JP3436138B2 - 半導体試験装置用バイアス電源回路 - Google Patents
半導体試験装置用バイアス電源回路Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31926—Routing signals to or from the device under test [DUT], e.g. switch matrix, pin multiplexing
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- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31924—Voltage or current aspects, e.g. driver, receiver
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣテスターでの
デバイス試験において、デバイスの交流試験及び直流試
験を行う場合に用いる半導体試験装置のバイアス電源回
路に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来技術による半導体試験装置用バイア
ス電源回路として、図２に示すようなものがあった。図
中の１は制御回路、２はＤＡ変換回路、３は増幅器、４
は電流増幅器、５は電流測定回路である。前記の１〜５
は全て試験装置の本体６に内蔵されている。１０は被測
定デバイス（以下ＤＵＴとする）、１１はこのＤＵＴ１
０のすぐそばに設けられて、ＤＵＴ１０にテストピン等
を接続させるためのテストヘッドである。ＤＵＴ１０の
試験は、デバイスの電源電流を測定する直流試験と、機
能・動作を試験する交流試験とに分けられる。どちらの
試験時にもＤＵＴ１０に電源が供給されるが、従来技術
では、この電源は、直流試験および交流試験で共通に使
用される電流増幅器４によって供給されていた。そし
て、直流試験においては、ＤＵＴ１０に供給される電源
電流が電流測定回路５によって測定され、この測定値が
デジタル値に変換され、制御回路１に送られていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法で
は、電流増幅器４とテストヘッド１１が数メートル離れ
ているために、接続線路の抵抗値が大きく、交流試験等
の急激に電源電流が変動する場合に、ＤＵＴ１０との接
続点での電源電圧レベルが変動してしまうという問題が
あった。この問題を解決したものが図３に示す構成の装
置である。図３の装置では電源回路全体をテストヘッド
に内蔵させているため、ＤＵＴ１０と電源回路の接続線
路は短く、その抵抗値は小さい。従って、図２の構成で
起こるような電源電圧レベルの変動は発生しない。しか
し、図３の方法では、テストヘッドの回路規模が大きく
なり、テストヘッドが大きくなってしまうという問題が
あった。 【０００４】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたもので、テストヘッドの回路規模を抑えながら、
デバイスの交流試験時に電源電圧変動を発生させずに試
験を行うことができる半導体試験装置用バイアス電源回
路を提供するものである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被測定デバイスに電源を供給する電源と、この電源
から供給される電流を増幅し、被測定デバイスに供給す
る第一の電流増幅器と、この第一の電流増幅器によって
供給される電源電流を測定する電流測定手段とを有する
本体と、前記電源から供給される電流を増幅する第二の
電流増幅器と、前記第一の電流増幅器からの電源供給
と、前記第二の電流増幅器からの電源供給とを切り替え
る切り替え手段とを有するテストヘッドとからなる半導
体試験装置用バイアス電源回路である。 【０００６】切り替え手段によって第一の電流増幅器か
らの電源供給に切り替えて直流試験を行えば、第一の電
流増幅器の後段に設けられた電流測定手段によって電源
電流が測定され、この測定された電源電流が直接被測定
デバイスに供給されるので、電源電流を正確に測定する
ことができる。切り替え手段によって第二の電流増幅器
からの電源供給に切り替えて交流試験を行えば、被測定
デバイスのすぐ近くにあるテストヘッド内に設けられた
第二の電流増幅器から電源が供給されるので、電源電流
が変化しても電源供給線路における電圧変動が小さく、
適正な電源条件で正確な交流特性を測定することができ
る。また、切り替え手段によって電源供給の経路を切り
替えるので、テストヘッド内に全ての電源回路を設ける
必要がなく、テストヘッドが大きくなってしまうことが
ない。 【０００７】 【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である半導体
試験装置の構成を図１に示す。この半導体試験装置は、
被測定デバイスのすぐそばに設けられ、この被測定デバ
イスにテストピン等を接続させるためのテストヘッド１
１と、このテストヘッド１１から数メートル離れた所に
設置された本体６とから構成されている。本体６は、制
御回路１、ＤＡ変換回路２、増幅器３、電流増幅器４、
電流測定回路５を内蔵している。制御回路１は、ＤＡ変
換回路２および電流測定回路５に接続されている。増幅
器３は、前記ＤＡ変換回路２のアナログ出力が入力さ
れ、これを電圧増幅する。この電圧増幅された出力は、
電流増幅器４に入力され、電流増幅される。この電流増
幅された出力は、電源ライン１２を経てテストヘッド１
１に供給されるが、この途中で電流測定回路５に入力さ
れ、その電流値が測定される。測定結果は、デジタル値
に変換され、前記制御回路１に入力される。 【０００８】テストヘッド１１は、電流増幅器７、スイ
ッチ８、９を内蔵している。電流増幅器７は、交流試験
を行うときに使用される。スイッチ８、９は、前記電流
増幅器４と電流増幅器７とを切り替える。電流増幅器４
あるいは電流増幅器７から供給される電源は、テストヘ
ッド１１に接続されたＤＵＴ１０に供給される。 【０００９】次に、デバイスの試験における装置の動作
を説明する。スイッチ８がオフ、スイッチ９がオンされ
た状態で、ＤＵＴ１０の直流試験が行われる。直流試験
とは、被測定デバイスの電源電流を測定する試験なの
で、電流測定回路５を経て出力された電源ライン１２が
スイッチ９を経て直接ＤＵＴ１０へ供給される。すなわ
ち、ＤＵＴ１０は本体６に内蔵された電流増幅器４から
電源電流が供給される。電流増幅器４によって供給され
た電流は、電流測定回路５によって測定される。この測
定値は、デジタル値に変換され、制御回路１に送られ
る。制御回路１では、送られてきたデジタル値と、制御
回路１に内蔵されている上限値および下限値との比較が
行われ、デバイスが正常か否かが試験される。 【００１０】スイッチ８がオン、スイッチ９がオフされ
た状態で、ＤＵＴ１０の交流試験が行われる。交流試験
とは、被測定デバイスの機能・動作の試験なので、電源
電流の測定は行われないが、一方、デバイスを動作させ
るので試験中に電源電流が変動する。このため、ＤＵＴ
１０はテストヘッド１１に内蔵された電流増幅器７とス
イッチ８を経て接続され、この電流増幅器７から電源電
流が供給される。このとき、電源電流が変動しても、電
流増幅器７とＤＵＴ１０との間の電源供給線路は短く、
その抵抗値は低い。従って、この電源供給線路における
電圧降下は小さく、電圧変動も小さく抑えられる。 【００１１】 【発明の効果】本発明は、被測定デバイスに電源を供給
する電源と、この電源から供給される電流を増幅し、被
測定デバイスに供給する第一の電流増幅器と、この第一
の電流増幅器によって供給される電源電流を測定する電
流測定手段とを有する本体と、前記電源から供給される
電流を増幅する第二の電流増幅器と、前記第一の電流増
幅器からの電源供給と、前記第二の電流増幅器からの電
源供給とを切り替える切り替え手段とを有するテストヘ
ッドとからなる半導体試験装置用バイアス電源回路なの
で、デバイスの交流試験において、試験されるデバイス
のすぐ近くに電源電流の供給源があるので、電源電流が
変化しても電源供給線路における電圧変動が小さい。従
って、適正な電源条件で正確な交流特性を測定すること
ができる。
デバイス試験において、デバイスの交流試験及び直流試
験を行う場合に用いる半導体試験装置のバイアス電源回
路に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来技術による半導体試験装置用バイア
ス電源回路として、図２に示すようなものがあった。図
中の１は制御回路、２はＤＡ変換回路、３は増幅器、４
は電流増幅器、５は電流測定回路である。前記の１〜５
は全て試験装置の本体６に内蔵されている。１０は被測
定デバイス（以下ＤＵＴとする）、１１はこのＤＵＴ１
０のすぐそばに設けられて、ＤＵＴ１０にテストピン等
を接続させるためのテストヘッドである。ＤＵＴ１０の
試験は、デバイスの電源電流を測定する直流試験と、機
能・動作を試験する交流試験とに分けられる。どちらの
試験時にもＤＵＴ１０に電源が供給されるが、従来技術
では、この電源は、直流試験および交流試験で共通に使
用される電流増幅器４によって供給されていた。そし
て、直流試験においては、ＤＵＴ１０に供給される電源
電流が電流測定回路５によって測定され、この測定値が
デジタル値に変換され、制御回路１に送られていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法で
は、電流増幅器４とテストヘッド１１が数メートル離れ
ているために、接続線路の抵抗値が大きく、交流試験等
の急激に電源電流が変動する場合に、ＤＵＴ１０との接
続点での電源電圧レベルが変動してしまうという問題が
あった。この問題を解決したものが図３に示す構成の装
置である。図３の装置では電源回路全体をテストヘッド
に内蔵させているため、ＤＵＴ１０と電源回路の接続線
路は短く、その抵抗値は小さい。従って、図２の構成で
起こるような電源電圧レベルの変動は発生しない。しか
し、図３の方法では、テストヘッドの回路規模が大きく
なり、テストヘッドが大きくなってしまうという問題が
あった。 【０００４】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたもので、テストヘッドの回路規模を抑えながら、
デバイスの交流試験時に電源電圧変動を発生させずに試
験を行うことができる半導体試験装置用バイアス電源回
路を提供するものである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被測定デバイスに電源を供給する電源と、この電源
から供給される電流を増幅し、被測定デバイスに供給す
る第一の電流増幅器と、この第一の電流増幅器によって
供給される電源電流を測定する電流測定手段とを有する
本体と、前記電源から供給される電流を増幅する第二の
電流増幅器と、前記第一の電流増幅器からの電源供給
と、前記第二の電流増幅器からの電源供給とを切り替え
る切り替え手段とを有するテストヘッドとからなる半導
体試験装置用バイアス電源回路である。 【０００６】切り替え手段によって第一の電流増幅器か
らの電源供給に切り替えて直流試験を行えば、第一の電
流増幅器の後段に設けられた電流測定手段によって電源
電流が測定され、この測定された電源電流が直接被測定
デバイスに供給されるので、電源電流を正確に測定する
ことができる。切り替え手段によって第二の電流増幅器
からの電源供給に切り替えて交流試験を行えば、被測定
デバイスのすぐ近くにあるテストヘッド内に設けられた
第二の電流増幅器から電源が供給されるので、電源電流
が変化しても電源供給線路における電圧変動が小さく、
適正な電源条件で正確な交流特性を測定することができ
る。また、切り替え手段によって電源供給の経路を切り
替えるので、テストヘッド内に全ての電源回路を設ける
必要がなく、テストヘッドが大きくなってしまうことが
ない。 【０００７】 【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である半導体
試験装置の構成を図１に示す。この半導体試験装置は、
被測定デバイスのすぐそばに設けられ、この被測定デバ
イスにテストピン等を接続させるためのテストヘッド１
１と、このテストヘッド１１から数メートル離れた所に
設置された本体６とから構成されている。本体６は、制
御回路１、ＤＡ変換回路２、増幅器３、電流増幅器４、
電流測定回路５を内蔵している。制御回路１は、ＤＡ変
換回路２および電流測定回路５に接続されている。増幅
器３は、前記ＤＡ変換回路２のアナログ出力が入力さ
れ、これを電圧増幅する。この電圧増幅された出力は、
電流増幅器４に入力され、電流増幅される。この電流増
幅された出力は、電源ライン１２を経てテストヘッド１
１に供給されるが、この途中で電流測定回路５に入力さ
れ、その電流値が測定される。測定結果は、デジタル値
に変換され、前記制御回路１に入力される。 【０００８】テストヘッド１１は、電流増幅器７、スイ
ッチ８、９を内蔵している。電流増幅器７は、交流試験
を行うときに使用される。スイッチ８、９は、前記電流
増幅器４と電流増幅器７とを切り替える。電流増幅器４
あるいは電流増幅器７から供給される電源は、テストヘ
ッド１１に接続されたＤＵＴ１０に供給される。 【０００９】次に、デバイスの試験における装置の動作
を説明する。スイッチ８がオフ、スイッチ９がオンされ
た状態で、ＤＵＴ１０の直流試験が行われる。直流試験
とは、被測定デバイスの電源電流を測定する試験なの
で、電流測定回路５を経て出力された電源ライン１２が
スイッチ９を経て直接ＤＵＴ１０へ供給される。すなわ
ち、ＤＵＴ１０は本体６に内蔵された電流増幅器４から
電源電流が供給される。電流増幅器４によって供給され
た電流は、電流測定回路５によって測定される。この測
定値は、デジタル値に変換され、制御回路１に送られ
る。制御回路１では、送られてきたデジタル値と、制御
回路１に内蔵されている上限値および下限値との比較が
行われ、デバイスが正常か否かが試験される。 【００１０】スイッチ８がオン、スイッチ９がオフされ
た状態で、ＤＵＴ１０の交流試験が行われる。交流試験
とは、被測定デバイスの機能・動作の試験なので、電源
電流の測定は行われないが、一方、デバイスを動作させ
るので試験中に電源電流が変動する。このため、ＤＵＴ
１０はテストヘッド１１に内蔵された電流増幅器７とス
イッチ８を経て接続され、この電流増幅器７から電源電
流が供給される。このとき、電源電流が変動しても、電
流増幅器７とＤＵＴ１０との間の電源供給線路は短く、
その抵抗値は低い。従って、この電源供給線路における
電圧降下は小さく、電圧変動も小さく抑えられる。 【００１１】 【発明の効果】本発明は、被測定デバイスに電源を供給
する電源と、この電源から供給される電流を増幅し、被
測定デバイスに供給する第一の電流増幅器と、この第一
の電流増幅器によって供給される電源電流を測定する電
流測定手段とを有する本体と、前記電源から供給される
電流を増幅する第二の電流増幅器と、前記第一の電流増
幅器からの電源供給と、前記第二の電流増幅器からの電
源供給とを切り替える切り替え手段とを有するテストヘ
ッドとからなる半導体試験装置用バイアス電源回路なの
で、デバイスの交流試験において、試験されるデバイス
のすぐ近くに電源電流の供給源があるので、電源電流が
変化しても電源供給線路における電圧変動が小さい。従
って、適正な電源条件で正確な交流特性を測定すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明によるバイアス電源回路の構成図。
【図２】 第一の従来技術を示した構成図。
【図３】 第二の従来技術を示した構成図。
【符号の説明】
１ 制御回路 ２ ＤＡ変換回路
３ 増幅器 ４ 電流増幅器
５ 電流測定回路 ６ 本体
７ 電流増幅器 ８ スイッチ
９ スイッチ １０ ＤＵＴ
１１ テストヘッド １２ 電源ライン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/26
G01R 31/28 - 31/3193
H01L 21/66
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 被測定デバイスに電源を供給する電源
と、 この電源から供給される電流を増幅し、被測定デバイス
に供給する第一の電流増幅器と、 この第一の電流増幅器によって供給される電源電流を測
定する電流測定手段とを有する本体と、 前記電源から供給される電流を増幅する第二の電流増幅
器と、 前記第一の電流増幅器からの電源供給と、前記第二の電
流増幅器からの電源供給とを切り替える切り替え手段と
を有するテストヘッドとからなる半導体試験装置用バイ
アス電源回路。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17787898A JP3436138B2 (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 半導体試験装置用バイアス電源回路 |
| KR1019990021521A KR20000006076A (ko) | 1998-06-24 | 1999-06-10 | 반도체시험장치용바이어스전원회로 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17787898A JP3436138B2 (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 半導体試験装置用バイアス電源回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000009791A JP2000009791A (ja) | 2000-01-14 |
| JP3436138B2 true JP3436138B2 (ja) | 2003-08-11 |
Family
ID=16038646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17787898A Expired - Fee Related JP3436138B2 (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 半導体試験装置用バイアス電源回路 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3436138B2 (ja) |
| KR (1) | KR20000006076A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102180582B1 (ko) | 2020-05-29 | 2020-11-18 | (주)에이블리 | 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법 |
-
1998
- 1998-06-24 JP JP17787898A patent/JP3436138B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-06-10 KR KR1019990021521A patent/KR20000006076A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000009791A (ja) | 2000-01-14 |
| KR20000006076A (ko) | 2000-01-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030506 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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