JP3431911B2 - 処理した銅箔および処理した銅箔を製造するプロセス - Google Patents

処理した銅箔および処理した銅箔を製造するプロセス

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】(技術分野) 本発明は、処理した銅箔に関し、この処理した銅箔を製
造するプロセスに関する。この処理した銅箔は、酸化亜
鉛の薄層(これは、この箔の少なくとも一面のベース表
面に接着されている)および三価酸化クロム層(これ
は、この酸化亜鉛層の接着されている)を有する。この
処理した銅箔は、積層板および印刷回路基板を製造する
際に有用である。
【0002】(発明の背景) 銅箔は、印刷回路基板の製造で使用されている。優れた
電子伝導性があるものの、このような箔を使用すること
にともなって、固有の問題がある。銅は、簡単に酸化さ
れ腐食する。印刷回路基板の製造では、一般に、この銅
箔を誘電基材に結合して、寸法安定性および構造安定性
を備えた箔を提供する必要がある。メッキまたは圧延す
るとき、このような誘電基材への銅箔の接着性は、一般
に、不十分である。銅はまた、誘電基材の分解を加速ま
たは触媒することが知られている。これらの理由のため
に、銅箔は、典型的には、その表面に1層またはそれ以
上の保護層を塗布して販売されている。
【0003】銅箔に保護層を塗布する現在のプロセス
は、典型的に以下の一連の工程を包含する。第一に、こ
の箔の表面に、結節性(nodularized)また
は樹状の銅層が堆積される。この樹状層は、この箔のマ
ット面または光沢面のいずれかまたは箔の両面に塗布で
きる。この樹状層は、この誘電基材と箔表面との間の機
械的な連動を高めて、それにより、この箔の接着強度を
大きくするために塗布される。第二に、この銅の樹状層
には、次いで、黄銅から典型的に構成されるバリヤ層が
堆積される。このバリヤ層は、この金属−樹脂界面の熱
劣化を防止して、それにより、この樹脂への箔の接着性
を維持するために、加えられる。第三に、この箔の両面
には、次いで、亜鉛およびクロムから典型的に構成され
る安定化層が塗布される。この安定化層は、酸化耐性、
寿命および水分耐性を助ける。
【0004】前述のプロセスには、多くの欠点がある。
この結節性銅層は、箔のプロフィールを上げるだけでな
く、この箔を使用して回路網を食刻するのに必要なエッ
チング時間を長くする。この結節性銅層はまた、そのピ
ット数およびデント数を多くすることにより、箔の品質
を下げ、それは、処理ラインの速度を落とす。このバリ
ヤ層の塗布には、腐食性のシアン化物含有浴の使用が必
要であるが、これは、廃棄物処理が困難でありかつ費用
がかかる。このバリヤ層の塗布には、また、可溶性アノ
ードの使用が必要であるが、これは、粗悪な箔や分極を
受けやすいアノードの原因となる。この安定化層の塗布
中、この浴では、望ましくない沈殿物が形成される。本
発明は、従来の銅箔で必要であった結節性または樹状銅
箔またはバリヤ層を必要としない銅箔を提供することに
より、これらの問題の多くを克服し、この銅箔は、依然
として、従来の銅箔と同程度の初期剥離強度および熱劣
化耐性を有する。
【0005】市場で使用される誘電基材は、時には、プ
リプレグと呼ばれ、しばしば、エポキシ樹脂を使用して
製造される。利用できる多くのエポキシ樹脂ベースのプ
リプレグは、アミン硬化剤(例えば、ジシアンジアミ
ン)を使用して製造される。しかしながら、このような
アミン硬化剤の使用に付随した多くの問題(環境上の問
題、安全上の問題および取り扱いの問題を含めて)があ
る。最近では、このようなアミン硬化剤なしで製造され
るエポキシ樹脂系ベースの新しいプリプレグが市場に出
回っている。これらの新しいエポキシプリプレグは、時
には、「ノンジシ(non−dicy)」プリプレグと
呼ばれている。これらのノンジシプリプレグは、有益で
はあるものの、このようなプリプレグを使用することに
伴う問題は、その銅箔とノンジシプリプレグとの間で典
型的に得られる初期剥離強度が、一般に、従来のエポキ
シプリプレグを使用したときよりも低い、ある場合に
は、約10%低いという事実に関連している。本発明は
また、ノンジシプリプレグと併用できる処理した銅箔を
提供することにより、この問題を克服し、これは、依然
として、所望の初期剥離強度を与える。
【0006】(発明の要旨) 本発明は、以下を含有する処理した銅箔に関する:銅箔
であって、該銅箔は、その少なくとも一面のベース表面
には、酸化亜鉛層が接着されており、該酸化亜鉛層は、
約3Å〜約80Åの厚さを有する;および三価酸化クロ
ム層であって、該三価酸化クロム層は、該酸化亜鉛層に
接着されている。1実施形態では、該箔は、シランカッ
プリング剤層を有し、これは、該三価酸化クロム層に接
着されている。本発明はまた、該銅箔に、該酸化亜鉛層
および該三価酸化クロム層を塗布するプロセスに関す
る。本発明はまた、誘電基材および該誘電基材に接着し
た前述の銅箔から構成される積層板に関する。1実施形
態では、該誘電基材は、アミン硬化剤以外の硬化剤で製
造したエポキシ樹脂から構成される;すなわち、該誘電
基材は、ノンジシプリプレグである。
【0007】(好ましい実施形態の説明) 本発明で使用する銅箔は、2つの技術のうちの1つを使
用して製造される。鍛造または圧延銅箔は、銅または銅
合金ストリップまたはインゴットの厚さを圧延のような
処理で機械的に薄くすることにより、製造される。電着
銅箔は、回転しているカソードドラム上に銅イオンを電
気分解的に堆積することにより、次いで、堆積したスト
リップをカソードから剥離することにより、製造され
る。電着した銅箔は、本発明で特に有用である。
【0008】これらの銅箔は、典型的には、約0.00
02インチ〜約0.02インチの範囲の名目厚さを有す
る。銅箔の厚さは、時には、重量によって表わされ、典
型的には、本発明の箔は、約1/8〜約14oz/ft
2の範囲の重量または厚さを有する。特に有用な銅箔
は、1/2、1または2oz/ft2の重量を有するも
のである。
【0009】電着した銅箔は、平滑な面、すなわち、光
沢(ドラム)面、および粗い面、すなわち、マット(銅
堆積成長前)面を有する。この酸化亜鉛層および三価酸
化クロム層は、この箔のいずれかの面に塗布でき、ある
場合には、それらは、両面に塗布される。
【0010】この箔のうち、この酸化亜鉛層および三価
酸化クロム層が塗布される面(単数または複数)は、
「標準プロフィール表面」、「低プロフィール表面」ま
たは「超低プロフィール表面」を有することができる。
「標準プロフィール表面」との用語は、本明細書中に
て、約7ミクロン〜約10ミクロンのRtmを有する箔面
を意味するように使用される。「低プロフィール表面」
との用語は、約4ミクロン〜約7ミクロンまたはそれ未
満のRtmを有する箔面を意味する。「超低プロフィール
表面」との用語は、約4ミクロン以下のRtmを有する箔
面を意味する。Rtmとは、5個の連続したサンプリング
測定の各々から得られる最大の最高最低測定値の平均値
であり、これは、Rank Taylor Hobso
n,Ltd.(Leicester,England)
により販売されたSurftronic 3 プロフィ
ロメーター(profilometer)を使用して測
定できる。
【0011】この酸化亜鉛層は、約3Å〜約80Å、1
実施形態では、約5Å〜約60Å、1実施形態では、約
10Å〜約50Å、1実施形態では、約15Å〜約40
Å、1実施形態では、約20Å〜約35Å、1実施形態
では、約25Å〜約32Åの厚さを有する。この酸化亜
鉛層の厚さは、本発明の所望の剥離強度特性を達成する
のに重要である。この酸化亜鉛層は、亜鉛金属層とし
て、この銅箔の一面または両面に塗布される。この亜鉛
金属層は、次いで、以下で述べるように、酸化される。
酸化前、この亜鉛金属層は、約2Å〜約60Å、1実施
形態では、約2Å〜約50Å、1実施形態では、約5Å
〜約40Å、1実施形態では、約10Å〜約35Å、1
実施形態では、約15Å〜約30Å、1実施形態では、
約20Å〜約25Åの厚さを有する。
【0012】この亜鉛金属層は、この銅箔の面(単数ま
たは複数)のベース表面に塗布される。この銅箔のベー
ス表面は、この亜鉛金属層の塗布前、未処理である。
「未処理」との用語は、本明細書中では、この銅箔のベ
ース表面が、その箔の特性を磨くか高める目的のための
処理(例えば、樹枝状銅層、バリヤ層、安定化層などの
塗布)を受けなかった事実を意味するように、使用され
る。しかしながら、この箔のベース表面は、そこに接着
した酸化銅の天然に生じる非樹状層または非結節層を有
し得ることに注目すべきである。
【0013】1実施形態では、この亜鉛金属層は、蒸着
を使用して、この銅箔表面に塗布される。当該技術分野
で公知の蒸着法のいずれかが使用できる。これらには、
物理蒸着法(PVD)および化学蒸着法(CVD)が挙
げられる。物理蒸着法には、熱蒸発、電子ビーム蒸着、
誘導および/または抵抗蒸着、イオンメッキ、スパッタ
リング、プラズマ活性化蒸発、反応蒸発、および活性化
反応蒸発が挙げられる。物理蒸着は、また、文献では、
真空メタライゼーションおよび蒸発被覆とも呼ばれてい
る。熱蒸着手順では、この銅箔に塗布する亜鉛金属は、
高真空(例えば、10-2〜約10-6torr)で加熱さ
れ、それから、この亜鉛金属は、蒸発または昇華して、
この銅箔の表面に移動する。このスパッタリング法で
は、プラズマ放電で生じたエネルギー的に不活性なイオ
ンは、標的に衝突して、運動量交換による亜鉛イオンの
駆出を引き起こす。物理蒸着には、本質的に、化学蒸着
(ここで、この亜鉛金属の移動は、この基板とそれを取
り囲む気体雰囲気との間での温度または濃度勾配により
誘発された化学反応により、起こる)とは対照的に、こ
の亜鉛金属の移動および物理的手段だけによる銅箔上で
の亜鉛層の形成が関与している。種々の金属を蒸着する
際に有用な蒸着および手順の原理は、Vapor De
position(C.F.Powellら著、Joh
n Wiley& Sons,Inc.,New Yo
rk,1966)で記述されており、その内容は、本明
細書中で参考として援用されている。
【0014】化学蒸着は、通常、ハロゲン化亜鉛を蒸発
させることにより、その蒸気を箔表面で分解または反応
させて、この箔の表面で、被覆として、非揮発性亜鉛金
属を生じることにより、達成される。この蒸着の化学反
応は、熱蒸着または熱分解、水素還元、金属蒸気を使っ
た還元、この銅箔との反応、化学輸送反応などにより、
行うことができる。これらの手順は、Vapor De
position(C.F.Powellら著、Joh
n Wiley & Sons,Inc.,New Y
ork,1966)の9章で詳細に記述されている。こ
の章は、そのCVDプロセスの説明について本明細書中
で参考として援用されている。
【0015】この亜鉛金属層はまた、当該技術分野で公
知の電気メッキ技術を使用して、塗布できる。その電解
液用の亜鉛イオン源は、任意の亜鉛塩であり得、例に
は、ZnSO4、ZnCO3などが挙げられる。1実施形
態では、この電解液は、メッキ中の水素の発生を抑制す
るために、有効量の水素阻害剤を含有する。この水素阻
害剤は、以下のイオンのいずれかであり得る:P+3、W
+6、As+5、As+3、Pb+2、Pb+4、Hg+1、H
+2、Cd+2または四級アンモニウム塩。P+3、W+6
よびAs+5は、特に有用であり、P+3は、とりわけ、有
用である。これらのイオン源には、H3PO3、Na2
4、HAsO3、Pb(SO42、Hg2SO4、HgS
4、CdSO4などが挙げられる。これらの四級アンモ
ニウム塩は、次式により表わすことができる:
【0016】
【化1】 ここで、R1、R2、R3およびR4は、独立して、1個〜
約16個の炭素原子、1実施形態では、1個〜約8個の
炭素原子、1実施形態では、約4個の炭素原子を有する
炭化水素基である。これらのイオン源には、水酸基テト
ラブチルアンモニウムが挙げられる。
【0017】この電解液中の亜鉛イオンの濃度は、一般
に、約0.1〜約2グラム/リットル(g/l)、1実
施形態では、約0.2〜約1g/l、1実施形態では、
約0.3〜約0.7g/l、1実施形態では、約0.5
g/lの範囲である。水素阻害剤イオンの濃度は、一般
に、約1g/lまで、1実施形態では、約0.01〜約
0.8g/l、1実施形態では、約0.05〜約0.5
g/l、1実施形態では、約0.4g/lの範囲であ
る。この電解液は、約100g/lまで、1実施形態で
は、約5〜約100g/l、1実施形態では、約5〜約
50g/l、1実施形態では、約10〜約30g/l、
1実施形態では、約10〜約20g/lの範囲の濃度
で、他の通常の添加剤(例えば、Na2SO4、NaC
l、NaOH、K427など)を含有できる。この電
解液で使用されるpHは、一般に、約4〜約5.5、1
実施形態では、約4.5〜約5.5、1実施形態では、
約4.5〜約5の範囲である。その電流密度は、一般
に、約5〜約50amps/ft2、1実施形態では、
約15〜約30amps/ft2、1実施形態では、約
15〜約25amps/ft2の範囲である。この電解
液の温度は、一般に、約20〜約50℃、1実施形態で
は、約30〜約45℃、1実施形態では、約35〜約4
0℃の範囲である。使用されるメッキ時間は、一般に、
約1〜約30秒間、1実施形態では、約2〜約25秒
間、1実施形態では、約2〜約10秒間、1実施形態で
は、約2〜約6秒間、1実施形態では、約2〜約4秒間
の範囲である。
【0018】この亜鉛金属層は、公知の電気メッキ技術
を使用して、その表面に六価酸化クロム層を塗布するこ
とにより、酸化される。この工程中、この六価酸化クロ
ムは、三価酸化クロムに転化または還元される。得られ
た三価酸化クロム層は、約20Å〜約100Å、1実施
形態では、約2Å〜約60Å、1実施形態では、約30
Å〜約40Åの厚さを有する。この六価酸化クロム源
は、三酸化クロム(CrO3)、クロミル(CrO2 ++
化合物(例えば、クロミルアミド(CrO2(N
22)またはクロミルクロライド(CrO2
2))、クロメート(CrO4 2-)化合物(例えば、N
2Cr24またはK2Cr24)またはジクロメート
(Cr27 2-)化合物(例えば、Na2Cr27または
2Cr27)であり得る。この電解液中の六価酸化ク
ロム化合物の濃度は、一般に、約1〜約5g/l、1実
施形態では、約2〜約4g/l、1実施形態では、約3
g/lの範囲である。この電解液は、約15g/lま
で、1実施形態では、1〜約15g/lの範囲の濃度
で、他の通常の添加剤(例えば、Na2SO4)を含有で
きる。この電解液中で使用されるpHは、一般に、約
1.5〜約9、1実施形態では、約2〜約6、1実施形
態では、約4.5〜約5.5の範囲である。その電流密
度は、一般に、約2〜約20amps/ft2、1実施
形態では、約10〜約20amps/ft2の範囲であ
る。この電解液の温度は、一般に、約20〜約50℃、
1実施形態では、約35〜約40℃の範囲である。使用
されるメッキ時間は、一般に、約2〜約15秒間、1実
施形態では、約5〜約12秒間、1実施形態では、約1
0秒間の範囲である。
【0019】この三価酸化クロム層には、シランカップ
リング剤層が塗布できる。このシランカップリング剤
は、次式により、表わすことができる: R4-nSiXn ここで、Rは、官能基置換炭化水素基であり、該官能基
置換炭化水素基の該官能置換基は、アミノ、ヒドロキ
シ、ハロ、メルカプト、アルコキシ、アシルまたはエポ
キシである;Xは、加水分解可能基、例えば、アルコキ
シ(例えば、メトキシ、エトキシなど)またはハロゲン
(例えば、塩素)である;そしてnは、1、2または3
であり、好ましくは、nは、3である。上式で表わされ
るシランカップリング剤には、ハロシラン、アミノアル
コキシシラン、アミノフェニルシラン、フェニルシラ
ン、複素環シラン、N−複素環シラン、アクリルシラ
ン、メルカプトシラン、またはそれらの2種またはそれ
以上の混合物が挙げられる。
【0020】有用なシランカップリング剤には、アミノ
プロピルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、
テトラエトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシエチル)
−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−(N−
スチリルメチル−2−アミノエチルアミン)プロピルト
リメトキシシラン、3−グリシドキシプロプピルトリメ
トキシシラン、N−メチルアミノプロピルトリメトキシ
シラン、2−(2−アミノエチル−3−アミノプロピ
ル)トリメトキシシラン、N−フェニルアミノプロピル
トリメトキシシラン、クロロプロピルトリメトキシシラ
ン、およびそれらの2種またはそれ以上の混合物が挙げ
られる。
【0021】有用なシランカップリング剤混合物は、3
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、およびテ
トラメトキシシランまたはテトラエトキシシランであ
る。前者と後者との重量比は、約1:10〜約10:
1、1実施形態では、約1:5〜約5:1の範囲であり
得、1実施形態では、この重量比は、約4:1である。
【0022】有用なシランカップリング剤混合物は、N
−メチルアミノプロピルトリメトキシシランおよびクロ
ロプロピルトリメトキシシランである。前者と後者との
重量比は、約1:10〜約10:1、1実施形態では、
約1:5〜約5:1の範囲であり得、1実施形態では、
この重量比は、約1:1である。
【0023】有用なシランカップリング剤混合物は、3
−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)プ
ロピルトリメトキシシランおよびN−メチルアミノプロ
ピルトリメトキシシランである。前者と後者との重量比
は、約1:10〜約10:1、1実施形態では、約1:
5〜約5:1の範囲であり得、1実施形態では、この重
量比は、約1:1である。
【0024】有用なシランカップリング剤混合物は、3
−グリシドキシプロピルトリメトキシシランおよびN−
メチルアミノプロピルトリメトキシシランである。前者
と後者との重量比は、約1:10〜約10:1、1実施
形態では、約1:5〜約5:1の範囲であり得、1実施
形態では、この重量比は、約1:3である。
【0025】この三価酸化クロム表面をシランカップリ
ング剤で被覆することは、この表面にシランカップリン
グ剤を純粋な形状で塗布することにより、行い得る。し
かしながら、一般に、この被覆は、この三価酸化クロム
表面に、適当な媒体中のシランカップリング剤を塗布す
るのが好ましい。さらに具体的には、このシランカップ
リング剤は、水溶液、水およびアルコールの混合物の溶
液、または適当な有機溶媒溶液の形状で、またはシラン
カップリング剤の水性乳濁液として、またはシランカッ
プリング剤の溶液の適当な有機溶媒中の水性懸濁液とし
て、この三価酸化クロム表面に塗布できる。このシラン
カップリング剤には、通常の溶媒が使用され得、これに
は、例えば、アルコール、エーテル、ケトン、およびこ
れらと脂肪族または芳香族炭化水素またはアミド(例え
ば、N,N−ジメチルホルムアミド)との混合物が挙げ
られる。有用な溶媒には、良好な湿潤および乾燥特性を
有するものがあり、例えば、水、エタノール、イソプロ
パノール、およびメチルエチルケトンが挙げられる。こ
のシランカップリング剤の水性乳濁液は、通常の分散剤
および界面活性剤(非イオン性分散剤を含めて)を使用
して、通常の様式で、形成され得る。このような溶液ま
たは乳濁液中のシランカップリング剤の濃度は、このシ
ランカップリング剤の約100重量%まで、1実施形態
では、約50重量%まで、1実施形態では、約20重量
%まで、1実施形態では、約0.1重量%〜約5重量
%、1実施形態では、約0.3重量%〜約1重量%であ
り得る。このシランカップリング剤で被覆するプロセス
は、もし望ましいなら、数回繰り返し得る。このシラン
カップリング剤は、公知の塗布プロセス(これには、逆
ローラー塗装、ドクターブレード塗装、浸漬、ペイント
塗、噴霧などが挙げられる)を使用して、この箔の表面
に塗布され得る。
【0026】この三価酸化クロム表面にシランカップリ
ング剤を塗布することは、典型的には、約15℃〜約4
5℃、1実施形態では、約20℃〜約30℃の温度で、
行われる。この三価酸化クロム表面にシランカップリン
グ剤を塗布することに続いて、このシランカップリング
剤は、その表面の乾燥を高めるために、一般に、約0.
1〜約5分間、1実施形態では、約0.2〜約2分間に
わたって、約60℃〜約170℃、1実施形態では、約
90℃〜約150℃の温度まで加熱できる。このシラン
カップリング剤の乾燥フィルム厚さは、一般に、約0.
002〜約0.1ミクロン、1実施形態では、約0.0
05〜約0.02ミクロンである。
【0027】本発明の銅箔は、このような箔に寸法安定
性および構造安定性を与えるために、誘電基材に結合で
きる。上述のように、この誘電基材は、時には、プリプ
レグと呼ばれている。有用な誘電基材は、織物ガラス強
化材料に部分硬化樹脂(通常、エポキシ樹脂(例えば、
二官能性、四官能性および多官能性エポキシド))を含
浸することにより、作製され得る。他の有用な樹脂に
は、ホルムアルデヒドと尿素またはホルムアルデヒドと
メラミンとの反応により生成されるアミノ型樹脂、ポリ
エステル、フェノール、シリコーン、ポリアミド、ポリ
イミド、フタル酸ジ−アリル、フェニルシラン、ポリベ
ンズイミダゾール、ジフェニルオキシド、ポリテトラフ
ルオロエチレン、シアネートエステルなどが挙げられ
る。
【0028】1実施形態では、このプリプレグを製造す
るのに使用する樹脂は、アミン硬化剤以外の硬化剤を使
って製造したエポキシ樹脂である。すなわち、これらの
エポキシ樹脂は、アミン硬化剤を使って製造されない。
使用が避けられるアミン硬化剤には、ポリアミン、例え
ば、ジシアンジアミド、ポリメチレンジアミン、ポリエ
チレンジアミンおよび他の脂肪族ポリアミン、脂環族ポ
リアミン(例えば、メタンジアミン)、ならびに芳香族
ポリアミン(例えば、フェニレンジアミン、トルエンジ
アミンおよびメチレンジアニリン)が挙げられる。これ
らの樹脂は、時には、「ノンジシ」樹脂と呼ばれてい
る。これらの樹脂を使って製造されるプリプレグは、時
には、ノンジシプリプレグと呼ばれている。
【0029】有用なエポキシ樹脂には、エポキシモノマ
ーまたはエポキシプレポリマーと非アミン硬化剤とから
製造した熱硬化性樹脂が挙げられる。硬化剤は、活性水
素原子を有する共反応性で多官能性の試薬である。これ
らのプリプレグを調製する際に使用できるエポキシ樹脂
には、一官能性エポキシ樹脂、二官能性エポキシ樹脂、
三官能性エポキシ樹脂、四官能性エポキシ樹脂、五官能
性エポキシ樹脂、およびそれらのブレンド、混合物およ
び反応生成物が挙げられる。一般的に言えば、これらの
エポキシ樹脂は、エピクロロヒドリンと、モノ−、ジ−
およびトリヒドロキシフェノール化合物、多核ポリヒド
ロキシフェノール化合物および/または脂肪族ポリオー
ルとを反応させることにより、製造できる。ジ−および
トリヒドロキシフェノール化合物の例には、レゾルシノ
ールおよびフロログルシノールが挙げられる;多核ポリ
ヒドロキシフェノール化合物の例には、ビス(p−ヒド
ロキシフェニル)メタンおよび4,4’−ジヒドロキシ
ビフェニルが挙げられる;そして脂肪族ポリオールの例
には、1,4−ブタンジオールおよびグリセロールが挙
げられる。これらのエポキシ樹脂はまた、酸性溶液中に
て、フェノール類(例えば、フェノール、クレゾール、
レゾルシノールまたはビスフェノール−A)とホルムア
ルデヒドとを反応させることにより、製造できる。
【0030】この硬化剤は、このエポキシ化合物を硬化
するのに有効な量で、このエポキシ樹脂組成物中に存在
しており、これは、一般に、エポキシ化合物1当量あた
り、約0.75〜約1.25当量の化学量論量である。
重量%の点から、この硬化剤は、一般に、エポキシ化合
物および硬化剤を組み合わせた重量に基づいて、約10
〜約70重量%、1実施形態では、約15〜約50重量
%、1実施形態では、約15〜約40重量%の量で、存
在している。
【0031】1実施形態では、この硬化剤は、C原子、
H原子およびO原子および必要に応じて、ハロゲン原子
(例えば、Br原子)を含有する化合物である。これら
のエポキシ樹脂に有効な硬化剤には、例えば、酸(特
に、有機カルボン酸および酸塩)、無水物(特に、有機
酸無水物)、アルコキシド、フェノキシド、高分子チオ
ールおよびフェノールが挙げられる。フェノール硬化剤
には、フェノール−ノボラック化合物だけでなく、クレ
ゾール−ノボラック化合物、および他の多価フェノール
化合物が挙げられる。
【0032】フェノール硬化剤には、さらに、多価フェ
ノール、例えば、レゾルシノール、カテコール、ヒドロ
キノン、p−t−ブチルカテコール、サリゲニン、ビス
フェノール−A、ビフェノール、トリメチロールアリル
オキシフェノール、トリヒドロキシジフェニルジメチル
エタン、4,4’−ジヒドロキシビフェニル、ジヒドロ
キシジフェニルスルホン、およびフェノール樹脂が挙げ
られる。
【0033】酸硬化剤には、無機酸(例えば、鉱酸)、
および有機酸(例えば、ポリカルボン酸(例えば、アジ
ピン酸、フタル酸、グルタル酸、マロン酸、コハク酸、
マレイン酸、フマル酸、シュウ酸、シトラコン酸、イタ
コン酸、トリメリト酸、ピロメリト酸、シクロペンタン
テトラカルボン酸、ダイマー酸およびポリアクリル
酸))が挙げられる。
【0034】無水物硬化剤には、無水フタル酸、無水コ
ハク酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水アル
ケニル酸、無水ドデシルコハク酸、無水トリカルバリル
酸、無水マレイン酸、リノール酸の無水マレイン酸付加
物、無水マレイン酸とスチレンの共重合体、共役ジエン
重合体の無水マレイン酸付加物、アセチレン共役ジエン
ランダム共重合体の無水マレイン酸付加物、天然脂肪の
無水マレイン酸付加物、メチルシクロペンタジエンの無
水マレイン酸付加物、無水メチル−2−置換ブテニルテ
トラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水
テトラヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル
酸、無水ピロメリト酸、無水シクロペンタンテトラカル
ボン酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、無水エ
チレングリコールビス−トリメリテートトリメリト酸、
無水ドデシルコハク酸、および無水ジクロロコハク酸が
挙げられる。
【0035】1実施形態では、この硬化剤は、約1.7
5より高いフェノール官能性を有するフェノール化合物
である。これらには、酸溶液中にてジヒドロキシフェノ
ール(例えば、レゾルシノールまたはビスフェノール−
A)とホルムアルデヒドとを反応させることにより調製
したフェノールノボラックが挙げられる。有用なフェノ
ールノボラック樹脂硬化剤は、酸溶液中でホルムアルデ
ヒドを備えたビスフェノール−Aである。有用なフェノ
ール樹脂硬化剤は、フェノール基1個あたり、約60〜
約500、1実施形態では、約60〜約300の重量、
および1分子あたり、平均して、約2個より多い水酸
基、1実施形態では、3個〜約5個の水酸基を有するビ
スフェノール−Aノボラックである。これらのフェノー
ルノボラック硬化剤は、Shellから、Epikur
e(登録商標)(例えば、Epikure(登録商標)
DX−175)の商品名で、入手できる。
【0036】1実施形態では、このエポキシ樹脂用の硬
化剤は、Georgia Pacific Resin
s,Inc.から、BRWE 5300の商品名で入手
できるビスフェノール−Aホルムアルデヒドノボラック
である。この硬化剤は、酸触媒(通常、シュウ酸)を使
って製造され、約125℃で約800〜約1600セン
チポアズの溶融粘度、120のヒドロキシル当量、およ
び約80℃〜約105℃のMettler軟化点によ
り、特徴付けられる。
【0037】1実施形態では、この硬化剤は、フェノー
ル樹脂硬化剤および臭化フェノール硬化剤の混合物であ
る。この臭化フェノール硬化剤は、任意の単量体状また
は重合体状化合物であり得、これは、その芳香環上に、
少なくとも1個の遊離フェノール水酸基および1個また
はそれ以上の臭素原子を有する。適当な臭化フェノール
硬化剤の例には、臭化フェノール−Aノボラック、臭化
フェノールノボラック、臭化ポリフェニレンオキシド、
臭化ビスフェノール−Aおよび臭化ビスフェノール−A
カーボネートが挙げられる。この臭化ビスフェノール−
Aは、一般に、このエポキシ化合物および硬化剤を組み
合わせた重量に基づいて、約40重量%まで、通常、約
10〜約30重量%の量で、存在している。
【0038】このエポキシ樹脂組成物の成分の迅速およ
び/または低温硬化を促進するために、任意の硬化促進
剤が使用され得る。多くの適当な促進剤(例えば、尿
素、イミダゾール、ホスフェン(phosphene
s)、オクトエートおよび三フッ化ホウ素)は、当該技
術分野で公知である。1実施形態では、この促進剤は、
イミダゾール(例えば、1−メチルイミダゾール、2−
エチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−メ
チル−4−エチルイミダゾールまたはイソプロピルイミ
ダゾール)である。この促進剤は、この組成物中にて、
この組成物の硬化速度を速くしおよび/または硬化温度
を低くするのに有効な量、一般に、このエポキシ樹脂組
成物の重量に基づいて、約0.1〜約7重量%、1実施
形態では、約0.05〜約3重量%の量で、存在してい
る。
【0039】このエポキシ樹脂は、このエポキシプリプ
レグの塗布工程パラメータにより影響される特定の仕様
内で、設計される。このエポキシ樹脂調合物は、典型的
には、このエポキシ樹脂がそれを基板に塗布するのに必
要な時間にわたって硬化を受けない温度で、液体であ
る。このエポキシ樹脂は、典型的には、その塗布点にて
圧力バックアップロールを使用することなく、また、相
当量の揮発性有機溶媒を使用することなく、良好な「ウ
ェットアウト(wetout)」、すなわち、そのウェ
ブの飽和を達成するのに十分に低い粘度を有する。しか
しながら、このエポキシ樹脂は、一旦、その基板に塗布
すると、典型的には、その加熱ゾーンに達する前に、こ
のエポキシ樹脂−ウェブ組合せから滴下しないような十
分な粘度を有する。
【0040】1実施形態では、このエポキシ樹脂は、約
0.5〜約10ポアズ、好ましくは、約0.5〜約6ポ
アズの範囲の粘度を有する。1実施形態では、このエポ
キシ樹脂は、ビスフェノール−Aのジグリシジルエーテ
ル(これは、約175〜190のWPEを有するビスフ
ェノール−Aのジグリシジルエーテル、約310〜35
0のWPEおよび約30〜50%の臭素含有量を有する
ビスフェノール−Aの臭化ジグリシジルエーテルを有す
る)、フェノールノボラック硬化剤、および2−メチル
イミダゾール促進剤のブレンドである。
【0041】1実施形態では、このエポキシ樹脂は、水
性有機溶媒または希釈剤を含有し、これは、処理をし易
くするためにこの系の粘度を低くするのに有効な量で、
存在している。水性溶媒または極性有機溶媒の例には、
ケトン、アルコールおよびグリコールエーテルが挙げら
れる。有用な溶媒は、一般に、約160℃より低い沸点
を有する。これらの溶媒には、例えば、ケトン(例え
ば、アセトン、メチルエチルケトンおよびメチルイソブ
チルケトン)、およびこれらとアルキレングリコールエ
ーテル(例えば、ポリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル)との溶媒混合物が挙げられる。この組成物中の
溶媒の量は、存在している他の成分の量および組成物の
目的用途に依存して広く変えることができるが、溶媒媒
介系中の溶媒は、一般に、このエポキシ樹脂の全重量の
約1〜約40重量%を構成する。
【0042】有用なエポキシ樹脂には、エポキシノボラ
ック(例えば、DEN 439およびDEN 438
(これは、Dow Chemical Co.から入手
できる))が挙げられる。DEN 439樹脂は、3.
8のエポキシ官能性、191〜210のエポキシ当量、
および約48℃〜約58℃のMettler軟化点によ
り、特徴付けられる。DEN 438は、3.6のエポ
キシ官能性、176〜181のエポキシ当量、および約
52℃で約20,000〜約50,000cpsの粘度
を有することにより、特徴付けられる。使用できる他の
エポキシノボラック樹脂には、DEN 485があり、
これもまた、Dow ChemicalCo.製であ
り、5.5のエポキシ官能性、165〜195のエポキ
シ当量、および約66℃〜約80℃の軟化点を有する。
【0043】他のエポキシ樹脂には、Ciba Che
mical Co.製のエポキシクレゾールノボラッ
ク、例えば、以下が挙げられる:ECN 1235(こ
れは、2.7のエポキシ官能性、200〜227のエポ
キシ当量、および約34℃〜約42℃の軟化点を有す
る);ECN 1273(これは、4.8のエポキシ官
能性、217〜233のエポキシ当量、および約68℃
〜約78℃の軟化点を有する);ECN 1280(こ
れは、5.0のエポキシ官能性、213〜233のエポ
キシ当量、および約78℃〜約85℃の軟化点を有す
る);およびECN1299(これは、5.4のエポキ
シ官能性、217〜244のエポキシ当量、および約8
5℃〜約100℃の軟化点を有する)。
【0044】適当なエポキシ樹脂には、また、四官能性
フェノール、例えば、MT0163(これは、Ciba
Chemical Co.から入手でき、そして4の
エポキシ官能性、179〜200のエポキシ当量および
約55℃〜約95℃の融点を有する)、およびEPON
(登録商標)1031(これは、Shellから入手で
き、そして3.5のエポキシ官能性および200〜24
0のエポキシ当量を有し、メチルエチルケトン中の80
重量%溶液として、約25℃で約Z2〜約Z7の動粘度
を有する)が挙げられる。
【0045】他の適当なエポキシ樹脂には、変性エポキ
シノボラック、例えば、Shell製のEPI−REZ
SU(例えば、EPI−REZ SU−2.5(これ
は、2.5のエポキシ官能性、180〜200のエポキ
シ当量、および約52℃で約2500〜約4500セン
チストークスの溶融粘度を有する)、EPI−REZS
U−3.0(これは、3.0のエポキシ官能性、187
〜211のエポキシ当量、および約52℃で約20,0
00〜約50,000センチストークスの溶融粘度を有
する)およびEPI−REZ SU−8(これは、8.
0のエポキシ官能性、195〜230のエポキシ当量、
および約77℃〜約82℃の融点を有する))。
【0046】有用な二官能性エポキシ樹脂には、ビスフ
ェノール−Aジグリシジルエーテルエポキシ樹脂EPO
N(登録商標)826(これは、Shellから入手で
きる)がある。この樹脂は、2のエポキシ官能性、17
8〜186のエポキシ当量、および約25℃で約650
0〜約9500cpsの粘度により、特徴付けられる。
EPON(登録商標)826の埋め合わせには、Ara
ldite GY 6008(これは、Ciba Ch
emical Co.から入手できる)、DER 33
3(これは、Dow Chemical Co.から入
手できる)、およびEPOTUF 37−139(これ
は、Reichold Co.から入手できる)が挙げ
られる。
【0047】他の適当なビスフェノール−Aジグリシジ
ルエーテルエポキシ樹脂には、Shell製の以下のも
のが挙げられる:EPON(登録商標)828(185
〜192のエポキシ当量および約25℃で約11,00
0〜約15,000の粘度を有する);EPON(登録
商標)830(190〜198のエポキシ当量および約
25℃で約17,700〜約22,500の粘度を有す
る);EPON(登録商標)1123(これは、約80
0の分子量を有するビスフェノール−Aの臭化ジグリシ
ジルエーテルである);およびEPON(登録商標)8
34(これは、230〜280のエポキシ当量、および
ジエチレングリコールモノブチルエーテルの70重量%
溶液として測定したとき約25℃でO−VのGardn
er−Holdt粘度を有する)。
【0048】適当なビスフェノール−Fジグリシジルエ
ーテルエポキシ樹脂には、Shell製のEPON(登
録商標)DPL−862(これは、166〜177のエ
ポキシ当量および約25℃で約3,000〜約4,50
0cpsの粘度を有する)、Ciba Chemica
l Co.製のビスフェノール−Fジグリシジルエーテ
ルエポキシ樹脂(例えば、Araldite GY 2
81(これは、158〜175のエポキシ当量および約
25℃で約5,000〜約7,000cpsの粘度を有
する)およびAraldite GY 308(これ
は、173〜182のエポキシ当量および約25℃で約
6,500〜約8,000cpsの粘度を有する))が
挙げられる。
【0049】使用できる他のエポキシ樹脂には、以下の
ような環状脂肪族エポキシ樹脂が挙げられる:3,4−
エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシク
ロヘキサンカルボキシレート(Union Carbi
de製のERL 4221;これは、131〜143の
エポキシ当量および約25℃で約350〜約450cp
sの粘度を有する);2−(3,4−エポキシシクロヘ
キシル−5,5−スピロ−3,4−エポキシ)シクロヘ
キサンメタジオキサン(Union Carbide製
のERL 4234;これは、133〜154のエポキ
シ当量および約38℃で約7,000〜約17,000
cpsの粘度を有する);および3,4−エポキシ−6
−メチル−シクロヘキシルメチルアジペート(Unio
n Carbide製のERL 4289;これは、2
05〜216のエポキシ当量および約25℃で約500
〜約1000cpsの粘度を有する)他の製造業者が製
造したエポキシ樹脂のいずれかの埋め合わせまたはエポ
キシ樹脂混合物もまた、使用できる。
【0050】市販のノンジシエポキシプリプレグ(これ
は、アミン硬化剤を使っては製造されない)の具体的な
例には、「TS」の商品名のもの(これは、Gener
alElectricから入手できる)、「ATS」の
商品名のもの(これは、Polycladから入手でき
る)、および「Driclad」の商品名のもの(これ
は、IBMから入手できる)が挙げられる。
【0051】これらの積層板を作製する際に、プリプレ
グ材料および銅箔の両方を、ロールに巻き上げた材料の
長いウェブの形状で供給することが有用である。1実施
形態では、箔およびプリプレグの長いウェブは、連続工
程を使用して積層される。この工程では、この箔の連続
ウェブは、積層構造体を形成する積層条件下にて、プリ
プレグ材料の連続ウェブと接触される。この積層構造体
は、次いで、長方形シートに切断され、これらの長方形
シートは、組立品の積み重ねに積み上げられるか集めら
れる。
【0052】1実施形態では、この箔およびプリプレグ
材料の長いウェブは、まず、長方形シートに切断され、
次いで、積層を受ける。この工程では、この箔およびプ
リプレグ材料の長方形シートは、組立品の積み重ねに積
み上げられるか集められる。
【0053】各組立品は、そのいずれかの側で、箔のシ
ートとのプリプレグシートを含有し得る。この組立品
は、積層プレスのプレート間で、通常の積層温度および
圧力にかけられて、銅箔のシート間でプリプレグのシー
トのサンドイッチを含む積層板が作製される。
【0054】これらのプリプレグは、部分的な硬化した
二段樹脂で含浸した織物ガラス強化繊維からなり得る。
熱および圧力を加えることにより、この銅箔は、このプ
リプレグにしっかりと押し付けられ、この組立品が受け
る温度は、この樹脂を活性化して硬化(すなわち、架
橋)し、それゆえ、この箔は、このプリプレグ誘電基材
にしっかりと結合する。一般的に言えば、この積層操作
には、約250〜約750psiの範囲の圧力、約17
5℃〜235℃の範囲の温度および約40分間〜約2時
間の積層サイクルが関与している。仕上げた積層板は、
次いで、印刷回路基板(PCB)を作製するのに利用さ
れ得る。
【0055】1実施形態では、この積層板は、減算銅食
刻工程(subtractivecopper etc
hing process)にかけられて、多層回路基
板を製造するプロセスの一部として、導線または導電性
パターンを形成する。食刻したパターンには、次いで、
第二プリプレグが接着される。多層回路基板を製造する
技術は、当該技術分野で周知である。同様に、減算銅食
刻工程は、周知であり、その一例は、米国特許第5,0
17,271号に開示されており、その内容は、本明細
書中で参考として援用されている。
【0056】積層板からPCBを作製するには、多数の
製造プロセスが利用できる。それに加えて、PCB用に
可能な無数の最終用途(ラジオ、テレビ、コンピュータ
ーなど)がある。これらのプロセスおよび最終用途は、
当該技術分野で公知である。
【0057】以下の実施例は、本発明を説明する目的
で、提供されている。他に指示がなければ、以下の実施
例および本明細書および特許請求の範囲の全体にわたっ
て、全ての部およびパーセントは、重量基準であり、全
ての温度は、摂氏であり、そして全ての圧力は、大気圧
である。
【0058】(実施例1) 1oz/ft2の重量の電着した銅箔試料を、そのマッ
ト面に、以下の条件下にて、150ft./分の表面速
度で回転している円筒形カソードを使用して、亜鉛金属
層でメッキする: ZnSO4:0.5g/lのZn++イオン H3PO3:0.4g/lのP+++イオン Na2SO4:15g/l 浴のpH:5.0 電流密度:25amps/ft2 メッキ時間:20秒間 浴温度:37.8℃(100°F) この亜鉛金属層は、49Åの厚さを有する。この亜鉛金
属層を、18amps/ft2の電流密度を使用して、
10秒間にわたって、NaOHでpHを5.0に調整し
たCrO3溶液(3.0g/l)に接触させることによ
り、酸化する。得られた三価酸化クロム層の厚さは、3
0〜40Åである。次いで、この試料を乾燥し、そして
試料を0.5重量%エポキシシラン水溶液に浸けること
により、シランカップリング剤層で被覆する。試料を乾
燥する。乾燥したシラン被覆の厚さは、約50Åであ
る。得られた処理した銅箔を、ノンジシプリプレグに積
層する。このプリプレグ材料は、Polyclad A
TS(四官能性エポキシ樹脂および非アミン硬化剤を使
って製造したプリプレグとして同定されるPolycl
adの製品)である。この試料を、初期剥離強度および
HClアンダーカットについて試験する。この初期剥離
強度は、9lb/inchである。このHClアンダー
カットは、13.3%である。(HClアンダーカット
は、この試料を18%のHClに1時間浸した後の剥離
強度損失パーセントの尺度である)。
【0059】(実施例2) 1oz/ft2の重量の電着した銅箔試料を、そのマッ
ト面に、以下の条件下にて、40ft./分の表面速度
で回転している円筒形カソードを使用して、亜鉛金属層
でメッキする: ZnSO4:0.62g/lのZn++イオン H3PO3:0.45g/lのP+++イオン Na2SO4:18g/l 浴のpH:4.7 電流密度:17.5amps/ft2 メッキ時間:2.7秒間 浴温度:37.8℃(100°F) この亜鉛金属層は、22Åの厚さを有する。この亜鉛金
属層を、12amps/ft2の電流密度を使用して、
10秒間にわたって、NaOHでpHを5.1に調整し
たCrO3溶液(3.0g/l)に接触させることによ
り、酸化する。得られた三価酸化クロム層の厚さは、3
0〜40Åである。次いで、この試料を乾燥し、そして
試料を0.5重量%エポキシシラン水溶液に浸けること
により、シランカップリング剤層で被覆する。試料を乾
燥する。乾燥したシラン被覆の厚さは、約100Åであ
る。得られた処理した銅箔を、ノンジシプリプレグに積
層する。このプリプレグ材料は、Polyclad A
TSである。この試料を、初期剥離強度およびHClア
ンダーカットについて試験する。この初期剥離強度は、
8.1lb/inchである。このHClアンダーカッ
トは、17.1%である。
【0060】本発明は、その好ましい実施形態に関して
説明しているものの、それらの種々の変更は、この明細
書を読めば、当業者に明かなことが理解できるはずであ
る。従って、本明細書中で開示した発明は、添付の請求
の範囲に入るようなこれらの変更を含むと解釈されるこ
とが理解できるはずである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クザポー, エドワード アメリカ合衆国 オハイオ 44129, パーマ, ヘイバーヒル ドライブ 5810 (56)参考文献 特開 平5−275817(JP,A) 特開 平2−294490(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 28/00 C08G 59/40 C25D 5/48 C25D 7/06 C25D 11/38 305

Claims (28)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 以下を含有する、処理した銅箔: 銅箔であって、該銅箔は、その少なくとも一面のベース
    表面には、酸化亜鉛層が接着されており、該酸化亜鉛層
    は、約3Å〜約80Åの厚さを有する;および 三価酸化クロム層であって、該三価酸化クロム層は、該
    酸化亜鉛層に接着されている; ここで、該三価酸化クロム層は、六価酸化クロムを使用
    して形成される、 処理した銅箔。
  2. 【請求項2】 前記三価酸化クロム層が、CrO、ク
    ロミル化合物、クロメート化合物またはジクロメート化
    合物を使用して形成される、請求項1に記載の箔。
  3. 【請求項3】 シランカップリング剤層が、前記三価酸
    化クロム層に接着されている、請求項1に記載の箔。
  4. 【請求項4】 前記シランカップリング剤が、次式によ
    り表わされ、 R4−nSiX ここで、Rが、官能基置換炭化水素基であり、該官能基
    置換炭化水素基の該官能置換基が、アミノ、ヒドロキ
    シ、ハロ、メルカプト、アルコキシ、アシルまたはエポ
    キシであり、Xが、加水分解可能基であり、そしてn
    が、1、2または3である、請求項3に記載の箔。
  5. 【請求項5】 前記シランカップリング剤が、ハロシラ
    ン、アミノアルコキシシラン、アミノフェニルシラン、
    フェニルシラン、複素環式シラン、N−複素環式シラ
    ン、アクリルシラン、メルカプトシラン、またはそれら
    の2種またはそれ以上の混合物である、請求項3に記載
    の箔。
  6. 【請求項6】 前記シランカップリング剤が、アミノプ
    ロピルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テ
    トラエトキシシラン、ビス(2−ヒドロキシエチル)−
    3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−(N−ス
    チリルメチル−2−アミノエチルアミン)プロピルトリ
    メトキシシラン、3−グリシドオキシプロピルトリメト
    キシシラン、N−メチルアミノプロピルトリメトキシシ
    ラン、2−(2−アミノエチル−3−アミノプロピル)
    トリメトキシシラン、N−フェニルアミノプロピルトリ
    メトキシシラン、クロロプロピルトリメトキシシラン、
    およびそれらの2種またはそれ以上の混合物からなる群
    から選択される、請求項3に記載の箔。
  7. 【請求項7】 前記箔が、電着した銅箔である、請求項
    1〜6のいずれかに記載の箔。
  8. 【請求項8】 前記箔が、鍛造銅箔である、請求項1〜
    6のいずれかに記載の箔。
  9. 【請求項9】 前記銅箔の前記面が、標準プロフィール
    面を有する、請求項1〜6のいずれかに記載の箔。
  10. 【請求項10】 前記銅箔の前記面が、低プロフィール
    面を有する、請求項1〜6のいずれかに記載の箔。
  11. 【請求項11】 前記銅箔の前記面が、超低プロフィー
    ル面を有する、請求項1〜6のいずれかに記載の箔。
  12. 【請求項12】 前記銅箔が、マット面および光沢面を
    有し、前記酸化亜鉛層および前記三価酸化クロム層が、
    該マット面の上に横たわっている、請求項1〜6のいず
    れかに記載の箔。
  13. 【請求項13】 前記銅箔が、マット面および光沢面を
    有し、前記酸化亜鉛層および前記三価酸化クロム層が、
    該光沢面の上に横たわっている、請求項1〜6のいずれ
    かに記載の箔。
  14. 【請求項14】 前記酸化亜鉛層および前記三価酸化ク
    ロム層が、前記箔の一面の上に横たわっており、別の酸
    化亜鉛層および別の三価酸化クロム層が、該箔の他の面
    に横たわっている、請求項1〜6のいずれかに記載の
    箔。
  15. 【請求項15】 誘電基材と該基材に接着した請求項1
    〜6のいずれかに記載の銅箔とを含む、積層板。
  16. 【請求項16】 前記誘電基材が、アミン硬化剤以外の
    硬化剤で製造したエポキシ樹脂から構成される、請求項
    15に記載の積層板。
  17. 【請求項17】 前記硬化剤が、酸、無水物、アルコキ
    シド、フェノキシド、高分子チオールまたはフェノール
    である、請求項15に記載の積層板。
  18. 【請求項18】 銅箔を処理するプロセスであって、該
    プロセスは、以下の工程を包含する: (A)該銅箔の少なくとも一面のベース表面に亜鉛金属
    層を塗布する工程であって、該亜鉛金属層の厚さは、約
    2Å〜約60Åである;および (B)該亜鉛金属層に、電気メッキ技術を使用してpH
    約4.5〜約5.5の範囲で、六価酸化クロム層を塗布
    する工程; ここで、該亜鉛金属層は、該六価酸化クロムで酸化され
    て、酸化亜鉛層を形成し、ここで、該六価酸化クロム
    は、三価酸化クロムに転化され、該酸化層の厚さは、約
    3Å〜約80Åの範囲である、プロセス。
  19. 【請求項19】 前記三価酸化クロム層が、約20Å〜
    約100Åの厚さを有する、請求項18に記載のプロセ
    ス。
  20. 【請求項20】 シランカップリング剤層が、前記三価
    酸化クロム層に塗布される、請求項18に記載のプロセ
    ス。
  21. 【請求項21】 工程(B)の間に塗布した前記六価酸
    化クロム層が、前記亜鉛金属層上に電気メッキされる、
    請求項18に記載のプロセス。
  22. 【請求項22】 前記六価酸化クロム層が、CrO
    クロミル化合物、クロメート化合物またはジクロメート
    化合物を使用して形成される、請求項18に記載のプロ
    セス。
  23. 【請求項23】 前記銅箔が、マット面および光沢面を
    有し、前記亜鉛層および前記六価酸化クロム層が、該マ
    ット面を覆って塗布される、請求項18に記載のプロセ
    ス。
  24. 【請求項24】 前記銅箔が、マット面および光沢面を
    有し、前記亜鉛層および前記六価酸化クロム層が、該光
    沢面を覆って塗布される、請求項18〜23のいずれか
    に記載のプロセス。
  25. 【請求項25】 工程(A)の間に塗布した前記亜鉛金
    属層が、前記箔の前記表面上に蒸着される、請求項18
    〜23のいずれかに記載のプロセス。
  26. 【請求項26】 工程(A)の間に塗布した前記亜鉛金
    属層が、前記箔の前記表面上に電気メッキされる、請求
    項18〜23のいずれかに記載のプロセス。
  27. 【請求項27】 前記亜鉛金属が、水素抑制剤を含有す
    る電解液を使用して電気メッキされる、請求項18〜2
    6のいずれかに記載のプロセス。
  28. 【請求項28】 前記亜鉛層および前記六価酸化クロム
    層が、前記箔の一面を覆って塗布され、そして別の亜鉛
    層および別の六価酸化クロム層が、該箔の他面を覆って
    塗布される、請求項18〜23のいずれかに記載のプロ
    セス。
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