JP3760573B2 - NOxセンサの製造方法及びNOxセンサ - Google Patents
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Description
【技術分野】
本発明は,内燃機関の排ガス等のサンプルガス中におけるNOx濃度を検出する,NOxセンサの製造方法及びNOxセンサに関する。
【0002】
【従来技術】
従来,サンプルガス中のNOx濃度を検出するNOxセンサとしては,固体電解質基板の酸素イオン導電性(具体的には,安定化ジルコニア等の酸素イオン導電性)を利用するものが知られている(SAE960334)。
【0003】
上記NOxセンサについて以下に説明する。
図11,図12に示すごとく,上記NOxセンサ9は,基準ガス室950と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板941,942によって形成されたサンプルガス室902と,両者の間に設けられ,電極931,932を有するNOx濃度検出用の検出セル93よりなる。なお,上記サンプルガス室902は通路909においてサンプルガス室901と連結され,また,上記サンプルガス室901にはサンプルガス導入路908が設けてある。
また,上記サンプルガス室901にはサンプルガス中の酸素ガス濃度を一定とするために,電極911,912よりなる酸素ポンプセル91と電極921,922よりなる酸素センサセル92とが設けてある。
【0004】
上記NOxセンサ9におけるNOxガス濃度検出は以下に示すごとく行われている。
まず,サンプルガスが上記サンプルガス室901に導入される。ここにおいて,酸素センサセル92と酸素ポンプセル91とが協調して作動することにより,サンプルガス室901の酸素ガス濃度はほぼ一定となる。この状態にあるサンプルガスがサンプルガス室902に導入される。
【0005】
上記検出セル93において,電極932は活性電極であり,NOx中の酸素原子を還元反応によりイオン化し,酸素イオンとすることができる。イオン化した酸素は上記固体電解質基板941を流通することにより,該固体電解質基板941にはイオン電流が発生する。上記イオン電流の大きさはNOxガス量と比例することから,該イオン電流の値を測定することにより,NOxガス濃度を検出することができる。
【0006】
なお,上記サンプルガス室に面する電極911,922は,NOx中の酸素原子を酸素イオンに還元しない不活性電極である。
そして,上記活性電極はPtよりなり,上記不活性電極はAuを添加したPtよりなる。
なお,図11において符号99は端子である。
【0007】
また,上記NOxセンサの製造に当たっては,まず,固体電解質基板のグリーンシートを準備し,これに導電性ペーストを用いて電極用の印刷部を形成する。上記グリーンシートを適宜積層し,積層体となす。最後にこの積層体を焼成することにより,NOxセンサを得る。
【0008】
【解決しようとする課題】
しかしながら,上記NOxセンサには以下に示す問題がある。
Auの融点は1064℃と低いため,上記従来方法にてNOxセンサを製造した場合,焼成中にAuが蒸発し,活性電極を汚染することがある。
この汚染により活性電極の活性が衰え,NOx濃度検出に支障をきたすおそれがある。
【0009】
そして多くのNOxセンサにおける固体電解質基板として,ジルコニア系の酸素イオン導電物質が使用されているが,この物質の焼結温度は1400〜1600℃という高温である。このため,Auの蒸発防止を目的に焼結温度を低くすることもできなかった。
【0010】
本発明は,かかる問題点に鑑み,製造中に蒸発したAuによる検出セルの電極を汚染防止ができるNOxセンサの製造方法及び,NOx濃度を精度よく検出可能なNOxセンサを提供しようとするものである。
【0011】
【課題の解決手段】
請求項1の発明は,基準ガス室と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板によって形成されたサンプルガス室と両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セルよりなる主体部と,
上記サンプルガス室に対面配設され,該サンプルガス室に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセルを設けたポンプセル体とよりなり,
かつ上記NOx濃度検出用の検出セルの電極はPt,Rh,Pt/Rhのいずれかの金属により構成されており,また上記ポンプセルの電極は該電極中にAuを添加してなるNOxセンサを製造するに当たり,
まず,上記主体部及び上記ポンプセル体を別体に作製し,次いで両者をそれぞれ別々に焼成し,その後両者を一体化してなることを特徴とするNOxセンサの製造方法にある。
【0012】
上記検出セルはNOx濃度を検出する部分である。
上記検出セルは一般的に以下のよう構成をとっている。
即ち,固体電解質基板に設けた一対の電極からなり,該電極の一枚はサンプルガス室に,他の一枚は基準ガス室に面する。そして,上記サンプルガス室に面した電極においてNOx中の酸素原子の還元が行われる。つまりこの電極は活性電極であり,Pt,Rh,Pt/Rhのいずれかの触媒活性の高い金属より構成されている。
【0013】
また,上記ポンプセルは上記サンプルガス室の酸素ガスを排出,導入するために設けてある。そして,上記ポンプセルは一般的に,固体電解質基板に設けた一対の電極からなり,該電極の一枚はサンプルガス室に,他の一枚はNOxセンサの外部に面している。
これらの電極は,例えば,NOx中の酸素原子の還元が生じないようにAuを添加して触媒活性を抑制したPt,Pd電極より構成されている。
【0014】
上記一体化において,上記主体部及びポンプセル体とを焼結して一体化することができる。この場合の焼結温度はAuの融点未満の温度で行うことが好ましい。具体的には1000℃未満の温度で行うことが好ましい。
【0015】
本発明の作用につき,以下に説明する。
本発明の製造方法においては,上記主体部及び上記ポンプセル体を別体に作製し,次いで両者をそれぞれ別々に焼成し,その後両者を一体化してなる。
このため,焼成中に蒸発したAuが検出セルの電極に付着して,該検出セルの電極の活性を低下させることを防止することができる。
よって,本発明の製造方法により得られたNOxセンサは精度よくNOx濃度を検出することができる。
【0016】
以上のように,本発明によれば,製造中に蒸発したAuによる検出セルの電極を汚染防止ができるNOxセンサの製造方法を提供することができる。
【0017】
次に,請求項2の発明のように,上記一体化に当たっては,上記主体部に設けた嵌入溝に上記ポンプセル体を嵌め込み,しかる後,両者を接合することが好ましい。
これにより,ポンプセル体の嵌め込みを容易に行うことができる。
【0018】
次に,請求項3の発明は,基準ガス室と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板によって形成されたサンプルガス室と両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セルよりなる主体部と,
上記サンプルガス室に対面配設され,該サンプルガス室に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセルを設けたポンプセル体とよりなり,
かつ上記NOx濃度検出用の検出セルの電極はPt,Rh,Pt/Rhのいずれかの金属により構成されており,また上記ポンプセルの電極は該電極中にAuを添加してなるNOxセンサにおいて,
上記主体部と上記ポンプセル体とはそれぞれ別個に焼成された後,一体化してなることを特徴とするNOxセンサである。
【0019】
本発明にかかるNOxセンサは,それぞれ別個に焼成されたポンプセル体と主体部とを,例えばガラス系接着剤等を用いて一体化してなる。
このため,前述したごとく,焼成中に蒸発したAuが検出セルの電極に付着して,該検出セルの電極の活性を低下させることを防止することができる。
よって,本発明にかかるNOxセンサは精度よくNOx濃度を検出することができる。
【0020】
次に,請求項4の発明のように,上記一体化に当たっては,主体部に設けた嵌入溝に上記ポンプセル体を嵌め込み,しかる後,両者を接合してなることが好ましい。
これにより,ポンプセル体の嵌め込みを容易に行うことができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
実施形態例1
本発明の実施形態例にかかるNOxセンサの製造方法及びこれにより得られたNOxセンサにつき,図1〜図5を用いて説明する。
図1,図2に示すごとく,本例のNOxセンサ1は,基準ガス室151と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板13によって形成されたサンプルガス室161と両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セル130よりなる主体部12と,上記サンプルガス室161に対面配設され,該サンプルガス室161に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセル110を設けたポンプセル体11とよりなる。
【0022】
上記検出セル130は固体電解質基板13に設けたサンプルガス室161に面する電極132と基準ガス室151に面する電極131とよりなる。
また,上記ポンプセル110は固体電解質基板149に設け,サンプルガス拡散抵抗層119に面した電極111とNOxセンサ1の外部に露出した電極112とよりなる。
そして,上記電極111はNOx活性作用を持たない不活性電極である。また,上記電極112,131,132はNOx活性作用を有する活性電極である。なお,上記電極112,131をNOx不活性電極とすることもできる。
【0023】
そして,上記NOxセンサ1を製造するに当たっては,まず,上記主体部12及び上記ポンプセル体11を別体に作製し,次いで両者をそれぞれ別々に焼成し,その後両者を一体化する。
【0024】
次に,NOxセンサの詳細に説明する。
図1,図2に示すごとく,上記本体部12は,発熱体195及びリード部196を設けたヒータ19用の絶縁性基板191,192,基準ガス室151形成用のスリットを有する絶縁性基板15,検出セル130が形成された固体電解質基板13,サンプルガス室161形成用の窓部を設けた絶縁性基板16,ピンホール171を設けた絶縁性基板17,ポンプセル体11を嵌合する嵌入溝140を設けた絶縁性基板14より構成されている。
【0025】
上記検出セル130は,上記固体電解質基板13に設けた一対の電極131,132よりなる。また,上記検出セル130の出力取出用端子134,136,リード部133,135が設けてある。なお,上記電極131,リード部135は固体電解質基板13の下面に設けてあり,この図面からは見えない位置にある。そして,上記リード部135と上記端子136とは図示を略したスルーホールを介して導通が取られている。
【0026】
上記絶縁性基板16にはスルーホール162,163が設けてある。また,上記絶縁性基板17にはスルーホール172,173が設けてある。上記スルーホール162,172は端子134と端子146とを,上記スルーホール163,173は端子136と端子145とを電気的に接続する。
また,上記ピンホール171はサンプルガス室161へのサンプルガス導入路となる。
【0027】
上記絶縁性基板14には端子143〜146,リード部141,142が設けてある。
上記端子145,146は上述したごとく端子134,136と電気的に接続されてなり,検出セル130の出力を取出す部分である。
また,上記端子143,144はリード部141,142等を通じてポンプセル110の電極111,112と電気的に接続されている。
【0028】
上記ポンプセル110は,固体電解質基板149に設けた一対の電極111,112よりなる。上記電極111,112は取出部113,114を通じて上記リード部141,142に電気的に接続されている。なお,上記取出部113,114とリード部141,142との電気接続性を確実なものとするために導電体116,115が設けてある。
なお,符号119はサンプルガス拡散抵抗層,符号118はポンプセル体11と本体部12の嵌入溝140とを接着する接着層である。
【0029】
次に,本例にかかるNOxセンサ1の製造方法について説明する。
まず,固体電解質基板13,149用のジルコニアグリーンシートの作製について説明する。
6モル%のイットリアと94モル%ジルコニアよりなる平均粒径0.5μmのイットリア部分安定化ジルコニアを100部(重量部以下同じ),α−アルミナを1部,PVB(ポリビニルブチラール)を5部,DBP(デイブチルフタレート)を10部,エタノールを10部,トルエンを10部秤量した。
【0030】
次いで,これらをボールミル中で混合してスラリーを作製し,該スラリーよりドクターブレード法にて乾燥厚みが0.3mmとなるシート成形体を作製,5×70mm(固体電解質基板13用),4×25mm(固体電解質基板149用)に切断した。
【0031】
次いで,固体電解質基板149用のシート成形体に導電性ペーストを用いて電極111用の印刷部を形成した。この導電性ペーストとしては1〜10wt%Au添加Ptペーストを使用した。また,10wt%ジルコニア添加Ptペーストを用いて電極112,端子113,114用の印刷部を形成した。このシート成形体がポンプセル体11となる。
【0032】
次いで,上記固体電解質基板13用のシート成形体にスルーホールを設けた。その後,0〜10wt%Pd添加及び10wt%ジルコニア添加Ptペーストを用いて電極131,132,リード部133,135,端子134,136用の印刷部を印刷形成した。
【0033】
次に,絶縁性基板14〜17,191,192用のアルミナグリーンシートの作製につき説明する。
平均粒径0.3μmのα−アルミナを98部,6モル%イットリアと94モル%ジルコニアよりなるイットリア部分安定化ジルコニアを3部,PVBを10部,DBPを10部,エタノールを30部,トルエンを30部秤量した。
【0034】
次いで,これらをボールミル中にて混合してスラリーを作製し,該スラリーよりドクターブレード法にて乾燥厚みが0.3mmとなるシート成形体を作製,5×70mmに切断した。
【0035】
上記絶縁性基板14用のシート成形体に10wt%ジルコニア添加Ptペーストを用いてリード部141,142,端子143〜146を印刷形成した。そして,ポンプセル体11嵌合用の嵌入溝140となるスリットを設け,全体としてコ字状とした。
【0036】
次に,上記絶縁性基板17用のシート成形体には,スルーホール172,173及びピンホール171を形成した。また,上記絶縁性基板16用のシート成形体には,スルーホール162,163及びサンプルガス室161となる窓部を形成した。
【0037】
また,上記絶縁性基板15用のシート成形体には基準ガス室151用のスリットを設け,コ字状とした。
また,上記絶縁性基板191のシート成形体には,90wt%Ptと10wt%アルミナよりなる導電性ペーストを用いて発熱体195,リード部196となる印刷部を形成した。
【0038】
そして,常温にて感圧接着性を有するペーストを用いて,絶縁性基板14,17,16,固体電解質基板13,絶縁性基板15,192,191となるシート成形体を圧着・積層し,積層体とした。なお,各スルーホールには10wt%ジルコニア添加Ptペーストを予め充填しておいた。
【0039】
次に,上記ポンプセル体11となるシート成形体を温度1500℃で1時間焼成した。これによりポンプセル体11を得た。
また,上記積層体を大気中,温度1500℃にて1時間焼成した。これにより本体部11を得た。
【0040】
次いで,上記本体部12の嵌入溝140にアルミナからなる接着性ペーストを塗布し,上記ポンプセル体11を嵌め込んだ。
次に,Ptペーストを端子113,114とリード部141,142とを連結するように塗布し,その後温度950℃で熱処理した。
更に,アルミナ5部を添加した高融点ガラスペースト(デグッサ社製フラックス10115)よりなる接着層118を嵌入溝140及びポンプセル体11との間に塗布し,一体化した。その後,本体部12とポンプセル体11とを大気中950℃で1時間熱処理した。
以上により,NOxセンサ1を得た。
【0041】
次に,本例において作製したNOxセンサ1と従来製法によるNOxセンサ8との性能について比較する。
この性能試験において使用した従来構造のNOxセンサ8について,図3,図4を用いて説明する。
【0042】
同図に示すごとく,固体電解質基板84にはポンプセル110が設けてあり,該固体電解質基板84の下方にはサンプルガス抵抗層119を配置するための絶縁性基板88が配置される。上記絶縁性基板88にはサンプルガス抵抗層119配置用のスリット880,また,端子134,136を端子145,146に電気的に導通させるためのスルーホール882,883を設けてある。
それ以外の構造は本例におけるNOxセンサ1と同様である。
【0043】
この従来例にかかるNOxセンサ8を作製するに当たっては,まず,各固体電解質基板13,84及び絶縁性基板15〜17,88用のシート成形体に各電極,リード部等用の印刷部を設け,図4に示すごとく積層し,積層体とした。
その後,この積層体を温度1500℃で焼成し,NOxセンサ8とした。
つまりこの従来例にかかるNOxセンサの製造方法においては,ポンプセル110にかかる電極111,112,検出セル130にかかる電極131,132は同時に焼成されている。
【0044】
そして,2つのNOxセンサ1及び8の性能試験は,以下のごとく行った。
即ち,ガス温度400℃であり,サンプルガスは0〜5000ppmの範囲内において変化させたNOと5%O2 /N2 (1.2リットル/分)とよりなる。また,各センサ1及び8の温度は750℃に保持した。
この条件において,NO濃度を測定し,結果について図5に記載した。
【0045】
図5から,本例にかかるNOxセンサ1(本発明品)は従来例にかかるNOxセンサ8に比べ,NO濃度に応じた大きなセンサ出力が得られた。
従来例であるNOxセンサ8のセンサ出力が小さかった原因を調査するため,検出セル130にかかる電極132表面をEPMAにて分析したところ,微量なAuが確認された。
【0046】
これにより,ポンプセル110の電極111,112と検出セル130の電極131,132とを同時に焼成することにより,電極111に含有されるAuが蒸発し,サンプルガス拡散抵抗層119,ピンホール171,サンプルガス室161を経由して検出セル130の電極132表面へ拡散し,電極132の活性を損ねたことが分かった。
【0047】
また,従来例の場合,センサ出力が小さく,また,更にAuによる検出セル電極130の被毒の程度の差に基づく出力バラツキが見られた。本実施形態例にかかるNOxセンサ1においてはバラツキは従来例のNOxセンサ8に比べ小さかった。
上述の通り,ポンプセル110をポンプセル体11として別個に焼成した後,一体化するという本例の製造方法によれば,NOx濃度に応じた安定したセンサ出力が得られることが分かった。
【0048】
従って,本例によれば,製造中に蒸発したAuによる検出セルの電極を汚染防止ができるNOxセンサの製造方法を提供することができる。
【0049】
なお,上記図3,図4にかかる構造の従来例に基づくNOxセンサ8においても,ポンプセル110を設けた固体電解質基板84を別個に焼成し,また,他の部分も積層してあらかじめ焼成し,両者共に焼成が済んだ後接合するという方法,つまり本発明にかかる製造方法を適用すれば,本発明と同様のNOxセンサとなる。
【0050】
実施形態例2
本例は,図6,図7に示すごとく,嵌入部を別部材により作製したNOxセンサである。
本例にかかるNOxセンサ2において,本体部22は絶縁性基板219,24,25,27,28と固体電解質基板26とにより構成されている。
絶縁性基板28は発熱部が設けられたヒータ基板である。この部分がNOxセンサにおけるヒータとなる。絶縁性基板27には基準ガス室270となる溝部が設けてある。
【0051】
上記固体電解質基板26には検出セルが設けてなり,該検出セルは固体電解質基板26の表面に設けられ,サンプルガス室250と基準ガス室270とにそれぞれ対面した2枚の電極261,262とよりなる。
上記絶縁性基板25にはサンプルガス室250となる窓部が,上記絶縁性基板24にはサンプルガスの拡散抵抗穴となるピンホール240が設けてある。
上記ポンプセル体21は固体電解質基板とその両面に設けた電極211,212からなる。
【0052】
上記絶縁性基板24はポンプセル体21における電極211,212と接続するためのリード部及び端子部が設けてある。そして,上記絶縁性基板219はコ字状の部材で,スリット218が設けてある。その表面にはリード部141,142が設けてある。このリード部はポンプセル体21における電極211,212とリード部142,143とを電気的に接続するために設けてある。
そして,上記絶縁性基板219と上記絶縁性基板24とにより,ポンプセル体21を嵌合するための嵌入溝が形成されている。
【0053】
本例にかかるNOxセンサの製造方法について説明する。
実施形態例1と同様の材料,同様の手順でもって,ポンプセル体21となるシート成形体を作製する。また,実施形態例1と同様の材料,同様の手順でもって,本体部22用の積層体を作製する。但し,絶縁性基板27は原材料よりなるスラリーを射出成形することにより作製する。
【0054】
上記ポンプセル体21となるシート成形体,本体部22となる積層体をそれぞれ別々に焼成する。
その後,本体部22に形成された嵌入部に上記ポンプセル体21を嵌め込む。次いで,ポンプセル体21と嵌入部との間には接着剤を流し込む。
この時,上記ポンプセル体21の電極211はリード部141の先端と接触し,この部分において電気的に接続されることとなる。また,電極212はその端部213において,上記絶縁性基板219,24に設けられたリード部142と電気的に接続され,更にリード部144と接続される。そして,それぞれの接続部分には導電性ペーストを塗布する。
【0055】
以上のようにしてポンプセル体21と本体部22とを一体化した後,両者を温度1000℃程度にて焼成する。以上によりNOxセンサを得た。
その他は,実施形態例1と同様である。
また,本例においても実施形態例1と同様の作用効果を有する。
【0056】
実施形態例3
本例は図8に示すごとく,サンプルガス室と基準ガス室とが同一平面内に形成され,また酸素センサセルを設けたタイプのNOxセンサ3である。
図8に示すごとく,本例にかかるポンプセル体31は,固体電解質基板331とその両面に設けた電極311,312とよりなるポンプセル310を有する。また,ポンプセル体31にはサンプルガス導入用のピンホール319が設けてある。
【0057】
図8に示すごとく,本例にかかる本体部32は,絶縁性基板37と該絶縁性基板37に埋め込まれ,内部に発熱部360が格納されたヒータ36を有する。上記絶縁性基板37,ヒータ36の上部には固体電解質基板35が配置され,該固体電解質基板35と絶縁性基板34及びポンプセル体31の固体電解質基板331とによって第一及び第二サンプルガス室341,342が,上記固体電解質基板35と絶縁性基板34,固体電解質基板33とによって基準ガス室345が形成されている。第一及び第二サンプルガス室341,342は通路343にて連結されている。
【0058】
上記固体電解質基板35には検出セル350が設けてある。上記検出セル350は,上記第二サンプルガス室342に面する電極352と基準ガス室345に面する電極351とよりなる。
また,上記固体電解質基板35には酸素センサ電極381が設けてあり,上記電極351と共に酸素センサセルを構成する。上記酸素センサ電極381は第一サンプルガス室341に面する。
また,上記固体電解質基板33の端部315が上記ポンプセル体31の嵌入溝となる。その他は実施形態例1と同様である。
【0059】
本例のNOxセンサ3は,第一及び第二サンプルガス室341,342と基準ガス室345が同一平面上に設けてある。このため,センサの厚みを薄くすることができ,また,ヒータ36と電極351,352との距離を縮めることができる。従って,本例にかかるNOxセンサ3はコンパクトで速熱性に優れている。
【0060】
また,本例のNOxセンサ3は酸素センサ電極381を有する。この酸素センサ電極381と上記電極351との間に電圧計を有する回路を設けることにより,これらが酸素センサセルとして機能する。即ち,酸素センサ電極381は第一サンプルガス室341に面しており,電極351は基準ガス室345に面しており,両者は酸素濃淡起電力式電池として働くからである。
【0061】
そして,上記酸素センサセルとポンプセル310との間にフィードバック回路を配置する。このフィードバック回路を用いて,上記酸素センサセルの値に基づいてポンプセル130を駆動する。これにより,第一サンプルガス室341及びこれと連通する第二サンプルガス室342の酸素ガス濃度を一定値に保つことができる。
従って,本例にかかるNOxセンサ3においては,正確なNOx濃度の検出が可能となる。
【0062】
また,図8に示すごとく,検出セル350にかかる基準ガス室345に面する電極と酸素センサセルにかかる基準ガス室345にかかる電極とは,同一の電極351である。従って,NOxセンサ3の構造をよりコンパクトとすることができる。
その他は,実施形態例1と同様の作用効果を有する。
【0063】
実施形態例4
本例は図9,図10に示すごとく,酸素センサセルを設けたNOxセンサである。
本例にかかるNOxセンサ1は,固体電解質基板13に酸素センサセル180を設けた他は実施形態例1にかかるNOxセンサと同じ構造である。
上記酸素センサセル180は,サンプルガス室161に面した電極182と基準ガス室151に面した電極181とよりなる。上記固体電解質基板13には,これら電極181,182と端子184,185とを導通させる為のリード部186が設けてある。
【0064】
なお,上記端子184,185は絶縁性基板16,17に設けられたスルーホール164,165,174,175により絶縁性基板14に設けられた端子148,149と導通されている。
その他は実施形態例1と同様である。
【0065】
本例のNOxセンサ1は酸素センサセル180を有する。この酸素センサセル180とポンプセル130との間にフィードバック回路を配置する。
このフィードバック回路を用いて,上記酸素センサセル180の値に基づいてポンプセル130を駆動する。これにより,サンプルガス室161の酸素ガス濃度を一定値に保つことができる。
従って,本例のNOxセンサ1においては,正確なNOx濃度の検出が可能となる。
その他は実施形態例1と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例1にかかる,NOxセンサの斜視図。
【図2】実施形態例1にかかる,NOxセンサの展開説明図。
【図3】実施形態例1にかかる,比較として用いた従来例のNOxセンサの斜視図。
【図4】実施形態例1にかかる,比較として用いた従来例のNOxセンサの展開説明図。
【図5】実施形態例1にかかる,本発明品と従来例品にかかるNOxセンサとのセンサ出力とサンプルガス中のNO濃度との関係を示す線図。
【図6】実施形態例2にかかる,別部材により嵌入部を構成したNOxセンサの斜視説明図。
【図7】実施形態例2にかかる,NOxセンサの断面説明図。
【図8】実施形態例3にかかる,酸素センサセルを有し,サンプルガス室と基準ガス室とが同一平面上に設けてあるNOxセンサの断面説明図。
【図9】実施形態例4にかかる,酸素センサセルを有するNOxセンサの斜視図。
【図10】実施形態例4にかかる,NOxセンサの展開説明図。
【図11】従来例にかかる,NOxセンサの平面図。
【図12】従来例にかかる,NOxセンサの断面説明図。
【符号の説明】
1,2,3,8,9...NOxセンサ,
11...ポンプセル体,
12...主体部,
13...固体電解質基板,
130...検出セル,
Claims (4)
- 基準ガス室と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板によって形成されたサンプルガス室と両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セルよりなる主体部と,
上記サンプルガス室に対面配設され,該サンプルガス室に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセルを設けたポンプセル体とよりなり,
かつ上記NOx濃度検出用の検出セルの電極はPt,Rh,Pt/Rhのいずれかの金属により構成されており,また上記ポンプセルの電極は該電極中にAuを添加してなるNOxセンサを製造するに当たり,
まず,上記主体部及び上記ポンプセル体を別体に作製し,次いで両者をそれぞれ別々に焼成し,その後両者を一体化してなることを特徴とするNOxセンサの製造方法。 - 請求項1において,上記一体化に当たっては,上記主体部に設けた嵌入溝に上記ポンプセル体を嵌め込み,しかる後,両者を接合することを特徴とするNOxセンサの製造方法。
- 基準ガス室と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板によって形成されたサンプルガス室と両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セルよりなる主体部と,
上記サンプルガス室に対面配設され,該サンプルガス室に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセルを設けたポンプセル体とよりなり,
かつ上記NOx濃度検出用の検出セルの電極はPt,Rh,Pt/Rhのいずれかの金属により構成されており,また上記ポンプセルの電極は該電極中にAuを添加してなるNOxセンサにおいて,
上記主体部と上記ポンプセル体とはそれぞれ別個に焼成された後,一体化してなることを特徴とするNOxセンサ。 - 請求項3において,上記一体化に当たっては,主体部に設けた嵌入溝に上記ポンプセル体を嵌め込み,しかる後,両者を接合してなることを特徴とするNOxセンサ。
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