KR102180582B1 - 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류 용량을 확장하면서 DUT(Device under Test)에서 소비하는 전류를 기존 전원공급장치에서 인식할 수 있도록 구현한 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법에 관한 것으로, 확장전원장치에서 DUT로 흐르는 전류에 비례시켜 동작하는 부하를 반도체검사장비의 전원공급장치로 연결하여 전원공급장치가 DUT에 흐르는 전류를 감지하도록 한다.

Description

반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법{System and method for cognizing current in semiconductor test equipment}
본 발명의 기술 분야는 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법에 관한 것으로, 특히 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류 용량을 확장하면서 DUT(Device under Test)에서 소비하는 전류를 기존 전원공급장치에서 인식할 수 있도록 구현한 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체검사장비에서는, 테스트 시간의 단축을 위해 부족한 전원공급장치(DPS)의 채널을 2 ~ 4 분기(Sharing)하여 사용하고, 점차 DUT(피시험 반도체 소자)의 동작 전류가 증가됨에 따라 별도의 외부 전원을 추가하여 사용하며, 이때 전류 측정의 경우에 전원공급장치의 채널을 이용하고 대전류(High-current) 공급이 필요한 동작에는 외부 전원으로 선택하여 사용하고 있다.
한국등록특허 제10-1306283호(2013.09.03. 등록)는 반도체 테스트 시스템의 전원공급장치에 관하여 개시되어 있는데, 반도체 테스트 시스템의 전원공급장치에 있어서, 반도체 테스트 시스템에서 제공되는 측정전압을 입력받아 전류를 증폭하여 측정하고 피시험 반도체 소자의 전원으로 인가하며, 증폭된 전류 측정 결과를 반도체 테스트 시스템의 핀 일렉트로닉스 채널을 통해 직류측정장치에 전달하여, 전류 측정이 동시에 이루어질 수 있도록 디바이스 인터페이스를 수행하는 확장된 전원공급부를 포함하며; 확장된 전원공급부는, 반도체 테스트 시스템의 하나의 전원공급장치 채널 또는 하나의 핀 일렉트로닉스 채널로부터 측정전압을 입력받아 전류를 증폭시켜 피시험 반도체 소자의 전원으로 인가하는 전류 증폭부; 및 전류 증폭부에서 증폭된 전류 출력을 측정하여 다른 핀 일렉트로닉스 채널을 통해 직류측정장치에 전달하는 전류 측정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 개시된 기술에 따르면, 반도체 테스트 시스템에서 제공되는 측정전압을 전원공급장치 채널 또는 핀 일렉트로닉스 채널을 통해 입력받아, 피시험 반도체 소자의 개수에 대응하는 채널 수로 분기하여 증폭하고, 그 증폭된 전류를 전류측정회로를 통해 피시험 반도체 소자의 전원으로 인가하면서 동시에, 핀 일렉트로닉스 채널을 통해 직류측정장치에 전달함으로써, 반도체 테스트 시스템의 전원공급장치 채널의 사용을 최소화할 수 있으며, 또한 전류 측정회로의 출력을 핀 일렉트로닉스로 연결하여 직류측정장치에서 동시에 전류 측정이 가능하므로, 별도의 인터페이스나 외부 프로그램이 없이 신속하게 전류 측정이 가능하여 테스트 시간을 단축할 수 있다.
한국공개특허 제10-2000-0006076호(2000.01.25. 공개)는 디바이스의 교류시험에 있어서, 시험되는 디바이스의 바로 가까이에 전원전류의 공급원이 있기 때문에, 전원전류가 변화하여도 전원공급선로에 있어서의 전압 변동이 작으며, 따라서 적정한 전원조건에서 정확한 교류특성을 측정할 수 있도록 한 반도체시험장치용 바이어스전원회로에 관하여 개시되어 있다. 개시된 기술에 따르면, 피측정 디바이스에 전원을 공급하는 전원과, 이 전원으로부터 공급되는 전류를 증폭하여, 피측정 디바이스에 공급하는 제1전류증폭기와, 이 제1전류증폭기에 의해서 공급되는 전원전류를 측정하는 전류측정수단을 갖는 본체와, 전원으로부터 공급되는 전류를 증폭하는 제2전류증폭기와, 제1전류증폭기로부터의 전원공급과, 제2전류증폭기로부터의 전원공급을 변환하는 변환수단을 갖는 테스트헤드로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 종래의 기술에서는, 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류용량을 확장하기 위한 일반적인 형태로, 2개 이상의 채널을 병렬로 접속하여 DUT로 연결하는 방식이 있는데, 이런 경우에 전원공급장치의 채널이 감소하므로 동시검사수가 줄어드는 단점을 가지고 있다.
상술한 바와 같은 종래의 기술에서는, 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류용량을 확장한 형태에 있어서, 전원공급장치의 채널이 줄어들어 동시검사수도 줄어드는 단점을 해결하기 위해서, 기준전압을 입력받아 전류를 증폭하는 전류증폭기를 반도체검사장비의 외부(또는, 인터페이스부)에 적용하고, 전류측정수단으로 반도체검사장비 내에 있는 전류측정회로를 이용하기 위한 스위치를 포함하거나, 전류측정회로를 외부에 추가하여 측정된 전류 값을 다른 새로운 경로를 통해 반도체검사장비로 전달하도록 할 수 있는데, 그럼에도 불구하고 스위치로 반도체검사장비의 전원공급장치로 전류를 측정하는 방식은, 외부에 확장된 전류증폭기가 동작하는 도중에는 반도체검사장비에서 전류 측정을 할 수 없으며, 따라서 DUT 동작 전류를 알 수 없어 제약이 따르는 단점을 여전히 가지고 있다.
상술한 바와 같은 종래의 기술에서는, 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류용량을 확장한 형태에 있어서, DUT에서 소비되는 전류를 측정하기 위해서 스위치회로에서 반도체검사장비의 기존 전원공급장치로 연결하여 전류를 측정하도록 하는데, 이런 경우에 확장전원장치의 전류증폭부에서 공급하는 전류를 실시간으로 측정할 수 없으므로 DUT 동작 전류(또는, 과전류차단 여부)를 확인하기 어려운 단점을 가지고 있다.
한국등록특허 제10-1306283호 한국공개특허 제10-2000-0006076호
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 전술한 바와 같은 단점을 해결하기 위한 것으로, 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류 용량을 확장하면서 DUT(Device under Test)에서 소비하는 전류를 기존 전원공급장치에서 인식할 수 있도록 구현한 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하는 수단으로는, 본 발명의 한 특징에 따르면, 확장전원장치에서 DUT로 흐르는 전류에 비례시켜 동작하는 부하를 반도체검사장비의 전원공급장치로 연결하여 전원공급장치가 DUT에 흐르는 전류를 감지하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템을 제공한다.
일 실시 예에서, 상기 확장전원장치는, 상기 전원공급장치에서 출력하는 전압을 입력받아 전류를 증폭시켜 증폭 전류를 인가하는 전류증폭부; 상기 전류증폭부로부터 증폭 전류를 인가받아 상기 DUT로 흐르는 전류를 측정하여 측정 전류 값을 인가하는 전류측정부; 및 상기 전류측정부에서 인가한 측정 전류 값에 비례적으로 전류를 소비시켜 실시간으로 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치에서 측정하도록 해 주는 전류인식부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 전류측정부는, 측정 전류 값에 해당하는 전압을 상기 전류인식부로 출력하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 전류인식부는, 상기 전류측정부에서 출력한 전압을 설정 전압으로 입력받아, 상기 전원공급장치에 흐르는 부하 전류에 해당하는 부하 전압과 비교하여 상기 부하의 전압을 제어해서, 상기 전원공급장치에 흐르는 부하 전류를 상기 전류측정부에서 측정한 전류와 비례한 값이 되도록 하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 전류인식부는, 상기 전원공급장치에서 설정한 전류 제한 값으로 상기 확장전원장치의 과전류 발생 여부를 상기 전원공급장치에서 확인하도록 하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 전류인식부는, 상기 전원공급장치에 연결되어, 상기 전원공급장치에서 공급하는 부하 전류를 비례적으로 소비시켜 주기 위한 능동부하; 상기 능동부하의 일측에 연결되어, 상기 전원공급장치에서 공급하는 부하 전류를 감지하도록 해 주기 위한 전류감지저항; 및 상기 전류측정부에서 측정한 전류에 해당하는 전압을 설정 전압으로 입력받아 상기 전류감지저항의 양단에 걸리는 전압과 비교하여 상기 능동부하의 전압을 제어해서, 상기 전원공급장치에서 공급하는 부하 전류를 상기 전류측정부에서 측정한 전류와 비례한 값이 되도록 해 주기 위한 연산증폭기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 능동부하는, MOSFET인 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 연산증폭기는, 상기 전류측정부에서 측정한 전류(Im)에 해당하는 설정 전압(Va)과 상기 전류감지저항의 양단에 걸리는 전압(V1)이 같도록 상기 능동부하의 게이트 전압을 제어하며, 이때 설정 전압(Va)은 상기 전류측정부에서 측정한 전류(Im)에 전류전압비례상수(K)를 곱한 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 연산증폭기는, 상기 전원공급장치에서 공급하는 부하 전류(Il)를 상기 전류측정부에서 측정한 전류(Im)와 전류비례상수(K/R1)만큼 비례한 값이 되도록 해 주는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 전류인식부는, 상기 연산증폭기에 연결되어, 상기 연산증폭기를 안정화시켜 주기 위한 증폭기안정화소자; 및 상기 능동부하의 다른 일측에 연결되어, 상기 능동부하를 안정화시켜 주기 위한 부하안정화소자를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 증폭기안정화소자는, 커패시터와 저항으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 부하안정화소자는, 저항으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상술한 과제를 해결하는 수단으로는, 본 발명의 다른 한 특징에 따르면, 확장전원장치에서 DUT로 흐르는 전류에 비례시켜 동작하는 부하를 반도체검사장비의 전원공급장치로 연결하여 전원공급장치가 DUT에 흐르는 전류를 감지하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체검사장비에서의 전류 인식 방법을 제공한다.
본 발명의 효과로는, 반도체검사장비에서 전원공급장치의 전류 용량을 확장하면서 DUT(Device under Test)에서 소비하는 전류를 기존 전원공급장치에서 인식할 수 있도록 구현한 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법을 제공함으로써, 2개 이상의 채널을 병렬로 접속하여 DUT로 연결하는 방식을 사용하지 않아 전원공급장치의 채널 감소가 없고 동시검사수도 감소되지 않으며, 또한 외부에 확장된 전류증폭기가 동작하는 도중에도 반도체검사장비에서 전류를 측정할 수 있어 DUT 동작 전류를 실시간으로 알 수 있다는 것이다.
본 발명에 의하면, 확장전원장치의 전류증폭부에서 공급하는 전류를 실시간으로 측정할 수 있어, DUT 동작 전류(또는, 과전류차단 여부)를 확인할 수 있는 효과를 가진다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템을 설명하는 도면이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 있는 전류인식부를 설명하는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시 예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시 예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시 예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
이제 본 발명의 실시 예에 따른 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템 및 방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템을 설명하는 도면이다. 여기서, 도 1은 전원공급장치(110)와 확장전원장치(120) 사이에서 감지선(sense line)과 인가선(force line)이 별도로 있는 경우이며, 도 2는 전원공급장치(110)와 확장전원장치(120) 사이에서 감지선과 인가선이 별도로 없는 경우이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템(100)은, 확장전원장치(120)에서 DUT(130)로 흐르는 전류에 비례(또는, 비례 감소)시켜 동작하는 부하(즉, 능동부하 또는 전류부하장치, 회로)를 반도체검사장비의 전원공급장치(110)로 연결하여 전원공급장치(110)가 DUT(130)에 흐르는 전류를 감지하도록 이루어진다.
확장전원장치(120)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 전류증폭부(121), 전류측정부(122), 전류인식부(123)를 포함하여, 전류측정부(122)에서 측정한 전류 값으로 부하(즉, 능동부하 또는 전류부하장치, 회로)에서 비례(또는, 비례 감소)적으로 전류를 소비시켜, DUT(130)에서 소비하는 전류를 실시간으로 측정하도록 이루어진다.
전류증폭부(121)는, 반도체검사장비의 전원공급장치(110)에서 출력하는 전압을 입력받아 전류를 증폭시켜 증폭 전류를 전류측정부(122)로 인가해 준다.
전류측정부(122)는, 전류증폭부(121)로부터 증폭 전류를 인가받아 DUT(130)로 흐르는 전류를 측정하여 측정 전류 값을 전류인식부(123)로 인가해 준다.
일 실시 예에서, 전류측정부(122)는, 측정 전류 값에 해당하는 전압을 전류인식부(123)로 출력해 줄 수 있다.
전류인식부(123)는, 전류측정부(122)로부터 인가되는 측정 전류 값에 비례(또는, 비례 감소)적으로 전류를 소비시켜 실시간으로 DUT(130)에서 소비하는 전류를 전원공급장치(110)에서 측정하도록 해 준다.
일 실시 예에서, 전류인식부(123)는, 전류측정부(122)로부터 출력되는 전압을 설정 전압으로 입력받아, 전원공급장치(110)에 흐르는 부하 전류에 해당하는 부하 전압과 비교하여 부하의 전압을 제어해서, 전원공급장치(110)에 흐르는 부하 전류를 전류측정부(122)에서 측정한 전류와 비례한 값이 되도록 해 줄 수 있다.
일 실시 예에서, 전류인식부(123)는, 전원공급장치(110)에서 임의로 설정 가능한 전류 제한 값으로 확장전원장치(120)의 과전류 발생 여부도 전원공급장치(110)에서 확인하도록 할 수 있다. 이때, 과전류 발생 시에는, 전원공급장치(110)에서 전압을 차단하여 DUT(130)로 인가하는 전원을 차단하게 된다. 여기서, 전류 제한 값은 반도체검사장비에서 임의의 값으로 설정 가능하며, 추가로 별도의 채널이나 인터페이스 경로가 필요하지 않아도 된다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템(100)은, 반도체검사장비에서 전원공급장치(110)의 전류 용량을 확장하면서 DUT(130)에서 소비하는 전류를 기존 전원공급장치(110)에서 인식할 수 있도록 구현함으로써, 2개 이상의 채널을 병렬로 접속하여 DUT(130)로 연결하는 방식을 사용하지 않아 전원공급장치(110)의 채널 감소가 없고 동시검사수도 감소되지 않으며, 또한 외부에 확장된 전류증폭기가 동작하는 도중에도 반도체검사장비에서 전류를 측정할 수 있어 DUT(130)의 동작 전류를 실시간으로 알 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템(100)은, 확장전원장치(120)의 전류증폭부(121)에서 공급하는 전류를 실시간으로 측정할 수 있어, DUT(130)의 동작 전류(또는, 과전류 차단 여부)를 확인할 수 있다.
도 3은 도 1 및 도 2에 있는 전류인식부를 설명하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 전류인식부(123)는, 능동부하(Q1), 전류감지저항(R1), 연산증폭기(U1)를 포함한다.
능동부하(Q1)는, 전원공급장치(110)에 연결되어, 전원공급장치(110)에서 공급하는 부하 전류를 비례(또는, 비례 감소)적으로 소비시켜 준다.
일 실시 예에서, 능동부하(Q1)는, MOSFET 등일 수 있다.
전류감지저항(R1)은, 능동부하(Q1)의 일측에 연결되어, 전원공급장치(110)에서 공급하는 부하 전류를 감지하도록 해 준다.
연산증폭기(U1)는, 전류측정부(122)에서 측정한 전류에 해당하는 전압을 설정 전압으로 입력받아 전류감지저항(R1)의 양단에 걸리는 전압과 비교하여 능동부하(Q1)의 전압을 제어해서, 전원공급장치(110)에서 공급하는 부하 전류를 전류측정부(122)에서 측정한 전류와 비례한 값이 되도록 해 준다. 이에 따라, 전원공급장치(110)에 흐르는 부하 전류는 확장전원장치(120)에서 측정한 전류와 비례한 값이 된다.
일 실시 예에서, 연산증폭기(U1)는, 전류측정부(122)에서 측정한 전류에 해당하는 설정 전압(Va)과 전류감지저항(R1)의 양단에 걸리는 전압(V1)이 같도록 능동부하(Q1)의 게이트 전압을 제어해 줄 수 있다. 여기서, 전류감지저항(R1)의 양단에 걸리는 전압을 'V1'(V)이라고 하고, 전류측정부(122)에서 측정한 전류에 해당하는 설정 전압을 'Va'(V)라고 한다.
전류측정부(122)에서 측정한 전류를 'Im'(A)이라고 하고, 전류전압비례상수를 'K'(V/A)라고 하면, 전류측정부(122)에서 측정한 전류에 해당하는 설정 전압(Va)은 아래의 수학식 1과 같다.
Figure 112020054773697-pat00001
전원공급장치(110)에서 공급하는 부하 전류를 'Il'(A)이라고 하면, 부하 전류(Il)는 아래의 수학식 2와 같다.
Figure 112020054773697-pat00002
일 실시 예에서, 연산증폭기(U1)는, 전원공급장치(110)에서 공급하는 부하 전류(Il)를 전류측정부(122)에서 측정한 전류(Im)와 전류비례상수(K/R1)만큼 비례한 값이 되도록 해 줄 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 전류인식부(123)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 증폭기안정화소자(C1, R2), 부하안정화소자(R3)를 더 포함할 수 있다.
증폭기안정화소자(C1, R2)는, 연산증폭기(U1)의 안정성 확보용 소자로서, 연산증폭기(U1)에 연결되어, 연산증폭기(U1)를 안정화시켜 준다.
일 실시 예에서, 증폭기안정화소자(C1, R2)는, 커패시터(C1)와 저항(R2)으로 이루어질 수 있다.
부하안정화소자(R3)는, 능동부하(Q1)의 안정성 확보용 소자로서, 능동부하(Q1)의 다른 일측에 연결되어, 능동부하(Q1)를 안정화시켜 준다.
일 실시 예에서, 부하안정화소자(R3)는, 저항(R3)으로 이루어질 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 예는 상술한 장치 및/또는 운용방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 발명의 실시 예의 구성에 대응하는 기능을 실현하기 위한 프로그램, 그 프로그램이 기록된 기록 매체 등을 통해 구현될 수도 있으며, 이러한 구현은 앞서 설명한 실시 예의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가라면 쉽게 구현할 수 있는 것이다. 이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템
110: 전원공급장치
120: 확장전원장치
121: 전류증폭부
122: 전류측정부
123: 전류인식부
130: DUT
Q1: 능동부하
R1: 전류감지저항
U1: 연산증폭기
C1, R2: 증폭기안정화소자
R3: 부하안정화소자

Claims (5)

  1. 확장전원장치에서 DUT로 흐르는 전류에 비례시켜 동작하는 전류부하장치를 반도체검사장비의 전원공급장치로 연결하여 전원공급장치가 DUT에 흐르는 전류를 감지하도록 하되; 상기 확장전원장치는, 상기 DUT에 흐르는 전류를 측정한 값으로 상기 전류부하장치에서 비례적으로 전류를 소비시켜, 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치가 측정하도록 하며;
    상기 전원공급장치에서 공급하는 전류를 증폭시켜 증폭 전류를 인가하는 전류증폭부; 상기 전류증폭부로부터 증폭 전류를 인가받아 상기 DUT로 흐르는 전류를 측정하여 측정 전류 값을 인가하는 전류측정부; 및 상기 전류측정부에서 인가한 측정 전류 값에 비례적으로 상기 전원공급장치에서 공급하는 전류를 소비시켜 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치에서 측정하도록 해 주는 전류인식부를 포함하여, 추가로 별도의 채널이 필요 없이 상기 전원공급장치의 전류 용량을 확장하면서 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치가 인식하도록 해 주는 것을 특징으로 하는 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 전류측정부는,
    측정 전류 값에 해당하는 전압을 상기 전류인식부로 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전류인식부는,
    상기 전류측정부에서 출력한 전압을 설정 전압으로 입력받아, 상기 전원공급장치에 흐르는 부하 전류에 해당하는 부하 전압과 비교하여 상기 부하의 전압을 제어해서, 상기 전원공급장치에 흐르는 부하 전류를 상기 전류측정부에서 측정한 전류와 비례한 값이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체검사장비에서의 전류 인식 시스템.
  5. 확장전원장치에서 DUT로 흐르는 전류에 비례시켜 동작하는 전류부하장치를 반도체검사장비의 전원공급장치로 연결하여 전원공급장치가 DUT에 흐르는 전류를 감지하도록 하되; 상기 확장전원장치는, 상기 DUT에 흐르는 전류를 측정한 값으로 상기 전류부하장치에서 비례적으로 전류를 소비시켜, 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치가 측정하도록 하며;
    상기 전원공급장치에서 공급하는 전류를 증폭시켜 증폭 전류를 인가하는 전류증폭부; 상기 전류증폭부로부터 증폭 전류를 인가받아 상기 DUT로 흐르는 전류를 측정하여 측정 전류 값을 인가하는 전류측정부; 및 상기 전류측정부에서 인가한 측정 전류 값에 비례적으로 상기 전원공급장치에서 공급하는 전류를 소비시켜 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치에서 측정하도록 해 주는 전류인식부를 포함하여, 추가로 별도의 채널이 필요 없이 상기 전원공급장치의 전류 용량을 확장하면서 상기 DUT에서 소비하는 전류를 상기 전원공급장치가 인식하도록 해 주는 것을 특징으로 하는 반도체검사장비에서의 전류 인식 방법.
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