JP3414696B2 - 半導体装置のキャリア基板の電極構造 - Google Patents
半導体装置のキャリア基板の電極構造Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は親基板にはんだ接合
するための半導体装置の電極の構造に関する。
するための半導体装置の電極の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】携帯電話やビデオカメラ、パソコンなど
のパーソナル家電の小型軽量化のために、半導体装置の
パッケージはガルウイングタイプのリード電極を持つL
SIパッケージからより小型軽量なパッケージであるB
GA(Ball Grid Array)タイプやCS
P(Chip Scale Package)タイプに
変わってきた。図5はBGAタイプパッケージの半導体
装置の外径図であり(a)は側面図、(b)は下面図で
ある。図6は図5のBGAタイプパッケージの半導体装
置を親基板に接合した状態の部分側面図である。キャリ
ア基板502に実装された不図示の半導体素子は樹脂部
501とキャリア基板502とからなるパッケージに封
止されており、半導体素子の外部端子は、キャリア基板
502上にグリッド状に配置される電極であるはんだ付
けランド503を経由して外部に接続される。半導体装
置が実装される親基板601には半導体装置のキャリア
基板502のはんだ付けランド503に対応する位置に
はんだ付けランド602が設けられ、はんだ603を介
して半導体基板のはんだ付けランド503に接合され
る。はんだ付けランド503、はんだ付けランド602
は共に背の低い円筒形状て、その上面は通常平滑な平面
となっており、はんだ603を挟んで両ランドの平滑な
上面が接合される。
のパーソナル家電の小型軽量化のために、半導体装置の
パッケージはガルウイングタイプのリード電極を持つL
SIパッケージからより小型軽量なパッケージであるB
GA(Ball Grid Array)タイプやCS
P(Chip Scale Package)タイプに
変わってきた。図5はBGAタイプパッケージの半導体
装置の外径図であり(a)は側面図、(b)は下面図で
ある。図6は図5のBGAタイプパッケージの半導体装
置を親基板に接合した状態の部分側面図である。キャリ
ア基板502に実装された不図示の半導体素子は樹脂部
501とキャリア基板502とからなるパッケージに封
止されており、半導体素子の外部端子は、キャリア基板
502上にグリッド状に配置される電極であるはんだ付
けランド503を経由して外部に接続される。半導体装
置が実装される親基板601には半導体装置のキャリア
基板502のはんだ付けランド503に対応する位置に
はんだ付けランド602が設けられ、はんだ603を介
して半導体基板のはんだ付けランド503に接合され
る。はんだ付けランド503、はんだ付けランド602
は共に背の低い円筒形状て、その上面は通常平滑な平面
となっており、はんだ603を挟んで両ランドの平滑な
上面が接合される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】パッケージが小型化す
るに伴ってランドの間隔も狭くなり、ランドの面積も小
さくなり、これに伴ってはんだによるランドの接合強度
や信頼性が低くなるという問題点が生じてきた。
るに伴ってランドの間隔も狭くなり、ランドの面積も小
さくなり、これに伴ってはんだによるランドの接合強度
や信頼性が低くなるという問題点が生じてきた。
【0004】本発明の目的は、半導体パッケージの電極
と親基板の電極との接合部の強度と信頼性とを向上させ
る、半導体装置のキャリア基板の電極構造を提供するこ
とにある。
と親基板の電極との接合部の強度と信頼性とを向上させ
る、半導体装置のキャリア基板の電極構造を提供するこ
とにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置のキ
ャリア基板の電極構造は、半導体装置を親基板にはんだ
接続するためのその半導体装置のキャリア基板の電極構
造であって、その電極は、中央領域に凹部が形成され、
中央領域のその凹部を取り囲む周囲の壁面にその凹部と
その壁面の外部とを連通する貫通部を有し、電極がフラ
ンジ部分を有する半球状であって、内部に同心の半球面
の中空部を有し、その電極の半球部が半導体装置のキャ
リア基板に外面に向けて設けられた半球面状の凹部に嵌
合しフランジ部分がそのキャリア基板の外面に当接する
ようにその電極がそのキャリヤ基板に固着され、凹部と
壁面の外部とを連通する貫通部が、フランジ部とそのフ
ランジ部に連接する電極の壁面とに設けられた少なくと
も一個のスリットである。
ャリア基板の電極構造は、半導体装置を親基板にはんだ
接続するためのその半導体装置のキャリア基板の電極構
造であって、その電極は、中央領域に凹部が形成され、
中央領域のその凹部を取り囲む周囲の壁面にその凹部と
その壁面の外部とを連通する貫通部を有し、電極がフラ
ンジ部分を有する半球状であって、内部に同心の半球面
の中空部を有し、その電極の半球部が半導体装置のキャ
リア基板に外面に向けて設けられた半球面状の凹部に嵌
合しフランジ部分がそのキャリア基板の外面に当接する
ようにその電極がそのキャリヤ基板に固着され、凹部と
壁面の外部とを連通する貫通部が、フランジ部とそのフ
ランジ部に連接する電極の壁面とに設けられた少なくと
も一個のスリットである。
【0006】
【0007】また、電極がフランジ部分を有する円筒形
状であって、内部に同心の円筒形状の中空部を有し、そ
の電極の円筒形部が半導体装置のキャリア基板に外面に
向けて設けられた円筒形状の凹部に嵌合しフランジ部分
がそのキャリア基板の外面に当接するようにその電極が
そのキャリア基板に固着されていて、凹部と壁面の外部
とを連通する貫通部が、フランジ部とそのフランジ部に
連接する電極の円筒形の壁面とにほぼ底部に近い位置ま
で設けられた少なくとも一個のスリットである。
状であって、内部に同心の円筒形状の中空部を有し、そ
の電極の円筒形部が半導体装置のキャリア基板に外面に
向けて設けられた円筒形状の凹部に嵌合しフランジ部分
がそのキャリア基板の外面に当接するようにその電極が
そのキャリア基板に固着されていて、凹部と壁面の外部
とを連通する貫通部が、フランジ部とそのフランジ部に
連接する電極の円筒形の壁面とにほぼ底部に近い位置ま
で設けられた少なくとも一個のスリットである。
【0008】半導体装置のパッケージがBGAタイプで
あってもよくCSPタイプであってもよい。
あってもよくCSPタイプであってもよい。
【0009】電極の中央領域に凹部を形成することによ
り、はんだ付けランドとはんだとの接合面積が増加し、
かつ立体的な接合となる。さらに凹部と壁面の外部と連
結する貫通部を有するので内部の空気が逃げ、はんだが
充分に凹部内に濡れ広がるので、少ない量で同じ強度の
接合ができ、キャリア基板と親基板の間隔を狭くでき
る。
り、はんだ付けランドとはんだとの接合面積が増加し、
かつ立体的な接合となる。さらに凹部と壁面の外部と連
結する貫通部を有するので内部の空気が逃げ、はんだが
充分に凹部内に濡れ広がるので、少ない量で同じ強度の
接合ができ、キャリア基板と親基板の間隔を狭くでき
る。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明は、半導体装置のはんだ接
合部の信頼性を向上させるための電極であるはんだ付け
ランドの構造の改善を目的とし、特にLSIのボールグ
リッドアレイパッケージ(以下BGA)およびチップサ
イズパッケージ(以下CSP)におけるはんだ付けラン
ドの構造の改善を目的とする。
合部の信頼性を向上させるための電極であるはんだ付け
ランドの構造の改善を目的とし、特にLSIのボールグ
リッドアレイパッケージ(以下BGA)およびチップサ
イズパッケージ(以下CSP)におけるはんだ付けラン
ドの構造の改善を目的とする。
【0011】次に、本発明の実施の形態について図面を
参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態の
半導体装置のキャリア基板の電極構造を示す模式図であ
り、(a)は上面図、(b)は(a)の断面A−Aの側
面断面図、(c)は(a)の断面B−Bの側面断面図で
あり、図2は図1の半導体装置のキャリア基板を親基板
に接合した状態の部分側面図である。
参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態の
半導体装置のキャリア基板の電極構造を示す模式図であ
り、(a)は上面図、(b)は(a)の断面A−Aの側
面断面図、(c)は(a)の断面B−Bの側面断面図で
あり、図2は図1の半導体装置のキャリア基板を親基板
に接合した状態の部分側面図である。
【0012】図1を参照すると、従来円柱状であったキ
ャリア基板102の電極であるはんだ付けランド103
が第1の実施の形態では内部に同心の半球面の中空部を
有する半球状となり円周部分にフランジ部分が設けられ
ており、フランジ部分の外径が従来例の円柱の外径に相
当する。また、フランジ部とそのフランジ部に連接する
はんだ付けランド103の壁面の一部に2個所空気抜き
のためにスリット104が設けられている。一方、キャ
リア基板102には外面に向けて半球面状の凹部が設け
られており、はんだ付けランド103がその凹部に嵌合
しフランジ部分がキャリア基板の外面に当接するように
はんだ付けランド103がキャリヤ基板102に固着さ
れている。
ャリア基板102の電極であるはんだ付けランド103
が第1の実施の形態では内部に同心の半球面の中空部を
有する半球状となり円周部分にフランジ部分が設けられ
ており、フランジ部分の外径が従来例の円柱の外径に相
当する。また、フランジ部とそのフランジ部に連接する
はんだ付けランド103の壁面の一部に2個所空気抜き
のためにスリット104が設けられている。一方、キャ
リア基板102には外面に向けて半球面状の凹部が設け
られており、はんだ付けランド103がその凹部に嵌合
しフランジ部分がキャリア基板の外面に当接するように
はんだ付けランド103がキャリヤ基板102に固着さ
れている。
【0013】キャリア基板102に実装された不図示の
半導体素子は樹脂部101とキャリア基板102とから
なるパッケージに封止されており、半導体素子の外部端
子は、キャリア基板102上にグリッド状に配置される
電極であるはんだ付けランド103を経由して外部に接
続される。
半導体素子は樹脂部101とキャリア基板102とから
なるパッケージに封止されており、半導体素子の外部端
子は、キャリア基板102上にグリッド状に配置される
電極であるはんだ付けランド103を経由して外部に接
続される。
【0014】図2に示すように半導体装置が実装される
親基板201には半導体装置のキャリア基板102のは
んだ付けランド103に対応する位置にはんだ付けラン
ド202が設けられており、親基板201にはんだ印刷
が行われ、次に凹部を有する半球状のはんだ付けランド
103を有するBGAおよびCSPが親基板201のは
んだ付けランド202とそれに対応するBGAおよびC
SPのはんだ付けランド103とが整合するようにBG
AおよびCSPが親基板201に搭載される。
親基板201には半導体装置のキャリア基板102のは
んだ付けランド103に対応する位置にはんだ付けラン
ド202が設けられており、親基板201にはんだ印刷
が行われ、次に凹部を有する半球状のはんだ付けランド
103を有するBGAおよびCSPが親基板201のは
んだ付けランド202とそれに対応するBGAおよびC
SPのはんだ付けランド103とが整合するようにBG
AおよびCSPが親基板201に搭載される。
【0015】次に、これらははんだ付けのためにリフロ
ー炉に投入され、印刷されたはんだ203が溶融し、親
基板201のはんだ付けランド202とBGAおよびC
SPのはんだ付けランド103とにはんだ203が濡れ
広がり始める。 BGAおよびCSPのはんだ付けラン
ド103の凹部には空気が溜まっていて、通常はその空
気が凹部へのはんだ203の侵入を阻害するが、本発明
の第1の実施の形態では図1に示すスリット104を経
由して凹部内の空気が逃げるのではんだ203は十分に
凹部内に濡れ広がることが可能となる。リフロー炉から
取り出されると、はんだは硬化して親基板201のはん
だ付けランド202にキャリア基板102のはんだ付け
ランド202が接合される。
ー炉に投入され、印刷されたはんだ203が溶融し、親
基板201のはんだ付けランド202とBGAおよびC
SPのはんだ付けランド103とにはんだ203が濡れ
広がり始める。 BGAおよびCSPのはんだ付けラン
ド103の凹部には空気が溜まっていて、通常はその空
気が凹部へのはんだ203の侵入を阻害するが、本発明
の第1の実施の形態では図1に示すスリット104を経
由して凹部内の空気が逃げるのではんだ203は十分に
凹部内に濡れ広がることが可能となる。リフロー炉から
取り出されると、はんだは硬化して親基板201のはん
だ付けランド202にキャリア基板102のはんだ付け
ランド202が接合される。
【0016】このように、はんだ付けランド103の構
造を従来の平面から凹状に変更することにより、はんだ
接合面積を増やすことができ、接合部の信頼性を向上さ
せることを可能にする。
造を従来の平面から凹状に変更することにより、はんだ
接合面積を増やすことができ、接合部の信頼性を向上さ
せることを可能にする。
【0017】以上の説明でははんだ付けランド103の
形状を内部に同心の半球面の中空部を有する半球状とし
て円周部分にフランジ部分を設けることとしたが、内部
に半球面の中空部を有する円筒状として空気抜きのため
のスリットを設けてもよい。
形状を内部に同心の半球面の中空部を有する半球状とし
て円周部分にフランジ部分を設けることとしたが、内部
に半球面の中空部を有する円筒状として空気抜きのため
のスリットを設けてもよい。
【0018】次に、本発明の第2の実施の形態について
図面を参照して説明する。図3は本発明の第2の実施の
形態の半導体装置のキャリア基板の電極構造を示す模式
図であり、(a)は上面図、(b)は(a)の断面C−
Cの側面断面図であり、図4は図3の半導体装置のキャ
リア基板を親基板に接合した状態の部分側面図である。
図面を参照して説明する。図3は本発明の第2の実施の
形態の半導体装置のキャリア基板の電極構造を示す模式
図であり、(a)は上面図、(b)は(a)の断面C−
Cの側面断面図であり、図4は図3の半導体装置のキャ
リア基板を親基板に接合した状態の部分側面図である。
【0019】図3を参照すると、従来円柱状であったキ
ャリア基板302の電極であるはんだ付けランド303
が第2の実施の形態では内部に同心の円筒状の中空部を
有する円筒状となり上部の円周部分にフランジ部分が設
けられており、フランジ部分の外径が従来例の円柱の外
径に相当する。これはスルーホールと類似の構造であり
同様な製法で形成することができる。また、フランジ部
とそのフランジ部に連接する壁面に底面の近くまで2個
所空気抜きのためにスリット304が設けられている。
一方、キャリア基板302には外面に向けて円筒状の凹
部が設けられており、はんだ付けランド303がその凹
部に嵌合しフランジ部分がキャリア基板の外面に当接す
るようにはんだ付けランド303がキャリヤ基板302
に固着されている。
ャリア基板302の電極であるはんだ付けランド303
が第2の実施の形態では内部に同心の円筒状の中空部を
有する円筒状となり上部の円周部分にフランジ部分が設
けられており、フランジ部分の外径が従来例の円柱の外
径に相当する。これはスルーホールと類似の構造であり
同様な製法で形成することができる。また、フランジ部
とそのフランジ部に連接する壁面に底面の近くまで2個
所空気抜きのためにスリット304が設けられている。
一方、キャリア基板302には外面に向けて円筒状の凹
部が設けられており、はんだ付けランド303がその凹
部に嵌合しフランジ部分がキャリア基板の外面に当接す
るようにはんだ付けランド303がキャリヤ基板302
に固着されている。
【0020】キャリア基板302に実装された不図示の
半導体素子は樹脂部301とキャリア基板302とから
なるパッケージに封止されており、半導体素子の外部端
子は、キャリア基板302上にグリッド状に配置される
電極であるはんだ付けランド303を経由して外部に接
続される。
半導体素子は樹脂部301とキャリア基板302とから
なるパッケージに封止されており、半導体素子の外部端
子は、キャリア基板302上にグリッド状に配置される
電極であるはんだ付けランド303を経由して外部に接
続される。
【0021】図4に示すように半導体装置が実装される
親基板401には半導体装置のキャリア基板302のは
んだ付けランド303に対応する位置にはんだ付けラン
ド402が設けられており、親基板401にはんだ印刷
が行われ、次に中空部を有する円筒状のはんだ付けラン
ド303を有するBGAおよびCSPが親基板401の
はんだ付けランド402とそれに対応するBGAおよび
CSPのはんだ付けランド303とが整合するようにB
GAおよびCSPが親基板401に搭載される。
親基板401には半導体装置のキャリア基板302のは
んだ付けランド303に対応する位置にはんだ付けラン
ド402が設けられており、親基板401にはんだ印刷
が行われ、次に中空部を有する円筒状のはんだ付けラン
ド303を有するBGAおよびCSPが親基板401の
はんだ付けランド402とそれに対応するBGAおよび
CSPのはんだ付けランド303とが整合するようにB
GAおよびCSPが親基板401に搭載される。
【0022】次に、これらははんだ付けのためにリフロ
ー炉に投入され、印刷されたはんだ403が溶融し、親
基板401のはんだ付けランド402とBGAおよびC
SPのはんだ付けランド303とにはんだ403が濡れ
広がり始める。 BGAおよびCSPのはんだ付けラン
ド303の中空部には空気が溜まっていて、通常はその
空気が中空部へのはんだ403の侵入を阻害するが、本
発明の第2の実施の形態では図3に示すスリット304
を経由して中空部内の空気が逃げるのではんだ403は
十分に濡れ広がることが可能となる。リフロー炉から取
り出されると、はんだは硬化して親基板401のはんだ
付けランド402にキャリア基板302のはんだ付けラ
ンド303が接合される。
ー炉に投入され、印刷されたはんだ403が溶融し、親
基板401のはんだ付けランド402とBGAおよびC
SPのはんだ付けランド303とにはんだ403が濡れ
広がり始める。 BGAおよびCSPのはんだ付けラン
ド303の中空部には空気が溜まっていて、通常はその
空気が中空部へのはんだ403の侵入を阻害するが、本
発明の第2の実施の形態では図3に示すスリット304
を経由して中空部内の空気が逃げるのではんだ403は
十分に濡れ広がることが可能となる。リフロー炉から取
り出されると、はんだは硬化して親基板401のはんだ
付けランド402にキャリア基板302のはんだ付けラ
ンド303が接合される。
【0023】このように、はんだ付けランド303の構
造を従来の平面から中空部を有する円筒状に変更するこ
とにより、はんだ接合面積を増やすことができ、接合部
の信頼性を向上させることを可能にする。
造を従来の平面から中空部を有する円筒状に変更するこ
とにより、はんだ接合面積を増やすことができ、接合部
の信頼性を向上させることを可能にする。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、次のよう
な効果を有する。
な効果を有する。
【0025】第1の効果は、はんだ接合部の強度と信頼
性の向上とを可能とすることである。これははんだ付け
ランドとはんだとの接合面積が増加し、かつ立体的な接
合となるからである。
性の向上とを可能とすることである。これははんだ付け
ランドとはんだとの接合面積が増加し、かつ立体的な接
合となるからである。
【0026】第2の効果は.はんだ接合部のはんだ量を
減らすことができるので、実装高さを押さえることがで
きることである。これは、はんだ付けランドとはんだと
の接合が立体的になり、はんだがはんだ付けランド内部
に侵入するので少ない量で同じ強度の接合ができ、キャ
リア基板と親基板の間隔を狭くできるからである。
減らすことができるので、実装高さを押さえることがで
きることである。これは、はんだ付けランドとはんだと
の接合が立体的になり、はんだがはんだ付けランド内部
に侵入するので少ない量で同じ強度の接合ができ、キャ
リア基板と親基板の間隔を狭くできるからである。
【図1】本発明の第1の実施の形態の半導体装置のキャ
リア基板の電極構造を示す模式図である。(a)は上面
図である。(b)は(a)の断面A−Aの側面断面図で
ある。(c)は(a)の断面B−Bの側面断面図であ
る。
リア基板の電極構造を示す模式図である。(a)は上面
図である。(b)は(a)の断面A−Aの側面断面図で
ある。(c)は(a)の断面B−Bの側面断面図であ
る。
【図2】図1の半導体装置のキャリア基板を親基板に接
合した状態の部分側面図である。
合した状態の部分側面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態の半導体装置のキャ
リア基板の電極構造を示す模式図である。(a)は上面
図である。(b)は(a)の断面C−Cの側面断面図で
ある。
リア基板の電極構造を示す模式図である。(a)は上面
図である。(b)は(a)の断面C−Cの側面断面図で
ある。
【図4】図3の半導体装置のキャリア基板を親基板に接
合した状態の部分側面図である。
合した状態の部分側面図である。
【図5】図5はBGAタイプパッケージの半導体装置の
外径図である。(a)は側面図である。(b)は下面図
である。
外径図である。(a)は側面図である。(b)は下面図
である。
【図6】図5のBGAタイプパッケージの半導体装置を
親基板に接合した状態の部分側面図である。
親基板に接合した状態の部分側面図である。
101、301、501 樹脂部
102、202、302、502 キャリア基板
103、303、503 はんだ付けランド
104、304 スリット
201、401、601 親基板
202、402、602 はんだ付けランド
203、403、603 はんだ
Claims (4)
- 【請求項1】 半導体装置を親基板にはんだ接続するた
めの該半導体装置のキャリア基板の電極構造であって、 該電極は、中央領域に凹部が形成され、中央領域の該凹
部を取り囲む周囲の壁面に該凹部と該壁面の外部とを連
通する貫通部を有し、 前記電極がフランジ部分を有する半球状であって、内部
に同心の半球面の中空部を有し、該電極の半球部が半導
体装置のキャリア基板に外面に向けて設けられた半球面
状の凹部に嵌合し前記フランジ部分が該キャリア基板の
外面に当接するように該電極が該キャリヤ基板に固着さ
れており、 前記 凹部と前記壁面の外部とを連通する前記貫通部が、
前記フランジ部と該フランジ部に連接する電極の壁面と
に設けられた少なくとも一個のスリットであることを特
徴とする半導体装置のキャリア基板の電極構造。 - 【請求項2】 半導体装置を親基板にはんだ接続するた
めの該半導体装置のキャリア基板の電極構造であって、 該電極は、中央領域に凹部が形成され、中央領域の該凹
部を取り囲む周囲の壁面に該凹部と該壁面の外部とを連
通する貫通部を有し、 前記電極がフランジ部分を有する円筒形状であって、内
部に同心の円筒形状の中空部を有し、該電極の円筒形部
が半導体装置のキャリア基板に外面に向けて設けられた
円筒形状の凹部に嵌合し前記フランジ部分が該キャリア
基板の外面に当接するように該電極が該キャリヤ基板に
固着されており、 前記 凹部と前記壁面の外部とを連通する前記貫通部が、
前記フランジ部と該フランジ部に連接する電極の円筒形
の壁面とにほぼ底部に近い位置まで設けられた少なくと
も一個のスリットであることを特徴とする半導体装置の
キャリア基板の電極構造。 - 【請求項3】 前記半導体装置のパッケージがBGA
(Ball GridArray)タイプである、請求
項1または請求項2に記載の半導体装置のキャリア基板
の電極構造。 - 【請求項4】 前記半導体装置のパッケージがCSP
(Chip Scale Package)タイプであ
る、請求項1または請求項2に記載の半導体装置のキャ
リア基板の電極構造。
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US7343535B2 (en) * | 2002-02-06 | 2008-03-11 | Avago Technologies General Ip Dte Ltd | Embedded testing capability for integrated serializer/deserializers |
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US20050063648A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-03-24 | Wilson Robert Edward | Alignment post for optical subassemblies made with cylindrical rods, tubes, spheres, or similar features |
US7520679B2 (en) * | 2003-09-19 | 2009-04-21 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical device package with turning mirror and alignment post |
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US8101061B2 (en) * | 2004-03-05 | 2012-01-24 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Material and device properties modification by electrochemical charge injection in the absence of contacting electrolyte for either local spatial or final states |
US20050213995A1 (en) * | 2004-03-26 | 2005-09-29 | Myunghee Lee | Low power and low jitter optical receiver for fiber optic communication link |
WO2007129496A1 (ja) * | 2006-04-07 | 2007-11-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品およびその製造方法 |
JP4793169B2 (ja) | 2006-08-24 | 2011-10-12 | 日立電線株式会社 | 接続体および光送受信モジュール |
JP2011187484A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Denso Corp | 電子部品の実装構造 |
US20140264808A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Andreas Wolter | Chip arrangements, chip packages, and a method for manufacturing a chip arrangement |
KR101704260B1 (ko) * | 2015-09-14 | 2017-02-07 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 모듈 및 그 제조방법 |
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JPH0697637A (ja) * | 1992-09-14 | 1994-04-08 | Fuji Electric Co Ltd | プリント配線板 |
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JPH0945805A (ja) * | 1995-07-31 | 1997-02-14 | Fujitsu Ltd | 配線基板、半導体装置及び半導体装置を配線基板から取り外す方法並びに半導体装置の製造方法 |
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JPH10233413A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Nec Kansai Ltd | 半導体装置およびその製造方法並びに配線基板 |
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US6324754B1 (en) * | 1998-03-25 | 2001-12-04 | Tessera, Inc. | Method for fabricating microelectronic assemblies |
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