにこれと嵌合するセンサセル側嵌合部を形成しておけば、それら両嵌合部の嵌合面においてポンプセルユニットとセンサセルユニットとを嵌合させることにより、接合時の位置決めが行いやすく、センサの製造能率を向上させることができる。
【００４２】
上記本発明のガスセンサにおいて酸素濃淡電池素子あるいは可燃ガス成分濃度検出素子は、ＺｒＯ２を主体とする酸素イオン伝導性固体電解質（ＺｒＯ２固体電解質）で構成することができる。ここで、ＺｒＯ２固体電解質を用いた酸素濃淡電池素子において、一方の電極が酸素と可燃ガス成分が混在した被測定ガスに接するようにしておき、他方の電極が一定酸素濃度の基準雰囲気に接するように配置した場合、その濃淡電池起電力は、酸素と可燃ガス成分とが過不足なく反応する存在比率で混在している組成（以下、ストイキ組成という）付近を境にして急激に変化する性質を有している。ここで、一般のガソリンエンジンあるいはディーゼルエンジンをリーンバーン条件で運転したときの、発生する被測定ガス中には可燃ガス成分の総濃度はおおむね０〜１０００ｐｐｍＣ（ｐｐｍＣは炭素当量で表した１００万分率を示す）程度のものとなる。そして、この可燃ガス成分濃度において、第一処理室で調整される被測定ガスの酸素濃度を前述の１０−６ａｔｍ（望ましくは１０−９ａｔｍ）以下の範囲に調整することで、第二処理室に導入されるガスは概ねストイキ組成か若干リッチ側の組成となり、可燃ガス成分濃度検出素子の出力を高めることができ、ひいてはガスセンサの感度を良好なものとすることが可能となる。
【００４３】
なお、上記酸素濃度調整用ポンプ素子、酸素濃淡電池素子及び可燃ガス成分濃度検出素子が上記ＺｒＯ２固体電解質で構成される場合、これを所定の作動温度に加熱するための加熱素子を設けることができる。この場合、その作動温度は、６５０〜８００℃に設定するのがよい。作動温度が８００℃を超えると、可燃ガス成分濃度検出素子の出力電流値のレベルが低くなり過ぎ、ガスセンサの感度が低下する場合がある。これは、被測定ガス中のＨＣ成分などの可燃ガス成分が、高温のため第一処理室に導入された段階で大半が燃焼してしまうためであると考えられる。一方、作動温度が６５０℃未満になると、酸素濃度調整用ポンプ素子の内部抵抗が増大して作動が不安定化し、可燃ガス成分の検出精度が損なわれる場合がある。
【００４４】
本発明のガスセンサ及びガスセンサシステムにおいては、酸素濃度検出素子は前記した通り、酸素イオン伝導性固体電解質層の両面に多孔質金属からなる電極が形成され、一方の電極（以下、第一電極という）が第一処理室と接する検出側電極とされ、他方の電極が酸素基準電極とされる酸素濃淡電池素子とすることができる。この場合、可燃ガス成分濃度検出素子において、第二処理室に接する電極（第二電極）とは異なる側の電極を、酸素濃淡電池素子の酸素基準電極と共有化させることができる。このようにすれば、酸素濃度検出素子と可燃ガス成分濃度検出素子との酸素基準電極を共通化できるのでセンサをコンパクトに構成できる。
【００４５】
より具体的には、第一処理室と第二処理室とを、酸素イオン伝導性固体電解質で構成された隔壁を挟んで互いに隣接して配置することができる。この場合、隔壁には、第一処理室と第二処理室とを連通させる第二気体流通部を形成し、厚さ方向中間部に酸素基準電極を埋設することができる。そして、隔壁の第一処理室に面する表面には第一電極を形成し、該第一電極と、酸素基準電極と、それら電極の間に挟まれた酸素イオン伝導性固体電解質の隔壁部分とが酸素濃淡電池素子を構成するようにする。また、隔壁の第二処理室に面する表面には第二電極を形成し、該第二電極と、酸素基準電極と、それら電極の間に挟まれた酸素イオン伝導性固体電解質の隔壁部分とが可燃ガス成分濃度検出素子を構成するようにする。また、第一処理室を挟んで隔壁と反対側に酸素濃度調整用ポンプ素子が配置される。これにより、全ての素子を積層形成できるため、センサを一層コンパクトに構成できる。
【００４６】
なお、酸素濃淡電池素子の酸素基準電極は、検出側電極との間にて当該酸素基準電極側に酸素が汲み込まれる方向に微小なポンピング電流が印加され、その汲み込まれた酸素により自身の内部に所定レベルの基準酸素濃度が形成される自己生成型酸素基準電極とすることができる。これにより、酸素基準電極側の酸素濃度レベルを安定化でき、より高精度の酸素濃度測定が可能となる。
【００４７】
また、酸素濃淡電池素子と可燃ガス成分濃度検出素子との間で酸素基準電極を共有化させ、かつ該酸素基準電極を自己生成型酸素基準電極として構成する場合には、第二電極と酸素基準電極との間にて、所定の範囲を超えた電流が流れることを阻止する電流制限回路を設けておくことが望ましい。具体的には、電流制限回路は、酸素基準電極から第二電極に向けて所定値を超える電流が流れることを阻止するものとして構成できる。このような電流が過大に流れると酸素基準電極側に多量の酸素が流れ込み、酸素基準電極内部の圧力が大きくなり過ぎて電極の破損を起こす等の不具合につながる場合がある。そこで、上記のような電流制限回路を設けておけば、該不具合を回避することができる。
【００４８】
他方、電流制限回路は、第二電極側から酸素基準電極に向けて所定値を超える電流が流れることを阻止するものとして構成することもできる。第二電極から酸素基準電極に向けて電流が流れるということは、両者の間に介在するのが酸素イオン伝導性固体電解質であるから、酸素基準電極から第二電極に向けて酸素が流出するということを意味する。そして、このような電流が過大に流れると酸素基準電極から多量の酸素が流出して、酸素基準電極として必要な酸素濃度が確保できなくなる。その結果、酸素濃淡電池素子の正常な作動ひいては第一処理室内の酸素濃度制御が不可能となり、センサの検出精度低下につながる。そこで、上記のような電流制限回路を設けておけば、このような不具合を回避することができる。
【００４９】
この場合、酸素基準電極と、第二電極との少なくともいずれかを、隔壁に対し第二気体流通部と干渉しない位置に形成することが望ましく、双方ともに第二気体流通部と干渉しない位置に形成すればさらによい。第二電極をこのような位置関係で配置することの利点については、前述の通りである。また、酸素基準電極を第二気体流通部と干渉しない位置関係で設けることにより、酸素基準電極内に保持された酸素が第二気体流通部を通って漏洩することが阻止され、酸素基準レベルひいては可燃ガス成分の検出出力をさらに安定化させることができる。
【００５０】
また、上記ガスセンサの酸素濃度調整用ポンプ素子を流れる電流値、すなわち酸素ポンプ電流値は、被測定ガス中の酸素濃度に応じて変化するため、該ポンプ電流値は、被測定ガス中の酸素濃度の情報を反映したものとなる。そこで、本発明のガスセンサシステムにおいては、上記ポンプ電流値に反映された被測定ガス中の酸素濃度の情報に基づいて、可燃ガス成分濃度検出素子の検出出力を補正する補正手段を設けることができる。すなわち、本発明のガスセンサシステムにおいて、可燃ガス成分濃度検出素子の検出出力は前述の通り被測定ガス中の酸素濃度を本質的に受けにくい特質を有するが、酸素濃度により検出出力に多少の変動が生ずる場合は、これを上記補正手段により補正することで、可燃ガス成分濃度の検出精度を一層向上させることが可能となる。
【００５１】
この場合、上記補正手段は具体的には、可燃ガス成分濃度検出素子の出力電流値と可燃ガス成分濃度との関係を表す出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報を、各種酸素濃度（あるいはポンプ電流値）毎に記憶する出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報記憶手段と、可燃ガス成分濃度検出素子の検出された出力電流値と、上記出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報とに基づいて、補正後の出力電流値（あるいは対応する可燃ガス成分濃度）の値を決定する補正値決定手段とを備えるものとして構成できる。これにより、検出される可燃ガス成分濃度の補正を合理的に行なうことが可能となる。
【００５２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に示すいくつかの実施例を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施例としてのガスセンサ１を示している。すなわち、ガスセンサ１は、それぞれ横長板状に形成された第一ヒータ２、酸素濃度調整用ポンプ素子３、酸素濃淡電池素子（酸素濃度検出素子）４、可燃ガス成分濃度検出素子５、測定用酸素供給ポンプ素子６及び第二ヒータ８がこの順序で積層され一体化されたものとして構成されている。また、酸素濃度調整用ポンプ素子３と酸素濃淡電池素子４との間には第一処理室９が、可燃ガス成分濃度検出素子５と測定用酸素供給ポンプ素子６との間には第二処理室１０が形成されている。また、酸素濃度調整用ポンプ素子３と酸素濃淡電池素子４との間には、スペーサ部２５が一体化されており、第一処理室がそのスペーサ部２５の空隙２５ａにより形成されるようになっている。
【００５３】
各素子３〜６及びスペーサ部２５は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質により構成されている。そのような固体電解質としては、Ｙ２Ｏ３ないしＣａＯを固溶させたＺｒＯ２が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属ないし希土類金属の酸化物とＺｒＯ２との固溶体を使用してもよい。また、ベースとなるＺｒＯ２にはＨｆＯ２が含有されていてもよい。本実施例では、Ｙ２Ｏ３ないしＣａＯを固溶させたＺｒＯ２固体電解質セラミックが使用されているものとする。一方、第一及び第二ヒータ２，８は、公知のセラミックヒータで構成されており、各素子３〜６を所定の作動温度（６５０〜８００℃）に加熱する役割を果たす。そして、各素子３〜５及び測定用酸素供給ポンプ素子６の境界部分には、Ａｌ２Ｏ３等を主体とした絶縁層（図３に示す絶縁層２６０等：図１では示さず）が介挿されている。このような積層一体化されたセンサの構造は、上記各素子３〜６となるべきセラミックグリーンシート（セラミック成形体）を積層して焼成することにより製造することができる。
【００５４】
次に、第一処理室９の両側壁部分には、該第一処理室９と外部の被測定空間とを連通させる第一気体流通部１１が形成されている。図１（ｂ）に示すように、第一気体流通部１１は、第一処理室９の幅方向両側において酸素濃度調整用ポンプ素子３と酸素濃淡電池素子４との間にまたがる形態で形成されるとともに、第一処理室９の側縁に沿って酸素濃度調整用ポンプ素子３ないし酸素濃淡電池素子４の長手方向に延びており、多孔質Ａｌ２Ｏ３焼成体等により連通気孔を有する多孔質セラミック体として構成されている。これにより、該第一気体流通部１１は、外部からの被測定ガスを一定の拡散抵抗のもとに第一処理室９内に導く拡散規制流通部として機能する。
【００５５】
次に、酸素濃淡電池素子４と可燃ガス成分濃度検出素子５とは互いに重ね合わされるとともに、第一処理室９と第二処理室１０とに挟まれた部分は、酸素イオン伝導性固体電解質で構成された隔壁１２となっている。換言すれば、上記２つの処理室９，１０は、該隔壁１２を挟んで隣接して配置されている。そして、この隔壁１２には、第一処理室９と第二処理室１０とを連通させる第二気体流通部１３が形成されており、その厚さ方向中間部には酸素基準電極１４が埋設されている。第二気体流通部１３も、第一気体流通部１１と同様に多孔質セラミック体として構成されており、第一処理室９内の気体を第二処理室１０へ一定の拡散抵抗のもとに導く拡散規制流通部として機能する。なお、上記拡散規制流通部は、多孔質セラミック体（あるいは金属体）で形成する代わりに、小孔やスリットで構成してもよい。
【００５６】
隔壁１２の第一処理室９に面する表面には電極１５（以下、これを第一電極１５と称する）が形成されており、酸素濃淡電池素子４の要部は、該第一電極１５と、酸素基準電極１４と、それら電極１５，１４の間に挟まれた隔壁部分１２ａとによって構成されている。一方、隔壁１２の第二処理室１０に面する表面には電極１６（以下、これを第二電極と称する）が形成されており、該第二電極１６と、酸素基準電極１４と、それら電極１６，１４の間に挟まれた隔壁部分１２ｂとが可燃ガス成分濃度検出素子５の要部を構成している。なお、電極１５，１４は、酸素濃淡電池素子４の長手方向において互いにずれた位置関係で形成されている。
【００５７】
また、酸素濃度調整用ポンプ素子３にも、その両面に電極１９，２０（以下、前者を特に第四電極１９と称する）がそれぞれ形成されている。他方、測定用酸素供給ポンプ素子６には、酸素濃度調整用ポンプ素子３とほぼ同様に、第二処理室１０に面する側とこれと反対側にそれぞれ電極１７，１８が形成される（以下、前者を特に第三電極１７と称する）。
【００５８】
上記各電極１４〜２０はいずれも、各素子３〜６を構成する固体電解質層へ酸素を注入するための酸素分子の解離反応、及び該固体電解質から酸素を放出させるための酸素の再結合反応に対する可逆的な触媒機能（酸素解離触媒機能）を有するものとされている。その材質であるが、第一処理室９に面する２つの電極、すなわち酸素濃度調整用ポンプ素子３の電極１９と酸素濃淡電池素子４の第一電極１５とは、第二処理室１０に面する電極、すなわち可燃ガス成分濃度検出素子５の第二電極１６よりも、メタン等の被検出成分の酸化（すなわち燃焼）の触媒活性が小さくなるように選定されている。このような多孔質電極は、例えば上記金属ないし合金の粉末と、下地となる固体電解質セラミックとの密着強度を向上させるために該下地と同材質の固体電解質セラミック粉末を適量配合してペーストを作り、これを用いて下地となるべきセラミックグリーンシート上に電極パターンを印刷形成して、一体焼成することにより形成される。
【００５９】
なお、図１に示すように、各素子３〜６の各電極１４〜２０からは、素子の長手方向に沿ってガスセンサ１の取付基端側に向けて延びる電極リード部１４ａ〜２０ａがそれぞれ一体に形成されており、該基端側において各素子３〜６には接続端子１４ｂ〜２０ｂの一端が埋設されている。そして、図２に示すように、各接続端子（２０ｂ）は、金属ペーストの焼結体として素子の厚さ方向に形成された導通部（２０ｃ）により、電極リード部（２０ａ）の末端に対して電気的に接続されている（図では、電極リード部２０ａの場合について代表させて示している）。
【００６０】
なお、図１に示すように、酸素基準電極１４と可燃ガス成分濃度検出素子５の第二電極１６とは、第二気体流通部１３と干渉しない位置に形成されている。これにより、可燃ガス成分の検出出力をより安定化させることができる。一方、酸素濃淡電池素子４の第一電極１５は、第二気体流通部１３と重なりを有する位置に形成され、該第二気体流通部１３に対応する位置には、気体の流通を確保するために貫通穴１５ｈが形成されている。
【００６１】
次に、図３（ｂ）に示すように、第一処理室９及び第二処理室１０の少なくとも一方、例えば本実施例では第二処理室１０には、焼成時の処理室空間の潰れを防止する支柱部２１０が、散点状あるいは千鳥状に形成されている。すなわち、図３（ａ）に示すように、可燃ガス成分濃度検出素子５となるべきセラミックグリーンシート２２０と、同じく測定用酸素供給ポンプ素子６となるべきセラミックグリーンシート２３０との各々の対向面において第二処理室１０に予定された領域に、セラミック粉末ペースト（例えば多孔質Ａｌ２Ｏ３粉末ペースト）を用いて、支柱部２１０となるべき支柱部パターン２６６ａ及び２６６ｂを形成する。また、その支柱部パターン２６６ａ及び２６６ｂと重なりを生じない位置において同じく該第一処理室９に予定された領域に、焼成時に燃焼ないし分解する材質の粉末ペースト（例えばカーボンペースト）により補助支持パターン２６７ａ及び２６７ｂを形成する。さらに、上記第一処理室９に予定された領域を除く他の領域には、絶縁層パターンとしての貼合わせコート２６９がＡｌ２Ｏ３粉末ペースト等により支柱部パターン２１０の高さよりも小さい厚さで形成される。
【００６２】
これを焼成することにより、図３（ｂ）に示すように、可燃ガス成分濃度検出素子５と測定用酸素供給ポンプ素子６との間においては、補助支持パターン２６７ａ及び２６７ｂが消失するとともに、上記支柱部パターン２６６ａ，２６６ｂが焼成により一体化して支柱部２１０が形成される。また、この支柱部２１０により大きさが規定された形で第二処理室１０が形成される。一方、第二処理室１０を除く他の領域においてそれら可燃ガス成分濃度検出素子５と測定用酸素供給ポンプ素子６とは、貼合わせコート２６９に基づく絶縁層２６０を介して互いに接合される。
【００６３】
ここで、図４に示すように、支柱部パターン２６６ａ，２６６ｂと、補助支持パターン２６７ａ，２６７ｂとは平面をほぼ埋め尽くすように相補的に形成され、例えば図３（ａ）のグリーンシート２２０及び２３０を互いに積層した際に、補助支持パターン２６７ａ，２６７ｂによる補強効果に基づき、支柱部パターン２６６ａ，２６６ｂが両者の間で潰れることが防止ないし抑制される。また、図３（ａ）に誇張して示すように、貼合わせコート２６９が２６６ａ，２６６ｂの合計厚さよりもかなり薄く形成されていたとしても、グリーンシート２２０及び２３０は柔軟であり、グリーンシート２２０及び２３０が少し橈むことで、両者は貼合わせコート２６９を介して密着でき、焼成により支障なく一体化することができる。
【００６４】
次に、図１に示すようにセンサ１の全体が、そのスペーサ部２５と酸素濃淡電池素子４との間で二分され、図５に示すように、酸素濃度調整用ポンプ素子３が含まれる側がポンプセルユニット１１１、酸素濃淡電池素子４（酸素濃度検知素子）及び第二処理室１０、可燃ガス成分濃度検出素子５及び測定用酸素供給ポンプ素子６の含まれる側がセンサセルユニット１１２となっている。これらポンプセルユニット１１１とセンサセルユニット１１２とは第四電極１９と第一電極１５とが対向するように互いに積層されるとともに、その積層面においてガラス等の接合材により接合・一体化される。また、ポンプセルユニット１１１の積層面には、その幅方向両側においてその縁に沿う形でリブ状の嵌合凸部１１１ａ，１１１ａ（ポンプセル側嵌合部）が形成され、これがセンサセルユニット１１２側の対応する位置に形成された嵌合凹部１１２ａ，１１２ａ（センサセル側嵌合部）と嵌合し、積層の位置決めがなされている。
【００６５】
次に、第四電極１９は、図６（ａ）に示すように、構成金属がＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金（本実施例では、その略全体がＰｔからなるものとする）である多孔質金属体からなる主電極層１５１と、電極表層部を構成し、構成金属がＡｕを主体とするＡｕ系金属（本実施例では、実質的にその全体がＡｕからなるものとする）である多孔質金属体からなる表面電極層１５２とからなる二層構造を有するものとなっている。他方、図１において第一電極１５は、第四電極１９以外の他の電極とともに、構成金属がＰｔ又はＡｕ含有量１重量％以下のＰｔ−Ａｕ合金（本実施例では、その略全体がＰｔからなるものとする）である多孔質金属として構成されている。
【００６６】
酸素分子に対する解離能が高いＰｔからなる多孔質の主電極層１５１の表面を、可燃ガス成分に対する燃焼の触媒活性が低いＡｕからなる多孔質の表面電極層１５２にて覆うことにより、第一処理室内において、酸素分子解離は良好に維持しつつ可燃ガス成分への燃焼触媒活性を小さくできるので、ＨＣ等の可燃ガス成分からなる被検出成分のロスを少なくでき、センサ感度を向上させることができる。なお、主電極層１５１の構成金属の実質的にほぼ全体がＰｔからなり、同じく表面電極層１５２の構成金属の実質的にほぼ全体がＡｕからなる場合、第四電極１９全体におけるＰｔの重量含有量をＷＰｔ、同じくＡｕの重量含有量をＷＡｕとして、｛ＷＡｕ／（ＷＰｔ＋ＷＡｕ）｝×１００の値が２〜２０重量％、好ましくは３〜１０重量％となっているのがよい。該値が２重量％未満では、第四電極１９の燃焼触媒活性を十分に小さくできなくなり、センサの感度低下につながる場合がある。他方、該値が２０重量％を超えると、第四電極１９の酸素分子の解離・再結合反応に対する触媒能が小さくなり過ぎ、酸素濃度調整用ポンプ素子３の機能が不十分となる場合がある。
【００６７】
主電極層１５１上に表面電極層１５２を形成する方法としては、例えば図６（ｂ）に示すように、表面電極層１５２の材料粒子を含んだペーストを、焼成済の主電極層１５１上に塗付して、その主電極層１５１の焼成温度よりも低温で焼成する方法により形成することができる。他方、同図（ｃ）に示すように、真空蒸着やスパッタリング等の気相製膜法により表面電極層１５２を形成することができる。なお、上記図６（ｂ）ないし（ｃ）に示すように、多孔質に形成された主電極層１５１には、多数の空隙Ｐが入り組んで形成されているため、表面電極層１５２がそのような空隙Ｐの内面奥深くにまで必ずしも形成されない場合もありうる。これにより、主電極層１５１には表面電極層１５２で覆われない露出部が形成されることとなるが、この露出部は酸素分子に対する解離・再結合反応に対しては強い触媒活性を示すので、酸素濃度調整用ポンプ素子の機能確保上はむしろ望ましいことともいえる。
【００６８】
以下、図１及び図５に示すポンプセルユニット１１１とセンサセルユニット１１２との製造方法の一例を、図７及び図８を参照して説明する。まず、図７は、ポンプセルユニット１１１を製造するための第一未焼成組立体２１１の積層構造を示している。第一未焼成組立体２１１は、酸素濃度調整用ポンプ素子３の本体となるべきＺｒＯ２グリーンシート（以下、単にグリーンシートともいう）２２０を主体とする第一部分２１１ａと、スペーサ部２５となるべきグリーンシート２３１を主体とする第二部分２１１ｂとを含んでいる。グリーンシートは、ＺｒＯ２粉末を有機バインダ等の成形助剤及び有機溶媒とともに混練した生素地をシート状に加工して作られるものである。
【００６９】
第一部分２１１ａにおいては、グリーンシート２２０の両面の、電極２０，１９（図１）の形成が予定された部分を除く領域に、リード部２０ａ，１９ａと酸素濃度調整用ポンプ素子３との間を絶縁するための絶縁コート（絶縁層パターン）２２１及び２２２がＡｌ２Ｏ３ペースト等を用いて形成される。それら絶縁コート２２１及び２２２を形成した後、電極２０，１９（ただし、後者は主電極層１５１（図５）のみ）及びリード部２０ａ，１９ａを形成するための電極パターン２２３及び２２４ａがＰｔペースト等により印刷形成される。また外側電極２０となる側の電極パターン２２３の上には保護用のオーバーコート２２５がＡｌ２Ｏ３ペースト等により形成される。
【００７０】
他方、第二部分２１１ｂにおいては、グリーンシート２３１の両面に絶縁コート２３０，２３２が同様に形成され、そのグリーンシート２３１への積層側の面には、第一の気体流通部１１を形成するためのパターン２２９が多孔質Ａｌ２Ｏ３粉末ペーストにより形成されている。また、グリーンシート２３１の反対側の面には、嵌合凸部１１１ａ，１１１ａを形成するためのグリーンシート２３４が、貼合わせコート２３３（アルミナペーストからなる）を用いて接合されている。
【００７１】
上記第一部分２１１ａと第二部分２１１ｂとは、各電極２０，１９の端子部となるべきＰｔ−Ｒｈ合金線２２７ａ，２２７ｂの端部を挟み込んだ形で、貼合わせコート２２８により積層・一体化される。そして、上記第一未焼成組立体２１１を焼成することにより、第四電極１９の表面電極層１５２（図６）が未形成の状態のポンプセルユニットが得られる。そして、図７に示すように、Ａｕ粉末ペーストを用いてパターン２２４ｂを、焼成済の主電極層の対応する位置にペースト印刷し、さらにセラミックスの焼成温度より低い温度（例えば８５０〜１０００℃）で焼き付けて二次メタライズ処理することにより、多層構造の第四電極１９が形成されてポンプセルユニット１１１が完成する。
【００７２】
次に、図８は、センサセルユニット１１２を製造するための第二未焼成組立体２１２の積層構造を示している。第二未焼成組立体２１２は、酸素濃淡電池素子４の要部となるグリーンシート２３８及び可燃ガス成分濃度検出素子５の要部となるグリーンシート２４４とを主体とする第一部分２１２ａと、測定用酸素供給ポンプ素子６となるべきグリーンシート２５３を主体とする第二部分２１２ｂとを含んでいる。
【００７３】
第一部分２１２ａにおいては、グリーンシート２３８の両面の、電極１５，１４（図１）の形成が予定された部分を除く領域に、リード部１５ａ，１４ａと酸素濃淡電池素子４との間を絶縁するための絶縁コート２３７，２３９が形成される。それら絶縁コート２３７，２３９を形成した後、電極１５，１４及びリード部１５ａ，１４ａを形成するための電極パターン２３６及び２４０がＰｔペースト等により印刷形成される。またグリーンシート２４４の両面には絶縁コート２４３，２４５が施され、グリーンシート２３８の積層側と反対の面に電極１６及びリード部１６ａを形成するための電極パターン２４６が形成される。そして、グリーンシート２３８の積層側の面は貼合わせコート２４１によりグリーンシート２３８側に接合される。なお、グリーンシート２３８及び２４４には、第二の気体流通部１３を形成するための貫通孔２３８ａ及び２４４ａが孔設されており、ここにパターン２４２の印刷により多孔質Ａｌ２Ｏ３粉末ペーストが充填されている。また、グリーンシート２３８の幅方向両縁部は、嵌合凹部１１２ａ（図５）を形成するために切り欠かれている。
【００７４】
他方、第二部分２１２ｂにおいては、グリーンシート２５３の両面に絶縁コート２５２，２５４が形成され、そのグリーンシート２５３への積層側の面には、第三電極１７（図１）を形成するためのパターン２５１がＰｔペースト等により印刷形成される。そして、そのさらに上側には、第二処理室１０を形成するために、図４等に示したものと同様に、支柱部となるべき支柱部パターン２５０と補助支持パターン２４９とが形成されている。他方、グリーンシート２５３の反対側の面には電極１８を形成するためのパターン２５５がＰｔペースト等により印刷形成され、さらにアルミナペーストによるオーバーコート２５６が施される。
【００７５】
上記第一部分２１２ａと第二部分２１２ｂとは、各電極１４〜２０の端子部となるべきＰｔ−Ｒｈ合金線２４７ａ，２４７ｂ，２４７ｃの端部を挟み込んだ形で、貼合わせコート２４８により積層・一体化される。そして、上記第二未焼成組立体２１２を焼成することにより、図５のセンサセルユニット１１２が得られる。
【００７６】
以下、上記ガスセンサ１を使用したガスセンサシステムの構成例について説明する。
図９は、ガスセンサ１を用いたガスセンサシステム（以下、単にセンサシステムという）の一例の電気的構成を示すブロック図である。すなわち、該センサシステム５０は、上記ガスセンサ１と、マイクロプロセッサ５２と、ガスセンサ１とマイクロプロセッサ５２とを接続する周辺回路５１とから構成されている。マイクロプロセッサ５２は、出力変換部の要部を構成するものであり、出入力インターフェースとしてのＩ／Ｏポート５６と、これに接続されたＣＰＵ５３、ＲＡＭ５４、ＲＯＭ５５等により構成されている。ＲＡＭ５４には、ＣＰＵ５３のワークエリア５４ａと、被検出成分の濃度算出値の格納エリア５４ｂとが形成されている。また、ＲＯＭ５５には、センサシステム５０の被検出成分の出力値決定の演算とその出力制御を司る制御プログラム５５ａと、該制御プログラム５５ａが使用するＨＣ濃度変換テーブル５５ｂとが格納されている。なお、ＣＰＵ５３は、ＲＯＭ５５に格納された制御プログラム５５ａにより、濃度決定手段の主体をなす。
【００７７】
上記ガスセンサシステム５０におけるガスセンサ１の作動の概略は以下の通りである。すなわち、ガスセンサ１は図１に示す第一ヒータ２及び第二ヒータ８（いずれか一方を省略してもよい）により、所定の作動温度、すなわち各素子３〜６を構成するＺｒＯ２固体電解質が活性化する温度まで加熱され、その状態で気体流通部１１を通って第一処理室９に被測定ガスとしての排気ガスが導入される。この導入された排気ガス中の酸素濃度は酸素濃淡電池素子４により検出され、酸素濃度調整用ポンプ素子３はその酸素濃度が１０−１２〜１０−６ａｔｍ（望ましくは１０−１１〜１０−９ａｔｍ）の範囲で設定された所定の目標値に近づくように、より具体的には排気ガスに含まれる水蒸気の分解反応が実質的に起こらない酸素濃度目標値に近づくように、第一処理室９内の気体から酸素を汲み出すあるいは汲み込む作動をする。なお、排気ガス中の酸素濃度は、一般には上記酸素濃度目標値よりも大きいのが通常であり、この場合には酸素濃度調整用ポンプ素子３は第一処理室９内の酸素濃度を減少させる方向に作動することとなる。
【００７８】
こうして、酸素濃度が一定レベルまで減少させられた気体は第二気体流通部１３を通って第二処理室１０内に流入する。ここで、ＨＣ等の可燃ガス成分に対する酸化触媒活性が第一電極１５よりも第二電極１６の方が大きく設定されているので、第二処理室１０内に流入した気体中の可燃ガス成分は、第二電極１６を酸化触媒部として燃焼し、酸素を消費する。第二処理室１０内の酸素濃度はこの燃焼による消費量、すなわち可燃ガス成分の濃度に応じて変化する。
【００７９】
他方、測定用酸素供給ポンプ素子６は、第三電極１７側が正となるように定電流電源８０により電極１７，１８間に定電流が通電される。これにより、被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を第二処理室１０に汲み込む。本実施例では、定電流電源８０は、定電圧電源８１に対し、センサ作動温度における酸素濃度検出素子４の内部抵抗値よりも十分大きい抵抗値（例えば該内部抵抗値の５００〜５０００倍程度）を有する抵抗器８２が接続された構成のものが採用されているが、他の構成の電源を採用してもよい。なお、定電流電源８０の通電電流値は、可燃ガス成分濃度検出素子５を流れる電流の向きを常時酸素が汲み出される向きのものとするために、第二処理室１０に酸素が幾分余剰気味に供給されるよう適宜設定される。
【００８０】
次に、可燃ガス成分濃度検出素子５には、図９の直流定電圧電源７１により、電極１４，１６を介して一定の電圧ＶＣが印加されるようになっている。この電圧ＶＣの印加の極性は、第二電極１６が負となる極性、すなわち第二処理室１０から酸素を汲み出す極性にて設定される。また、ＶＣの電圧レベルは、気体中の可燃ガス成分の含有量が略ゼロの時に素子５を流れる電流値が略ゼロとなり、かつ第二処理室１０内の酸素分圧が、排気ガス中の窒素酸化物（ＮＯＸ）の分解が生じるレベルまでは低下しない範囲で設定される。
【００８１】
そして、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流値は、第二処理室１０内に導入された気体中の、可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じて変化し、当該出力電流の値から排気ガス中の可燃ガス成分の濃度を知ることができる。第二処理室１０にて燃焼消費される酸素の量が増えるほど、電圧ＶＣとは逆極性となる可燃ガス成分濃度検出素子５の濃淡電池起電力が増大する。そのため、電圧ＶＣの印加方向を正とすれば、可燃ガス成分濃度が増加するほど、素子５の出力電流値は減少することとなる。
【００８２】
以下、センサシステム５０の回路構成と作動について、図９によりさらに詳細に説明する。ガスセンサ１は、酸素濃度調整用ポンプ素子３の第一処理室９側の電極１９と、酸素濃淡電池素子４の第一電極１５とが接地される。また、酸素基準電極１４は、差動増幅器５７の一方の入力端子に接続される。また、可燃ガス成分濃度検出素子５には、前述の通り電極１４，１６を介してこれに電圧ＶＣを印加するための直流定電圧電源７１が接続されるようになっている。これにより、差動増幅器５７の上記一方の端子には、酸素濃淡電池素子４の濃淡電池起電力Ｅに上記電圧ＶＣが重畳されて入力されるようになっている。
【００８３】
一方、差動増幅器５７の他方の入力端子には酸素濃度設定目標値に対応する起電力目標値ＥＣを与えるための電源回路５８（ただし、実際の設定電圧はＥＣ＋ＶＣとなる）が接続されている。そして、差動増幅器５７は濃淡電池起電力Ｅと起電力目標値ＥＣとの差を増幅して、これを酸素濃度調整用ポンプ素子３の電極２０側に入力する。酸素濃度調整用ポンプ素子３は、差動増幅器５７からの出力を受けて、酸素濃淡電池素子４の濃淡電池起電力Ｅ（すなわち第一処理室９内の酸素濃度）が、前述の酸素濃度目標値に対応する起電力目標値ＥＣに近づく方向に、第一処理室９に対し酸素を汲み出す又は汲み込むように作動する。すなわち、増幅器５７は酸素ポンプ作動制御手段を構成する。なお、電源回路５８は、固定電圧出力により起電力目標値ＥＣを固定的に設定するものとしてもよいが、この設定値を可変に構成してもよい。
【００８４】
なお、酸素濃淡電池素子４と可燃ガス成分濃度検出素子５とは共通の酸素基準電極１４を有しているが、この酸素基準電極１４と第一電極１５（あるいは第二電極１６）との間には、定電流電源７２により、酸素基準電極側１４側へ酸素が汲み込まれる方向の微小直流電流が常時印加されている（すなわち、いわゆる自己生成型基準電極となっている）。これにより、酸素基準電極１４内の空隙は常時酸素１００％に近い基準ガスで満たされた状態となるので、酸素濃淡電池素子４及び可燃ガス成分濃度検出素子５の濃淡電池起電力が高められ、ひいてはガスセンサ１の測定精度及び感度の向上が図られている。
【００８５】
上記定電流電源７２による印加電圧のレベルは、酸素濃淡電池素子４の濃淡電池起電力Ｅの出力レベルよりも十分小さく、かつ酸素基準電極１４内の酸素濃度を１００％に十分近付けられる程度の大きさに設定される。
【００８６】
可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流は、例えば電流検出用の抵抗器７０の両端電圧の差として検出される。本実施例では、該出力電流信号は、差動増幅器６０（オペアンプ６０ａと周辺の抵抗器６０ｂ〜６０ｅとから構成される）により電圧変換した形で取り出された後、さらにＡ／Ｄ変換器７５でデジタル変換されてマイクロプロセッサ５２に入力されるようになっている。
【００８７】
次に、マイクロプロセッサ５２のＲＯＭ５５には、前述の通り制御プログラム５５ａと濃度変換テーブル５５ｂとが格納されている。図１０は、濃度変換テーブル５５ｂの内容の一例を示すものであり、可燃ガス成分濃度（例えばＨＣ濃度）の各値Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、‥‥に対応する可燃ガス成分濃度検出素子５の検出電流値Ｉｄ１、Ｉｄ２、Ｉｄ３、‥‥の値を記憶している。これらの値は、実験等により予め定められたものである。そして、図９に示すＣＰＵ５３は、制御プログラム５５ａによりＲＡＭ５４をワークエリアとして、図１１のフローチャートに示すようなセンサ出力制御を実行する。
【００８８】
すなわち、図示しないタイマーにより測定タイミングを計測し、Ｓ１において該タイミングが到来したら、Ｓ２で可燃ガス成分濃度検出素子５からの検出電流値Ｉｄのサンプリングを行う。そして、Ｓ３でそのサンプリングされた値に対応する可燃ガス成分濃度の値を、図１０の濃度変換テーブル５５ｂを参照して補間法により算出し、Ｓ４でその算出した値をＲＡＭ５４の算出値格納エリア５４ｂに格納する。なお、該エリア５４ｂに書き込まれていた値は上書き消去する。そして、Ｓ５において、そのエリア５４ｂに書き込まれた算出値を、排気ガス中の可燃ガス成分濃度の情報としてＩ／Ｏポート５６より出力する。なお、この出力はそのままデジタル出力してもよいし、Ｉ／Ｏポート５６に接続されたＤ／Ａ変換器６２でアナログ変換して出力してもよい。
【００８９】
上記ガスセンサシステム５０の構成及び作動によれば、第一処理室９において酸素濃度調整用ポンプ素子３の作動により、排気ガス中の酸素濃度が所定レベル、具体的には１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲内にある所定値に調整され、これが第二処理室１０に導かれて可燃ガス成分が燃焼する。そして、その燃焼により消費される酸素量に応じて可燃ガス成分濃度検出素子５の検出電流値Ｉｄが変化し、当該出力を排気ガス中の可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出すようにしている。ここで、酸素濃度調整用ポンプ素子３の作動により達成される第一処理室９内の上記酸素濃度到達レベルは、排気ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらないか、起こってもごく僅かな程度のものであるため、水蒸気の分解により発生した水素の燃焼による可燃ガス成分の検出精度低下が、極めて効果的に防止されることとなる。
【００９０】
以下、上記本発明のガスセンサ１あるいはガスセンサシステム５０の適用例について説明する。まず、図１２はガソリンエンジンの排気ガス浄化システムを模式的に示しており、排気管に対しエンジンに近い側から、エンジンの空燃比制御のための酸素センサ、排気ガス中のＨＣの酸化とＮＯＸの還元とを同時に行ってこれを浄化する三元触媒コンバータ、及び浄化後の排気ガス中の酸素濃度を測定するための酸素センサとしての機能（後述）を有する本発明のガスセンサ１がこの順序で取り付けられている。そして、本発明のガスセンサ１は、例えば触媒の劣化判別のために浄化後の排気ガス中のＨＣ濃度を測定するものとされている。
【００９１】
一方、図１３は、ディーゼルエンジンの排気ガス中の排気ガス浄化システムを模式的に示しており、排気管に対しエンジンに近い側から、ＨＣ源としての軽油を排気ガス中に噴射するための軽油噴射弁と、ＮＯＸ浄化触媒とがこの順序で配置されており、該ＮＯＸ浄化触媒は軽油噴射により添加されたＨＣを還元剤としてＮＯＸを窒素と酸素とに分解することによりこれを浄化する働きをなす。そして、本発明のガスセンサ１は上記ＮＯＸ浄化触媒の上流側に配置され、排気ガス中に噴射すべき軽油の量をフィードバック制御するために、軽油噴射後の排気ガス中のＨＣ濃度をモニタする役割を果たすこととなる。
【００９２】
なお、上記ガスセンサ１の酸素濃淡電池素子４及び可燃ガス成分濃度検出素子５はＺｒＯ２固体電解質で構成されている。ここで、ＺｒＯ２固体電解質を用いた酸素濃淡電池素子において、一方の電極が酸素と可燃ガス成分が混在した被測定ガスに接するようにしておき、他方の電極が一定酸素濃度の基準雰囲気に接するように配置した場合、その濃淡電池起電力は、酸素と可燃ガス成分とが過不足なく反応する存在比率で混在している組成（ストイキ組成）付近を境にして急激に変化する性質を有している。一方、一般のガソリンエンジンあるいはディーゼルエンジンをリーンバーン条件で運転したときに、発生する排気ガス中の可燃ガス成分の総濃度はおおむね０〜１０００ｐｐｍＣ程度の範囲のものとなる。そして、この可燃ガス成分濃度において、第一処理室９で調整される排気ガスの酸素濃度を前述の１０−６ａｔｍ（望ましくは１０−９ａｔｍ）以下の範囲に調整することで、第二処理室１０に導入されるガスは概ねストイキ組成か若干リッチ側の組成となるので、可燃ガス成分濃度検出素子５の濃淡電池起電力出力が高められ、ひいてはガスセンサ１の感度も良好なものとなる。
【００９３】
上記ガスセンサシステム５０においては、第一処理室９内で酸素濃度を一定レベルまで減じてから第二処理室１０内で可燃ガス成分濃度の検出を行なうようにしているから、可燃ガス成分濃度検出素子５の検出出力は排気ガス中の酸素濃度の影響を本質的に受けにくい特質を有している。しかしながら、酸素濃度により検出出力に多少の変動が生じる場合は、排気ガス中の酸素濃度に応じて可燃ガス成分濃度検出素子５の検出出力を補正するようにすれば、可燃ガス成分濃度の検出精度を一層向上させることができる。
【００９４】
この場合、排気ガス中の酸素濃度は、別途設けられた酸素センサを用いて測定してもよいが、上記ガスセンサ１の酸素濃度調整用ポンプ素子３を流れる電流値、すなわち酸素ポンプ電流値ＩＰは、排気ガス中の酸素濃度に応じてほぼ直線的に変化するため、該ポンプ電流値ＩＰにより排気ガス中の酸素濃度の情報を得るようにすれば、新たな酸素センサを設けなくて済む利点がある。
【００９５】
具体例としては例えば以下のような構成が可能である。すなわち、図９に示すように、差動増幅器５７の出力路上に電流検出用の抵抗器７３を設け、その抵抗器７３の両端電圧の形でポンプ電流値ＩＰを差動増幅器５９（オペアンプ５９ａと周辺の抵抗器５９ｂ〜５９ｅとから構成される）により検出し、これをＡ／Ｄ変換器７４を介してマイクロプロセッサ５２に入力する。そして、ＲＯＭ５５の濃度変換テーブル５５ｂは、図１４に示すように、可燃ガス成分濃度検出素子５の検出電流の各種値Ｉｄ１、Ｉｄ２、Ｉｄ３、‥‥に対応する可燃ガス成分濃度（例えばＨＣ濃度）の値の組を、各種ポンプ電流値ＩＰ（すなわち酸素濃度）の値毎に記憶した二次元テーブルとしておく。そして、測定されたポンプ電流値ＩＰと検出電流値Ｉｄの値の組に対応する可燃ガス成分濃度の値を、上記濃度変換テーブル５５ｂを参照して二次元補間法により算出し、これを補正された濃度検出値として出力する。この場合、濃度変換テーブル５５ｂの内容が出力電流値−可燃ガス成分濃度関係情報を構成し、ＲＯＭ５５はその記憶手段となる。また、マイクロプロセッサ５２のＣＰＵ５３は、補正手段として機能する。
【００９６】
なお、図９において、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流（すなわち、第二電極１６と酸素基準電極１４との間に流れる電流）の極性は、本来ならば第二処理室１０から酸素を汲み出す向きのもの、すなわち基準電極１４から第二電極１６へ向かうものとなるべきである。しかしながら、第二処理室１０に流れ込む気体中の可燃ガス成分濃度が極端に高くなると、第二処理室１０内での酸素の燃焼消費が進み過ぎ、可燃ガス成分濃度検出素子５に生ずる濃淡電池起電力との兼ね合いで電流が逆流してしまうことがある。
【００９７】
図１５を用いてこのことを説明する。すなわち、第二処理室１０側の酸素濃度は酸素基準電極１４内の酸素濃度よりも必ず低いから、電源７１の電圧の絶対値をＶＣ、可燃ガス成分濃度検出素子５の酸素濃淡電池起電力の絶対値をＥａとすれば、ＩｄはＶＣ−Ｅａに依存して変化する。ここで、ＶＣとＥａとが等しければＩｄはほぼゼロとなるが、第二処理室１０に流れ込む気体中の可燃ガス成分濃度が高くなって燃焼消費される酸素の量が大きくなると酸素濃淡電池起電力Ｅａが大きくなり、Ｉｄは酸素基準電極１４に向かう方向（すなわち、酸素が第二電極１６に向かう方向：以下、これをＩｄの極性が負であると定義する）に流れる。他方、可燃ガス成分濃度が低くなると、酸素濃淡電池起電力Ｅａが小さくなり、Ｉｄは第二電極１６に向かう方向（すなわち、酸素が酸素基準電極１４に向かう方向：以下、これをＩｄの極性が正であると定義する）に流れる。
【００９８】
この場合、自己生成型基準電極として構成されている酸素基準電極１４は、酸素濃淡電池素子４と可燃ガス成分濃度検出素子５との間で共有されているので、Ｉｄが負の方向に大きくなり過ぎた場合（すなわち、負のある限界値を−Ｉｄｎ（Ｉｄｎ＞０）として、Ｉｄ＜−Ｉｄｎとなった場合）は、多量の酸素が第二電極１６側に流出し、酸素基準電極として必要な酸素濃度が確保できなくなる。その結果、酸素濃淡電池素子４の正常な作動ひいては第一処理室９内の酸素濃度制御が不可能となり、センサ１の検出精度低下につながる。
【００９９】
他方、内燃機関からの排気ガス中の炭化水素濃度等を検出する場合、フューエル・カット（燃料遮断：例えば、スロットルバルブ全閉状態の減速時等において、触媒の過熱防止や燃料節約の目的で行われる）等により、測定対象となる排気ガス中の酸素濃度が極端に高くなることがある。この場合は、Ｉｄは逆に正の方向に過度に大きくなり（すなわち、正のある限界値をＩｄｐ（Ｉｄｐ＞０）として、Ｉｄ＞Ｉｄｐとなる）、多量の酸素が酸素基準電極１４側に流れ込み、酸素基準電極１４の内部圧力が大きくなり過ぎて電極の破損を起こす等の不具合につながる場合がある。
【０１００】
このような不具合を避けるためには、可燃ガス成分濃度検出素子５に対する直流定電圧電源７１による通電経路上に、Ｉｄが、−Ｉｄｎ＜Ｉｄ＜Ｉｄｐの範囲を外れて流れることを阻止する電流制限回路を設けておくことが有効である。図１５には、その回路例を示している（図９の回路と共通の部分については同一の符号を付与して詳細な説明は省略する）。この回路例では、直流定電圧電源７１による定電圧ＶＣがボルテージフォロワ１２５を介して酸素基準電極１４側が正となるように印加され、第二電極１６からの電流出力経路上に電流制限回路１２０が設けられる形となっている。また、定電流電源７２は、センサ作動温度における酸素濃淡電池素子４の内部抵抗値よりも十分大きい抵抗値（例えば該内部抵抗値の１０００〜５０００倍程度）を有する抵抗器７２ａを介して、該酸酸素濃淡電池素子に対し電源電圧ＡＶｃｃを印加するようになっている。これにより、酸素濃度検出素子４には第一処理室９側から該酸素基準電極１４側に酸素が汲み込まれる方向に、略一定の微小電流Ｉ０が印加される。
【０１０１】
電流制限回路１２０においては、第二電極１６側からの電流Ｉｄが、抵抗器１２７ａ及び１２７ｂとともに電流−電圧変換回路を構成するオペアンプ１２７（以下、電流−電圧変換回路１２７と称する）にて対応する出力電圧Ｖｄに変換され、電圧制御点ＰＣに供給される。該電圧制御点ＰＣにはツェナーダイオード１２９，１３１が接続され、各々電圧Ｖｋ及び−Ｖｋ（ただし、Ｖｋ＞０）が印加される。なお、各ツェナーダイオード１２９，１３１は、前記した電流限界値Ｉｄｎ及びＩｄｐにそれぞれ対応するツェナー電圧（Ｖｋ＋Ｖｄｎ）及び（Ｖｋ＋Ｖｄｐ）を有するものが選ばれている。なお、Ｖｋ及び−Ｖｋは、車載バッテリーを入力電圧ＶＢとして、例えばＤＣ−ＤＣコンバータ１３５により電圧調整する形で作られる。
【０１０２】
そして、制御点ＰＣの電圧がＶｄｐを超えようとした場合（すなわち、電流ＩｄがＩｄｐを超えようとした場合）はツェナーダイオード１３１が導通し、逆に−Ｖｄｎを下回ろうとした場合は、ツェナーダイオード１２９が導通する。これにより、電流値Ｉｄは、−Ｉｄｎ＜Ｉｄ＜Ｉｄｐの範囲に維持されることとなる。
【０１０３】
なお、Ｉｄ＜−Ｉｄｎとなることを防止するのみでよい場合には、双方向の電流制限回路１２０は単方向の電流制限回路にて置き換えることが可能である。また、Ｉｄ＜０となること（すなわち、酸素が酸素基準電極１４から第二電極１６側に漏れ出すこと）を阻止するのみで十分な場合には、図１６に示すように、電流制限回路１２０を該向きの電流を遮断するダイオード１２１にて置き換えることが可能である。
【０１０４】
また、酸素基準電極１４側の基準電位レベル（あるいはその空隙に保持されるガス中の酸素濃度レベル）を、測定上の支障を来たさない範囲に維持できるようであれば、ＶＣの印加極性は上記と逆、すなわち、酸素基準電極１４側から第二処理室１０側へ酸素が汲み込まれる方向に設定してもよい。また、酸素基準電極１４は隔壁１２に埋設された自己生成型の電極となっているが、例えば図１７に示すように、大気連通部を介して基準ガスとしての大気が導入される基準室ＯＲを隔壁１２に設け、この基準室ＯＲの内面に、酸素濃淡電池素子３側の酸素基準電極１４ｓと可燃ガス成分濃度検出素子５側の酸素基準電極１４ｐとを併設する形としてもよい。他方、図１８に示すように、酸素濃淡電池素子３及び可燃ガス成分濃度検出素子５のそれぞれに対応して、自己生成型として構成された個別の酸素基準電極１４ｓ，１４ｐを、例えばアルミナ等を主体とする絶縁層ＩＲに隔てられた形で、隔壁１２に埋設するようにしてもよい。これらの場合、ＶＣの印加極性は第二処理室１０側から酸素基準電極１４側へ酸素が汲み出される方向に設定しても、酸素基準電極１４側から第二処理室１０側へ酸素が汲み込まれる方向に設定しても、いずれでもよい。
【０１０５】
【実施例】
（実験例１）
図１に示すガスセンサ１において、Ｙ２Ｏ３を５重量％含有するＺｒＯ２固体電解質で各素子３〜６を構成した。各多孔質電極１４〜２０のうち、第四電極１９を除く他の電極をＰｔ−１重量％Ａｕ合金により構成した。また、第四電極１９は、Ｐｔ−１重量％Ａｕ合金により主電極層１５１（図６）をポンプセルユニット１１１との一体焼成により形成する一方、その主電極層１５１の上にＡｕペーストを塗布して二次焼成（二次焼成温度９００℃）することにより表面電極層１５２を形成して得られる二層構造電極とした。第一処理室９及び第二処理室１０は、それぞれ高さ０．０２ｍｍ、幅２２ｍｍ、長さ７ｍｍとした。また、第四電極１９の膜厚方向の断面をとり、その断面上にて電子線プローブ微小分析（ＥＰＭＡ：ただしエネルギー分散方式）による組成分析を行ったところ、第四電極１９の主電極部におけるＡｕの含有量（ＷＡｕ）が４．１重量％、同じくＰｔの含有量が９５．９重量％であり、表層にはＡｕリッチ層が確認された。
【０１０６】
他方、試験ガスとして、酸素１％又は７％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、及び可燃性ガス成分としての以下のいずれかのＨＣ成分を各種範囲で含有し、残部窒素からなるものを用意した。
＊ＨＣ成分の含有レンジ
ＣＨ４ （メタン）：０〜４００ｐｐｍＣ
Ｃ２Ｈ６（エタン）：０〜６００ｐｐｍＣ
Ｃ３Ｈ８（プロパン）：０〜２０００ｐｐｍＣ
ｉ−Ｃ４Ｈ１０（イソブタン）：０〜１２００ｐｐｍＣ
（ｐｐｍＣは、炭素当量により表示した百万分率濃度である）
そして、上記センサ１を図９のガスセンサシステム５０に組み込み、試験ガス中に該センサ１を保持して各素子３〜６が７５０℃となるようにヒータ２，８により加熱した。なお、ガス温度は３００℃であり、流量は１５リットル／分とした。また、本実施例を通じて試験ガスの分析は、ＨＣ量を水素炎イオン化分析計（Ｆｌａｍｅ Ｉｏｎｉｚｅｄ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）により、酸素量を磁気流量分析装置（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｐｎｅｕｍａｔｉｃ Ａｎａｌｙｚｅｒ）により、炭酸ガス量（あるいは後述の実験では一酸化炭素量）を非分散型赤外吸光分析装置（Ｎｏｎｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ）、一酸化窒素量を化学発光分析装置（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）により、それぞれ行っている。
【０１０７】
この状態で、ガスセンサ１を酸素濃淡電池素子４の起電力目標値ＥＣを、第一処理室９内の酸素濃度設定目標値ＰＸが１０−１１ａｔｍとなる値（約５５０ｍＶ）に設定してセンサシステム５０を作動させるとともに、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流Ｉｄがメタン濃度によりどのように変化するかを調べた。ただし、定電圧直流電源５８（図９）による可燃ガス成分濃度検出素子５への電圧ＶＣの印加レベルは３５０ｍＶとし、定電流電源８０による測定用酸素供給ポンプ素子６への通電電流レベルは１５μＡとした。該結果を図１９に示す。すなわち、本発明のガスセンサ１の出力電流Ｉｄは、いずれのＨＣ成分についても濃度により略直線的に変化しており、良好な検出能を有していることがわかる。とりわけ、メタンに対する感度は良好である。また、図２０は、酸素濃度を７％とした場合の結果であるが、同様に良好な検出能を有しており、かつ酸素濃度の影響もあまり受けていないことがわかる。
【０１０８】
なお、図３０は、二次焼成後において未使用状態の第四電極に対しＳＥＭに付属するＥＰＭＡにより調べた、Ｐｔ（（ａ））、Ａｕ（（ｂ））及びＺｒ（（ｃ））の各元素に対する断面の特性Ｘ線像（倍率：約１０００倍）である。図中、明るい部分ほど、特性Ｘ線の強度（すなわち元素濃度）が高いことを示している。（ａ）と（ｃ）とを比較することにより、ＺｒＯ２を主体とする固体電解質層の上にＰｔ多孔質からなる主電極層が厚さ約２０μｍ程度にて形成されていることがわかる。また、多孔質電極と固体電解質層との間の熱膨張率の差を小さくして電極の密着強度を向上させるために、ＺｒＯ２粉末を配合したＰｔペーストを電極原料として使用したので、主電極層中にもＺｒの特性Ｘ線の分布領域が観察される。また、（ａ）と（ｂ）とを比較することにより、主電極層の最表層部には、Ａｕを主体とする表面電極層が形成されていることがわかる。他方、主電極層に対応する領域にはＡｕの特性Ｘ線が薄く分散しているが、これは、二次焼成時に表面電極層側から主電極層側にＡｕが拡散したためであると考えられる。
【０１０９】
次に、図３１は、センサを大気中にて７８０℃にて５００時間エージングを施した後の、Ｐｔ（（ａ））、Ａｕ（（ｂ））及びＺｒ（（ｃ））の各元素に対する、第四電極の断面の特性Ｘ線像（倍率：約１０００倍）である。これによれば、図２３と比較して、Ａｕ濃度の高い表面電極層の領域が広がるとともに、該領域内のＰｔの濃度が高くなっていることがわかる。Ａｕ−Ｐｔ系平衡状態図によると、７８０℃におけるＡｕ側のＰｔの固溶限界が約２０重量％と高い一方、Ｐｔ側のＡｕの固溶限界は約５重量％と低い。そして、主電極層中の、表面電極層との界面付近のＡｕ濃度は、二次焼成により、Ｐｔ中における飽和濃度に比較的近い値まで上昇している可能性が高いと思われることから、上記のようなエージングを施すと、表面電極層側のＡｕの主電極層側への拡散は比較的鈍く、他方、主電極層側から表面電極層側へのＰｔ成分の拡散は比較的進みやくなると考えられる。
【０１１０】
その結果、Ｐｔ成分の表面電極層側へ拡散が優先的に進行して、表面電極層の領域が広がったものと推測される。なお、このエージングにより表面電極層中のＰｔ濃度は上記Ａｕに対する固溶限界程度（例えば７８０℃で２０重量％）までは増大するが、この程度の濃度までであれば、表面電極層による電極の燃焼触媒活性抑制の効果は十分に確保することができる。また、センサ使用時における表面電極層中のＰｔ濃度の経時変化が小さければ、センサ特性（例えば酸素濃淡電池素子のオフセット起電力）の経時的安定性を向上させる上で都合がよいこともある。このような場合は、センサを出荷する前に上記のようなエージングを積極的に施して、表面電極層側へのＰｔの拡散を十分進行させておくことが望ましいといえる。
【０１１１】
なお、以下のような参考実験を行っている。すなわち、電極１５及び１６をＰｔ−１重量％Ａｕ合金の多孔質電極とし、他をＰｔ多孔質電極とした同様のセンサ（実施例センサＢ）を作製した。これと、第四電極を二層構造とした前述のセンサ（実施例センサＡ）とのそれぞれについて、酸素７％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、一酸化窒素５００ｐｐｍ、及び可燃性ガス成分としてのメタンを２００ｐｐｍＣ含有し、残部窒素からなる試験ガスを用いた以外は同一の条件にてセンサを作動させたときのセンサ出力を調べた。これによると、実施例センサＢの出力電流Ｉｄの値は１μＡ程度であったのに対し、実験例センサＡの出力電流Ｉｄの値は４μＡとなり、より良好な感度が得られることがわかった。その理由として、第四電極１９を上記二層構造とすることによりメタンに対する燃焼触媒活性が和らげられ、メタンの第一処理室９内における燃焼損失が少なくなったことが考えられる。
【０１１２】
（実験例２）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気０〜１５％、炭酸ガス１０％、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２１に示す。すなわち、いずれの水蒸気濃度においても出力電流Ｉｄは概ね安定しており、特に水蒸気濃度が３〜１５％の範囲ではメタンの存在の有無によらず出力電流の変化はほとんど見られない。本発明のガスセンサ１は、検出中に水蒸気の分解をほとんど起こさないため、水蒸気濃度によらず、メタンに対して常に安定した濃度検出出力が得られるものと考えられる。
【０１１３】
（実験例３）
実験例１と同じセンサシステム５０を用い、試験ガス中のメタンを０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気３〜１５％、炭酸ガス１０％、残部窒素とした試験ガス中にガスセンサ１を配置して、各素子３〜６が６５０℃になるようにヒータ２，８により加熱した。そして、酸素濃淡電池素子４の起電力目標値ＥＣを、第一処理室９内の酸素濃度設定目標値ＰＸが１０−１５〜１０−５ａｔｍとなる各種値に設定してセンサシステム５０を作動させ、可燃ガス成分濃度検出素子５の出力電流Ｉｄを測定した。なお、定電圧直流電源５８（図９）による可燃ガス成分濃度検出素子５への電圧ＶＣの印加レベルは３５０ｍＶとし、定電流電源８０による測定用酸素供給ポンプ素子６への通電電流レベルは１５μＡとした。
【０１１４】
図２２は、各メタン濃度に対するＩｄとＰＸとの関係を示している。ＰＸが１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲にて、いずれのメタン濃度においてもＰＸの値によらずほぼ一定のセンサ出力が得られていることがわかる。他方、ＰＸが１０−１２ａｔｍ以下の条件では、本来一定であるべきＩｄが急速に減少している（すなわち、見かけの可燃ガス成分濃度が増加している）。これは、水蒸気の分解により、可燃ガス成分である水素が多量に発生し、第二処理室で酸素を消費したためであると推測される。他方、ＰＸが１０−６ａｔｍ以上の条件では、Ｉｄが急速に増大しているが、これは第一処理室でくみ残される酸素量が急増するためであると考えられる。また、ＰＸが１０−１２〜１０−６の範囲で大きくなるほど、メタンに対する感度ΔＩｄは減少する傾向があるが、これは、酸素濃度が過剰であるため第一処理室内でメタンが燃焼し、いわば目減りしてしまうためであると考えられる。
【０１１５】
（実験例４）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素０〜１０％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２３に示す。いずれの酸素濃度においても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化していない。このことから、本発明のガスセンサ１は、被測定ガス中の酸素濃度によらず、メタンに対して常に安定した濃度検出出力が得られることがわかる。
【０１１６】
（実験例５）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス０〜１５％、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２４に示す。いずれの炭酸ガス濃度においても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。
【０１１７】
（実験例６）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、亜硫酸ガス０〜１００ｐｐｍ、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２５に示す。いずれの亜硫酸ガスにおいても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。
【０１１８】
（実験例７）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、一酸化窒素０〜１２００ｐｐｍ、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２６に示す。いずれの一酸化窒素においても、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。
【０１１９】
（実験例８）
実施例１と同様の実験を、試験ガス組成をメタン０又は２００ｐｐｍＣ、酸素１％、水蒸気１０％、炭酸ガス１０％、一酸化炭素０〜１２０００ｐｐｍ、残部窒素とした以外は同じ条件にて行った。結果を図２７に示す。一酸化炭素濃度が３０００ｐｐｍ以下では、各メタン濃度に対応する出力電流Ｉｄはほとんど変化しておらず、影響を受けにくいことがわかる。また、一酸化炭素濃度が３０００ｐｐｍ以上になっても、若干センサ出力は変化しているが、概ね安定していることがわかる。ここで、一酸化炭素は可燃ガス成分であるにもかかわらず、メタンの検出出力への影響は１２０００ｐｐｍという高濃度まで小さくなっている。これは、一酸化炭素が共存する場合でも、メタンが選択検出性に優れていることを示すものである。例えば第一電極を触媒として、一酸化炭素が第一処理室内でメタンよりも優先的に燃焼することがその理由として考えられる。
【０１２０】
また、一酸化炭素に代えて、水素あるいはアンモニアを使用した場合の結果を図２８及び図２９にそれぞれ示している。これによれば、可燃ガス成分として水素あるいはアンモニアが共存する場合でも、メタンに対するセンサ出力はその影響を受けにくく、選択検出性に優れていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガスセンサの一例を示す正面断面図、及びそのＡ−Ａ断面図とＢ−Ｂ断面図。
【図２】電極リード部と端子部との接続構造の一例を示す断面図。
【図３】図１のガスセンサにおける処理室の形成方法を示す説明図。
【図４】同じく別の説明図。
【図５】図１のガスセンサを、ポンプセルユニットの裏面側の様子とともに示す分解斜視図。
【図６】その第四電極の構造を示す模式図。
【図７】図１のガスセンサのポンプセルユニットの製造方法を示す分解斜視図。
【図８】同じくセンサセルユニットの製造方法を示す分解斜視図。
【図９】図１のガスセンサを用いたガスセンサシステムの回路構成例を示すブロック図。
【図１０】濃度変換テーブルの内容例を示す説明図。
【図１１】図９のガスセンサシステムの制御プログラムの処理の流れを示すフローチャート。
【図１２】本発明のガスセンサを、ガソリンエンジンに対するＨＣ検出センサとして用いる例を示す模式図。
【図１３】本発明のガスセンサを、ディーゼルエンジンに対するＨＣ検出センサとして用いる例を示す模式図。
【図１４】濃度変換テーブルの別の例を示す説明図。
【図１５】電流制限回路を設けたセンサ周辺回路の一例を示す回路図。
【図１６】電流制限回路をダイオードにて簡略に構成した例を示す回路図。
【図１７】図１のセンサの変形例を示す断面図。
【図１８】同じく別の変形例を示す断面図。
【図１９】本発明のガスセンサを用いた実験例１の実験における、センサ出力の各種ＨＣ濃度依存性の結果を示すグラフ（酸素濃度１％）。
【図２０】本発明のガスセンサを用いた実験例１の実験における、センサ出力の各種ＨＣ濃度依存性の結果を示すグラフ（酸素濃度７％）。
【図２１】実験例２の実験における、センサ出力に及ぼす水蒸気濃度の影響を示すグラフ。
【図２２】実験例３の実験における、センサ出力に及ぼす第一処理室内の酸素濃度設定値の影響を示すグラフ。
【図２３】実験例４の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の酸素濃度の影響を示すグラフ。
【図２４】実験例５の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の炭酸ガス濃度の影響を示すグラフ。
【図２５】実験例６の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の亜硫酸ガス濃度の影響を示すグラフ。
【図２６】実験例７の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の一酸化窒素濃度の影響を示すグラフ。
【図２７】実験例８の実験における、センサ出力に及ぼす試験ガス中の一酸化炭素濃度の影響を示すグラフ。
【図２８】同じく水素濃度の影響を示すグラフ。
【図２９】同じくアンモニア濃度の影響を示すグラフ。
【図３０】実験例１で使用したセンサの第四電極断面の、ＥＰＭＡによるＰｔ、Ａｕ、Ｚｒの特性Ｘ線像（エージング前）
【図３１】実験例１で使用したセンサの第四電極断面の、ＥＰＭＡによるＰｔ、Ａｕ、Ｚｒの特性Ｘ線像（エージング後）
【符号の説明】
１ ガスセンサ
２ 第一ヒータ
３ 酸素濃度調整用ポンプ素子
４ 酸素濃淡電池素子（酸素濃度検出素子）
５ 可燃ガス成分濃度検出素子
６ 測定用酸素供給ポンプ素子
８ 第二ヒータ
９ 第一処理室
１０ 第二処理室
１１ 第一気体流通部
１２ 隔壁
１３ 第二気体流通部
１４ 酸素基準電極
１５ 第一電極
１６ 第二電極（酸化触媒部）
１７ 第三電極（酸化触媒部）
１９ 第四電極
５０ ガスセンサシステム
５１ 周辺回路
５２ マイクロプロセッサ
５３ ＣＰＵ（補正手段）
５４ ＲＡＭ
５５ ＲＯＭ
５６ Ｉ／Ｏポート
５７ 差動増幅器（酸素ポンプ作動制御手段）
７１ 直流定電圧電源（電圧印加手段）
８０ 定電流電源（ポンピング電流通電手段）
１２０ 電流制限回路
１１１ ポンプセルユニット
１１１ａ 嵌合凸部（ポンプセル側嵌合部）
１１２ センサセルユニット
１１２ａ 嵌合凹部（センサセル側嵌合部）
１５１ 主電極層
１５２ 表面電極層
Claims (21)
- 周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される第一処理室と、
周囲から区画されるとともに、前記第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる第二処理室と、
前記第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する酸素濃度検出素子と、
酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を前記第一処理室から汲み出す又は前記第一処理室へ汲み込むことにより、当該第一処理室内へ導入された前記被測定ガス中の前記酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を所定のレベルに調整する酸素濃度調整用ポンプ素子と、
前記第二気体流通部を介して前記第一処理室から前記第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる酸化触媒部と、
酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が前記第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、前記被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を前記第二処理室に汲み込む測定用酸素供給ポンプ素子と、
酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が前記第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して前記第二処理室から酸素を汲み出す向きに一定の電圧が印加されるようになっており、前記第一処理室から前記第二処理室内に導入された気体中の、前記可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が前記被測定ガス中の前記可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される可燃ガス成分濃度検出素子と、
を備えたことを特徴とするガスセンサ。 - 前記酸素濃度調整用ポンプ素子は、前記第一処理室内へ導入された前記被測定ガス中の前記酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を、該被測定ガスに含有される水蒸気の分解反応が実質的に起こらない範囲内のものとなるように調整する請求項１記載のガスセンサ。
- 前記酸素濃度調整用ポンプ素子は、前記第一処理室内へ導入された前記被測定ガス中の前記酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を１０−１２〜１０−６ａｔｍの範囲で調整する請求項１又は２に記載のガスセンサ。
- 前記酸素濃度調整用ポンプ素子は、前記酸素濃度検出素子が検出する前記第一処理室内の酸素濃度を、検出対象となる炭化水素よりも燃焼活性の高い成分が、該検出対象となる炭化水素よりも優先的に燃焼される範囲のものとなるように調整する請求項１ないし３のいずれかに記載のガスセンサ。
- 前記酸素濃度検出素子は、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極が前記第一処理室と接するように配置された酸素濃淡電池素子とされ、
また、前記可燃ガス成分濃度検出素子の前記第二処理室と接する電極を第二電極とし、前記測定用酸素供給ポンプ素子の前記第二処理室と接する電極を第三電極とし、前記酸素濃淡電池素子の前記第一処理室と接する電極を第一電極とし、前記酸素濃度調整用ポンプ素子の第一処理室と接する電極を第四電極として、
それら第一〜第四電極は、いずれも酸素分子解離能を有する多孔質電極として構成されるととともに、前記第二電極及び第三電極の少なくともいずれかが、前記被測定ガス中の可燃ガス成分に対する酸化触媒活性を有して前記酸化触媒部として機能するものとされ、
かつ前記第一電極〜第四電極は、前記第一処理室よりも前記第二処理室において、前記可燃ガス成分の燃焼による酸素消費量が大きくなるように、その酸化触媒活性が調整されている請求項１ないし４のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記可燃ガス成分濃度検出素子の前記第二処理室と接する電極は、前記第二気体流通部と干渉しない位置に形成されている請求項１ないし５のいずれかに記載のガスセンサ。
- 前記第一処理室と前記第二処理室とは、酸素イオン伝導性固体電解質で構成された隔壁を挟んで互いに隣接して配置され、
前記隔壁には、前記第一処理室と前記第二処理室とを連通させる前記第二気体流通部が形成されるとともに、厚さ方向中間部には酸素基準電極が埋設され、
前記隔壁の前記第一処理室に面する表面には前記第一電極が形成され、該第一電極と、前記酸素基準電極と、それら電極の間に挟まれた酸素イオン伝導性固体電解質の隔壁部分とが前記酸素濃淡電池素子を構成し、
前記隔壁の前記第二処理室に面する表面には前記第二電極が形成され、該第二電極と、前記酸素基準電極と、それら電極の間に挟まれた酸素イオン伝導性固体電解質の隔壁部分とが前記可燃ガス成分濃度検出素子を構成し、
他方、前記第二処理室を挟んで前記隔壁と反対側に前記測定用酸素供給ポンプ素子が配置されている請求項４ないし６のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記酸素基準電極と、前記第二電極との少なくともいずれかが、前記隔壁に対し前記第二気体流通部と干渉しない位置に形成されている請求項７記載のガスセンサ。
- 前記酸素濃度調整用ポンプ素子は、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極（以下、第四電極という）が前記第一処理室と接するように配置され、
当該第四電極は、構成金属がＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金である多孔質金属からなる主電極層と、
その主電極層を覆う形で当該第四電極の表層部を構成し、構成金属がＡｕ及びＡｇのいずれかを主体とする金属、Ｐｔ−Ａｕ系合金、Ａｕ−Ｐｄ系合金、Ｐｔ−Ａｇ系合金、Ｐｔ−Ｎｉ系合金のいずれかである多孔質金属からなる表面電極層と、
を含む少なくとも二層により形成されるものである請求項１ないし８のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記第四電極は、構成金属がＰｔ又はＰｔ−Ａｕ合金である多孔質金属からなる主電極層と、
前記第四電極の表層部を構成し、構成金属がＡｕを主体とするＡｕ系金属である多孔質金属からなる表面電極層とにより形成される二層構造である請求項９に記載のガスセンサ。 - 前記酸素濃度検出素子は、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成されるとともに、一方の電極（以下、第一電極という）が前記第一処理室と接するように配置された第一の酸素濃淡電池素子であり、
前記第一電極は、構成金属がＰｔ、Ｐｔ−Ａｕ合金又はＰｔ−Ａｇ合金である多孔質金属からなる請求項１ないし１０のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記第一電極の面積が、前記第四電極の面積よりも小さく設定されている請求項９ないし１１のいずれかに記載のガスセンサ。
- 前記酸素濃度調整用ポンプ素子を含んで構成されたポンプセルユニットと、前記酸素濃度検知素子、前記第二処理室、前記可燃ガス成分濃度検出素子及び前記測定用酸素供給ポンプ素子を含んで構成されたセンサセルユニットとが各々別体に形成され、それら両ユニットが接合材を用いて互いに接合され一体化されている請求項９ないし１２のいずれかに記載のガスセンサ。
- 前記ポンプセルユニットにはポンプセル側嵌合部が形成される一方、前記センサセルユニットにこれと嵌合するセンサセル側嵌合部が形成され、
それら両嵌合部の嵌合面において前記ポンプセルユニットと前記センサセルユニットとが接合され一体化されている請求項１３記載のガスセンサ。 - 請求項１０記載のガスセンサの製造方法であって、
前記酸素濃度調整用ポンプ素子に含まれる酸素イオン伝導性固体電解質層の未焼成成形体（以下、未焼成固体電解質成形体という）に対し、前記第四電極の前記主電極層の原料粉末の未焼成層（以下、主未焼成電極層という）を含んだ下地電極パターンを形成してこれを前記未焼成固体電解質成形体とともに一体焼成することにより、前記酸素イオン伝導性固体電解質層の上に前記主電極層を含む下地電極層を形成する下地電極層形成工程と、
その下地電極層の上に、前記表面電極層の原料粉末層を形成してこれを前記一体焼成時よりも低温にて二次焼成することにより、前記表面電極層を形成する表面電極層形成工程とを、
含むことを特徴とするガスセンサの製造方法。 - 前記ガスセンサは、前記酸素濃度調整用ポンプ素子を含んで構成されたポンプセルユニットと、前記酸素濃度検知素子、前記第二処理室、前記可燃ガス成分濃度検出素子及び前記測定用酸素供給ポンプ素子を含んで構成されたセンサセルユニットとが各々別体に形成され、それら両ユニットが接合材を用いて互いに接合され一体化されたものであり、これを製造するために、
前記表面電極層を形成せず、下地電極層を形成した状態のポンプセルユニットを焼成により製造し、
次いでそのポンプセルユニット上の下地電極層の上に前記二次焼成により前記表面電極層を形成し、これを別途焼成により製造した前記センサセルユニットと一体化することにより前記ガスセンサを得る請求項１５記載の製造方法。 - 周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される第一処理室と、
周囲から区画されるとともに、前記第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる第二処理室と、
前記第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する酸素濃度検出素子と、
酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を前記第一処理室から汲み出す又は前記第一処理室へ汲み込む酸素濃度調整用ポンプ素子と、
前記第二気体流通部を介して前記第一処理室から前記第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる酸化触媒部と、
酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が前記第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、前記被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を前記第二処理室に汲み込む測定用酸素供給ポンプ素子と、
酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が前記第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して前記第二処理室から酸素を汲み出す方向に一定の電圧が印加されるようになっており、前記第一処理室から前記第二処理室内に導入された気体中の、前記可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が前記被測定ガス中の前記可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される可燃ガス成分濃度検出素子と、
を備えたガスセンサと、
前記第一処理室内へ導入された前記被測定ガス中の前記酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度が所定の範囲のものとなるように、前記酸素濃度調整用ポンプ素子の作動を制御する酸素濃度調整用ポンプ素子作動制御手段と、
前記可燃ガス成分濃度検出素子に対し、前記電圧を印加する電圧印加手段と、前記測定用酸素供給ポンプ素子の前記両電極間に、測定用酸素汲み込みのためのポンピング電流を通電するポンピング電流通電手段と、
を備えたことを特徴とするガスセンサシステム。 - 前記酸素濃度調整用ポンプ素子のポンプ電流値に反映された前記被測定ガス中の酸素濃度の情報に基づいて、前記可燃ガス成分濃度検出素子による検出出力を補正する補正手段を備える請求項１７記載のガスセンサシステム。
- 前記酸素濃度検出素子は、酸素イオン伝導性固体電解質層の両面に多孔質金属からなる電極が形成され、一方の電極（以下、第一電極という）が前記第一処理室と接する検出側電極とされ、他方の電極が酸素基準電極とされる酸素濃淡電池素子であり、その酸素基準電極は、前記検出側電極との間にて当該酸素基準電極側に酸素が汲み込まれる方向にポンピング電流が印加され、その汲み込まれた酸素により自身の内部に所定レベルの基準酸素濃度が形成される自己生成型酸素基準電極とされ、
他方、前記可燃ガス成分濃度検出素子において、前記第二処理室に接する電極（以下、第二電極という）とは異なる側の電極が前記酸素濃淡電池素子の前記酸素基準電極と共有化されており、さらに、
前記可燃ガス成分濃度検出素子において、前記第二電極と前記酸素基準電極との間にて、所定の範囲を超えた電流が流れることを阻止する電流制限回路が設けられている請求項１７又は１８に記載のガスセンサシステム。 - 前記電流制限回路は、前記酸素基準電極から前記第二電極に向けて所定値を超える電流が流れることを阻止するものである請求項１９記載のガスセンサシステム。
- 前記電流制限回路は、前記第二電極側から前記酸素基準電極へ電流が逆流することを阻止するものである請求項１９又は２０に記載のガスセンサシステム。
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