JP3943262B2 - NOxガス濃度測定装置及びNOxガス濃度測定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車、船舶、飛行機等の移動用、産業用の内燃機関の排ガス中、或いはボイラ等の燃焼ガス中のNOxガス濃度を測定する装置及びNOxガス濃度測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、排ガス規制の強化に伴い、エンジン等の排ガス中のNOxやHC、CO濃度を直接測定し、エンジン制御や触媒のコントロールを行う研究が行われている。このためのNOxガスセンサとして、例えばSAE paper No.960334 p137〜142 1996又は特開平8−247995号公報に提案されたNOxガスセンサは、2つの内部空隙部、2つの拡散抵抗部及び2つの酸素イオンポンプセルを備えている。詳細には、第1空隙部内に面して第1酸素イオンポンプセルと酸素濃度測定セルとが設置されている。酸素濃度測定セルは、第1空隙部内の酸素濃度を検出するものであり、この酸素濃度測定セルの酸素濃度検出出力に基づいて第1酸素イオンポンプセルによる、第1空隙部からの酸素の汲み出しが制御される。但し、第1酸素イオンポンプセルは、第1空隙部内の酸素分圧が第1空隙部内でNOxが分解しないレベル以上に維持されるように制御される。そして、第2空隙部に面して第2酸素イオンポンプセルが設置され、第2酸素イオンポンプセルに電圧が印加されることにより該セルに流れるNOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流に基づいてNOxガス濃度が測定される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のNOxガスセンサは、少なくとも3つのセルを備えており、構造が複雑である。さらに2つの空隙部を有し、被測定ガスの拡散流路が長いため、応答性に問題がある。また、第1空隙部に面する酸素濃度測定セル(特に、酸素濃度検知電極)と、第2空隙部に面する第2酸素イオンポンプセルとが離間しているため、酸素濃度測定セルの出力に基づき第1酸素イオンポンプセルにより空隙部内の酸素濃度を制御しているにも拘わらず、第2酸素イオンポンプセル近傍の酸素濃度が不安定であり、センサ出力が酸素濃度に大きく依存している。加えて、雰囲気と第1空隙部間を連通する第1拡散抵抗部、第1空隙部と第2空隙部を連通する第2拡散抵抗部という二つの拡散抵抗部、二つの酸素イオンポンプセル及び酸素濃度測定セルを必要としているため、製造プロセスが複雑となり、且つ、ロット間のバラツキが大きくなってしまうという問題がある。
【0004】
本発明の目的は、簡素な構造を有するNOxガスセンサ及びそれを用いた濃度測定装置を提供することである。また別の課題は、応答性に優れ、センサ出力の酸素濃度依存性が低いNOxガスセンサ及びそれを用いた濃度測定装置並びにNOxガス濃度測定方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、NOxから解離した酸素イオンにより流れる酸素ポンプ電流に基づきNOxガス濃度を測定するセンサにおいて、被測定ガスが導入されるセンサ空隙部に面しこの空隙部内の酸素分圧を検出するための酸素濃度検知電極に、ある期間定電圧を印加することにより、この酸素濃度検知電極が酸素ポンプ電極としても機能して、この酸素濃度検知電極と酸素濃度基準電極間に固体電解質層を介して流れる酸素ポンプ電流を測定することにより、NOxガス濃度を測定できることを見出し、鋭意研究を進めた結果、本発明を完成するに至ったものである。
【0006】
本発明は下記の視点において次の事項をそれぞれ含む。第1の視点:拡散抵抗を介して被測定ガスが導入される空隙部。空隙部外及び/又は内への酸素の汲み出しを制御する第1酸素イオンポンプセル。固体電解質と固体電解質を介して対向するように形成された一対の電極とを備え、一方の該電極が前記空隙部に面する酸素濃度検知電極であり、他方の該電極が酸素濃度基準電極である第2セル。第2セルの一対の電極間への所定電圧の印加と非印加を切り替える切替手段。第2セルの一対の電極間に所定電圧が印加された際に、空隙部内でNOxが分解され解離した酸素が第2セルを介して汲み出されることにより、NOxガス濃度に応じて一対の電極間に流れる酸素ポンプ電流を検出する手段。第2セルの一対の電極間に所定電圧が印加されていないときに、一対の電極間に発生する起電力に基づき、第1酸素イオンポンプセルによる酸素の汲み出しを制御する手段。なお、所定電圧とは少なくともNOを解離する以上の電圧である。
【0007】
第2の視点:切替手段は、第2セルが空隙部内の酸素濃度を検知する酸素濃淡電池セルとして機能する状態と、NOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流が流れる第2酸素イオンポンプセルとして機能する状態を、周期的に切り替えるものであること。第3の視点:前記酸素濃度基準電極が自己生成基準極である。自己生成基準極を形成するために酸素濃度基準電極近傍に存在する酸素は所定電圧が印加された際にNOxが分解され解離したものであること。
【0008】
第4の視点によれば、空隙部に面する第1酸素イオンポンプセルの一方の電極は、Pt,Rh,Pd,Ir,Ruから選択される一種以上の金属を含む。さらに、Ag,Au,Ni,Co,Cr,Fe,Mn,Cu,Ti,Al,Zn,Sn,Inから選択される1種以上の金属を含む。空隙部に面する、第2セルの前記酸素濃度検知電極はPt,Rh,Pd,Ir,Ruから選択される一種以上の金属を含み、Ag,Au,Ni,Co,Cr,Fe,Mn,Cu,Ti,Al,Zn,Sn,Inから選択される1種以上の金属とを含有する。
【0009】
第5の視点:拡散抵抗を介して被測定ガスが導入される空隙部に面する第1及び第2酸素イオンポンプセルを備えたNOxガスセンサであって、固体電解質と、該固体電解質を介して対向するように形成された一対の電極と、を備え、一方の該電極が前記空隙部に面する酸素濃度検知電極であり、他方の該電極が酸素濃度基準電極である第2酸素イオンポンプセルを有するNOxガスセンサを用いる。第2酸素イオンポンプセルに電圧を印加しないときに、該セルに発生する酸素濃淡電池起電力に基づき、第1酸素イオンポンプセルによる空隙部外及び/又は内への酸素の汲み出しを制御する。第2酸素イオンポンプセルに電圧を印加して空隙部内のNOxが分解され解離した酸素が汲み出されることにより該セルに流れるNOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流を検出する。検出した酸素ポンプ電流に基づいてNOxガス濃度を測定する。第6の視点:第2酸素イオンポンプセルへの電圧の印加と非印加を周期的に切り替えること。
【0010】
本発明によるNOxガスセンサが適用されるNOxガス濃度測定装置においては、酸素イオンによって流れる酸素ポンプ電流に基づいてNOx濃度を検出しているため、センサ素子内部空隙中の酸素濃度を一定に制御する必要がある。そこで、本発明によれば、一つの空隙に面して1組のセルを配置し、ある期間は、他方のセル(第2セル)の酸素濃度検出出力に基づき一方のセル(第1酸素イオンポンプセル)が空隙外又は内へ酸素を汲み出すことにより、内部空隙内の酸素濃度を可及的に一定かつ低濃度に制御し、他の期間は他方のセルに所定の一定電圧を印加することにより空隙内のNOxを分解し該セルに流れる酸素ポンプ電流からNOxガス濃度を検出する。従って、本発明によれば、ガスセンサ素子の構成が簡素であるため応答性が良いガスセンサ及び測定装置が提供される。また、センサ出力の酸素依存性を減少させるためには、特に、実際にNOxが解離される電極(他方のセルの空隙に面する方の電極)近傍の酸素濃度を検出し、この付近の酸素濃度を一定かつ低く制御することが好ましい。本発明によれば、NOxを解離する電極と酸素濃度を検出する電極が共通であるため、きわめて酸素依存性が小さいNOxガス濃度測定装置が提供できる。また、本発明のNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子は、従来の素子に比べて製作プロセスが簡略化されており、ロット間のバラツキも減少されている。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。本発明のNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサの好ましい実施の形態においては、空隙部内に面して設けられた酸素濃度検知電極及び第1酸素イオンポンプセルの内側電極を、Pt,Rh,Pd,Ir,Ruから選択される一種以上の金属を含むものとする。さらに好ましくは、空隙部内に面して設けられた酸素濃度検知電極及び第1酸素イオンポンプセルの内側電極が、Pt,Rh,Pd,Ir,Ruから選択される一種以上の金属と、Ag,Au,Ni,Co,Cr,Fe,Mn,Cu,Ti,Al,Zn,Sn,Inから選択される1種以上の金属とを含有するものとする。
【0012】
セルを構成する酸素イオン伝導性固体電解質層としては、Y2O3ないしCaOを固溶させたZrO2が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属元素ないし希土類金属元素の酸化物とZrO2との固溶体を使用してもよい。また、ベースとなるZrO2にはHfO2が含有されていてもよい。また、部分安定化、安定化、ないしこれらが混合したZrO2、CeO2、HfO2、ThO2を用いることができる。安定化剤として、例えばCaO,MgO,又は希土類酸化物(例えばY2O3、La2O3、Gd2O3等)の一種以上を用いる。好ましくは、イットリア部分安定化ジルコニア粉末(YSZ)を用いる。他の安定化剤或いは他の固体電解質も用いることができる。
【0013】
酸素濃度基準電極は、安定した電位を発生できる自己生成基準極であることが好ましく、さらに好ましくは、自己生成基準極を形成するために酸素濃度基準電極近傍に存在する酸素は、NOxが分解され解離し固体電解質層を伝導したものとする。これによって、さらにリード線を設ける必要がなくなり、酸素濃度基準電極を囲むような酸素濃度一定室を新たに設ける必要もなくなる。
【0014】
第1酸素イオンポンプセルと第2セルとが異なる固体電解質層上に形成されることにより、異なるセルの電極間に流れるリーク電流が減少し、正確な濃度測定が可能となる。好ましくは、各々の固体電解質層間に絶縁層を設ける。また、NOxを十分に解離させるために、ガスセンサ素子の空隙部を加温するヒータを設けることが好ましい。例えば、固体電解質層の積層方向上下からセラミックヒータ素子を内蔵するヒータ層を、セメントを用いた接着などによって付設する。外部測定雰囲気と空隙部とを連通する拡散抵抗部は、アルミナ多孔質から構成することが好ましいが、他の材質でもよく、所定の拡散抵抗が得られれば、隙間としてもよい。空隙部の一部を画成する絶縁層の材質として、例えばアルミナを用いるが、他の絶縁材料を用いてもよい。
【0015】
第2セルの一対の電極間に発生する酸素濃淡電池起電力を検出する手段は、直接的にこの起電力を検出しなくてもよく、例えば、空隙部に面する酸素濃度検知電極を接地し、酸素濃度基準電極に空隙部内の酸素濃度に応じた濃淡電池起電力があらわれるようにしてもよい。第2セルの一対の電極間への所定電圧の印加又は非印加を切り替える切替手段は、選択的に、(1)酸素濃度検知電極と酸素濃度基準電極とを電源を介して接続し、又は(2)酸素濃度検知電極と第1酸素イオンポンプセルの空隙部に面する方の電極(内側電極)とを共に接地するように構成されることが好ましい。この切替手段は、周期的に切替を行うことが好ましい。電圧印加期間と電圧非印加期間はそれぞれ10ms以上とすることが好ましい。また、第1酸素イオンポンプセルによる酸素の汲み出しを制御する手段を、前記酸素濃度基準電極に接続する入力端子と、目標とする空隙部内の酸素濃度に応じて設定される電圧が入力される参照入力端子と、第1酸素イオンポンプセルの外側電極に電気的に接続された出力端子を有する差動増幅器として構成することが好ましい。この場合、差動増幅器の出力端子と第1酸素イオンポンプセルの外側電極間に流れる電流IP1から空隙部内の酸素濃度を求めることができる。
【0016】
また、第1酸素イオンポンプセルによって空隙部内の酸素濃度制御をする際に、NOx(例えば、NO)の一部が分解されてもよく、第1酸素イオンポンプセルに流れる電流IP1に基づいてNOなどの分解量を補償することが可能である。また、第1酸素イオンポンプセルによって空隙部内でNO2が分解されてもよい。
【0017】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子、図8は比較例に係るNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子の構造を説明するための図である。
【0018】
まず、比較例のセンサ素子について説明する。図8に示した比較例のセンサ素子は、4層の固体電解質層、2つの空隙部2,4、2つの拡散抵抗部1,3及び2つの酸素イオンポンプセル6,8と酸素濃度測定セル7(計3つのセル)を有し、酸素濃度(分圧)検知電極7aとNOxが解離されNOxガス濃度に応じた電流が流れる第2酸素イオンポンプセル8の内側電極8aが離れた位置に設けられている。詳細には、第1拡散抵抗部1を通じて測定雰囲気に連通する第1空隙部2内に面して酸素濃度検知電極7aと第1酸素イオンポンプセル6(内側電極6b)を設け、酸素濃度基準電極7bは第2と第3の固体電解質層間に配置され、第2及び第3固体電解質層を貫通して設けられた多孔質の第2拡散抵抗部3を通じて第1空隙部2に連通する第2空隙部4内に面して第2酸素イオンポンプセル8を設け、第2酸素イオンポンプセル8の内側電極8aは第2空隙部4に面し、外側電極8bは絶縁層に囲まれてそれぞれ第4の固体電解質層上に設けられている。
【0019】
比較例のセンサ素子(図8参照)を適用した測定装置は以下のように構成される。すなわち、酸素濃度測定セル7の一対の電極7a,7b間に発生する電位差を取り出し、この電位差が所定の一定電位となるように第1酸素イオンポンプセル6の一対の電極6a,6b間に電圧を印加するための差動増幅器と電源と、これら一対の電極6a,6b間に流れる電流を検出し酸素濃度を測定するための電流計が付設される。第2酸素イオンポンプセル8の一対の電極8a,8b間に電源が接続され、さらにこの電源に直列にNOxガス濃度を測定するための電流計が接続される。従って、センサ素子内部にある6つの電極の出力をそれぞれ取り出すために少なくとも6つのリード線をセンサ素子内部に設けることが必要となる。
【0020】
次に、比較例の測定装置を用いたNOxガス濃度測定方法について説明する。酸素濃度測定セル7が第1空隙部2内の酸素濃度を検知し、該酸素濃度が一定となるように前記差動増幅器によって第1酸素イオンポンプセル6に印加される電圧が制御される。これによって、第1空隙部2内から酸素が汲み出され及び/又は汲み入れられ、酸素濃度が略一定とされたガスが第2空隙部4に拡散流入し、所定電圧が印加された第2酸素イオンポンプセル8はその内側電極8a上でNOxを解離し、解離した酸素イオンが第4層目の固体電解質層を伝導することにより、第2酸素イオンポンプセル8の一対の電極8a,8b間にはNOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流が流れ、これを検出することによりNOxガス濃度を測定する。
【0021】
これに対し、図2に示した本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子は、3層の固体電解質層、1つの空隙部、1つの拡散抵抗部、1つの酸素イオンポンプセル及び1つの共通セル(計2つのセル)を有している。詳細には、図1を参照して、1つの空隙部2に面して、第1酸素イオンポンプセル6と共通セル78が積層され、第1酸素イオンポンプセル6の内側電極6b及び共通セル78の内側共通電極78aが空隙部2内に位置している。そして、第1酸素イオンポンプセル6の外側電極6aは測定雰囲気、共通セル78の外側共通電極78bは固体電解質層間にそれぞれ位置している。内側共通電極78aは、酸素濃度検知電極又は第2酸素イオンポンプセルの内側電極として機能する。外側共通電極78bは、酸素濃度基準電極又は第2酸素イオンポンプセルの外側電極として機能する。なお、このセンサ素子は、比較例のセンサ素子と同様に酸素イオン伝導性を有する固体電解質層が積層され、この固体電解質層上に電極がそれぞれ形成されたものである。また、空隙部2は積層方向に固体電解質層、固体電解質層平面に沿った方向に絶縁層及び拡散抵抗部1に囲まれている。拡散抵抗部1は、センサ素子短手方向両側面の一部に形成されている。
【0022】
図2を参照して、図1に示したNOxガスセンサ素子を適用した本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置は以下のように構成される。すなわち、スイッチ20において、端子20aが内側共通電極78a、端子20bが節点を介して第1酸素イオンポンプセル6の内側電極6b及びグランド、端子20cが順に電源25、電流計23及び外側共通電極78bに、それぞれ電気的に接続されている。スイッチ20は、不図示のマイクロコンピュータによって周期的に切替制御され、酸素濃度検知期間は端子20aと端子20b、NOx濃度検知期間は端子20aと20cが選択的に接続される。さらに、外側共通電極78bは、端子20a,20bの接続期間に以前の電圧を維持するためのサンプルホールド回路21を介して、差動増幅器22の入力端子に電気的に接続される。差動増幅器22の参照入力端子には基準電圧が入力される。この基準電圧は空隙部2内の制御目標酸素濃度に対応する。差動増幅器22の出力端子は、第1酸素イオンポンプセル6の外側電極6aに電気的に接続され、差動増幅器22の出力によって、空隙部2内の酸素濃度が一定の低い濃度となるように、第1酸素イオンポンプセル6による空隙部2からの酸素の汲み出し及び/又は空隙部2内への酸素の汲み入れが制御される。
【0023】
次に、図3を参照して、本実施例の測定装置の動作を説明する。(1) 酸素濃度(分圧)制御期間(酸素濃度検知期間);スイッチ20の端子20a、20bを電気的に接続し、内側共通電極78a、外側共通電極78bを酸素濃度検知セルの一対の電極として作動させて空隙部2内の酸素濃度を検知し、該酸素濃度が一定となるように差動増幅器22によって第1酸素イオンポンプセル6に印加される電圧が制御される(酸素ポンプ電流IP1も変化する)。また、電流計23によって酸素濃度も測定できる。
【0024】
(2) 酸素ポンプ制御期間(NOx濃度検知期間); 斯くして、空隙部2内の酸素濃度が所定の安定した低濃度になった後、今度はスイッチ20の端子20a、20cを電気的に接続し、内側共通電極78a、外側共通電極78bに所定電圧(NOのほとんどが解離するレベルの電圧)を印加して、これらを第2酸素イオンポンプセルの一対の電極として作動させる。これによって、内側共通電極78a上でNOxが解離し、解離した酸素イオンが固体電解質層を伝導することにより、一対の内側共通電極78a,外側共通電極78b間にはNOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流IP2が流れる。、この酸素ポンプ電流IP2を検出することによりNOxガス濃度を測定する。
【0025】
(1)と(2)の動作を繰り返すと、図3に示したように、(1)の期間ではNOxガス濃度によらず酸素ポンプ電流IP2が一定であり、(2)の期間ではNOxガス濃度に応じて酸素ポンプ電流IP2が変化している。従って、上記測定装置により、空隙部の酸素濃度を一定にしつつ、酸素濃度及びNOxガス濃度が測定できることが分かる。
【0026】
このような本実施例の測定装置によれば、ガスセンサ素子が有する拡散抵抗部が1つであるためNOxガス濃度検出の応答性が向上する。更に酸素濃度検知電極がNOx濃度検知部を兼ねているため、被測定ガス中の酸素濃度に依存しないNOxガス濃度検知が可能となる。また、酸素濃度検知電極とNOx濃度検知用の酸素ポンプ電極を共通化したことにより、製造プロセスの簡略化、製作バラツキの抑制、等種々の優位性が得られる。
【0027】
[製造例]
前記図1に示した本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子の製造例を説明する。図4は、このセンサ素子のレイアウトを説明するための図である。このセンサ素子は、図4に示したZrO2グリーンシート及び電極用のペーストなどが積層され焼成されることにより作製される。絶縁コート、電極用のペースト材料は、所定のZrO2グリーンシートにスクリーン印刷されることにより、絶縁層、電極が所定位置に積層形成される。以下、ZrO2グリーンシートなど各構成部品の製造例を説明する。
【0028】
[ZrO2グリーンシート成形]
ZrO2粉末を大気炉にて仮焼する。仮焼したZrO2粉末、分散剤、有機溶剤を球石とともに混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、混合してスラリーを得た。このスラリーからドクターブレード法により、厚さ0.4mm程度のZrO2グリーンシートを作製し、乾燥する。
【0029】
[印刷用ペースト]
(1)第1酸素イオンポンプセルの外側電極6a、酸素濃度基準電極(比較例)7b、外側共通電極78b、第2酸素イオンポンプセルの内側電極(比較例)8a及び外側電極(比較例)8b用: 白金粉末、ZrO2粉末、適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0030】
(2)第1酸素イオンポンプセルの内側電極6b、酸素濃度検知電極(比較例)7b、内側共通電極78a用: 白金粉末、ZrO2粉末、金粉末、適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。或いは、ZrO2粉末にAu溶液(例えば塩化金酸溶液など)を含浸させ、乾燥、焼成して粉末上にAuを付着させることにより、Au担持粉末を得る。このAu担持粉末とPt粉末を混合して適宜バインダー、有機溶剤、粘度調整剤を添加してペーストを得る。
【0031】
(3)絶縁コート、保護コート用: アルミナ粉末と適量の有機溶剤を混合し、溶解させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0032】
(4)Pt入り多孔質用(リード線用): アルミナ粉末、白金粉末、有機バインダ、有機溶剤を混合し分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0033】
(5)拡散抵抗部用: アルミナ粉末、有機バインダー、有機溶剤を混合し、分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0034】
(6)カーボンコート用: カーボン粉末、有機バインダ、有機溶剤を混合し、分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。なお、カーボンコートを印刷形成することにより、一例を挙げれば、電極間の電気的接触が防止される。また、カーボンコートは空隙部を形成するために用いられる。カーボンは焼成途中で焼失するので、カーボンコート層は焼成体には存在しない。
【0035】
[ZrO2積層方法、脱バインダー及び焼成] 実施例の場合:1〜3層のZrO2グリーンシートを所定時間、所定圧力で加圧して圧着する。圧着した成形体を、脱バインダーし、焼成する。比較例の場合:2、3層目圧着後、第2拡散孔が貫通する部分(直径1.3mm)を打ち抜く。打ち抜き後、第2拡散孔となるグリーン円柱状成形体を埋め込み、1〜3層のZrO2グリーンシートを所定時間、所定圧力で加圧して圧着する。圧着した成形体を、脱バインダーし、焼成する。
【0036】
斯くして得られる実施例のNOxガスセンサ素子(図1参照)を有する本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置(図2参照)を用いて種々の試験を行った。また、図8に示した比較例のNOxガスセンサを有する比較例に係るNOxガス濃度測定装置を用いて同様の試験を行った。なお、実施例のNOxガスセンサ素子の寸法は、固体電解質積層方向に1mm、長手方向に45mm、短手方向に3.5mmである。比較例のNOxガスセンサ素子の寸法は固体電解質積層方向に1.3mm、長手方向に45mm、短手方向に3.5mmである。また、第1拡散抵抗部は平均粒径がφ2μmのアルミナ多孔質からなる。空隙部の寸法は固体電解質積層方向に50μm、長手方向に7mm、短手方向に2.2mmである。
【0037】
[試験例1]
実施例(図2参照)と比較例(図8参照)のNOxガス濃度測定装置をそれぞれ用いて、NOxガス濃度と、内側共通電極78a,外側共通電極78b間(比較例の場合は電極8a,8b間)に流れる電流(IP2)の関係について調べた。実施例の場合、一定濃度のNO又は酸素をセンサ素子に所定時間投入し、その前半期間を(1)酸素濃度(分圧)制御期間(酸素濃度検知期間)、後半期間を(2)酸素ポンプ制御期間(NOx濃度検知期間)とした(他の試験例においても同様)。その他の試験条件を下記に示し、測定結果を図5に示す。
【0038】
なお、下記の試験条件において、セル起電力とは、実施例の場合、内側共通電極78a,外側共通電極78b間(図1及び図2参照)に発生する起電力(試験例2,3も同様)、比較例の場合は電極7a,7b間(図8参照)の起電力である。IP2とは、実施例の場合、内側共通電極78a,外側共通電極78b間に流れる電流、比較例の場合、電極8a,8b間の電流である。また、NOx濃度検知において、電圧が印加されるセルは、実施例の場合共通セル78(同一セル)、比較例の場合第2酸素イオンポンプセル8である。
【0039】
【0040】
図5中、連続した実線が実施例の測定装置によるセンサ出力IP2、菱形のプロットが比較例の測定装置によるセンサ出力IP2であって、破線は比較例の結果を補間した結果を示す。図5を参照して、実施例の場合、(1)空隙部内の酸素濃度を制御している期間、センサ出力は一定であるのに対し、(2)NOx濃度を検出している期間は被測定ガス中のNOx濃度に応じてセンサ出力が変化していることが分かる。そして、(2)の期間において、実施例と比較例のセンサ出力IP2はほぼ一致する。従って、実施例のNOxガス濃度測定装置を用いて、比較例の装置と同様にNOxガス濃度を測定可能であることが分かる。
【0041】
[試験例2]
実施例と比較例のNOxガス濃度測定装置をそれぞれ用いて、センサ出力IP2の酸素濃度依存性を調べた。試験条件は下記の通りであり、図6に、試験結果としてNO:0ppmのときの被測定ガス中の酸素濃度とIP2の関係を示す。
【0042】
*試験条件*
被測定ガス組成NO:0ppm、O2:0, 0.5, 1, 7, 16%、CO2:10%、N2:bal;
被測定ガス温度300℃;検知部温度800℃;
酸素濃度制御:セル起電力が350mVになるように制御;
NOxガス濃度検知:セルに700mV印加して酸素ポンプ電流IP2測定。
【0043】
図6を参照して、実施例によれば、酸素濃度0〜16%の変化に対してもIP2出力は安定しており、被測定ガス中の酸素濃度の影響が比較例に対して極めて少ないことが分かる。従って、内側共通電極78a上の酸素分圧がより正確に検出され、空隙部2内の酸素濃度が安定していることが分かる。
【0044】
[試験例3]
実施例と比較例のNOxガス濃度測定装置を用いて、センサ出力の応答性を調べた。試験条件は下記の通りであり、図7に試験結果として、NOの投入量を0ppmから1500ppmに増加した際のセンサ出力の変化を示す。
【0045】
・試験条件
被測定ガス組成NO:0→1500ppm,O2:7%、CO2:10%、H2O:10%、N2:bal;
被測定ガス温度300℃;検知部温度800℃;
酸素分圧制御:セル起電力が350mVになるように制御;
NOxガス濃度検知:セルに700mV印加して酸素ポンプ電流IP2測定;
酸素濃度制御とNOxガス濃度検知制御は10msec毎に切り換え。
【0046】
図7を参照して、実施例の応答時間は従来例と比べて約半分であり、応答性良くNO濃度を測定できることが分かる。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、センサ構造が簡素化されたNOxガス濃度測定装置が提供される。さらに、本発明によるNOxガス濃度測定装置においては、酸素濃度に対するセンサ出力の依存性が小さくされ、より正確なNOxガス濃度の測定が実現可能となり、NOx濃度検知の応答性にも優れている。また、本発明によれば、センサ構造が簡素化されているため、製作プロセスが簡略化され、ロット間のバラツキも減少する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子の構造を説明するための図であり、センサ素子を長手方向に切断した面を示す。
【図2】図1に示したNOxガスセンサ素子が適用された、本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置を説明するための図である。
【図3】図2に示した装置の動作を説明するための図である。
【図4】図1に示したNOxガスセンサ素子のレイアウトを説明するための図である。
【図5】図2に示した実施例のNOxガス濃度測定装置と、図8に示す比較例のNOxガスセンサ素子が適用された比較例に係るNOxガス濃度測定装置と、をそれぞれ用いて、NOxガス濃度とセンサ出力IP2の関係を調べた結果を説明するための図である。
【図6】図2に示した実施例のNOxガス濃度測定装置と、図8に示す比較例のNOxガスセンサ素子が適用された比較例に係るNOxガス濃度測定装置と、をそれぞれ用いて、センサ出力の酸素濃度依存性を調べた結果を説明するための図である。
【図7】図2に示した実施例のNOxガス濃度測定装置と、図8に示す比較例のNOxガスセンサ素子が適用された比較例に係るNOxガス濃度測定装置と、をそれぞれ用いて、センサ出力の応答性を調べた結果を説明するための図である。
【図8】比較例に係るNOxガス濃度測定装置に適用されるNOxガスセンサ素子の構造を説明するための図である。
【符号の説明】
1:拡散抵抗部
2:空隙部
6:第1酸素イオンポンプセル
6a:外側電極
6b:内側電極
7:酸素濃度検知セル
20:切替手段
22:電流計(酸素ポンプ電流IP2検出手段)
23:差動増幅器(第1酸素イオンポンプセルによる酸素汲み出しを制御する手段)
78:共通セル(第2セル)
78a:内側共通電極(酸素濃度測定電極)
78b:外側共通電極(酸素濃度基準電極)
Claims (6)
- 拡散抵抗を介して被測定ガスが導入される空隙部と、
前記空隙部外及び/又は内へ酸素を汲み出す第1酸素イオンポンプセルと、
固体電解質と、該固体電解質を介して対向するように形成された一対の電極と、を備え、一方の該電極が前記空隙部に面する酸素濃度検知電極であり、他方の該電極が酸素濃度基準電極である第2セルと、
前記第2セルの一対の電極間への所定電圧の印加と非印加を切り替える切替手段と、
前記第2セルの一対の電極間に所定電圧が印加された際に、前記空隙部内でNOxが分解され解離した酸素が該第2セルを介して汲み出されることにより、NOxガス濃度に応じて該一対の電極間に流れる酸素ポンプ電流を検出する手段と、
前記第2セルの一対の電極間に所定電圧が印加されていないときに、該一対の電極間に発生する起電力に基づき、前記第1酸素イオンポンプセルによる酸素の汲み出しを制御する手段と、
を有することを特徴とするNOxガス濃度測定装置。 - 前記切替手段は、前記第2セルが、前記空隙部内の酸素濃度を検知する酸素濃淡電池セルとして機能する状態と、NOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流が流れる第2酸素イオンポンプセルとして機能する状態を、周期的に切り替えるものであることを特徴とする請求項1記載のNOxガス濃度測定装置。
- 前記酸素濃度基準電極が自己生成基準極であって、自己生成基準極を形成するために該酸素濃度基準電極近傍に存在する酸素は、前記所定電圧が印加された際にNOxが分解され解離したものであることを特徴とする請求項1又は2記載のNOxガス濃度測定装置。
- 前記空隙部に面した、前記第1酸素イオンポンプセルの一方の電極と前記第2セルの前記酸素濃度検知電極とが、Pt,Rh,Pd,Ir,Ruから選択される一種以上の金属と、Ag,Au,Ni,Co,Cr,Fe,Mn,Cu,Ti,Al,Zn,Sn,Inから選択される1種以上の金属と、を含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一に記載のNOxガス濃度測定装置。
- 拡散抵抗を介して被測定ガスが導入される空隙部に面して第1及び第2酸素イオンポンプセルを備えたNOxガスセンサであって、固体電解質と、該固体電解質を介して対向するように形成された一対の電極と、を備え、一方の該電極が前記空隙部に面する酸素濃度検知電極であり、他方の該電極が酸素濃度基準電極である第2酸素イオンポンプセルを有するNOxガスセンサを用いて、
前記第2酸素イオンポンプセルに電圧を印加しないときに、該セルに発生する酸素濃淡電池起電力に基づき、前記第1酸素イオンポンプセルによる前記空隙部外及び/又は内への酸素の汲み出しを制御し、
前記第2酸素イオンポンプセルに電圧を印加して、前記空隙部内のNOxが分解され解離した酸素が汲み出されることにより該セルに流れるNOxガス濃度に応じた酸素ポンプ電流を検出し、該検出した酸素ポンプ電流に基づいてNOxガス濃度を測定することを特徴とするNOxガス濃度測定方法。 - 前記第2酸素イオンポンプセルへの電圧の印加と非印加を周期的に切り替えることを特徴とする請求項5記載のNOxガス濃度測定方法。
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