JP3554962B2 - 複合積層体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複合積層体およびその製造方法に関するもので、特に、焼成による収縮が抑制された複合積層体およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、チップ部品等の小型化および軽量化が進んでおり、これを実装する回路基板についても小型化および軽量化が望まれている。このような要望に応えるため、例えばガラスセラミック多層回路基板が有効である。なぜなら、ガラスセラミック多層回路基板によれば、高密度配線および薄層化が可能となり、応じて小型化および軽量化を図ることができるからである。
【0003】
しかし、このようなガラスセラミック多層回路基板は、焼成工程を経て製造されるものであるが、一般に焼結時において、基板の主面に対して垂直方向の収縮(以下、縦収縮と略す)ならびに水平方向の収縮(以下、横収縮と略す)を伴うため、例えば±0.5%程度の寸法のばらつきが生じているのが現状である。特に、適宜の電子部品を収容するためのキャビティを有するガラスセラミック多層回路基板の場合に、寸法ばらつきがより顕著になる。
【0004】
そこで、寸法精度の高いガラスセラミック多層回路基板の製造方法として、例えば特開平5−102666号公報または特開平7−330445号公報に記載されるように、さらにキャビティを有するガラスセラミック多層回路基板の製造方法として、例えば特開平6−329476号公報に記載されるように、ガラスセラミック成形体の片面または両面にガラスセラミック成形体の焼結温度では焼結しないグリーンシートを積層した状態とし、この状態で焼成した後、グリーンシートによってもたらされた粉体層を除去する方法が提案されている。
【0005】
しかしながら、上述したガラスセラミック多層回路基板の製造方法によれば、焼成後において、グリーンシートによる粉体層を除去しなければならないため、このような除去のための煩雑な工程が必要になるばかりでなく、焼成前のガラスセラミック成形体の表面に予め導電膜を形成しておき、これをガラスセラミック成形体の焼成工程において同時に焼成することが不可能である。また、グリーンシートによる粉体層を除去した後のガラスセラミック多層回路基板の表面粗さが大きくなるなどの問題も生じる。
【0006】
また、特開平9−266363号公報では、ガラスセラミック層とアルミナ層とを積層した状態で焼成を行ない、ガラスセラミック層のみを焼結させ、アルミナ層を未焼結の状態としながら、ガラスセラミック層に含まれるガラスをアルミナ層の内部に浸入させることにより、アルミナ層を固着させることが記載されている。この場合において、ガラスセラミック層から浸入するガラスは、アルミナ層の全域に行き届くことがなく、アルミナ層のみ固着部分を除去するとともに、表面を研磨することが行なわれ、これらの除去および研磨の後に回路パターンのための導電膜の形成が実施される。◆
したがって、この従来技術によれば、除去および研磨工程によって表面粗さを小さくすることが可能であるが、前述した従来技術と同様、焼成工程の後に除去工程が別途必要であるとともに、回路基板の表面に形成されるべき導電膜を、ガラスセラミック層との同時焼成によって得ることができない。
【0007】
また、特開平5−136572号公報では、前述した従来技術と同様、ガラスセラミック成形体の片面または両面に、このガラスセラミックの焼結温度では焼結しないグリーンシートを積層し、ガラスセラミック成形体のみを焼結させることが記載されている。ここでは、焼結しなかったグリーンシートによって与えられた粉体層に樹脂を充填することが行われる。
【0008】
したがって、この従来技術によれば、未焼結の粉体層を除去する工程が不要であるが、未焼結の粉体層に樹脂を充填させるという工程が別途必要である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、複合積層体の横収縮ならびに寸法ばらつきを抑制し、かつ、焼成工程の後において除去工程や樹脂充填工程等の後工程を特に必要とすることなく、使用に供せられ得る状態とすることができる複合積層体およびその製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の複合積層体は、第1の粉体の集合体を含む第1シート層と、第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を含む第2シート層とを備える複合積層体であって、第2シート層は第1シート層によって挟層され、複合積層体の両主面は第2シート層によってさらに与えられ、複合積層体の内部に積層される第2シート層の厚みは、複合積層体の主面に与えられる第2シート層の厚みより厚く、第1シート層に含まれる第1の粉体の集合体の一部が第2シート層に拡散あるいは流動することによって互いに固着されていることを特徴とする。
【0011】
また、上述の複合積層体の内部に積層される第2シート層の厚みは、複合積層体の主面に与えられる第2シート層の厚みに対して1.75ないし2.67倍であることが好ましい。
【0012】
また、上述の第1シート層の厚みは互いに実質的に同じであることが好ましい。
【0013】
また、上述の第1の粉体の集合体はガラスを含み、第2の粉体の集合体はセラミック粉末を含むことが好ましい。
【0014】
また、本発明の複合積層体は、上述の複合積層体の主面および/または内部に、導電膜をさらに備え、第1シート層、第2シート層および導電膜をもって回路基板を構成してもよい。
【0015】
また、本発明の複合積層体は、少なくとも一方の主面に沿って開口を位置させているキャビティをさらに備えていてもよい。
【0016】
本発明の複合積層体の製造方法は、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層と、第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層とを備える生の複合積層体であって、生の第2シート層は生の第1シート層によって挟層され、生の複合積層体の両主面は生の第2シート層によってさらに与えられ、生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みは、複合積層体の主面に与えられる生の第2シート層の厚みより厚い、生の複合積層体を用意する第1のステップと、生の第1シート層に含まれる第1の粉体の集合体の一部を溶融させて、これを生の第2シート層に拡散あるいは流動させ、生の第1シート層と生の第2シート層を互いに固着させるように、第2の粉体の集合体を焼結させないが第1の粉体の集合体の一部を溶融させ得る温度で、生の複合積層体を焼成する第2のステップとを備えることを特徴とする。
【0017】
また、前述の第1のステップにおいて、生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みは、生の複合積層体の主面に与えられる第2シート層の厚みに対して1.75ないし2.67倍であることが好ましい。
【0018】
また、本発明の複合積層体の具体的な一つの製造方法は、第1の粉体の集合体を用意する工程と、第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を用意する工程と、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層となるべき第1のグリーンシートを成形する工程と、第1のグリーンシート上に、第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層となるべき第2のグリーンシートを成形して生の第1中間積層体を得る工程と、生の第1中間積層体を複数積層して生の複合積層体を用意する工程を備える第1のステップと、生の第1シート層に含まれる第1の粉体の集合体の一部を溶融させて、これを生の第2シート層に拡散あるいは流動させ、生の第1シート層と生の第1シート層を互いに固着させるように、第2の粉体の集合体を焼結させないが第1の粉体の集合体の一部を溶融させ得る温度で、生の複合積層体を焼成する第2のステップとを備えることを特徴とする。
【0019】
また、同様に本発明の複合積層体の具体的な他の製造方法は、第1の粉体の集合体を用意する工程と、第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を用意する工程と、第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層となるべき第2のグリーンシートを成形する工程と、第2のグリーンシート上に、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層となるべき第1のグリーンシートを成形して生の第1中間積層体を得る工程と、生の第1中間積層体を複数積層して生の複合積層体を用意する工程を備える第1のステップと、生の第1シート層に含まれる第1の粉体の集合体の一部を溶融させて、これを生の第2シート層に拡散あるいは流動させ、生の第1シート層と生の第2シート層を互いに固着させるように、第2の粉体の集合体を焼結させないが第1の粉体の集合体の一部を溶融させ得る温度で、生の複合積層体を焼成する第2のステップとを備えることを特徴とする。
【0020】
また、上述の具体的な一つの製造方法における第1のステップにおいて、第1のグリーンシートは、第2のグリーンシートを成形する際のスラリーに対して耐溶剤性を有することが好ましい。
【0021】
また、上述の具体的な他の製造方法における第1のステップにおいて、第2のグリーンシートは、第1のグリーンシートを成形する際のスラリーに対して耐溶剤性を有することが好ましい。
【0022】
また、上述の具体的な一つの製造方法は、第1のステップにおいて、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層上に、第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層が成形された、生の第1中間積層体を得る第1工程と、生の第1中間積層体を複数用意し、生の第1シート層同士が互いに接するように圧着して、生の第2中間積層体を得る第2工程と、生の第2中間積層体を複数用意し、生の第2シート層同士が互いに接するように圧着して生の複合積層体を得る第3工程とを備えることが好ましい。
【0023】
また、上述の具体的な他の製造方法は、第1のステップにおいて、第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層上に、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層が成形された、生の第1中間積層体を得る第1工程と、生の第1中間積層体を複数用意し、生の第1シート層同士が互いに接するように圧着して、生の第2中間積層体を得る第2工程と、生の第2中間積層体を複数用意し、生の第2シート層同士が互いに接するように圧着して生の複合積層体を得る第3工程とを備えることが好ましい。
【0024】
また、本発明の複合積層体の製造方法は、上述の第1のステップにおいて、生の複合積層体の主面および/または内部に、導電膜をさらに形成する工程を備えていてもよい。
【0025】
また、本発明の複合積層体のより一層具体的な一つの製造方法は、第1のステップにおいて、生の第1中間積層体の少なくとも一方の主面に、導電膜をさらに形成する工程をさらに備えていることを特徴とする。
【0026】
また、同様に本発明の複合積層体のより一層具体的な他の製造方法は、第1のステップにおいて、生の第2中間積層体の少なくとも一方の主面に、導電膜をさらに形成する工程をさらに備えていることを特徴とする。
【0027】
また、本発明の複合積層体の製造方法は、第1のステップにおいて、生の第1シート層の厚みは互いに実質的に同じであることが好ましい。
【0028】
また、本発明の複合積層体の製造方法は、第1のステップにおいて、第1の粉体の集合体はガラスを含み、第2の粉体の集合体はセラミック粉末を含むことが好ましい。
【0029】
また、本発明の複合積層体の製造方法は、生の第2中間積層体の少なくとも一方の主面に沿って開口を位置させるようにキャビティを成形するステップを備えていてもよい。
【0030】
【発明の実施の形態】
本発明に係る複合積層体の積層構造に関して、種々の実施形態があり、以下に図1ないし図4を参照して4つの典型的な実施形態について説明する。
【0031】
図1ないし図4に示した各実施形態は、何れも第1の粉体の集合体を含む第1シート層2と、第2の粉体の集合体を含む第2シート層3a,3bとを共通して備える。したがって、図1ないし図4において、これら共通する要素には同様の参照符号を付すとともに、これら共通する要素については、一括して説明することにする。
【0032】
図1に示した第1の実施形態による複合積層体1は、第1の粉体の集合体を含む第1シート層2と、第2の粉体の集合体を含む第2シート層3a,3bとを備える。第1シート層2と第2シート層3aは互いに交互に接するように積層され、さらに第2シート層3bは第1シート層2に接するように積層され、かつ、複合積層体1の両主面に与えられている。このとき、第2シート層3aの厚みAと、第2シート層3bの厚みBは、A>Bであることを要する。また、第1シート層3bの厚みC1ないしC4は、C1>A,C2>A,C3>A,C4>Aを満たすことが好ましく、さらにC1=C2=C3=C4であることがより好ましい。
【0033】
図2に示した第2の実施形態による複合積層体11は、図1の複合積層体1の両主面に与えられた第2シート層3b上に導電膜4をさらに備えている。導電膜4は、例えばAgペーストを用いてスクリーン印刷により所望のパターンをもって形成されている。なお、Agペーストに代えて、Ag−Pdペースト、Ag−Ptペースト、Cuペースト、Niペースト等を用いてもよい。
【0034】
図3に示した第3の実施形態による複合積層体21は、図1の複合積層体1の内部に複数積層されて形成された第1シート層2の内部に導電膜5をさらに備えている。導電膜5は、例えば導電膜4と同様に、所望のパターンをもって形成されている。
【0035】
図4に示した第4の実施形態による複合積層体31は、図1の複合積層体の主面に沿って開口を位置させているキャビティ6をさらに備える。キャビティ6は、所望の深さならびに大きさをもって成形されている。
【0036】
複合積層体1,11,21,31において、第1シート層2に含まれる第1の粉体の集合体の一部は、第2シート層3a,3bの全域に拡散あるいは流動しており、第2の粉体の全てが第1シート層2の材料によって互いに固着されていることが好ましい。このような状態をより確実に得るためには、第2シート層は3a,3bは第1シート層2より薄いほうが好ましい。
【0037】
また、複合積層体1,11,21,31の内部に積層される第2シート層3aの厚みは、複合積層体1,11,21,31の主面に与えられる第2シート層3bの厚みより厚いことを要する。上述の厚みが薄い場合、複合積層体1,11,21,31の中心部近傍において、複合積層体1,11,21,31は横収縮を引き起こす。なお、内部に積層される第2シート層3a自体の厚みが十分に厚い場合、複合積層体1,11,21,31の横収縮に伴う反りや歪みは抑制されるが、第1シート層2に含まれる第1の粉体の集合体の一部が第2シート層3a,3bの全域に拡散あるいは流動しなくなり、シート間の固着力が低下する。また、第2シート層3a,3bの厚みが過剰であると、緻密なガラスセラミックスを得るために焼成温度を高める必要がある。なお、複合積層体1,11,21,31の内部に積層される第2シート層3aの厚みは、複合積層体1,11,21,31の主面に与えられる第2シート層3bの厚みに対して1.75ないし2.67倍であることが好ましく、より好ましくは、2.0倍である。
【0038】
また、複合積層体1,11,21,31において、第2シート層3a,3bの各側に位置される第1シート層2の各厚みは、互いに実質的に同じであることが好ましい。このような関係をもって第1シート層2の各厚みが設定されると、焼成段階において第1シート層2の各々の縦収縮量を互いに実質的に等しくすることができ、なおかつ第2シート層3a,3bにより横収縮が抑制されるため、焼成後の複合積層体1,11,21,31において縦横収縮に伴う反りや歪みが生じることを有利に抑制することができる。
【0039】
また、第1シート層2に含まれる第1の粉体の集合体はガラスを含み、第2シート層3a,3bに含まれる第2の粉体の集合体はセラミック粉末を含むことが好ましい。
【0040】
また、図2ないし図4にそれぞれ示した複合積層体11,21,31のように、導電膜4,5を備えるものにあっては、焼成前の生の複合積層体を用意した段階において、このような導電膜4,5が生の複合積層体の主面および/または内部に形成された状態とされ、導電膜4,5が導電性金属粉末を含むペースト等をもって形成される場合には、生の複合積層体の焼成工程において、この導電性金属粉末をも焼結させるようにする。
【0041】
なお、図2において複合積層体11の両主面に導電膜4を備えるものを示したが、一方の主面のみに導電膜4を備えてもよく、また位置もこれに限定されない。また同様に、図3において複合積層体21の内部に複数の導電膜5を備えるものを示したが、導電膜5の位置ならびに枚数は図3に限定されない。また同様に、図4においてキャビティを備え、かつ導電膜4ならびに導電膜5を備えるする複合積層体を示したが、導電膜4,5の有無、位置ならびに枚数はこれに限定されない。また、異なる層に積層された複数の導電膜同士を電気的に接続するために、スルーホールやビヤホール等が成形されていてもよい。
【0042】
次に、本発明に係る複合積層体の製造方法に関して、上述の図1に示した複合積層体1については図5を、上述の図3に示した複合積層体21については図6を、上述の図4に示した複合積層体31については図6ならびに図7をそれぞれ参照して説明する。
【0043】
まず、図1に示した複合積層体1の製造方法について図5を参照して説明する。まず、第2粉体の集合体を含むスラリーを用いてグリーンシートを成形し、このグリーンシート上に第1の粉体の集合体を含むスラリーを用いてシートを成形し所定のサイズに切断して、図5(a)に示す、第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層13b上に、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層12aが成形されている、生の第1中間積層体1aを得る。
【0044】
次に、生の第1中間積層体1aを2つ用意し、生の第1シート層12a同士が互いに接するように圧着して、図5(b)に示す、生の第2中間積層体1bを得る。このとき、互いに接した2つの生の第1シート層12a,12aは、圧着されて1つの生の第1シート層12となる。
【0045】
次に、生の第2中間積層体1bを2つ用意し、生の第2シート層13b同士が互いに接するように圧着して、図5(c)に示す、最小単位の生の複合積層体1cを得る。このとき、互いに接した2つの生の第2シート層13b,13bは、圧着されて1つの生の第2シート層13aとなる。
【0046】
次に、図5(d)に示すように、最小単位の生の複合積層体1cを2つ用意し、生の第2シート層13b同士が互いに接するように圧着して、これを焼成して、図1に示す複合積層体1を得る。
【0047】
図3に示した複合積層体21の製造方法について図6を参照して説明する。なお、図5と共通する要素には同様の参照符号を付すとともに、これら共通する要素については、説明を省略することにする。
【0048】
まず、図5(a)に示した生の第1中間積層体1aを2つ準備し、一方の第1中間積層体1aの生の第1シート層12a上に導電膜15を形成して、図6(a)に示す生の第1中間積層体21aを得る。このとき、導電膜15は所定の電極パターンをもって形成されるため、導電膜15が形成された生の第1中間体21aの一方の主面の一部に生の第1シート層12aが露出していてもよい。
【0049】
次に、生の第1中間積層体1aと生の第1中間積層体21aを、生の第1シート層12aが成形されている主面同士が互いに接するように圧着して、図6(b)に示す、生の第2中間積層体21bを得る。このとき、導電膜15を挟んで対向する2つの生の第1シート層12a,12aは、圧着されて1つの生の第1シート層12となる。
【0050】
次に、生の第2中間積層体21bを2つ用意し、生の第2シート層13b同士が互いに接するように圧着して、図6(c)に示す、最小単位の生の複合積層体21cを得る。このとき、互いに接した2つの生の第2シート層13b,13bは、圧着されて1つの生の第2シート層13aとなる。
【0051】
次に、最小単位の生の複合積層体21cを2つ用意し、生の第2シート層13b同士が互いに接するように圧着して、これを焼成して、図3に示す複合積層体21を得る。
【0052】
図4に示した複合積層体31の製造方法について図7を参照して説明する。なお、図5ならびに図6と共通する要素には同様の参照符号を付すとともに、これら共通する要素については、説明を省略することにする。
【0053】
まず、図6(c)に示す最小単位の生の複合積層体21cを、上述した製造方法により得る。次に、最小単位の生の複合積層体21cの一方の主面に導電性ペーストを用いて導電膜14を印刷し、その後、導電膜14を形成した主面に沿って開口を位置させるキャビティ16を打ち抜き成形して、最小単位の生の複合積層体31aを得る。
【0054】
次に、最小単位の生の複合積層体31aと、図6(d)に示した最小単位の生の複合積層体21cを用意し、生の第2シート層13b同士が互いに接するように圧着して、これを焼成して、図4に示す複合積層体31を得る。
【0055】
なお、図5および図6に示す生の第1中間体11a,21aは、第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層13b上に第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層12aを成形したが、第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層12a上に第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層13bを成形してもよい。
【0056】
また、生の第1シート層12a,生の第2シート層13bに成形は、ドクターブレード法、グラビア法のほか、ディップ法、スプレー法、ロール成形法、薄膜成形法、粉末プレス成形法等を用いることもできる。
【0057】
また、一方のシート上で他方のシートを成形する場合、1層目に成形するシートは、2層目のシート成形に用いるスラリーに対して耐溶剤性を有することが好ましい。すなわち本発明において、例えば、1層目に生の第2シート層13bを成形し、その上に第1シート層12aを成形する場合、第2シート層は第1シート層のシート成形に用いるスラリーに対して耐溶剤性を有することが好ましい。上記のように耐溶剤性がない場合、1層目のシートが2層目のシート成形に用いられるスラリーによって溶解するため、2層目のシートを成形することが困難となる。
【0058】
また、図5および図6に示した複合積層体の製造方法において、導電膜5は生の第1シート層12a上に形成したが、導電膜15を形成する位置や大きさ上述の実施形態に特に限定されることなく、例えば、図5(a)に示す生の第1中間積層体1aの生の第2シート層13b上に形成してもよい。
【0059】
また、図1ないし図4に示した複合積層体は、何れも焼成後の複合積層体を模式的に示したものであるが、焼成時において生の第1シート層2に含まれる第1の粉体の集合体の一部が第2シート層3a,3bに拡散あるいは流動するため、図1ないし図4における第1シート層2と第2シート層3a,3bの境界は、必ずし明確なものでなくともよい。
【0060】
【実施例】
図1に示した複合積層体1に関し、複合積層体1の内部に積層されるように成形した第2シート層3aと複合積層体1の両主面に成形した第2シート層3bの厚みをそれぞれ変化させた7つの試料を作製し、横収縮率を測定する実験を行なった。これを以下に説明する。
【0061】
まず、第2の粉体として、粒径0.5μmのアルミナ粉末を準備し、このアルミナ粉末100重量部に対して、分散媒として水を45重量部、分散剤としてのポリアルキレングリコールを50重量部、およびバインダーとしてのウレタン樹脂エマルジョンを15重量部添加し、混合し、かつ分散処理することによって、第2の粉体の集合体を含む第2スラリーを得る。なお、第2スラリーに対して、可塑剤、消泡剤、粘着付与剤等を添加してもよい。
【0062】
次に、この第2スラリーから気泡を除去した後、グラビア法を適用してPETフィルム上に塗布し乾燥させることによって、厚みが1.0μm,1.5μm,2.0μm,4.0μmである、生の第2シート層となる複数のグリーンシートを得る。なお、上述のウレタン樹脂エマルジョンは、上述の乾燥工程においてエマルジョンを破壊してゲル化するため、水に再溶解しない耐水性を備え、したがって第2シート層となるべき複数のグリーンシートは水系のスラリーに対して耐溶剤性を備える。
【0063】
他方、第1の粉体として、粒径3.0μmのB−Si−Ca−Al−O系ガラス粉末と粒径0.5μmのアルミナ粉末とを準備し、これらを前者が60重量部、後者が40重量部となるように混合し、この混合物に、分散媒として水を36重量部、分散剤としてのポリアルキレングリコールを1重量部、およびバインダーとしてのウレタン樹脂エマルジョンを12重量部添加し、混合し、かつ分散処理することによって、第1の粉体の集合体を含む第1スラリーを得る。なお、第1スラリーに対して、可塑剤、消泡剤、粘着付与剤等を添加してもよい。
【0064】
次に、上述の生の第2シート層となるグリーンシートの主面上に第1スラリーを塗布することによって、生の第1シート層となる厚み75μmのグリーンシートを成形し、生の第1中間積層体を得る。
【0065】
次に、上述の生の第1中間積層体2つを、それぞれ第1シート層となるグリーンシート同士が互いに接するように、60℃、2000kgf/cm2の条件で圧着して、生の第2中間積層体を得る。このとき、互いに接した厚み75μmのグリーンシート同士は、圧着されて厚み140μmの生の第1シート層となる。
【0066】
次に、上述の複数の生の第2中間積層体3つを、それぞれ生の第2シート層となるグリーンシート同士が互いに接するように、60℃、100kgf/cm2の条件で圧着して、これを100mm×100mmのサイズに切断して、試料1ないし7の生の複合積層体を得る。このとき、互いに接した生の第2シート層となるグリーンシートは、圧着されて1つの生の第2シート層となる。
【0067】
なお、生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みを2.0μmとする場合は、上述した生の第2シート層となるグリーンシートの厚みが1.0μmであるもの同士を互いに接するように圧着する。同様に、生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みを3.0μmとする場合は、上述した生の第2シート層となるグリーンシートの厚みが1.5μmであるもの同士を互いに接するように圧着する。同様に、生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みを3.5μmとする場合は、上述した生の第2シート層となるグリーンシートの厚みが1.5μmであるものと2.0μmであるものが互いに接するように圧着する。同様に、生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みを4.0μmとする場合は、上述した生の第2シート層となるグリーンシートの厚みが2.0μmであるもの同士を互いに接するように圧着する。
【0068】
次に、比較例として、上述した第1スラリーを用いて厚みが75μmのグリーンシートを成形し、これを6枚積層して60℃、100kgf/cm2の条件で圧着して、100mm×100mmに切断して、厚みが420μmである試料8の生の積層体を得た。
【0069】
こうして得られた試料1ないし7の生の複合積層体と試料8の生の積層体を、空気中において焼成温度700℃ないし1000℃、例えば850℃で2時間焼成して、試料1ないし7の複合積層体と試料8の積層体を得た。焼成時において、試料1ないし7の複合積層体については、第1の粉体の集合体ならびに第2の粉体の集合体に含まれるアルミナ粉末は焼結しないが、第1の粉体の集合体に含まれるガラス粉末が溶融し、第1シート層から第2シート層へ拡散あるいは流動し、その後冷え固まって、第1シート層と第2シート層を固着する。
【0070】
そこで、試料1ないし7の複合積層体の内部に積層された第2シート層と主面に与えられた第2シート層の厚みの関係ならびに横収縮率、試料8の積層体の横収縮率を測定し、これを評価して表1にまとめた。評価については、本発明の最も優れる試料を◎、次に優れる試料を○、本発明の範囲外を×とした。
【0071】
なお、本発明の複合積層体において、第2シート層は横収縮を抑制する目的で形成されるものであって、縦収縮が生じることは本発明の予定の範囲内である。すなわち、厚み140mの生の第1シート層は、焼成によって縦収縮を生じ、厚み100μmの第1シート層となる。試料1ないし7の複合積層体ならびに試料8の積層体の全体厚みは、表1に示す通りである。なお、第2シート層は焼成によっても縦横収縮しない。
【0072】
【表1】
【0073】
表1から明らかであるように、複合積層体の主面に与えられる第2シート層の厚みを内部に積層される第2シートの厚みで除した値(以下、倍率と略す)が1.0以上である試料1,4,5,6,7は、焼成温度が何れも850℃で、横収縮率が0.3ないし1.4%で低く優れた。これに対して、従来技術である試料8の横収縮率は11.0%で高く劣った。
【0074】
上述の試料1,4,5,6,7の中で、倍率が1.75ないし2.67である試料1,5,7は、何れも焼成温度が850℃であり、横収縮率も0.3ないし0.5%で低く優れ、本発明の特に優れる範囲内となった。
【0075】
試料2は、焼成温度が850℃であったが横収縮率が2.3%であった。従来技術と比較すると低く優れる結果であるが、上述の試料4と比較して2倍近く横収縮が発生しているため、本発明の範囲外とした。
【0076】
また、試料3は、横収縮率が0.3%と低く優れる結果となったが、他の試料の850℃に対して900℃という高温で焼成する必要があり、本発明の範囲外となった。
【0077】
なお、第1シート層に含まれる第1の粉体の集合体、ならびに第2シート層に含まれる第2の粉体の集合体としては、上述したアルミナ粉末のほか、例えばMgO、ZrO2、SiO2、TiO2、BaTiO3、SrTiO3、MgO3、Fe2O3、RuO、Pb(Zr,Ti)O3、B4C、SiC、WC等の粉末であってもよい。
【0078】
【発明の効果】
以上のように本発明に係る複合積層体によれば、複合積層体の横収縮ならびに寸法ばらつきを抑制し、かつ、焼成工程の後において除去工程や樹脂充填工程等の後工程を特に必要とすることなく、使用に供することができる。
【0079】
また、本発明に係る複合積層体の製造方法によれば、複合積層体の横収縮ならびに寸法ばらつきを抑制し、かつ、焼成工程の後において除去工程や樹脂充填工程等の後工程を特に必要とすることなく、使用に供することができる複合積層体を提供することができる。。
【0080】
また、上述の複合積層体の内部に積層される第2シート層の厚みは、複合積層体の主面に与えられる第2シート層の厚みに対して1.75ないし2.67倍であることを特徴とすることで、上述の効果がより顕著な複合積層体を提供することができる。
【0081】
また、本発明に係る複合積層体において、第1シート層の各厚みを互いに実質的に同じとなるように設定することで、焼成工程において第1シート層の各々の縦収縮量を互いに実質的に等しくすることができ、なおかつ第2シート層により横収縮が抑制されるため、焼成後の複合積層体において縦横収縮に伴う反りや歪みが生じることを有利に抑制することができる。
【0082】
また、上述のように、第2シート層を除去したり、ここに樹脂を充填したりする処理を必要としないため、複合積層体の表面に形成されるべき導電膜の焼成を、複合積層体の焼成と同時に行なうことが可能となる。
【0083】
また、上述のような横収縮ならびに寸法ばらつきは、特にキャビティを有する複合積層体において生じ易いので、本発明は、キャビティを有する複合積層体に対して、より有利に適用することができる。
【0084】
また、第2シート層に含まれる第2の粉体の集合体としては、絶縁性、誘電性、圧電性、磁性等の任意の性質を有するものを比較的自由に用いることができるので、得られた複合積層体に対して特定の電磁気的機能を容易に付与することができる。また、これらの性質を任意に組み合わせることにより、例えば、L−C−R複合基板等を容易に作製することができる。また、第2の粉体の集合体として、高い耐摩耗性、高い靭性を有するものを用いることで、複合積層体を機械的強度の高いものとすることができる。また、光反射性、赤外線反射性等の性質を有する粉体を第2の粉体の集合体として用いることで、複合積層体に対して特定の光学的機能を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の実施形態の複合積層体の断面図である。
【図2】本発明に係る第2の実施形態の複合積層体の断面図である。
【図3】本発明に係る第3の実施形態の複合積層体の断面図である。
【図4】本発明に係る第4の実施形態の複合積層体の断面図である。
【図5】本発明に係る第1の実施形態の複合積層体の製造方法を説明するために用いられる、(a)は生の第1中間積層体、(b)は生の第2中間積層体、(c)は最小単位の生の複合積層体の断面図である。
【図6】本発明に係る第3の実施形態の複合積層体の製造方法を説明するために用いられる、(a)は第1シート層と導電膜、(b)は生の第1中間積層体、(c)は生の第2中間積層体、(d)は最小単位の生の複合積層体の断面図である。
【図7】本発明に係る第4の実施形態の複合積層体の製造方法を説明するために用いられる、キャビティが成形された最小単位の生の複合積層体の断面図である。
【符号の説明】
1 複合積層体
2 第1シート層
3a 複合積層体の内部に成形される第2シート層
3b 複合積層体の主面に与えられる第2シート層
4,5 導電膜
6 キャビティ
Claims (20)
- 第1の粉体の集合体を含む第1シート層と、前記第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を含む第2シート層とを備える複合積層体であって、
前記第2シート層は前記第1シート層によって挟層され、複合積層体の両主面は前記第2シート層によってさらに与えられ、前記複合積層体の内部に積層される第2シート層の厚みは、前記複合積層体の主面に与えられる第2シート層の厚みより厚く、
前記第1シート層に含まれる前記第1の粉体の集合体の一部が前記第2シート層に拡散あるいは流動することによって互いに固着されていることを特徴とする複合積層体。 - 前記複合積層体の内部に積層される前記第2シート層の厚みは、前記複合積層体の主面に与えられる前記第2シート層の厚みに対して1.75ないし2.67倍であることを特徴とする、請求項1に記載の複合積層体。
- 前記第1シート層の厚みは互いに実質的に同じであることを特徴とする、請求項1または2に記載の複合積層体。
- 前記第1の粉体の集合体はガラスを含み、前記第2の粉体の集合体はセラミック粉末を含むことを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載の複合積層体。
- 前記複合積層体の主面および/または内部に、導電膜をさらに備え、前記第1シート層、前記第2シート層および導電膜をもって回路基板を構成することを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の複合積層体。
- 少なくとも一方の主面に沿って開口を位置させているキャビティをさらに備えていることを特徴とする、請求項1ないし5の何れかに記載の複合積層体。
- 第1の粉体の集合体を含む生の第1シート層と、前記第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を含む生の第2シート層とを備える生の複合積層体であって、前記生の第2シート層は前記生の第1シート層によって挟層され、前記生の複合積層体の両主面は前記生の第2シート層によってさらに与えられ、前記生の複合積層体の内部に積層される生の第2シート層の厚みは、前記複合積層体の主面に与えられる生の第2シート層の厚みより厚い、生の複合積層体を用意する第1のステップと、
前記生の第1シート層に含まれる前記第1の粉体の集合体の一部を溶融させて、これを前記生の第2シート層に拡散あるいは流動させ、前記生の第1シート層と前記生の第2シート層を互いに固着させるように、前記第2の粉体の集合体を焼結させないが前記第1の粉体の集合体の一部を溶融させ得る温度で、前記生の複合積層体を焼成する第2のステップとを備えることを特徴とする、複合積層体の製造方法。 - 前記第1のステップにおいて、前記生の複合積層体の内部に積層される前記生の第2シート層の厚みは、前記生の複合積層体の主面に与えられる前記第2シート層の厚みに対して1.75ないし2.67倍であることを特徴とする、請求項7に記載の複合積層体の製造方法。
- 第1の粉体の集合体を用意する工程と、前記第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を用意する工程と、前記第1の粉体の集合体を含む第1のグリーンシートを成形する工程と、前記第1のグリーンシート上に、前記第2の粉体の集合体を含む第2のグリーンシートを成形して生の第1中間積層体を得る工程と、前記生の第1中間積層体を複数積層して生の複合積層体を用意する工程を備える第1のステップと、
前記生の第1シート層に含まれる前記第1の粉体の集合体の一部を溶融させて、これを前記生の第2シート層に拡散あるいは流動させ、前記生の第1シート層と前記生の第2シート層を互いに固着させるように、前記第2の粉体の集合体を焼結させないが前記第1の粉体の集合体の一部を溶融させ得る温度で、前記生の複合積層体を焼成する第2のステップとを備えることを特徴とする、複合積層体の製造方法。 - 第1の粉体の集合体を用意する工程と、前記第1の粉体の集合体の少なくとも一部を溶融させ得る温度では焼結しない第2の粉体の集合体を用意する工程と、前記第2の粉体の集合体を含む第2のグリーンシートを成形する工程と、前記第2のグリーンシート上に、前記第1の粉体の集合体を含む第1のグリーンシートを成形して生の第1中間積層体を得る工程と、前記生の第1中間積層体を複数積層して生の複合積層体を用意する工程を備える第1のステップと、
前記第1シート層に含まれる前記第1の粉体の集合体の一部を溶融させて、これを前記第2シート層に拡散あるいは流動させ、前記生の第1シート層と前記生の第2シート層を互いに固着させるように、前記第2の粉体の集合体を焼結させないが前記第1の粉体の集合体の一部を溶融させ得る温度で、前記生の複合積層体を焼成する第2のステップとを備えることを特徴とする、複合積層体の製造方法。 - 前記第1のステップにおいて、前記第1のグリーンシートは、前記第2のグリーンシートを成形する際のスラリーに対して耐溶剤性を有することを特徴とする、請求項9に記載の複合積層体。
- 前記第1のステップにおいて、前記第2のグリーンシートは、前記第1のグリーンシートを成形する際のスラリーに対して耐溶剤性を有することを特徴とする、請求項10に記載の複合積層体。
- 前記第1のステップにおいて、第1の粉体の集合体を含む第1のグリーンシート上に、前記第2の粉体の集合体を含む層を成形して、生の第1中間積層体を得る第1工程と、
前記生の第1中間積層体を複数用意し、前記第1のグリーンシート同士が互いに接するように圧着して、生の第2中間積層体を得る第2工程と、
前記生の第2中間積層体を複数用意し、前記第2の粉体の集合体を含む層同士が互いに接するように圧着して生の複合積層体を得る第3工程とを備えることを特徴とする、請求項7,8,9,11の何れかに記載の複合積層体の製造方法。 - 前記第1のステップにおいて、第2の粉体の集合体を含む第2のグリーンシート上に、前記第1の粉体の集合体を含む層を成形して、生の第1中間積層体を得る第1工程と、
前記生の第1中間積層体を複数用意し、前記第2のグリーンシート同士が互いに接するように圧着して、生の第2中間積層体を得る第2工程と、
前記生の第2中間積層体を複数用意し、前記第2の粉体の集合体を含む層同士が互いに接するように圧着して生の複合積層体を得る第3工程とを備えることを特徴とする、請求項7,8,10,12の何れかに記載の複合積層体の製造方法。 - 前記第1のステップにおいて、前記生の複合積層体の主面および/または内部に、導電膜を形成する工程をさらに備えることを特徴とする請求項7ないし14の何れかに記載の複合積層体の製造方法。
- 前記第1のステップにおいて、前記生の第1中間積層体の少なくとも一方の主面に、導電膜をさらに成形する工程をさらに備えていることを特徴とする、請求項9ないし15の何れかに記載の複合積層体の製造方法。
- 前記第1のステップにおいて、前記生の第2中間積層体の少なくとも一方の主面に、導電膜をさらに成形する工程をさらに備えていることを特徴とする、請求項13または14に記載の複合積層体の製造方法。
- 前記第1のステップにおいて、前記生の第1シート層の厚みは互いに実質的に同じであることを特徴とする、請求項7ないし17の何れかに記載の複合積層体。
- 前記第1のステップにおいて、前記第1の粉体の集合体はガラスを含み、前記第2の粉体の集合体はセラミック粉末を含むことを特徴とする、請求項7ないし18の何れかに記載の複合積層体の製造方法。
- 前記生の第2中間積層体の少なくとも一方の主面に沿って開口を位置させるようにキャビティを成形するステップを備えることを特徴とする、請求項7ないし19に記載の複合積層体の製造方法。
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