JP3643709B2 - ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車、船舶、飛行機等の移動用、産業用の内燃機関の排ガス中、又は、ボイラ等の燃焼ガス中の特定ガス濃度を測定するガス濃度測定装置及びその測定方法に関し、特にNOxガス濃度の測定装置及び測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、排ガス規制の強化に伴い、エンジン等の排ガス中のNOxガス濃度を直接測定し、エンジン制御や触媒のコントロールを行う研究が行われている。このためのNOxガスセンサ素子として、ZrO2素セラミックス等の酸素イオン伝導体層上に一対の電極が形成された第1及び第2酸素イオンポンプセルと、センサ素子内部に形成された第1及び第2内部空隙と、を有し、第1酸素イオンポンプセルにより、センサ素子の第1内部空隙においてNOxガスが解離しない程度に第1内部空隙から酸素を汲み出し、さらに、第2酸素イオンポンプセルにより、第1内部空隙から第2内部空隙に導入されたNOxガスを含む残留ガスから更に酸素を汲み出すことにより、第2空隙部内においてNOxを解離させ、第2酸素イオンポンプセルに流れる酸素ポンプ電流に基づきNOxガス濃度を検出する素子が提案されている。このようなNOxガスセンサ素子は、HC、CO等の妨害ガスの影響を受けにくいにNOxガス濃度の測定方法として、近年広く研究が行われている。
【0003】
例えば、特開平8−271476号公報又はSAE paper No.960334 p137〜142 1996には、第1内部空隙に面して該空隙内の酸素濃度を検出するための酸素センサセルが設けられ、前記酸素センサセルに発生する起電力に基づいて、前記第1内部空隙に面して設けられた第1酸素イオンポンプセルへの印加電圧を可変制御し、酸素濃度一定とされたガスが拡散抵抗部を介して第2内部空隙に拡散し、前記第2内部空隙に面して設けられた第2酸素イオンポンプセルによりNOxガス濃度を該セルに流れる酸素ポンプ電流として検知するNOxガスセンサ素子が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平8−271476号公報又はSAE paper No.960334 p137〜142 1996に開示されたNOxガスセンサ素子は、内部空隙の酸素濃度を検知するための酸素センサセルを有しているため、素子構造が複雑である。加えて、酸素センサセルが出力する酸素濃淡電池起電力に基づき第1酸素イオンポンプセルへの印加電圧を変化させる必要があるため、複雑な制御回路を必要としている。
【0005】
本発明の課題は、構造が簡単であるガス濃度測定装置、特にNOxガス濃度測定装置を提供することである。また別の課題は、応答性が良好なガス濃度測定装置及び測定方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は各々の視点において下記の事項を備える。第1の視点:酸素濃度が実質的に一定な雰囲気。拡散抵抗を介して被検ガスが導入される内部空隙。固体電解質層に一対の電極が形成され、一方の電極は酸素濃度が実質的に一定な雰囲気に接し、他方の電極は内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って延在するものであり、一対の電極間に電圧が印加されて内部空隙内の酸素を一方の電極側へ汲み出す第1固体電解質セル。第1固体電解質セルの一対の電極間に一定の電圧を印加する手段。固体電解質層に一対の電極が形成され、一方の電極が内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って拡散抵抗から最も遠い最奥部に位置するものであり、一対の電極間に被検ガス中の測定対象ガス濃度に応じた出力が発生する第2固体電解質セル。
【0007】
第1固体電解質セルに一定の所定電圧を印加する手段は、このセルの一対の電極に電気的に接続し一定電圧を印加する電源とすることができる。また、一対の電極間に被検ガス中の測定対象ガス濃度に応じた出力は、第2固体電解質セルが酸素ポンプセルとして動作する場合は、固体電解質を介してその一対の電極間に流れる酸素ポンプ電流である。第2固体電解質セルが酸素濃淡電池セルとして動作する場合は、その一対の電極間に生じる酸素濃淡電池起電力である。
【0008】
第2の視点:酸素濃度が実質的に一定な雰囲気が大気であること。第3の視点:第2固体電解質セルの一対の電極間に測定対象ガスが解離されるような電圧を印加する手段。測定対象ガスが解離されて生じた酸素イオンによって第2固体電解質セルの一対の電極間に流れる酸素ポンプ電流を測定する手段。第4の視点:2固体電解質セルの一対の電極は、測定対象ガスに対する触媒活性が互いに異なる活性電極と不活性電極とであること。活性電極と不活性電極間に発生する酸素濃淡電池起電力を測定する手段。
【0009】
第5の視点:内部空隙に、被検ガスの導入部から、第2固体電解質セルが備える一対の電極のうち内部空隙に面する一方の電極に向かう被検ガスの拡散経路を蛇行させるように流路抵抗体を設けたこと。第6の視点:内部空隙に内部空隙を被検ガスの拡散経路に沿って分割する仕切壁を設けたこと。第7の視点:内部空隙を拡散抵抗体により充填したこと。第8の視点:測定対象ガスがNOxであること。
【0010】
第9の視点:拡散抵抗を介して内部空隙に被検ガスを導入する。酸素濃度が実質的に一定に保たれた雰囲気に接する一方の電極と内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って延在した他方の電極とを有する第1固体電解質セルの一対の電極間に一定電圧を印加する。内部空隙内の酸素を酸素濃度が実質的に一定に保たれた雰囲気へ汲み出す。内部空隙内の酸素濃度を可及的に一定の低濃度に制御する。内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って拡散抵抗から最も遠い最奥部に位置する一方の電極と該一方の電極と対をなす他方の電極とを有する第2固体電解質セルの該一対の電極間に発生した出力から酸素濃度が制御された内部空隙内の測定対象ガス濃度を検出する。
【0011】
ここで、本発明によるガス濃度測定装置で用いるガスセンサ素子において、第1固体電解質セルの一対の電極のうち、一方の電極が酸素濃度一定雰囲気に接し、他方の電極が被検ガスが導入されるセンサ内部空隙に面し、さらに第2固体電解質セルが酸素ポンプセルとして構成され、測定対象ガスがNOxである場合について、そのガス濃度測定原理を説明する。このガス濃度測定装置において、第1固体電解質セルの一対の電極に外部から電圧Vpを印加すると、次式のように電圧成分が分かれる。なお、次式中、emfは、第1固体電解質セルの一側(酸素濃度一定雰囲気)と他側(被測定ガスが導入される内部空隙)の酸素濃度差によって、該セルの一対の電極間に生じる濃淡電池起電力、Rは第1固体電解質セルの一対の電極間の電気抵抗、Iは第1固体電解質セルの一対の電極間に流れる酸素ポンプ電流である。
【0012】
Vp(ポンプ印加電圧)=emf(酸素濃淡差による起電力)+R×I(電流の駆動力) …式(1)
【0013】
上式より、電流量Iを非常に小さくすることにより、emfとVpがほぼ等しくなることが分かる。さらに、第1固体電解質セルの一側の電極は酸素濃度一定雰囲気に曝されているから、印加電圧Vpを一定とすることにより、第1固体電解質セルの内部空隙内の酸素濃度を一定に制御できることが分かる。
【0014】
さらに、本発明に用いるガスセンサ素子は、このように酸素濃度が一定に制御される内部空隙に面して、第2固体電解質セルが設けられている。この第2固体電解質セルの電極にNOxが十分に解離されるような電圧を印加することにより、NOxが解離して生じた酸素イオンにより該セルを酸素ポンプ電流が流れる。内部空隙内の酸素濃度は、第1固体電解質セルによって一定に制御されているため、この酸素ポンプ電流に基づいて、被検ガス中の酸素濃度変動の影響を実質的に受けることなく、測定対象ガスの濃度を正確に測定することができる。
【0015】
以上より、本発明によるガス濃度測定装置によれば、ガスセンサ素子自体の構造が簡素であると共に、従来のセンサ素子と比べて酸素濃度検知セル(酸素センサセル)が不要となり、酸素汲み出し用セルに印加される電圧ないし該セルに流れる電流を可変に制御するための外部制御回路が不要となるため、測定装置全体の構造も簡素化される。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係るガス濃度測定装置で用いるNOxガスセンサ素子を説明するための図であり、センサを長手方向に切断した面を示す。図2は、図1に示した内部空隙における電極配置を説明するための図であって、内部空隙を固体電解質層に沿って切断した面を示す。図1及び図2を参照して、本発明の第1の実施形態に係るNOxガス濃度測定装置を説明する。この装置で用いるガスセンサ素子は、4層の固体電解質層5−1,…5−4が積層されてなる。そして、第1固体電解質層5−1と第3固体電解質層5−3の間に、第2固体電解質層5−2と同層の大気導入部1が形成されている。第3固体電解質層5−3上には、大気導入部1に面して外側電極6a、内部空隙3に面して内側電極6bがそれぞれ形成され、全体として第1固体電解質セル6を構成している。なお、第1と第2の固体電解質層5−1、5−2は、固体電解質以外の材料で構成されていてもよい。
【0017】
図2を参照して、内側電極6bは、内部空隙3の被検ガス拡散経路に沿って延在し、電極6b、電極8aらをセンサ平面(固体電解質層平面)に投影すると、電極6bは、電極8aの存在部を残して内部空隙3のほぼ全平面を覆っている。これにより、電極8a近傍の雰囲気が安定する。さらに、第3固体電解質層5−3と第4固体電解質層5−4の層間には絶縁層11−3が積層されている。絶縁層11−3のセンサ短手方向端面には拡散抵抗部2が積層されている。そして、積層方向に第3、第4固体電解質層、層平面方向に沿って絶縁層11−3、拡散抵抗部2に囲まれて、内部空隙3が画成されている。拡散抵抗部2は、センサ素子の端面において開口し、拡散抵抗をもって被検ガス雰囲気と内部空隙3とを連通する。第4固体電解質層5−4の内部空隙3側の面には、内部空隙3に面して内側電極8a、絶縁層11−3に囲まれて外側電極8bがそれぞれ形成され、全体として第2固体電解質セル8を構成している。
【0018】
特に、内側電極8aは、内部空隙3内において、被検ガスの拡散流路に沿って拡散抵抗部2から最も遠い最奥部に位置している。なお、電極6a,6b,8a,8bはPtを主成分とし固体電解質層間に形成されたリード線に電気的に接続し、電極間に電圧が印加されたり、電極間に流れる電流や電極間に発生する電位を取り出すことができる。本実施形態においては、それぞれのリード線を介して、電極6a,6b間に電源を接続して第1電圧を印加し、電極8a,8b間に電源及び電流計を直列に接続して第2電圧を印加し、電極8a,8b間に流れる酸素ポンプ電流を検出する。
【0019】
次に、このNOxガス濃度測定装置の動作を説明する。まず、大気導入部1に大気を導入し、大気導入部1の奥部に位置する第1固体電解質セル6の外側電極6a近傍の雰囲気を、大気雰囲気、すなわち酸素濃度が約21%の実質的に一定な雰囲気とする。拡散抵抗部2を介して被検ガスを内部空隙3に拡散させる。そして、第1固体電解質セル6の一対の電極6a,6b間に電気的に接続する第1電圧印加手段により、電極6a,6b間に第1電圧(定電圧)を印加する。第1電圧は、第1固体電解質セル6の内側電極6b上でO2が解離されるが、内部空隙3内全部のNOxが解離されないような電圧値に設定される。なお、NO2は内側電極6b上で解離されてもよい。式(1)を参照して上述したように、第1固体電解質セル6に定電圧を印加することにより、内部空隙3内を導入ガスが拡散していくにつれて内部空隙3から大気導入部1側に酸素が汲み出され、内部空隙3内の酸素濃度が一定かつ低濃度に制御される。また、電極6a,6b間に電気的に接続された第1電流検出手段により、電極6a,6b間に第3固体電解質層5−3を介して流れる第1酸素ポンプ電流に基づき被検ガス中の酸素濃度を測定することができる。
【0020】
さらに、第2固体電解質セルの一対の電極8a,8b間に電気的に接続する第2電圧印加手段により、電極8a,8b間に第2電圧(定電圧)を印加する。この第2電圧は、第2固体電解質セル8の内側電極8a上で実質的に全てのNOx(特にNO)が解離されるレベルに設定される。そして、内側電極8a上でNOxが解離され、解離した酸素イオンが第4固体電解質層5−4内を輸送され、内側電極8aと外側電極8b間に第4固体電解質層5−4を介して本質的にNOxガス濃度に比例する第2酸素ポンプ電流が流れる。電極8a,8b間に電気的に接続された第2電流検出手段により、この第2酸素ポンプ電流を検出し、第2酸素ポンプ電流に基づいて被検ガス中のNOxガス濃度を測定することができる。なお、酸素イオンが内側電極8aから外側電極8bへ輸送されることにより、外側電極8b近傍の雰囲気は高酸素濃度になっている。また、第1固体電解質セル6の内側電極6bと第2固体電解質セル8の内側電極8aとを素子内で電気的に接続することが可能であり、これによって制御回路構成をさらに簡素化することができる。
【0021】
ここで、以上説明した第1の実施形態に係るNOxガス濃度測定装置と対比して、図9に示すNOxガスセンサ素子を用いた比較例に係るNOxガス濃度測定装置を説明する。なお、同一の機能を果たす部位には図1と同一の参照符号を付している。図9に示した比較例のセンサ素子は、2つの内部空隙102,104、2つの拡散抵抗部101,103、さらに酸素濃度検知セル7を備えている。この素子を用いた比較例の測定装置においては、被検ガスが第1拡散抵抗部101を介して第1内部空隙102に拡散流入し、酸素濃度検知セル7の一対の電極7a,7b間に内部空隙102内の酸素濃度に応じた起電力が発生し、該起電力に基づいて第1酸素イオンポンプセル6に印加される電圧が可変制御されて、第1内部空隙102内の酸素濃度が一定とされ、酸素濃度が一定とされたガスが第2拡散抵抗部103を通じて第2内部空隙104に拡散流入し、所定電圧が印加されている第2酸素イオンポンプセル8に被検ガス中のNOxガス濃度に応じた第2酸素ポンプ電流が流れる。
【0022】
図1と図9を対比して、第1の実施形態のセンサ素子は構造がきわめて簡単である上に、第1固体電解質セルに印加する電圧は一定でよく、きわめて単純な制御構成により、内部空隙内の酸素濃度を所定の低濃度に制御して、精度よくNOxガス濃度を測定することができる。さらに、このセンサ素子は被検ガスの拡散流路が簡素化されており応答性に優れている。これに対して、比較例のセンサ素子は、酸素濃度検知セル、2つの内部空隙、2つの拡散抵抗部を有するため、構造が複雑であり、被検ガスの拡散経路が複雑であるために応答性が劣る。また、本発明の実施形態のセンサ素子は、酸素濃度検知(Vs)セルを持たないため、電極からの出力を外部に取り出すリード線の本数を3本まで減少することができる(比較例では最低5本必要)。
【0023】
図3は、本発明の第2の実施形態に係る測定装置で用いるNOxガスセンサ素子を説明するための図である。図3に図示した以外の構成は図1のセンサと同様である。このセンサの内部空隙3には、被検ガスの導入部である拡散抵抗部2から、第2固体電解質セル8の内側電極8aに向かう被検ガスの拡散経路を蛇行させるように、流路抵抗体(拡散抵抗壁)12が互い違いに複数設けられている。このように拡散経路を蛇行させて第1酸素イオンポンプセルの内側電極6bとの接触経路を長くすることにより、第1固体電解質セル6による酸素分圧制御の精度が向上し、第2酸素イオンポンプセル8の内側電極8a近傍の酸素濃度が安定する。この結果、センサ出力の酸素濃度依存性がより小さくなる。
【0024】
図4は、本発明の第3の実施形態に係る測定装置で用いるNOxガスセンサ素子を説明するための図である。図4に図示した以外の構成は図1のセンサと同様である。このセンサの内部空隙3には、被検ガスの流路方向(主方向)に直交して拡散抵抗体からなる1以上の仕切壁13が設けられ、内部空隙3が複数の室に分割されている。これによって、被検ガス中の酸素濃度が大きく変動した場合であっても、仕切壁13によって内部空隙3の酸素濃度(分圧)が段階的に変化するため、第2の実施形態の素子と同様の効果が生じる。
【0025】
図5は、本発明の第4の実施形態に係る測定装置で用いるNOxガスセンサ素子を説明するための図である。図5に図示した以外の構成は図1のセンサと同様である。このセンサの内部空隙3内には、拡散抵抗体が充填されている(拡散抵抗体充填部14)。拡散抵抗体充填部14は、被検ガスが第2酸素イオンポンプセル8の内側電極8aに到達する時間(拡散時間)を延長するように作用する。これによって、第2の実施形態の素子と同様の効果が生じる。
【0026】
前記第2〜第4の実施形態のガスセンサ素子のように、内部空隙において、ガスの拡散経路を蛇行させて拡散経路を幾分長くしたり、拡散抵抗体で遮ることでガス拡散時間を幾分長くしたり、経路に沿って酸素濃度を段階的に変化させることにより、被検ガス中の酸素濃度変化の影響が第2酸素イオンポンプセルの内側電極近傍まで及びにくくなり、第1酸素イオンポンプセルへの印加電圧Vp一定の条件下で酸素の汲み出しがより安定し、第2酸素イオンポンプセルの内側電極近傍の雰囲気も安定する。この結果、ガスセンサ出力(測定対象ガス濃度に比例する電流又は電圧)の酸素濃度依存性が小さくなる。拡散抵抗部及び拡散抵抗体の材料として、好ましくはアルミナ多孔質体を用いる。他の多孔質材料を用いてもよく、微細な貫通孔、スリットを設けてもよい。
【0027】
各セルの構成要素である酸素イオン伝導性を有する固体電解質層材料としては、Y2O3ないしCaOを固溶させたZrO2が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属元素ないし希土類金属元素の酸化物とZrO2との固溶体を使用してもよい。また、ベースとなるZrO2にはHfO2が含有されていてもよい。また、部分安定化、安定化、ないしこれらが混合したZrO2、CeO2、HfO2、ThO2を用いることができる。安定化剤として、例えばCaO,MgO,又は希土類酸化物(例えばY2O3、La2O3、Gd2O3等)の一種以上を用いる。好ましくは、イットリウム部分安定化ジルコニア粉末(YSZ)を用いる。他の安定化剤或いは他の固体電解質も用いることができる。また、各固体電解質層間には、緻密なアルミナ層などからなる絶縁層を設けることがリーク電流を防止する上で好ましい。
【0028】
第1固体電解質セル(第1酸素イオンポンプセル)への印加電圧は300〜400mVが好ましい。また、第2固体電解質セルが酸素ポンプセル(第2酸素イオンポンプセル)として作動する場合、その固体電解質層上に形成された一対の電極間に印加される第2電圧は、固体電解質層の厚さを数10μm程度とすると、400〜500mVが好ましい。
【0029】
同一の内部空隙に面する、第1固体電解質セルの内側電極と第2固体電解質セルの一方の電極を、多孔質であって、Pt、Rh、Pd、Ir、Reから選択される一種以上の成分を含有する電極、或いはさらに、Ag、Au、Ni、Co、Cr、Fe、Mn、Cu、Ti、Al、Pd、Zn、Sn、Inから選択される1種以上の成分と、を含有する電極とすることが好ましい。特に、第1固体電解質セルの内側電極上で全てのNOxが解離されないように、この内側電極をNOx還元触媒能を低下させる成分としてAuが添加されたAu−Pt電極とし、一方、第2固体電解質セルの内側電極をNOx解離触媒能が高いPtやRh電極とすることが好ましい。なお、電極は、上記各金属を単体として含んでもよく、合金として含んでもよい。
【0030】
第2固体電解質セルを、酸素ポンプセルではなく、酸素濃淡電池セルとして構成することもできる。第2固体電解質セルが酸素ポンプセルとして機能する場合、このセルが備える一対の電極間に酸素を含む測定対象ガスが解離するような電圧を印加し、解離した酸素イオンにより固体電解質層を介して前記一対の該電極間に流れる酸素ポンプ電流に基づき、測定対象ガスの濃度を測定することができる。
【0031】
これに対し、第2固体電解質セルが酸素濃淡電池セルとして機能する場合、このセルが備える一対の電極の一方を測定対象ガス(例えばNOx)を解離する触媒能が相対的に高い活性電極、他方を相対的に不活性な電極とし、活性電極と不活性電極間に発生する濃淡電池起電力に基づき、測定対象ガスの濃度を測定することができる。また、測定対象ガスの種類によっては、測定対象ガスを酸化する触媒能が互いに異なるように活性電極と不活性電極の組成を調整する。NOxガス濃度を測定する場合、例えば、活性電極をPt電極とし、不活性電極をAuが添加されたAu−Pt電極とする。その他、上記NOx還元触媒能を低下させる成分(例えばCuなど)を不活性電極に添加してもよい。
【0032】
なお、本発明は、主としてNOxガス濃度を測定する場合について説明したが、その他のガス、例えば可燃性ガス、さらにNH3ガスなどの濃度も検出することが可能である。
【0033】
[製造例]
前記図1及び図2に示したNOxガスセンサ素子の製造例を説明する。図6は、このセンサ素子のレイアウトを説明するための図である。このセンサ素子は、図6に示すようなZrO2グリーンシート及び電極用のペーストなどが積層され焼成されることにより作製される。すなわち、絶縁コート、電極用のペースト材料が、所定のZrO2グリーンシートにスクリーン印刷されることにより、絶縁層、電極らが所定位置に積層形成される。以下、ZrO2グリーンシートなど各構成部品の製造例を説明する。
【0034】
[ZrO2グリーンシート成形]
ZrO2粉末を大気炉にて仮焼する。仮焼したZrO2粉末、分散剤、有機溶剤を球石とともに混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、混合してスラリーを得る。このスラリーからドクターブレード法により、厚さ0.4mm程度のZrO2グリーンシートを作製し、乾燥する。
【0035】
[印刷用ペースト]
(1)電極8a,8b、電極6a、電極7b(比較例)用: 白金粉末、ZrO2粉末、適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0036】
(2)電極6b、電極7a(比較例)用: 白金粉末、ZrO2粉末、金粉末、適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。或いは、ZrO2粉末にAu溶液(例えば塩化金酸溶液など)を含浸させ、乾燥、焼成して粉末上にAuを付着させることにより、Au担持粉末を得る。このAu担持粉末とPt粉末を混合して適宜バインダー、有機溶剤、粘度調整剤を添加してペーストを得る。
【0037】
(3)絶縁コート、保護コート用: アルミナ粉末と適量の有機溶剤を混合し、溶解させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0038】
(4)Pt入り多孔質用(リード線用): アルミナ粉末、白金粉末、有機バインダ、有機溶剤を混合し分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0039】
(5)拡散抵抗部用: アルミナ粉末、有機バインダー、有機溶剤を混合し、分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【0040】
(6)カーボンコート用: カーボン粉末、有機バインダ、有機溶剤を混合し、分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。なお、カーボンコートを印刷形成することにより、一例を挙げれば、電極間の電気的接触が防止される。また、カーボンコートは内部空隙を形成するために用いられる。カーボンは焼成途中で焼失するので、カーボンコート層は焼成体には存在しない。
【0041】
[ZrO2積層方法、脱バインダー及び焼成] 1〜4層のZrO2グリーンシートを所定時間、所定圧力で加圧して圧着する。圧着した成形体を、脱バインダーし、焼成する。
【0042】
【実施例】
[測定例1]
図1及び図2に示した構造を有し、前記実施形態の欄で説明した第1及び第2電圧印加手段、第2電流検出手段が付設され、上述の製造例に従って作製されたNOxガスセンサ素子を有する本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置を用いて、センサ出力のNO濃度依存性を調べた。使用したセンサ素子において、内部空隙の寸法はセンサ素子長手方向約7mm、短手方向約2.2mm、高さ約50μm、拡散抵抗部の気孔率は約60%、第1酸素イオンポンプセルの内側電極の寸法はセンサ素子長手方向4.7mm、短手方向2.2mm、厚さ15μm、第2固体電解質セルの内側電極の寸法はセンサ素子長手方向2.0mm、短手方向2.2mm、厚さ15μmである。また、測定条件は下記の通りであり、図7に測定結果を示す。
【0043】
被検ガス:CO2=10%、H2O=10%、O2=7%、N2=Bal.、300℃。第1固体電解質セルへの印加電圧Vp1=350mV、第2固体電解質セルへの印加電圧Vp2=450mV、センサ素子に付設したヒータへの投入電力21W。
【0044】
図7より、実施例に係る測定装置によれば、NO濃度に比例した第2酸素ポンプ電流が得られており、この測定装置を用いてNOxガス濃度の定量ができることが分かる。
【0045】
[測定例2]
測定例1と同様の測定装置を用いて、センサ出力(第2酸素ポンプ電流)の酸素濃度依存性を調べた。測定条件は下記の通りであり、図8に測定結果を示す。
【0046】
被検ガス:CO2濃度=10%、H2O濃度=10%、NO濃度=0、1500ppm、N2=Bal.、300℃。Vp1=350mV、Vp2=450mV、センサ素子に付設したヒータへの投入電力21W。
【0047】
図8より、酸素濃度の変化に対して第2酸素ポンプ電流の変化は小さく(約2μA以下)、実施例に係る測定装置により、酸素濃度の影響をほとんど受けずに精度よくNOxガス濃度の定量ができることが分かる。また、この結果から、従来のセンサ素子のように酸素濃度検知(Vs)セルを別個に設けてなくとも、正確なNOxガス濃度の検知が可能であることが分かる。
【0048】
【発明の効果】
本発明によれば、酸素濃度を検知するためのセルが必要ないため、センサ素子の構造がきわめて簡素化され、電極からの出力を取り出すためのリード線の本数を3本まで減少させることができる。また、空隙部内の酸素濃度を一定値とするための制御は、第1固体電解質セルへの印加電圧一定という単純な制御でよく、従来のように空隙部内の酸素濃度を検知し、該検知に基づきフィードバック制御をするというような複雑な制御を行う必要がなく、センサ素子の制御構成がきわめて簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るガス濃度測定装置で用いるNOxガスセンサ素子を説明するための図であり、センサを長手方向に切断した面を示す。
【図2】図1に示した内部空隙における電極配置を説明するための図であって、内部空隙を固体電解質層に沿って切断した面を示す。
【図3】本発明の第2の実施形態に係る装置で用いるNOxガスセンサ素子の構造を説明するための図であり、内部空隙を固体電解質層に沿って切断した面を示す。
【図4】本発明の第3の実施形態に係る装置で用いるNOxガスセンサ素子の構造を説明するための図であり、内部空隙を固体電解質層に沿って切断した面を示す。
【図5】本発明の第4の実施形態に係る装置で用いるNOxガスセンサ素子の構造を説明するための図であり、内部空隙を固体電解質層に沿って切断した面を示す。
【図6】図1に示したNOxガスセンサ素子のレイアウトを説明するための図である。
【図7】本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置における、センサ出力(第2酸素ポンプ電流)のNO濃度依存性を説明するための図である。
【図8】本発明の一実施例に係るNOxガス濃度測定装置における、センサ出力(第2酸素ポンプ電流)の酸素濃度依存性を説明するための図である。
【図9】比較例に係るNOxガス濃度測定装置で用いるNOxガスセンサ素子を説明するための図であり、センサを長手方向に切断した面を示す。
【符号の説明】
1:大気導入部 2:拡散抵抗部 3:内部空隙
5−1,5−2,5−3,5−4:固体電解質層
6:第1固体電解質セル 6a:外側電極 6b:内側電極
8:第2固体電解質セル 8a:内側電極 8b:外側電極
11−3:絶縁層 12:流路抵抗体(拡散抵抗壁) 13:仕切壁
14:拡散抵抗体充填部
Claims (9)
- 酸素濃度が実質的に一定な雰囲気と、
拡散抵抗を介して被検ガスが導入される内部空隙と、
固体電解質層に一対の電極が形成され、一方の該電極は前記酸素濃度が実質的に一定な雰囲気に接し、他方の該電極は前記内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って延在するものであり、該一対の電極間に電圧が印加されて該内部空隙内の酸素を該一方の電極側へ汲み出す第1固体電解質セルと、
前記第1固体電解質セルの一対の電極間に一定の電圧を印加する手段と、
固体電解質層に一対の電極が形成され、一方の該電極が前記内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って前記拡散抵抗から最も遠い最奥部に位置するものであり、該一対の電極間に被検ガス中の測定対象ガス濃度に応じた出力が発生する第2固体電解質セルと、
を有するガス濃度測定装置。 - 前記酸素濃度が実質的に一定な雰囲気は大気であることを特徴とする請求項1記載のガス濃度測定装置。
- さらに、前記第2固体電解質セルの一対の電極間に、測定対象ガスが解離されるような電圧を印加する手段と、前記測定対象ガスが解離されて生じた酸素イオンによって前記第2固体電解質セルの一対の電極間に流れる酸素ポンプ電流を測定する手段と、を有し、
前記酸素ポンプ電流に基づき測定対象ガス濃度を測定することを特徴とする請求項1又は2記載のガス濃度測定装置。 - 前記第2固体電解質セルの一対の電極は、測定対象ガスに対する触媒活性が互いに異なる活性電極と不活性電極とからなり、
さらに、前記活性電極と前記不活性電極間に発生する酸素濃淡電池起電力を測定する手段を有し、
前記酸素濃淡電池起電力に基づき測定対象ガス濃度を測定することを特徴とする請求項1又は2記載のガス濃度測定装置。 - 前記内部空隙に、被検ガスの導入部から、前記第2固体電解質セルが備える一対の電極のうち該内部空隙に面する一方の電極に向かう、被検ガスの拡散経路を蛇行させるように流路抵抗体を設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載のガス濃度測定装置。
- 前記内部空隙に、該内部空隙を被検ガスの拡散経路に沿って分割する仕切壁を設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一に記載のガス濃度測定装置。
- 前記内部空隙を拡散抵抗体により充填したことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一に記載のガス濃度測定装置。
- 前記測定対象ガスがNOxであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一に記載のガス濃度測定装置。
- 拡散抵抗を介して内部空隙に被検ガスを導入し、酸素濃度が実質的に一定に保たれた雰囲気に接する一方の電極と前記内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って延在した他方の電極とを有する第1固体電解質セルの一対の電極間に一定電圧を印加し、前記内部空隙内の酸素を前記酸素濃度が実質的に一定に保たれた雰囲気へ汲み出して前記内部空隙内の酸素濃度を可及的に一定の低濃度に制御し、前記内部空隙に面し且つ被検ガスの拡散経路に沿って前記拡散抵抗から最も遠い最奥部に位置する一方の電極と該一方の電極と対 をなす他方の電極とを有する第2固体電解質セルの該一対の電極間に発生した出力から酸素濃度が制御された前記内部空隙内の測定対象ガス濃度を検出することを特徴とするガス濃度測定方法。
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