KR0148687B1 - 내연기관의 배기가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침 및 그 제조방법 - Google Patents

내연기관의 배기가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침 및 그 제조방법

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쉬나이더 게르하르트
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랄프 베렌스. 페터 뢰저
로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

본 발명은 평면 폴라로그래픽 탐침에 기초를 두고 있다. 확산 저항 원리에 따라 작동하는 폴라로그래픽 탐침에서, 이러한 탐침의 2개의 전극에 존재하는 일정한 전압에서 확산 전류, 또는 확산 제한 전류가 측정된다. 본 발명은 적어도 펌핑 셀(A), 상기 펌핑 셀(A)의 펌핑 전극(6)에 선행하는 확산 저항을 가진 확산 유닛(B) 및 히터 유닛(C)을 구비하며, 내연기관의 가스 혼합물, 특히 내연기관의 배기 가스의 람다(λ)값을 결정하는 평면 폴라로그래픽 탐침에 있어서, 적어도 3개의 고체 전해질 박막, 즉, 상기 펌핑 셀(A)을 형성하며, 외부 펌핑 전극(5)과, 측정되는 가스를 위한 확산 영역(10)내에서 고체 전해질 박막(1)상에 배열된 내부 펌핑 전극(6)과, 상기 펌핑 전극들을 위한 도체 트랙을 가진 상기 제1 고체 전해질 박막(1)과, 상기 확산 영역(10)을 가지며, 상기 확산 유닛(B)을 형성하는 제2 고체 전해질 박막(9)과, 상기 히터 유닛(C)을 형성하는 제3 고체 전해질 박막(14)과, 애퍼쳐를 채우는 다공성 소결된 몸체(11)로 구성되며, 상기 다공성 소결된 몸체(11)는 세라믹 박막을 다공성으로 만들기 위해서 상기 세라믹 박막을 소결시키는 단계와, 그 결과의 상기 다공성 소결된 몸체(11)를 상기 애퍼쳐내에 임베드시키는 단계에 의해 제조되며, 따라서, 상기 다공성 소결된 몸체(11)는 후속 적층 단계동안에 손상으로부터 보호되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침을 제공한다.

Description

[발명의 명칭]
내연기관의 배기가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침 및 그 제조 방법
[발명의 상세한 설명]
[종래 기술]
본 발명은 평면 폴라로그래픽 탐침에 기초를 두고 있다. 확산 저항 원리에 따라 작동하는 폴라로그래픽 탐침에서, 이러한 탐침의 2개의 전극에 존재하는 일정한 전압에서 확산 전류, 또는 확산 제한 전류가 측정된다. 연소 과정동안에 생성된 배기 가스에서, 이러한 전류는 펌핑 전극으로의 가스의 확산이 발생하는 반응의 속도를 결정하는 한 산소 농도에 의존한다. 폴라로그래픽 측정 원리에 따라 동작하는 그러한 폴라로그래픽 탐침을 구성하는 것은 공지되어 있으며, 그러한 방법에서 애노드와 캐소드는 측정될 가스에 노출되고, 상기의 캐소드는 확산 장벽을 나타낸다.
대체로, 공지된 폴라로그래픽 탐침은 실린더에서 연소하는 연료/산소 혼합물의 전제 산소/연료의 완전 연소에 필요한 산소사이의 비율을 표시하는 가스 혼합물의 람다(λ)값을 결정하기 위해 사용된다. 그리고 이러한 탐침은 전위의 전기-화학적 변경을 통하여 배기 가스의 산소 함량을 결정 한다.
간단하고 비싸지 않은 생산 방법에 기인하여, 세라믹 박막과 스크린 프린팅 기술로 생산될 수 있는 센서 소자의 탐침의 생산이 실제로 최근에 성공되어 왔다.
판형(platelet) 또는 박막 형태의 산소 전도 고체 전해질, 예를들면 안정화된 지르코늄 이산화물로 시작하여, 평면 폴라로그래픽 탐침은 각각 관련된 전도체 트랙과 함께 내부 및 외부 펌핑 전극의 양쪽 측면에 코팅된 간단하면서도 경제적인 방법으로 생산될 수 있다. 이러한 장치에서, 내부 펌핑 전극은 확산 채널의 엣지영역에 유리하게 위치되며, 이러한 채널을 통하여 측정될 가스가 공급되고 가스 확산 저항으로 작용한다.
또한 센서 소자와 검출기는 독일연방공화국 공개공보 제 3,543,759호와 EP-A 제 0,142,992호, 제 0,142,993호, 제0,188,900호 및 제 0,194,082호에 공지되어 있으며, 이러한 것은 공통으로 각각의 경우에서 그위에 배치된 2개의 전극과 판형 또는 박막 형태의 산소 전도 고체 전해질로 구성되는 센서 셀과 펌핑 셀을 보이며, 공통 확산 채널을 보인다.
공지된 폴라로그래픽 탐침과 센서 소자의 확실한 단점은 측정될 공급된 가스와 접하는 내부 펌핑 전극의 정면부가 측정될 공급된 가스로부터 떨어져있는 펌핑전극의 후면부 보다 훨씬 더 사용된다는 사실에 근거한다. 이것은 높은 펌핑 전압을 필요로 하는 높은 전극 분극을 발생한다. 이것은 내부 펌핑 전극의 영역에서 전해질 분해의 위험을 내포한다.
그래서, O2-이온을 전도하는 판형 또는 박막 형태의 고체 전해질상에 배치된 (SiC)외부 및 내부 펌핑 전극과 함께 가스 혼합물의 람다값을 결정하기 위한 폴라로그래픽 탐침에 대한 센서 소자에서, 센서 소자의 내부 펌핑 전극은 측정될 가스에 대한 확산 채널내의 판형 또는 박막 형태의 고체 전해질 위에 배치되고, 펌핑전극에 대한 전도체 트랙과 함께 배치되고, 최소한 확산 채널내의 내부 펌핑 전극과 반대의 측면상에 제1내부 펌핑 자극과 단락 회로로 된 제2내부 펌핑 전극을 배치시키는 것이 독일연방공화국 공개 공보 제3,728,618호에 제안되어 있다.
또한 공지된 평면 폴라로그래픽 탐침에서 이러한 생산 방법이 복잡하며 값이 비싸게 되는 불리한 점이 있으며, 확산 저항은 후속 처리 단계에서 제어할 수 없게 되고, 그래서 확산 저항의 재현가능성이 만족스럽지 못하며, 또한 내연기관의 배기 가스에서의 극심한 환경에서의 사용하에서는 일관성이 부적절한 단점이 있다.
[발명의 잇점]
비교에 의해, 주 청구항의 특징을 가지고 있는 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침은 생산에 적합한 센서의 간단한 구성을 가능하게 하고, 탐침의 확산 범위가 스크린 프린트된 확산 시스템과 대조하여 적층, 스탬핑, 커팅, 소결처리에 기인한 변형 또는 열분해와 같이, 후속 처리 단계에서 변형에 크게 민감하지 않으며, 확산저항의 재현가능성이 증가되며, 다공성 소결 처리 성형체의 설계를 통하여 직접적인 방법과 한정된 방법으로 센서의 특징에 영향을 주는 것이 가능하며, 가스 공급 개구의 장치는 확산 저항과 무관하게 변경될 수 있고, 전극 설계는 넓은 제한 내에서 변경가능하며, 설계기술을 광대역 센서에 대한 설계로 확장시키는 가능성이 주어진다는 잇점을 가지고 있다.
본 발명에 따른 평면 폴라로그래픽 탐침은 평면 구조의 공지된 탐침 대신에 사용될 수 있다. 그래서, 본 발명에 따른 탐침은 디젤 엔진용 희박-혼합기 센서에 사용될 수 있고, 예로서 독일연방공화국 공개공보 제 3,206,903호와 제 3,537,051호에 공지되어 있는 형태의 기존의 센서 하우징에 설치될 수 있으며, 희박한 배기 가스에서 연료/공기 비율을 측정하기 위해 사용될 수 있다.
그러나, 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침은 또한 펌핑 셀 이외에도, 추가 공기 기준 채널과 펌핑 셀의 확산 채널에서 펌핑 전극의 지역에 배치된 하나의 전극 및 공기 기준 채널에 위치된 다른 전극이 제공된 네른스트 셀(집속 셀)을 보일 수 있다.
양호한 실시예에 따라서, 본 발명에 따른 평면 폴라로그래픽 탐침은, 필요하다면, 히터 유닛(C)을 형성 시키기 위해 구성된 제3고체 전해질 박막 및 제2고체 전해질 박막의 확산 유닛(B)과 함께 하나 이상의 내부 펌핑 전극과, 하나 이상의 외부 펌핑 전극을 갖는 제1고체 전해질 박막의 펌핑 셀(A)을 함께 적층하고 소결 처리함으로써 간단하고도 양호하게 얻을 수 있다.
본 발명에 따라, 고체 전해질 박막은 소결 온도에서 소결되었을 때에 다공성으로 되는 예비성형된 몸체가 삽입되는 확산 영역을 형성하는 개구를 갖는 확산 유닛(B)으로서 이용된다. 확산 유닛(B)으로서, 고체 전해질 박막이 양호하게 사용되며, 고체 전해질 박막으로부터 확산 영역을 형성하는 개구가 스탬프 아웃되고, 개구내로는 소결시에 다공성으로 되는 박막으로부터 스탬프 아웃되는 박막 섹션이 삽입된다.
이러한 관계에 따라, 이용된 고체 전해질 박막의 팽창 동작에 근접하거나 적어도 그에 대응하는 열 팽창 동작을 하는 세라믹 재료의 삽입물을 소결시에 다공성으로 되는 박막 삽입물로서 이용하는 것이 특히 이롭다는 것이 발견되었다. 탐침을 구성하는 고체 전해질 박막의 박막의 세라믹 재료의 박막 삽입물은 유리하게 이용되는데, 이러한 관계에서 삽입물의 구멍을 소결 처리하는 동안에 연소, 분해 또는 기화시켜 홀 형성물을 부가시켜 형성시킬 수 있다. 사용될 수 있는 전형적인 구멍 형성물은, 예를들어, 열 매연 분말, 예로서 폴리우레탄에 기초한 프라스틱, 예로서 암모니움 단화물과 같은 염, 예로서 디오브로민 및 인단스렌 블루와 같은 유기 물질이다.
이와같은 홀을 형성하는 시약은 소결시에 다공성이 되는 재료, 예를들어, 소결시에 다공성이 되는 박막을 만들기 위해 이용된 개시 재료에, 10 내지 50％의 구멍을 갖는 재료가 생산되도록 하는 양으로 첨가된다. 이용된 구멍 형성 시약의 입자 크기에 따라 결정될 수 있는 평균 구멍 직경은 양호하게 약 5 내지 50㎛이다.
또한, 이용된 삽입물은 소결에 따라 홀이 형성된 직경은 보다 미세하게 작고, 그 두께는 확산 유닛을 만들기 위해 이용된 박막의 두께보다 더 크게된다. 이것은 펌핑 셀(A), 확산 유닛(B) 및 소결된 상태에서 히터 유닛(C) 사이의 양호한 결합의 형성물 및 확산 유닛의 박막내에 계획된 개구로 소결 처리에 따라 다공으로된 몸체에 확실 하게 삽입시킬 수 있다.
또한, 전극 설계의 외부 직경이 확산 영역의 직경 보다 작게 유지되면 이롭다는 것이 발견되었다. 이것은 내부 펌핑 전극을 다공 확산 장벽내에 있게 한다. 또한, 확산 영역의 직경이 폴라로그래픽 탐침의 폭에 대해 75％ 초과하지 않으면 적절하다는 것이 발견되었다. 측정될 수 있는 기체는 펌핑 셀(A)내의 확산홀, 히터 유닛(C)내의 확산 홀 또는 확산 유닛(B)중 어느것을 통해 공급될 수 있다. 후자의 경우에, 폴라로그래픽 탐침은 확산 홀을 포함하지 않는다. 이 경우, 확산 처리는 소결에 따라 다공성으로 되고, 측방향으로 절단된 확산 삽입물을 통해 직접 발생한다.
폴라로그래픽 탐침의 소결 처리동안 소결에 따라 다공성으로 되는 몸체는 확산 유닛(B)의 박막에서 리세스의 전체 공간 또는, 후에 설명될 본 발명에 따른 탐침의 양호한 실시예로 도시된 것과 같은 그 일부만을 취할 수 있다. 그러므로, 예를들어, 폴라로그래픽 탐침의 소결 처리 동안에 소결에 따라 다공성으로된 몸체는 스크린 프린팅 공정과 같은, 디오브로민 및 인단스렌 블루와 같은 소결처리 이전의 범위에서 연소, 분해 또는 기화시킬 수 있는 물질과 함께 소결에 따라 다공으로된 박막 외부의 스탬프-아웃되기 전에 코팅 될 수 있다. 이와같이 이미 형성된 몸체를 이용할 때, 소결 처리동안 삽입물과 내부 펌핑 전극사이에서 기체를 발생 시키는데, 소결로 인하여 다공으로된 예비형성된 몸체에 의해 펌핑 전극의 부분적인 피복을 방지한다.
폴라로그래픽 탐침의 소결 처리동안 소결로 인하여 다공으로되어 예비형성된 몸체는 필요하다면 중앙 홀을 포함한다. 이와같은 예비형성된 몸체의 이용은 측정되는 기체가 히터 유닛(C) 및 펌핑 셀(A)에서 확산 홀을 통해 확산 영역으로 인가될 때 특히 유리하게 될 수 있다. 이경우에, 확산 홀의 단부에는 다공 확산 삽입물이 존재 하지 않는다. 이것은 부가적으로 확산홀의 바닥부에서 소결에 따라 다공으로된 예비형성체의 오염을 방지한다.
이 펌핑 셀(A) 및 히터 유닛(C)은 평면 폴라로그래픽 탐침을 위해 알려져 있는 구조를 갖는다.
그러므로, 펌핑 셀(A)은 외부 펌핑 전극과 함께 고체 전해질 박막 및 내부펌핑 전극과, 그와 연결된 도체 트랙 및 관통-접촉부로 구성되어 있다. 전극 및 그 장치에서 도체 트랙은, 예를들어, Al2O3를 기초 성분으로 하여 절연에 의해 고체 전해질 박막으로부터 절연된다. 이 외부 펌핑 전극은 다공성 보호층(Engobe)으로 커버된다. 이 펌핑 셀(A)은 종래의 공지된 화합물의 층간 바인더에 의해 확산 유닛(B)에 적층된다.
이 히터 유닛(C)은 스탬프 아웃된 관통-접촉홀을 가진 부가적 고체 전해질 박막과, 이 고체 전해질 박막으로부터 히터를 절연시키는 층과, 실제의 히터와, 히터위의 절연층과, 히터 접속부와, 히터 접속부를 위한 절연체로 구성되어 있다. 펌핑 셀(A) 및 히터 유닛(C)의 구조에 대한 부가적 상세한 설명은 후에 설명하는 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 양호한 실시예에서 설명된다.
본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침은 펌핑 셀(A), 확산 유닛(B), 히터 유닛(C) 및 필요하면 네른스트 셀과 같은 다른 유닛을 박판화시켜 생산되며, 상기 펌핑 셀(A) 및 유닛(B,C)은 압력에서 서로 결합되어 1300 내지 1550°C의 범위내의 소결 온도로 소결된다.
만약 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침이 다른 장점에 따라 네른스트 셀(N)을 도시하면, 한 전극은 미리 형성된 물체하에 펌핑 전극의 영역으로 배열되어, 소결에 따라 다공성이 되며 확산 저항을 형성하며 소비 가스로 노출되며, 네른스트셀의 다른 전극이 기준 채널에서 종래의 금속/금속 산화물 기준 몸체 또는 기준 가스, 양호하게는 공기에 접속된다.
그래서, 광대역 센서로서 구성된 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침은 최소한 다음 유닛으로 구성된다.
-펌핑 셀(A)
-확산 유닛(B)
-2개의 고체 전해질 박막의 네른스트 셀(N).
하나의 막은 소비 가스 전극 및 기준 채널을 포함하며 다른 막은 기준 전극을 포함한다.
-히터 유닛(C)
이 히터 유닛내의 상기 확산 유닛(B)은 네른스트 폐기 가스 전극에의 관통접촉부를 보이며, 히터 유닛(C)은 네른스트 기준 전극에의 관통 접촉부를 보인다.
2가 알칼리 희토류 금속(earth metal)산화물의 함량을 가진 ZrO2, CeO2, HfO2및 ThO2와 같은 4가 금속의 산화물과 양호하게는 희토류의 4가 산화물에 기초한 O2-이온을 전도하는 공지된 고체 전해질 박막은 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침을 발생시키기 위해 적당하다. 박막은 ZrO2, CeO2, HfO2또는 ThO2의 50 내지 97몰％ 및 CaO, MgO 또는 SrO2의 50 내지 3몰％ 및 회토류의 산화물 및 Y2O3로 구성된다. 고체 전해질 박막은 Y2O3로 안정화된 ZrO2로 구성된다. 이용된 박막의 두께는 약0.1 내지 0.6㎜이다.
펌펑 전극 및 연관된 전도체 트랙은, 귀금속, 특히, 백금 또는 귀금속/서멧, 특히, 백금/서맷에 기초한 페이스트(paste)로 시작하여, 양호하게 절연층이 부분적으로 제공되는 고체 전해질 박막상에 통상적인 공지의 방법으로 프린트될 수 있다. 펌핑 전극의 레이아웃은 확산 유닛의 실시에 적합하다.
히터는 히터 유닛(C)의 발생동안 미리 절연된 고체 전해질 박막에 인쇄된다. 대응 히터 레이아웃은 확산 홀이 히터 전도체 트랙을 손상시키지 않고 스탬프되거나 드릴 되도록 한다. 가열기는 이하 더 세부적으로 도시된 것과 같은 박막상에 인쇄된 프레임에 의해 밀봉될 것이다.
도면은 실시예에 의해 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 실시예를 도시한 것이다. 도시된 탐침은 최소한 3개의 박막 유닛으로 구성된다.
즉, 펌핑 셀(A) 확산 유닛(B) 히터 유닛(C) 필요하면, 네르스트 셀(N)을 포함한다.
제1도는 본 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제1실시예의 배치도.
제2도는 제1도에 따른 폴라로그래픽 탐침의 확산 영역의 단면도.
제3도는 내부 펌핑 전극과 다공성 박막 삽입물 사이의 공기 갭을 가진 제1도에 의한 폴라로그래픽 탐침의 확산 영역의 단면도.
제4도는 본 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제2실시예의 펌핑 셀(A)의 배치도.
제5도는 제4도에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 확산 영역의 단면도.
제6도는 본 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제3실시예에 대한 확산 영역의 단면도.
제7도는 본 발명에 의한 폴라로그래픽 탐침의 제4실시예에 대한 펌핑 셀(A)의 배치도.
제8도는 제7도에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침에 대한 확산 영역의 단면도.
제9도는 본 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제5실시예에 대한 확산 영역의 단면도.
제10도는 본 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제6실시예에 대한 확산 영역의 단면도.
제11도는 본 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제7실시예에 대한 유닛(A 및 B)의 배치도.
제12도는 제12도(SiC)에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 확산 영역의 세로단부 도시도.
제13도는 펌핑 셀(A), 확산 유닛(B) 및 히터 유닛(C)에 부가하여 네른스트셀(N)을 도시한 광대역 감지기를 보이는 발명에 의한 평면 폴라로그래픽 탐침의 제8실시예에 대한 배치도.
제14도는 제13도에 의한 광대역 감지기에 대한 확산 영역의 단면도.
제15도는 제13도에 의한 광대역 감지기에 대한 확산 영역의 세부 단부 도시도.
제1도 및 제2도에서 도시된 제1실시예에 따라, 펌핑 셀(A)는 통과 접촉홀(2), 절연부(4), 외부 펌핑 전극(5), 내부 펌핑 전극(6) 및 보호층(Engobe)(7)과 함께 고체 전해질 박막(1)으로 구성된다. 층간 바인더(8)의 층은 확산 영역(B)과 접속하기 위해 이용된다. 도시된 바와같이, 각 경우에 전극은 전도체 트랙 및 접속부를 나타낸다.
확산 유닛(B)은 스탬프-아웃 확산 영역(10)과 고체 전해질 박막(9), 미리 형성된 물체(11) 및 내부 박막 결합기의 층(12,13)으로 구성된다.
히터 유닛(C)은 스탬프-아웃 접촉 홀(15) 및 스탬프-아웃 확산 홀(22), 히터절연부(16), 프레임(17,17`), 히터(18), 히터 절연부(19,19`) 및 히터 접합부(20)와 함께 고체 전해질 박막(14)로 구성된다. 상기 히터 유닛(C)은 내부 박막결합기의 층(21)을 통하여 확산 유닛(B)과 함께 박막화된다.
제3도에서 단면도에서의 본 발명에 의한 다른 폴라로그래픽 탐침의 실시예는 제1도 및 제2도에 의한 실시예와, 소결시에 다공성이 되는 미리 형성된 몸체가 이용되며, 상기 몸체는 소결에 따라 다공성이 되고 예비소결 범위에서 연소성, 분해가능성 또는 증발가능성의 물질, 예로서 데오브로마인 또는 인단스렌 블루로 첫 번째 코팅된 박막으로부터 스탬프 아웃된다는 점에서만 다르다. 결과적으로, 탐침은 내부펌핑 전극(6)과 침투성의 미리 형성된 물체(11)사이에 갭을 포함하며, 상기 구조는 그 외에는 동일하다.
제4 및 제5에 개략적으로 도시된 제2실시예는 단지 전극 배치에서 제1실시예와 다르다. 또한 제2실시예의 경우에는 내부 펌핑 전극(6)과 다공 확산삽입물(11)사이에 갭(23)이 있을 수 있다.
제6도에 개략적으로 도시되어 있는 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 제3실시예는 확산 홀(22)의 마지막에 확산 삽입물이 없도록 소결시 다공성이 되고 중앙 홀을 미리 형성된 물체(11)가 제공된다는 점에서 제4 및 제5도에 따른 실시예와 다르다.
제7 및 제8도에 개략적으로 도시된 본 발명에 따른 탐침의 제4실시예에서, 확산 홀(22)은 히터 유닛(C)에 배치되어 있지 않고 펌핑 셀(A)에 배치되어 있다.
제9도에 개략적으로 도시된 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 제5실시예는 상기 탐침이 소결시 다공성이 되고 중앙홀을 갖고 미리 형성된 물체를 삽입물로서 포함하고 있다는 점에서만 제7 및 제8도에 따른 제4실시예와 다르다.
제10도에 개략적으로 도시된 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 제6실시예에서 확산 홀(22)은 전체 탐침을 관통해서 연장된다.
제11 및 12도에 개략적으로 도시된 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 제7실시예의 경우에, 이 탐침은 확산 홀을 나타내지 못한다. 이 경우에 확산 유닛(B)의 확산 영역(10)은 감지기 끝을 지나 연장된다. 변형된 식으로 전극 배치는 예로 제1 및 2도에 도시된 실시예의 전극 배치와 대응할 수 있다.
제 1 내지 12도에 도시된 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 실시예와는 반대로, 제13 내지 15도에 개략적으로 도시된 본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 제8실시예는 광대역 감지기로서 개발된 폴라로 그래픽 탐침이며 이는 펌핑 셀(A), 확산 유닛(B) 및 히터 유닛(C)외에도 네른스트 셀(N)을 나탄낸다는 사실에서 앞서 언급한 폴라로그래픽 탐침과 근본적으로 다르다.
펌핑 셀(A)은 스템프-아웃 확산 홀(22)과 스템프-아웃 통과-접촉 홀(2)을 갖고 있는 고체 전해질 박막(1), 트리밍 저항을 갖고 있는 외부 펌핑 전극(5), 내부 펌핑 전극(6), 절연물(8 및 8`),프레임(17 및 17`), 층간 바인더의 봉합층(24) 및 Al2O3/ZrO2를 근거로 한 다공성 보호층(Engobe)으로 구성되어 있다.
확산 유닛(B)은 스탬프-아웃 확산 영역(10)과 스탬프-아웃 관통-접촉 홀(2)을 갖고 있는 고체 전해질 박막(9), 층간 바인더의 층(12 및 13), 다기공이 형성되어 있는 몸체(11) 및 pt 페이스트로 내부 펌핑 전극(6)에 전기적으로 접속하는 전도 접속 핀(25)으로 구성 되어 있다.
네른스트 셀(N)은 스탬프-아웃 기준 공기 채널(28) 및 인쇄된 측정 전극(네른스트 셀)(29)를 갖고 있는 고체 전해질 박막(26)과, 관통-접촉 홀(2)를 갖고 있는 고체 전해질 박막(27)과, 기준 전극(30) 및 종래의 층간 바인더의 층(31,32, 및 33)으로 구성되어 있다.
히터 유닛(C)은 관통-접촉 홀(2)을 갖고 있는 고체 전해질 박막(14), 히터(18), 절연물(16,16` 및 19`), 프레임(17,17`) 히터(18) 및 기준 전극(30)용 접속부(20), 종래의 층간 바인더의 층(34), 및 pt 페이스트로 기준 전극(30)에 전기적으로 접속하는 전기적 전도 접속핀(35)으로 구성되어 있다.
본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침의 생산에 대해서는 제1도 및 제2도에 개략적으로 도시된 탐침에 대한 예와 함께 좀더 상세히 설명될 것이다.
펌핑 셀(A)을 만들기 위하여 소결되지 않은 상태에서 약0.3㎜의 두께를 갖고 있으며 Y2O3로 안정화된 ZrO2의 고체 전해질 박막(1)은 두께가 약15내지 20㎛인 Al2O3층(4 및 8)을 고체 전해질 박막(1)의 양측에 제공함으로써 절연된다.
그후에, 내부 펌핑 전극(6)의 전도체 트랙 접속을 위한 관통-접속홀(2)은 스템프 아웃(stamp out)된다. 관통-홀을 만든후에, 전도체 트랙과 연합된 외부 및 내부 펌핑 전극(5 및 6)은 종래의 pt 서어미트 접착제를 이용하여 인쇄 된다. 관통-접촉 홀(2)에는 관통 접촉을 위해 전기적 전도 Pt/Alo 서어미트층이 제공된다. YSZ 바인더 합성물로된 종래 층간 바인더의 층(8)은 내부 펌핑 전극(6)이 만들어지게 고체 전해질 박막(1)의 측면에서 프린트된다.
확산 유닛(8)을 만들기 위하여, 소결되지 않은 상태에서 약0.3㎜의 두께를 가지며 Y203로 안정화된 ZrO2의 제2고체 전해질 박막(9)은 YSZ바인더 합성물로된 바인더 층(12 및 13)을 갖고 있는 양측에서 인쇄되고, 상기 층(12 및 13)위에 있는 직경 3.85㎜을 갖고 있는 원형 확산 영역(10)이 스탬프 아웃된다.
20-30％의 기공성을 갖고 있는 Y2O3-안정화된 ZrO2를 근거로 만들어졌으며 소결시 다기공을 가지게 되며 0.3㎜의 직경을 갖는 부가의 고체 전해질 박막으로부터 직경 3.8㎜의 원형으로 미리형성된 물체(11)는 스탬프 아웃되어 고체 전해질 박막(9)의 확산 영역(10)내에 삽입 되어서 확산 유닛(B)이 형성된다.
히터 유닛(C)을 만들기 위하여, 층간 바인더의 프레임(17) 및 히터(18) 및 히터 접속부(20)를 절연시키기 위한 Al2O3-근거로된 절연물(16 및 19)은 소결되지 않은 상태에서 0.3㎜의 두께를 갖는 Y2O3-안정화된 ZrO2의 제3고체 전해질 박막(14)상에 프린트된다. 그후, 관통 접촉 홀(15)들은 스탬프 아웃된다. 관통-접촉 홀(15)은 Al2O3절연층 및 그위에 위치한 전기 도전성 Pt/Al2O3제공된다. 그후, Pt/Al2O3도성 합금 페이스트(paste)를 이용한 히터(18), Al2O3절연층(19) 및 YSZ접합제 화합물의 내부-박층 접합제 프레임(17`)이 인쇄된다. 그후, 층간 바인더의 층(21)이 절연층(19)에 도포된다. 마지막으로, 확산 홀(22)이 스탬프되거나 뚫여진다.
세 개의 유닛(A),(B) 및 (C)가 함께 적층된 후, 얻어진 화합물 몸체는 1400°C범위내의 온도에서 소결된다.
생성된 폴라로그래픽 탐침은 독일연방공화국 공개 공보 제 3,206,903호에 공지된 형태의 하우징내에 삽입되고, 가스 혼합물의 람다값을 결정하는데 사용되었다. 우수한 재생가능한 결과가 얻어졌다.
본 발명에 따른 폴라로그래픽 탐침은 양호하게 다중 이미지(multiple-image)방식의 머신에 의해 생성된다. 상기 탐침의 폭은 약4내지 6㎜이다. 이와 관련하여, 전극의 직경은 양호하게 3 내지 4㎜, 예로써 3.6㎜이다.

Claims (11)

  1. 적어도 펌핑 셀(A), 상기 펌핑 셀(A)의 펌핑 전극(6)에 선행하는 확산 저항을 가진 확산 유닛(B) 및 히터 유닛(C)을 구비하며, 내연기관의 가스 혼합물, 특히 내연기관의 배기 가스의 람다(λ)값을 결정하는 평면 폴라로그래픽 탐침에 있어서, 적어도 3개의 고체 전해질 박막, 즉, 상기 펌핑 셀(A)을 형성하며, 외부 펌핑 전극과, 측정되는 가스를 위한 확산영역(10)내에서 고체 전해질 박막(1)상에 배열된 내부 펌핑 전극(6)과, 상기 펌핑 전극들을 위한 도체 트랙을 가진 상기 제1 고체 전해질 박막(1)과, 확산영역을 가지며, 상기 확산 유닛(B)을 형성하는 제2 고체 전해질 박막(9)과, 상기 히터 유닛(C)을 형성하는 제3 고체 전해질 박막(14)과, 애퍼쳐를 채우는 다공성 소결된 몸체(11)로 구성되며, 상기 확산 영역(10)은 상기 제1고체 전해질 박막(1) 및 제3 고체 전해질 박막(14)과 함께 적충된 상기 제2 고체 전해질 박막(9)내부 펌핑 전극(6) 근처에 형성된 상기 애퍼쳐만으로 한정되고, 상기 다공성 소결된 몸체(11)는 세라믹 박막을 다공성으로 만들기 위해서 세라믹 박막을 소결시키는 단계와, 그 결과의 상기 다공성 소결된 몸체(11)를 상기 애퍼쳐내에 임베드시키는 단계에 의해 제조되며, 따라서, 상기 다공성 소결된 몸체(11)는 후속 적층 단계동안에 손상으로부터 보호되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라그래픽 탐침.
  2. 제1항에 있어서, 적어도 3개의 고체 전해질 박막, 즉, 상기 펌핑 셀(A)을 형성하며, 외부 펌핑 전극과, 측정되는 가스를 위한 확산영역내에서 고체 전해질 박막상에 배열된 내부 펌핑 전극과, 상기 펌핑 전극들을 위한 도체 트랙을 가진 상기 제1 고체 전해질 박막과, 상기 확산 영역을 가지며, 상기 확산 유닛(B)을 형성하는 제2고체 전해질 박막과, 상기 히터 유닛(C)을 형성하는 제3고체 전해질 박막(14)으로 구성되며, 상기 확산 영역(10)은 내부 펌핑 전극(5)의 영역내에서 상기 제1 고체 전해질 박막(1)과 제3고체 전해질 박막(14)과 함께 적층된 상기 제2 고체 전해질 박막(9)내에 리세스에 의해 형성되고, 상기 확산 영역(10)내로는 상기 탐침의 소결공정동안에 소결시에 다공성으로 되는 예비성형된 몸체(11)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  3. 제2항에 있어서, 히터 유닛(C)을 형성하도록 구성된 제3고체 전해질 박막(14) 및 펌핑 셀(A)을 형성하도록 구성된 제1 고체 전해질 박막은 측정될 가스를 확산 영역(10)으로 진입 시키기 위한 확산 홀(22)을 가진 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  4. 제1항에 있어서, 확산 영역(10)내의 예비성형된 몸체(11)는 다공성소결된 세락믹 재질로 구성된는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  5. 제4항에 있어서, 상기 예비성형된 몸체(11)는 주로 ZrO2및 Al2O3로 형성된 다공성 소결된 세라믹 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  6. 제4항에 있어서, 상기 예비성형된 몸체(11)는 제2고체 전해질 박막(9)내의 확산 영역(10)을 완전히 채우는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  7. 제1항에 있어서, 공기 갭이 내부 펌핑 전극(5)과 예비성형된 몸체(11)사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  8. 제1항에 있어서, 히터 유닛(C)을 형성하도록 구성된 제3고체 전해질 박막(14)은 측정될 가스를 확산 영역(10)으로 진입시키기 위한 확산 홀(22)을 가지며, 예비성형된 몸체(11)는 중앙 홀을 가진 박막층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  9. 제1항에 있어서, 다공성 소결된 예비성형된 몸체(11)의 평균 구멍 직경은 5 내지 50㎛인 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  10. 제2항에 있어서, 상기 탐침의 구조를 형성하는 고체 전해질 박막이 Y2O3-안정된 ZrO2로 구성되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침.
  11. 펌핑 셀(A), 상기 펌핑 셀(A)의 펌핑 전극(6)에 선행하는 확산 저항을 가진 확산 유닛(B) 및 히터 유닛(C)을 구비하며, 내연기관의 가스 혼합물, 특히 내연기관의 배기 가스의 람다(λ)값을 결정하는 평면 폴라로그래픽 탐침에 있어서, 적어도 3개의 고체 전해질 박막, 즉, 상기 펌핑 셀(A)을 형성하며, 외부 펌핑 전극과, 측정되는 가스를 위한 확산영역(10)내에서 고체 전해질 박막(1)상에 배열된 내부 펌핑 전극(6)과, 상기 펌핑 전극들을 위한 도체 트랙을 가진 상기 제1 고체 전해질 박막(1)과, 상기 확산영역(10)을 가지며, 상기 확산 유닛(B)을 형성하는 제2 고체 전해질 박막(9)과, 상기 히터 유닛(C)을 형성하는 제3 고체 전해질 박막(14)과, 제1 전극과 제2 전극을 가진 네른스크 셀(N)로 구성되며, 상기 확산 영역(10)은 상기 제1고체 전해질 박막(1) 및 제3 고체 전해질 박막(14)과 함께 적층된 상기 제2 고체 전해질 박막(9)내에서 상기 내부 펌핑 전극(6) 근처에 형성된 애퍼쳐만으로 한정되고, 상기 애퍼쳐내에는 탐침 소결 처리 동안에 형성된 다공성 소결된 몸체(11)가 임베드되며, 상기 제1 전극은 소결시에 다공성으로 되고 확산 저항을 형성하는 예비성형된 몸체(11) 뒤에서 상기 펌핑 전극 근처에 위치되므로써 배기가스에 노출되며, 상기 제2 전극은 기준 매체에 노출되는 것을 특징으로 하는 내연기관의 배기 가스 람다값 결정용 평면 폴라그래픽 탐침.
KR1019890702272A 1988-04-08 1989-03-21 내연기관의 배기가스 람다값 결정용 평면 폴라로그래픽 탐침 및 그 제조방법 KR0148687B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016060493A1 (ko) * 2014-10-17 2016-04-21 주식회사 아모텍 평판형 산소센서소자

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3935149A1 (de) * 1989-10-21 1991-05-02 Bosch Gmbh Robert Verfahren und messanordnung zur bestimmung des russgehaltes in abgasen
DE3941837C2 (de) * 1989-12-19 1994-01-13 Bosch Gmbh Robert Widerstandsmeßfühler zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen und Verfahren zu seiner Herstellung
DE3942773A1 (de) * 1989-12-23 1991-06-27 Bosch Gmbh Robert Plaettchenfoermige breitbandsonde fuer die bestimmung der sauerstoffkonzentration in abgasen
DE4107217A1 (de) * 1991-03-07 1992-09-10 Battelle Institut E V Grenzstromsonde zur messung des partialdrucks von gasen
US5308469A (en) * 1991-05-08 1994-05-03 Hoechst Aktiengesellschaft Oxygen sensor and method of producing it
DE4231966A1 (de) * 1992-09-24 1994-03-31 Bosch Gmbh Robert Planare polarograhische Sonde zur Bestimmung des Lambda-Wertes von Gasgemischen
DE4243733C2 (de) * 1992-12-23 2003-03-27 Bosch Gmbh Robert Sensor zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder Gaskonzentrationen von Gasgemischen
DE4439883A1 (de) * 1993-12-09 1995-06-14 Bosch Gmbh Robert Isolationsschichtsystem zur galvanischen Trennung von Stromkreisen
DE4342005C2 (de) * 1993-12-09 2003-03-27 Bosch Gmbh Robert Planare elektrochemische Sonde und Verfahren zu deren Herstellung
DE4343089A1 (de) * 1993-12-17 1995-06-29 Bosch Gmbh Robert Planares Sensorelement auf Festelektrolytbasis
US6048734A (en) 1995-09-15 2000-04-11 The Regents Of The University Of Michigan Thermal microvalves in a fluid flow method
DE19720892C2 (de) * 1997-05-17 2002-08-08 Bosch Gmbh Robert Sensorelement
DE19803532A1 (de) 1998-01-30 1999-08-05 Bosch Gmbh Robert Elektrochemischer Meßfühler
DE19837515B4 (de) * 1998-08-19 2008-04-17 Robert Bosch Gmbh Elektrochemischer Meßfühler
DE19840888A1 (de) * 1998-09-09 2000-03-16 Bosch Gmbh Robert Meßfühler zum Bestimmen einer Sauerstoffkonzentration in einem Gasgemisch
DE19857471A1 (de) * 1998-12-14 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Sensorelement für Grenzstromsonden zur Bestimmung des Lambda-Wertes von Gasgemischen und Verfahren zu dessen Herstellung
DE19901956C2 (de) * 1999-01-20 2003-06-18 Bosch Gmbh Robert Sensor zur Analyse von Gasen
US6797138B1 (en) * 1999-10-20 2004-09-28 Delphi Technologies, Inc. Gas senior design and method for forming the same
DE19950999B4 (de) * 1999-10-22 2013-07-25 Robert Bosch Gmbh Planares Sensorelement
DE19957991C2 (de) * 1999-12-02 2002-01-31 Daimler Chrysler Ag Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
DE10040505A1 (de) * 2000-08-18 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Gassensor, insbesondere Lambada-Sonde
US6692700B2 (en) 2001-02-14 2004-02-17 Handylab, Inc. Heat-reduction methods and systems related to microfluidic devices
US7829025B2 (en) 2001-03-28 2010-11-09 Venture Lending & Leasing Iv, Inc. Systems and methods for thermal actuation of microfluidic devices
US6852287B2 (en) 2001-09-12 2005-02-08 Handylab, Inc. Microfluidic devices having a reduced number of input and output connections
US8895311B1 (en) 2001-03-28 2014-11-25 Handylab, Inc. Methods and systems for control of general purpose microfluidic devices
US7010391B2 (en) 2001-03-28 2006-03-07 Handylab, Inc. Methods and systems for control of microfluidic devices
US7323140B2 (en) 2001-03-28 2008-01-29 Handylab, Inc. Moving microdroplets in a microfluidic device
DE10122271B4 (de) * 2001-05-08 2006-06-29 Robert Bosch Gmbh Sensorelemente
FR2830206B1 (fr) * 2001-09-28 2004-07-23 Corning Inc Dispositif microfluidique et sa fabrication
DE10154869C1 (de) * 2001-11-08 2003-05-28 Bosch Gmbh Robert Gasmessfühler
EP2407243B1 (en) 2003-07-31 2020-04-22 Handylab, Inc. Multilayered microfluidic device
ES2553097T3 (es) 2004-05-03 2015-12-04 Handylab, Inc. Procesamiento de muestras que contienen polinucleótidos
US8852862B2 (en) 2004-05-03 2014-10-07 Handylab, Inc. Method for processing polynucleotide-containing samples
US7998708B2 (en) 2006-03-24 2011-08-16 Handylab, Inc. Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel
ES2692380T3 (es) 2006-03-24 2018-12-03 Handylab, Inc. Método para realizar PCR con un cartucho con varias pistas
US8088616B2 (en) 2006-03-24 2012-01-03 Handylab, Inc. Heater unit for microfluidic diagnostic system
US10900066B2 (en) 2006-03-24 2021-01-26 Handylab, Inc. Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel
US11806718B2 (en) 2006-03-24 2023-11-07 Handylab, Inc. Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system
US8765076B2 (en) 2006-11-14 2014-07-01 Handylab, Inc. Microfluidic valve and method of making same
WO2008060604A2 (en) 2006-11-14 2008-05-22 Handylab, Inc. Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel
US9618139B2 (en) 2007-07-13 2017-04-11 Handylab, Inc. Integrated heater and magnetic separator
US8287820B2 (en) 2007-07-13 2012-10-16 Handylab, Inc. Automated pipetting apparatus having a combined liquid pump and pipette head system
USD621060S1 (en) 2008-07-14 2010-08-03 Handylab, Inc. Microfluidic cartridge
US9186677B2 (en) 2007-07-13 2015-11-17 Handylab, Inc. Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples
US8324372B2 (en) 2007-07-13 2012-12-04 Handylab, Inc. Polynucleotide capture materials, and methods of using same
US8182763B2 (en) 2007-07-13 2012-05-22 Handylab, Inc. Rack for sample tubes and reagent holders
US8133671B2 (en) 2007-07-13 2012-03-13 Handylab, Inc. Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples
US8105783B2 (en) 2007-07-13 2012-01-31 Handylab, Inc. Microfluidic cartridge
US20090136385A1 (en) 2007-07-13 2009-05-28 Handylab, Inc. Reagent Tube
EP2107305A1 (en) 2008-04-01 2009-10-07 Siemens Aktiengesellschaft Gas turbine system and method
USD618820S1 (en) 2008-07-11 2010-06-29 Handylab, Inc. Reagent holder
USD787087S1 (en) 2008-07-14 2017-05-16 Handylab, Inc. Housing
EP2697657B8 (en) 2011-04-15 2017-08-16 Becton, Dickinson and Company Scanning real-time microfluidic thermocycler and methods for synchronized thermocycling and scanning optical detection
USD692162S1 (en) 2011-09-30 2013-10-22 Becton, Dickinson And Company Single piece reagent holder
EP3273253B1 (en) 2011-09-30 2020-08-26 Becton, Dickinson and Company Unitized reagent strip
CN104040238B (zh) 2011-11-04 2017-06-27 汉迪拉布公司 多核苷酸样品制备装置
JP6262152B2 (ja) 2012-02-03 2018-01-17 ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニーＢｅｃｔｏｎ， Ｄｉｃｋｉｎｓｏｎ Ａｎｄ Ｃｏｍｐａｎｙ 分子診断試験の分布及び試験間のコンパチビリティ判断のための外部ファイル
CN103822952A (zh) * 2013-12-12 2014-05-28 苏州工业园区福特斯汽车电子有限公司 一种宽域型氧传感器片芯及其制造方法
CA2951690A1 (en) * 2014-06-09 2015-12-17 Biometry Inc. Low cost test strip and method to measure analyte
AU2017300528C1 (en) 2016-07-19 2022-10-20 Biometry Inc. Methods of and systems for measuring analytes using batch calibratable test strips

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2442444A1 (fr) * 1978-11-21 1980-06-20 Thomson Csf Capteur electrochimique des concentrations relatives d'especes reactives dans un melange fluide, et systeme comportant un tel capteur, notamment pour la regulation
CH640005A5 (de) * 1979-01-17 1983-12-15 Bbc Brown Boveri & Cie Elektrolysezelle fuer die wasserzersetzung.
DE2938179A1 (de) * 1979-09-21 1981-04-09 Bosch Gmbh Robert Polarographischer messfuehler zum messen der sauerstoffkonzentration in gasen, insbesondere in abgasen von brennkraftmaschinen
US4579643A (en) * 1983-11-18 1986-04-01 Ngk Insulators, Ltd. Electrochemical device
DE3482745D1 (de) * 1983-11-18 1990-08-23 Ngk Insulators Ltd Elektrochemische vorrichtung mit einem messfuehlelement.
JPS61138156A (ja) * 1984-12-11 1986-06-25 Ngk Spark Plug Co Ltd 空燃比検出装置
JPS61147155A (ja) * 1984-12-20 1986-07-04 Ngk Insulators Ltd 電気化学的装置
US4645572A (en) * 1985-02-23 1987-02-24 Ngk Insulators, Ltd. Method of determining concentration of a component in gases and electrochemical device suitable for practicing the method
JPS61195338A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Ngk Spark Plug Co Ltd 空燃比センサ−
EP0203351B1 (en) * 1985-04-19 1990-08-22 Hitachi, Ltd. Oxygen sensor element and process for producing the same
JPH0810211B2 (ja) * 1986-09-05 1996-01-31 日本碍子株式会社 ガスセンサ及びその製造法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016060493A1 (ko) * 2014-10-17 2016-04-21 주식회사 아모텍 평판형 산소센서소자
US10393693B2 (en) 2014-10-17 2019-08-27 Amotech Co., Ltd. Flat plate-type oxygen sensor element

Also Published As

Publication number Publication date
DE3811713C2 (ko) 1990-02-08
EP0437433B1 (de) 1996-02-28
US5169512A (en) 1992-12-08
DE3811713A1 (de) 1989-10-19
BR8907357A (pt) 1991-03-26
JPH03503678A (ja) 1991-08-15
DE58909614D1 (de) 1996-04-04
WO1989009933A1 (fr) 1989-10-19
KR900700879A (ko) 1990-08-17
EP0437433A1 (de) 1991-07-24
JP2815442B2 (ja) 1998-10-27

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