JP2942532B2 - 多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置 - Google Patents
多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多段階流量式洗浄
方法および多段階流量式洗浄装置に係り、より詳細には
薬液処理した被洗浄物を洗浄槽内に収納して洗浄液を供
給することで、この洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄
する多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
に関する。
方法および多段階流量式洗浄装置に係り、より詳細には
薬液処理した被洗浄物を洗浄槽内に収納して洗浄液を供
給することで、この洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄
する多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェーハ、ガラス基板、電
子基板などの被洗浄物は、薬液処理（エッチング）した
後、この被洗浄物の表面から薬液を除去するために純水
などの洗浄液により洗浄する洗浄工程が必要とされる。
この洗浄工程では、薬液処理した被洗浄物を洗浄槽内に
収納し、この洗浄槽の底面から純水などの洗浄液を供給
することで、この洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄す
る洗浄装置がよく使用されている。
子基板などの被洗浄物は、薬液処理（エッチング）した
後、この被洗浄物の表面から薬液を除去するために純水
などの洗浄液により洗浄する洗浄工程が必要とされる。
この洗浄工程では、薬液処理した被洗浄物を洗浄槽内に
収納し、この洗浄槽の底面から純水などの洗浄液を供給
することで、この洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄す
る洗浄装置がよく使用されている。
【０００３】図１１は、このように洗浄槽に洗浄液を流
出させて液流により被洗浄物を洗浄する従来の洗浄装置
の構造を示す配管図である。図１１に示すように、従来
の洗浄装置は、薬液処理した被洗浄物（図示せず）を収
納する洗浄槽２０と、この洗浄槽２０の底面から純水な
どの洗浄液を供給する供給ライン２４と、この供給ライ
ン２４の途中に接続されて洗浄液の供給を制御するバル
ブ２２とを備えている。ここで、バルブ２２は、電気的
なオン・オフにより供給ラインを開閉する構造を備えて
いる。従って、バルブ２２は、供給ライン２４から流出
する洗浄液を洗浄槽２０に供給および供給停止すること
ができる。
出させて液流により被洗浄物を洗浄する従来の洗浄装置
の構造を示す配管図である。図１１に示すように、従来
の洗浄装置は、薬液処理した被洗浄物（図示せず）を収
納する洗浄槽２０と、この洗浄槽２０の底面から純水な
どの洗浄液を供給する供給ライン２４と、この供給ライ
ン２４の途中に接続されて洗浄液の供給を制御するバル
ブ２２とを備えている。ここで、バルブ２２は、電気的
なオン・オフにより供給ラインを開閉する構造を備えて
いる。従って、バルブ２２は、供給ライン２４から流出
する洗浄液を洗浄槽２０に供給および供給停止すること
ができる。
【０００４】このような従来の洗浄装置を使用する場
合、まず、所定の工程からエッチングなどの薬液処理を
終えた被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚
収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽２０
内に搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽２
０内に搬送すると、供給ライン２４を介して供給された
純水などの洗浄液をバルブ２２を開くことにより洗浄槽
２０内に流入させる。
合、まず、所定の工程からエッチングなどの薬液処理を
終えた被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚
収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽２０
内に搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽２
０内に搬送すると、供給ライン２４を介して供給された
純水などの洗浄液をバルブ２２を開くことにより洗浄槽
２０内に流入させる。
【０００５】ここで図１２は、図１１に示した従来の洗
浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラ
フである。図１１に示すように、洗浄槽２０内に供給さ
れる洗浄液流量は、バルブ２２を開いて洗浄が終了する
まで、常に一定の流量が洗浄槽２０内に供給されてい
る。この一定の流量で供給される洗浄液は、洗浄槽２０
内に収納した洗浄用カセット（図示せず）の内部に流入
することで被洗浄物の表面を洗浄液の液流により洗浄す
る。
浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラ
フである。図１１に示すように、洗浄槽２０内に供給さ
れる洗浄液流量は、バルブ２２を開いて洗浄が終了する
まで、常に一定の流量が洗浄槽２０内に供給されてい
る。この一定の流量で供給される洗浄液は、洗浄槽２０
内に収納した洗浄用カセット（図示せず）の内部に流入
することで被洗浄物の表面を洗浄液の液流により洗浄す
る。
【０００６】このように、従来の洗浄装置は、洗浄槽２
０の底面に接続した供給ライン２４から洗浄液を一定の
流量で供給することで、洗浄用カセット（図示せず）に
収納した被洗浄物の表面を一定に流れる液流により洗浄
していた。
０の底面に接続した供給ライン２４から洗浄液を一定の
流量で供給することで、洗浄用カセット（図示せず）に
収納した被洗浄物の表面を一定に流れる液流により洗浄
していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
洗浄装置では、洗浄槽に供給される洗浄液の液流により
薬液処理で被洗浄物の表面に付着した異物の一部は除去
できるが、一定に供給される洗浄液の液流では一部の頑
固な異物が被洗浄物の表面に残存してしまう。従って、
従来の洗浄装置では、薬液処理で付着した異物を十分に
低減させることが困難であった。また、このような従来
の洗浄装置では、薬液処理で被洗浄物の表面に付着した
頑固な異物を十分に除去するためには多量の洗浄液およ
び長い洗浄時間が必要になる。従って、被洗浄物を十分
に洗浄するためには、洗浄液の削減および洗浄時間の短
縮が困難であった。本発明は、上述の問題点を解決し、
被洗浄物を洗浄液の液流により効果的に洗浄するととも
に被洗浄物の表面に付着する異物の増加を抑制する多段
階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置を提供す
ることを目的とする。
洗浄装置では、洗浄槽に供給される洗浄液の液流により
薬液処理で被洗浄物の表面に付着した異物の一部は除去
できるが、一定に供給される洗浄液の液流では一部の頑
固な異物が被洗浄物の表面に残存してしまう。従って、
従来の洗浄装置では、薬液処理で付着した異物を十分に
低減させることが困難であった。また、このような従来
の洗浄装置では、薬液処理で被洗浄物の表面に付着した
頑固な異物を十分に除去するためには多量の洗浄液およ
び長い洗浄時間が必要になる。従って、被洗浄物を十分
に洗浄するためには、洗浄液の削減および洗浄時間の短
縮が困難であった。本発明は、上述の問題点を解決し、
被洗浄物を洗浄液の液流により効果的に洗浄するととも
に被洗浄物の表面に付着する異物の増加を抑制する多段
階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、被洗浄物を洗浄槽に収納して洗浄液を供
給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する洗
浄方法において、洗浄槽に洗浄液の流量を洗浄中に調節
して液流を変化させて供給することでこの変化する洗浄
液の液流により被洗浄物を洗浄する。ここで、洗浄槽に
供給する洗浄液の流量は、低流量から段階的に高流量に
変化、または低流量から連続的に高流量に変化させるい
ずれかの方法で供給する。また、洗浄液の供給流量は、
少なくとも洗浄槽に供給する洗浄液により被洗浄物が完
全に浸漬するまで低流量で供給する。また、被洗浄物を
洗浄槽に収納して洗浄槽に供給ラインを設けて洗浄液を
供給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する
洗浄装置において、洗浄槽に洗浄液を供給する供給ライ
ンと、この供給ライン上に配設されて洗浄槽に供給する
洗浄液の流量を調節する流量調節手段とを備え、この流
量調節手段により洗浄槽に洗浄液の流量を調節して液流
を変化させて供給することでこの変化する洗浄液の液流
により被洗浄物を洗浄する。
決するために、被洗浄物を洗浄槽に収納して洗浄液を供
給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する洗
浄方法において、洗浄槽に洗浄液の流量を洗浄中に調節
して液流を変化させて供給することでこの変化する洗浄
液の液流により被洗浄物を洗浄する。ここで、洗浄槽に
供給する洗浄液の流量は、低流量から段階的に高流量に
変化、または低流量から連続的に高流量に変化させるい
ずれかの方法で供給する。また、洗浄液の供給流量は、
少なくとも洗浄槽に供給する洗浄液により被洗浄物が完
全に浸漬するまで低流量で供給する。また、被洗浄物を
洗浄槽に収納して洗浄槽に供給ラインを設けて洗浄液を
供給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する
洗浄装置において、洗浄槽に洗浄液を供給する供給ライ
ンと、この供給ライン上に配設されて洗浄槽に供給する
洗浄液の流量を調節する流量調節手段とを備え、この流
量調節手段により洗浄槽に洗浄液の流量を調節して液流
を変化させて供給することでこの変化する洗浄液の液流
により被洗浄物を洗浄する。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
による多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装
置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明によ
る多段階流量式洗浄装置の第１の実施の形態の構造を示
す配管図である。また、図２は、図１に示した多段階流
量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示
すグラフである。
による多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装
置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明によ
る多段階流量式洗浄装置の第１の実施の形態の構造を示
す配管図である。また、図２は、図１に示した多段階流
量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示
すグラフである。
【００１０】図１に示すように、本発明による多段階流
量式洗浄装置の第１の実施の形態は、薬液処理した被洗
浄物（図示せず）を収納する洗浄槽１０と、この洗浄槽
１０の底面に接続して外部から純水などの洗浄液を供給
する供給ライン１４と、この供給ライン１４の途中に配
設して純水などの洗浄液の流量を調節する調節バルブ１
２とを備えている。ここで、調節バルブ１２は、電気的
にオン・オフすることにより供給ライン１４を開閉する
開閉部１２ａと、この開閉部１２ａを通過するように設
けたバイパス１２ｂとを備えている。従って、調節バル
ブ１２は、従来の洗浄装置と異なり、開閉部１２ａから
の供給流量と、バイパス１２ｂからの供給流量とにより
時間経過に伴って洗浄液の流量を２段階に調節すること
ができる。
量式洗浄装置の第１の実施の形態は、薬液処理した被洗
浄物（図示せず）を収納する洗浄槽１０と、この洗浄槽
１０の底面に接続して外部から純水などの洗浄液を供給
する供給ライン１４と、この供給ライン１４の途中に配
設して純水などの洗浄液の流量を調節する調節バルブ１
２とを備えている。ここで、調節バルブ１２は、電気的
にオン・オフすることにより供給ライン１４を開閉する
開閉部１２ａと、この開閉部１２ａを通過するように設
けたバイパス１２ｂとを備えている。従って、調節バル
ブ１２は、従来の洗浄装置と異なり、開閉部１２ａから
の供給流量と、バイパス１２ｂからの供給流量とにより
時間経過に伴って洗浄液の流量を２段階に調節すること
ができる。
【００１１】このように構成された多段階流量式洗浄装
置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗
浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用
カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。洗浄
用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送すると、
純水などの洗浄液を供給ライン１４から洗浄槽１０内に
流出させる。このとき、調節バルブ１２の開閉部１２ａ
は、閉めた状態に維持することで供給ライン１４に供給
された洗浄液がバイパス１２ｂを介して洗浄槽１０内に
流出する。この洗浄槽１０内に流出した洗浄液は、洗浄
用カセット（図示せず）の下部から上部に流入して収納
された被洗浄物の表面を液流により洗浄する。また、調
節バルブ１２は、バイパス１２ｂから供給する洗浄液に
より被洗浄物を一定の時間洗浄した後、開閉部１２ａを
開いてバイパス１２ｂに加えて開閉部１２ａからも洗浄
液を供給する。
置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗
浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用
カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。洗浄
用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送すると、
純水などの洗浄液を供給ライン１４から洗浄槽１０内に
流出させる。このとき、調節バルブ１２の開閉部１２ａ
は、閉めた状態に維持することで供給ライン１４に供給
された洗浄液がバイパス１２ｂを介して洗浄槽１０内に
流出する。この洗浄槽１０内に流出した洗浄液は、洗浄
用カセット（図示せず）の下部から上部に流入して収納
された被洗浄物の表面を液流により洗浄する。また、調
節バルブ１２は、バイパス１２ｂから供給する洗浄液に
より被洗浄物を一定の時間洗浄した後、開閉部１２ａを
開いてバイパス１２ｂに加えて開閉部１２ａからも洗浄
液を供給する。
【００１２】このように第１の実施の形態では、図２に
示すように、最初の１段階にバルブ１２を閉めた状態で
バイパス１２ｂから低流量で流出する洗浄液の液流によ
り被洗浄物を洗浄する。次に、１段階で被洗浄物の洗浄
を一定時間実行した後、２段階として調節バルブ１２の
開閉部１２ａを開いて、バイパス１２ｂおよび開閉部１
２ａから同時に洗浄液を供給して高流量で被洗浄物の洗
浄を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄
液は、この洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を２段階に
変化する洗浄液の液流により洗浄する。このように第１
の実施の形態によると、被洗浄物を洗浄する際に、時間
経過に伴って２段階の純水流量で洗浄処理するため、被
洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄
時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。
示すように、最初の１段階にバルブ１２を閉めた状態で
バイパス１２ｂから低流量で流出する洗浄液の液流によ
り被洗浄物を洗浄する。次に、１段階で被洗浄物の洗浄
を一定時間実行した後、２段階として調節バルブ１２の
開閉部１２ａを開いて、バイパス１２ｂおよび開閉部１
２ａから同時に洗浄液を供給して高流量で被洗浄物の洗
浄を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄
液は、この洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を２段階に
変化する洗浄液の液流により洗浄する。このように第１
の実施の形態によると、被洗浄物を洗浄する際に、時間
経過に伴って２段階の純水流量で洗浄処理するため、被
洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄
時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。
【００１３】次に、図３および図４を参照して本発明に
よる多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
の第２の実施の形態を詳細に説明する。図３は、本発明
による多段階流量式洗浄装置の第２の実施の形態の構造
を示す配管図である。また、図４は、図３に示した多段
階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化
を示すグラフである。ここで、第２の実施の形態は、第
１の実施の形態での調節バルブ１２を複数装着したもの
であり、同一構成要素には同一符号を記載するととも
に、重複する説明は省略する。
よる多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
の第２の実施の形態を詳細に説明する。図３は、本発明
による多段階流量式洗浄装置の第２の実施の形態の構造
を示す配管図である。また、図４は、図３に示した多段
階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化
を示すグラフである。ここで、第２の実施の形態は、第
１の実施の形態での調節バルブ１２を複数装着したもの
であり、同一構成要素には同一符号を記載するととも
に、重複する説明は省略する。
【００１４】図３に示すように、本発明による多段階流
量式洗浄装置の第２の実施の形態は、被洗浄物を収納す
る洗浄槽１０と、純水などの洗浄液を供給する供給ライ
ン１４と、この供給ライン１４に直列に配設された複数
の調節バルブ１２−１、１２−２およびバルブ１６とを
備えている。また、バルブ１６は、電気的にオン・オフ
することにより供給ラインを開閉するように設けてあ
る。さらに、調節バルブ１２−１、１２−２は、電気的
にオン・オフすることにより供給ライン１４を開閉する
開閉部１２ａと、この開閉部１２ａを通過するように設
けたバイパス１２ｂとを備えている。従って、第２の実
施の形態は、調節バルブ１２−１、１２−２およびバル
ブ１６により時間経過に伴って洗浄液の流量を複数段階
に変化させることができる。
量式洗浄装置の第２の実施の形態は、被洗浄物を収納す
る洗浄槽１０と、純水などの洗浄液を供給する供給ライ
ン１４と、この供給ライン１４に直列に配設された複数
の調節バルブ１２−１、１２−２およびバルブ１６とを
備えている。また、バルブ１６は、電気的にオン・オフ
することにより供給ラインを開閉するように設けてあ
る。さらに、調節バルブ１２−１、１２−２は、電気的
にオン・オフすることにより供給ライン１４を開閉する
開閉部１２ａと、この開閉部１２ａを通過するように設
けたバイパス１２ｂとを備えている。従って、第２の実
施の形態は、調節バルブ１２−１、１２−２およびバル
ブ１６により時間経過に伴って洗浄液の流量を複数段階
に変化させることができる。
【００１５】このように構成された多段階流量式洗浄装
置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗
浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用
カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。被洗
浄物を収納した洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１
０内に搬送すると、純水などの洗浄液を供給ライン１４
から洗浄槽１０内に流出させる。このとき、調節バルブ
１２−１、１２−２は、開閉部１２ａ−１、１２ａ−２
を閉めた状態に維持する。ここで、バルブ１６を開ける
ことにより、調節バルブ１２−１、１２−２のバイパス
１２ｂ−１、１２ｂ−２を介して洗浄槽１０内に洗浄液
が供給されて被洗浄物を洗浄する。
置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗
浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用
カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。被洗
浄物を収納した洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１
０内に搬送すると、純水などの洗浄液を供給ライン１４
から洗浄槽１０内に流出させる。このとき、調節バルブ
１２−１、１２−２は、開閉部１２ａ−１、１２ａ−２
を閉めた状態に維持する。ここで、バルブ１６を開ける
ことにより、調節バルブ１２−１、１２−２のバイパス
１２ｂ−１、１２ｂ−２を介して洗浄槽１０内に洗浄液
が供給されて被洗浄物を洗浄する。
【００１６】また、このような状態で一定の時間洗浄を
行った後には、調節バルブ１２−２の開閉部１２ａ−２
を閉めた状態から開けた状態にする。これにより洗浄槽
１０には、調節バルブ１２−１のバイパス１２ｂ−１を
介して、バイパス１２ｂ−２、および開閉部１２ａ−２
から高流量の洗浄液が流出することで被洗浄物の表面を
洗浄する。さらに、このような高流量で一定の時間洗浄
を行った後、調節バルブ１２−１の開閉部１２ａ−１を
閉めた状態から開けた状態にする。これにより、洗浄槽
１０には、調節バルブ１２−１、１２−２から更に高流
量の洗浄液が供給されて被洗浄物の表面を洗浄する。
行った後には、調節バルブ１２−２の開閉部１２ａ−２
を閉めた状態から開けた状態にする。これにより洗浄槽
１０には、調節バルブ１２−１のバイパス１２ｂ−１を
介して、バイパス１２ｂ−２、および開閉部１２ａ−２
から高流量の洗浄液が流出することで被洗浄物の表面を
洗浄する。さらに、このような高流量で一定の時間洗浄
を行った後、調節バルブ１２−１の開閉部１２ａ−１を
閉めた状態から開けた状態にする。これにより、洗浄槽
１０には、調節バルブ１２−１、１２−２から更に高流
量の洗浄液が供給されて被洗浄物の表面を洗浄する。
【００１７】このように第２の実施の形態では、図４に
示すように、最初の１段階にバルブ１６を開いて流出す
る洗浄液により被洗浄物を洗浄する。また、１段階によ
る被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、２段階として
調節バルブ１２−２の開閉部１２ａ−２を開いて、被洗
浄物の洗浄を実行する。さらに、２段階による被洗浄物
の洗浄を一定時間実行した後、３段階として調節バルブ
１２−１の開閉部１２ａ−１を開いて、被洗浄物の洗浄
を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液
は、３段階に変化する洗浄液の液流により、洗浄槽１０
内に収納した被洗浄物を洗浄することができる。
示すように、最初の１段階にバルブ１６を開いて流出す
る洗浄液により被洗浄物を洗浄する。また、１段階によ
る被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、２段階として
調節バルブ１２−２の開閉部１２ａ−２を開いて、被洗
浄物の洗浄を実行する。さらに、２段階による被洗浄物
の洗浄を一定時間実行した後、３段階として調節バルブ
１２−１の開閉部１２ａ−１を開いて、被洗浄物の洗浄
を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液
は、３段階に変化する洗浄液の液流により、洗浄槽１０
内に収納した被洗浄物を洗浄することができる。
【００１８】このように第２の実施の形態によると、被
洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って３段階の純水
流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表面に付着した異
物を効果的に除去でき、洗浄時間の短縮および洗浄液の
削減を実現できる。また第２の実施の形態は、第１の実
施の形態に比べてより効果的な洗浄を実行することがで
きる。
洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って３段階の純水
流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表面に付着した異
物を効果的に除去でき、洗浄時間の短縮および洗浄液の
削減を実現できる。また第２の実施の形態は、第１の実
施の形態に比べてより効果的な洗浄を実行することがで
きる。
【００１９】次に、図５および図６を参照して本発明に
よる多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
の第３の実施の形態を詳細に説明する。図５は、本発明
による多段階流量式洗浄装置の第３の実施の形態の構造
を示す配管図である。また、図６は、図５に示した多段
階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化
を示すグラフである。ここで、第３の実施の形態は、第
１の実施の形態での調節バルブ１２以外は同じ構成要素
であり、同一構成要素には同一符号を記載するととも
に、重複する説明は省略する。
よる多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
の第３の実施の形態を詳細に説明する。図５は、本発明
による多段階流量式洗浄装置の第３の実施の形態の構造
を示す配管図である。また、図６は、図５に示した多段
階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化
を示すグラフである。ここで、第３の実施の形態は、第
１の実施の形態での調節バルブ１２以外は同じ構成要素
であり、同一構成要素には同一符号を記載するととも
に、重複する説明は省略する。
【００２０】図５に示すように、本発明による多段階流
量式洗浄装置の第３の実施の形態は、被洗浄物を収納す
る洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底部から並列に２つ
分岐して純水などの洗浄液を各々供給する供給ライン１
４−１、１４−２と、この並列に配列する供給ライン１
４−１、１４−２に各々配設されたバルブ１６−１、１
６−２とを備えている。また、バルブ１６−１、１６−
２は、電気的にオン・オフすることにより供給ラインを
開閉するように設けてある。また、バルブ１６−２は、
バルブ１６−１に比べて洗浄液の流量を多く供給できる
ように設けてある。従って、第３の実施の形態は、バル
ブ１６−１からの供給流量と、バルブ１６−２からの供
給流量と、この両方のバルブ１６−１、１６−２から同
時に供給する供給流量とにより、時間経過に伴って洗浄
液の流量を３段階に変化させることができる。
量式洗浄装置の第３の実施の形態は、被洗浄物を収納す
る洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底部から並列に２つ
分岐して純水などの洗浄液を各々供給する供給ライン１
４−１、１４−２と、この並列に配列する供給ライン１
４−１、１４−２に各々配設されたバルブ１６−１、１
６−２とを備えている。また、バルブ１６−１、１６−
２は、電気的にオン・オフすることにより供給ラインを
開閉するように設けてある。また、バルブ１６−２は、
バルブ１６−１に比べて洗浄液の流量を多く供給できる
ように設けてある。従って、第３の実施の形態は、バル
ブ１６−１からの供給流量と、バルブ１６−２からの供
給流量と、この両方のバルブ１６−１、１６−２から同
時に供給する供給流量とにより、時間経過に伴って洗浄
液の流量を３段階に変化させることができる。
【００２１】このように構成された本発明による多段階
流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から
被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納
し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に
搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内
に搬送すると、純水などの洗浄液を洗浄槽１０内に流出
させる。このとき、バルブ１６−２は、閉めた状態に維
持する。また、バルブ１６−１は、閉めた状態から徐々
に開いた状態にする。これにより、バルブ１６−１を介
して洗浄槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物を洗浄
する。
流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から
被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納
し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に
搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内
に搬送すると、純水などの洗浄液を洗浄槽１０内に流出
させる。このとき、バルブ１６−２は、閉めた状態に維
持する。また、バルブ１６−１は、閉めた状態から徐々
に開いた状態にする。これにより、バルブ１６−１を介
して洗浄槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物を洗浄
する。
【００２２】また、このような状態で一定の時間洗浄を
行った後には、バルブ１６−１を閉じると同時に、バル
ブ１６−２を閉めた状態から開けた状態にする。これに
より洗浄槽１０には、バルブ１６−２を介して洗浄液が
供給されて被洗浄物を洗浄する。さらに、このような状
態で一定の時間洗浄を行った後、バルブ１６−１、１６
−２を同時に開いた状態にする。これにより、洗浄槽１
０には、バルブ１６−１、１６−２から高流量の洗浄液
が供給されて被洗浄物を洗浄する。
行った後には、バルブ１６−１を閉じると同時に、バル
ブ１６−２を閉めた状態から開けた状態にする。これに
より洗浄槽１０には、バルブ１６−２を介して洗浄液が
供給されて被洗浄物を洗浄する。さらに、このような状
態で一定の時間洗浄を行った後、バルブ１６−１、１６
−２を同時に開いた状態にする。これにより、洗浄槽１
０には、バルブ１６−１、１６−２から高流量の洗浄液
が供給されて被洗浄物を洗浄する。
【００２３】このように第３の実施の形態では、図６に
示すように、最初の１段階にバルブ１６−１を開くこと
により被洗浄物を洗浄する。また、１段階による被洗浄
物の洗浄を一定時間実行した後、２段階としてバルブ１
６−１を閉めてバルブ１６−２を開くことにより被洗浄
物の洗浄を実行する。さらに、２段階による被洗浄物の
洗浄を一定時間実行した後、３段階としてバルブ１６−
１、１６−２を同時に開いて被洗浄物の洗浄を実行す
る。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液は、この
洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を３段階に変化する洗
浄液の液流により洗浄することができる。
示すように、最初の１段階にバルブ１６−１を開くこと
により被洗浄物を洗浄する。また、１段階による被洗浄
物の洗浄を一定時間実行した後、２段階としてバルブ１
６−１を閉めてバルブ１６−２を開くことにより被洗浄
物の洗浄を実行する。さらに、２段階による被洗浄物の
洗浄を一定時間実行した後、３段階としてバルブ１６−
１、１６−２を同時に開いて被洗浄物の洗浄を実行す
る。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液は、この
洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を３段階に変化する洗
浄液の液流により洗浄することができる。
【００２４】このような構成による第３の実施の形態に
よると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って洗
浄液の流量を３段階に変化させて洗浄処理するため、被
洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄
時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。また第３
の実施の形態は、第２の実施の形態と同じ効果を得るこ
とができる。
よると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って洗
浄液の流量を３段階に変化させて洗浄処理するため、被
洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄
時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。また第３
の実施の形態は、第２の実施の形態と同じ効果を得るこ
とができる。
【００２５】次に、図７および図８を参照して本発明に
よる多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
の第４の実施の形態を詳細に説明する。図７は、本発明
による多段階流量式洗浄装置の第４の実施の形態の構造
を示す配管図である。また、図８は、図７に示した多段
階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化
を示すグラフである。ここで、第４の実施の形態は、第
１の実施の形態での調節バルブ１２以外は同じ構成要素
であり、同一構成要素には同一符号を記載するととも
に、重複する説明は省略する。
よる多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置
の第４の実施の形態を詳細に説明する。図７は、本発明
による多段階流量式洗浄装置の第４の実施の形態の構造
を示す配管図である。また、図８は、図７に示した多段
階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化
を示すグラフである。ここで、第４の実施の形態は、第
１の実施の形態での調節バルブ１２以外は同じ構成要素
であり、同一構成要素には同一符号を記載するととも
に、重複する説明は省略する。
【００２６】図７に示すように、本発明による多段階流
量式洗浄装置の第４の実施の形態は、被洗浄物を収納す
る洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底部から純水などの
洗浄液を供給する供給ライン１４と、この供給ライン１
４に配設されたバルブ１６と、このバルブ１６から供給
された洗浄液を流量調整するレギュレータ１８とを備え
ている。また、バルブ１６は、電気的にオン・オフする
ことにより供給ラインを開閉するように設けてある。ま
た、レギュレータ１８は、バルブ１６から供給される洗
浄液を電圧またはエアー駆動圧により流量調整するよう
に設けてある。従って、第４の実施の形態は、バルブ１
６からの供給流量をレギュレータ１８が時間経過に伴っ
て連続的に変化させることができる。
量式洗浄装置の第４の実施の形態は、被洗浄物を収納す
る洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底部から純水などの
洗浄液を供給する供給ライン１４と、この供給ライン１
４に配設されたバルブ１６と、このバルブ１６から供給
された洗浄液を流量調整するレギュレータ１８とを備え
ている。また、バルブ１６は、電気的にオン・オフする
ことにより供給ラインを開閉するように設けてある。ま
た、レギュレータ１８は、バルブ１６から供給される洗
浄液を電圧またはエアー駆動圧により流量調整するよう
に設けてある。従って、第４の実施の形態は、バルブ１
６からの供給流量をレギュレータ１８が時間経過に伴っ
て連続的に変化させることができる。
【００２７】このように構成された本発明による多段階
流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から
被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納
し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に
搬送する。被洗浄物を収納した洗浄用カセット（図示せ
ず）を洗浄槽１０内に搬送すると、純水などの洗浄液を
洗浄槽１０内に流出させる。このとき、バルブ１６を開
けた状態にするとともに、レギュレータ１８を駆動さ
せ、洗浄槽１０内に連続的に洗浄液の流量を変化させて
供給する。これにより、レギュレータ１８を介し、洗浄
槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物が洗浄される。
流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から
被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納
し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に
搬送する。被洗浄物を収納した洗浄用カセット（図示せ
ず）を洗浄槽１０内に搬送すると、純水などの洗浄液を
洗浄槽１０内に流出させる。このとき、バルブ１６を開
けた状態にするとともに、レギュレータ１８を駆動さ
せ、洗浄槽１０内に連続的に洗浄液の流量を変化させて
供給する。これにより、レギュレータ１８を介し、洗浄
槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物が洗浄される。
【００２８】このように第４の実施の形態では、図８に
示すように、バルブ１６を開くことでレギュレータ１８
が洗浄液の流量を連続増加させる。また、レギュレータ
１８は、所定の時間が経過すると、洗浄液の流量を一定
の流量で供給する。このように被洗浄物は、レギュレー
タ１８が洗浄槽１０内に供給する洗浄液により、最初は
連続的に増加する洗浄液の液流により洗浄され、所定の
時間が経過すると一定の流量で洗浄される。
示すように、バルブ１６を開くことでレギュレータ１８
が洗浄液の流量を連続増加させる。また、レギュレータ
１８は、所定の時間が経過すると、洗浄液の流量を一定
の流量で供給する。このように被洗浄物は、レギュレー
タ１８が洗浄槽１０内に供給する洗浄液により、最初は
連続的に増加する洗浄液の液流により洗浄され、所定の
時間が経過すると一定の流量で洗浄される。
【００２９】このような構成による第４の実施の形態に
よると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って連
続増加する純水流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表
面に付着した汚染物質を効果的に除去することができ、
洗浄時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。この
ように、本発明による多段階流量式洗浄方法および多段
階流量式洗浄装置の実施の形態を説明したが更に実施例
により詳細に説明する。
よると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って連
続増加する純水流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表
面に付着した汚染物質を効果的に除去することができ、
洗浄時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。この
ように、本発明による多段階流量式洗浄方法および多段
階流量式洗浄装置の実施の形態を説明したが更に実施例
により詳細に説明する。
【００３０】実施例 図９は、図１１に示した従来の洗浄装置により洗浄実験
を行った異物の増加数を示すグラフである。また、図１
０は図１に示した本発明による多段階流量式洗浄装置に
より洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラフであ
る。図９に示すように、従来の洗浄装置においての洗浄
実験は、被洗浄物を１０Ｌ／ｍｉｎおよび３０Ｌ／ｍｉ
ｎの純水流量で各々１０ｍｉｎ、１５ｍｉｎ、および２
０ｍｉｎの処理時間で洗浄実験を行った。
を行った異物の増加数を示すグラフである。また、図１
０は図１に示した本発明による多段階流量式洗浄装置に
より洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラフであ
る。図９に示すように、従来の洗浄装置においての洗浄
実験は、被洗浄物を１０Ｌ／ｍｉｎおよび３０Ｌ／ｍｉ
ｎの純水流量で各々１０ｍｉｎ、１５ｍｉｎ、および２
０ｍｉｎの処理時間で洗浄実験を行った。
【００３１】また、図１０に示すように、本発明による
多段階流量式洗浄装置は、従来の洗浄装置と比較するた
めに、被洗浄物を１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で１ｍｉｎお
よび３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計１１ｍ
ｉｎの洗浄と、１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で３ｍｉｎおよ
び３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計１３ｍｉ
ｎの洗浄と、１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で１０ｍｉｎおよ
び３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計２０ｍｉ
ｎの洗浄とによる各々３種類の洗浄実験を行った。
多段階流量式洗浄装置は、従来の洗浄装置と比較するた
めに、被洗浄物を１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で１ｍｉｎお
よび３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計１１ｍ
ｉｎの洗浄と、１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で３ｍｉｎおよ
び３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計１３ｍｉ
ｎの洗浄と、１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で１０ｍｉｎおよ
び３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計２０ｍｉ
ｎの洗浄とによる各々３種類の洗浄実験を行った。
【００３２】ここで、被洗浄物は、ベアのシリコン基板
を酸化シリコン膜に覆われたシリコン基板で挟んでフッ
素酸により処理された基板を使用する。また、図９およ
び図１０に示した異物増加数は、薬液処理前および洗浄
処理後に被洗浄物の表面に付着した異物数を測定し、こ
の洗浄処理後の異物数から薬液処理前の異物数を引いた
数を示している。また、図９および図１０に示したグラ
フでは、０．１３〜０．３μｍの大きさの異物をハッチ
ングした棒グラフで、０．３μｍ以上の大きさの異物を
白地の棒グラフで各々示している。
を酸化シリコン膜に覆われたシリコン基板で挟んでフッ
素酸により処理された基板を使用する。また、図９およ
び図１０に示した異物増加数は、薬液処理前および洗浄
処理後に被洗浄物の表面に付着した異物数を測定し、こ
の洗浄処理後の異物数から薬液処理前の異物数を引いた
数を示している。また、図９および図１０に示したグラ
フでは、０．１３〜０．３μｍの大きさの異物をハッチ
ングした棒グラフで、０．３μｍ以上の大きさの異物を
白地の棒グラフで各々示している。
【００３３】図９に示したように、従来の洗浄装置は、
純水流量が１０Ｌ／ｍｉｎ、３０Ｌ／ｍｉｎのどちらと
も処理時間が延長されることで異物増加が減少する傾向
にあるが、２０ｍｉｎ間、洗浄処理を実行しても、常時
約２００個〜１０００個の異物が常に残存してしまうこ
とが分かる。一方、図１０に示した本発明による多段階
流量式洗浄装置は、低流量で３ｍｉｎおよび高流量で１
０ｍｉｎの計１３ｍｉｎの洗浄処理を行うことで、従来
の洗浄装置と比べて約２００個以下に異物増加を抑制し
ていることが分かる。従って、本発明による多段階流量
式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置を用いることに
より、異物の増加を低減させ、且つ洗浄時間の短縮、お
よび洗浄における洗浄液の使用量を効果的に削減するこ
とが可能である。
純水流量が１０Ｌ／ｍｉｎ、３０Ｌ／ｍｉｎのどちらと
も処理時間が延長されることで異物増加が減少する傾向
にあるが、２０ｍｉｎ間、洗浄処理を実行しても、常時
約２００個〜１０００個の異物が常に残存してしまうこ
とが分かる。一方、図１０に示した本発明による多段階
流量式洗浄装置は、低流量で３ｍｉｎおよび高流量で１
０ｍｉｎの計１３ｍｉｎの洗浄処理を行うことで、従来
の洗浄装置と比べて約２００個以下に異物増加を抑制し
ていることが分かる。従って、本発明による多段階流量
式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置を用いることに
より、異物の増加を低減させ、且つ洗浄時間の短縮、お
よび洗浄における洗浄液の使用量を効果的に削減するこ
とが可能である。
【００３４】以上、本発明によってなされた多段階流量
式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置の実施の形態を
詳細に説明したが、本発明は前述の実施の形態に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可
能である。例えば、本実施の形態で説明した調節バルブ
１２の数は、本実施の形態で説明した数に限定されるも
のではなく、必要に応じて増やしてもよい。
式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置の実施の形態を
詳細に説明したが、本発明は前述の実施の形態に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可
能である。例えば、本実施の形態で説明した調節バルブ
１２の数は、本実施の形態で説明した数に限定されるも
のではなく、必要に応じて増やしてもよい。
【００３５】
【発明の効果】このように、本発明による多段階流量式
洗浄方法および多段階流量式洗浄装置によれば、洗浄処
理中に供給する純水流量を断続的または連続的のいずれ
かに変化させることで異物増加を低減し、且つ効率的な
洗浄処理を実行することが可能である。
洗浄方法および多段階流量式洗浄装置によれば、洗浄処
理中に供給する純水流量を断続的または連続的のいずれ
かに変化させることで異物増加を低減し、且つ効率的な
洗浄処理を実行することが可能である。
【図１】本発明による多段階流量式洗浄装置の第１の実
施の形態の構造を示す配管図。
施の形態の構造を示す配管図。
【図２】図１に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
【図３】本発明による多段階流量式洗浄装置の第２の実
施の形態の構造を示す配管図。
施の形態の構造を示す配管図。
【図４】図３に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
【図５】本発明による多段階流量式洗浄装置の第３の実
施の形態の構造を示す配管図。
施の形態の構造を示す配管図。
【図６】図５に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
【図７】本発明による多段階流量式洗浄装置の第４の実
施の形態の構造を示す配管図。
施の形態の構造を示す配管図。
【図８】図７に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
【図９】図１１に示した従来の洗浄装置により洗浄実験
を行った異物の増加数を示すグラフ。
を行った異物の増加数を示すグラフ。
【図１０】図１に示した本発明による多段階流量式洗浄
装置により洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラ
フ。
装置により洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラ
フ。
【図１１】従来の洗浄装置の構造を示す配管図。
【図１２】図１１に示した従来の洗浄装置が洗浄中に供
給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
１０ 洗浄槽 １２ 調節バルブ １２ａ 開閉部 １２ｂ バイパス １４ 供給ライン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 裕介 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社島田製作所内 (72)発明者 大石 哲士 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社島田製作所内 (72)発明者 大森 雅司 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社島田製作所内 (72)発明者 田中 博司 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三菱電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平７−201800（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−181435（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−189521（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−291228（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B08B 3/04 - 3/10 H01L 21/304 341
Claims (3)
- 【請求項１】 被洗浄物を洗浄槽に収納し、この洗浄槽
に洗浄液を供給することで前記洗浄液の液流により前記
被洗浄物を洗浄する洗浄方法において、 前記洗浄槽に供給する洗浄液の流量を洗浄中に調節し、
前記洗浄槽に洗浄液の液流を段階的または連続的のいず
れかにより低流量から高流量に変化させて供給すること
で、この変化する洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗
浄することを特徴とする多段階流量式洗浄方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の多段階流量式洗浄方法
において、 前記洗浄液の供給流量は、少なくとも前記洗浄槽に供給
する洗浄液により前記被洗浄物が完全に浸漬するまでの
間、低流量で供給することを特徴とする多段階流量式洗
浄方法。 - 【請求項３】 被洗浄物を洗浄槽に収納し、この洗浄槽
に供給ラインを設けて洗浄液を供給することで前記洗浄
液の液流により前記被洗浄物を洗浄する洗浄装置におい
て、 前記洗浄槽に洗浄液を供給する前記供給ラインと、 前記供給ライン上に電圧またはエアー駆動圧により流量
調整するレギュレータを配設し、前記洗浄槽に供給する
洗浄液の流量を連続的に増加させる流量調節手段とを備
え、 前記流量調節手段により前記洗浄槽に供給する洗浄液の
流量を連続的に増加させて前記洗浄槽内に洗浄液の液流
を変化させて供給することで、この変化する洗浄液の液
流により前記被洗浄物を洗浄することを特徴とする多段
階流量式洗浄装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10036310A JP2942532B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | 多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置 |
| TW087120497A TW554433B (en) | 1998-02-18 | 1998-12-10 | Multi-step flow cleaning method and multi-step flow cleaning apparatus |
| DE19882373T DE19882373T1 (de) | 1998-02-18 | 1998-12-18 | Mehrstufiges Fliessreinigungsverfahren und mehrstufige Fliessreinigungsvorrichtung |
| US09/402,877 US6432218B1 (en) | 1998-02-18 | 1998-12-18 | Multi-step flow cleaning method and multi-step flow cleaning apparatus |
| KR1019997009491A KR20010006404A (ko) | 1998-02-18 | 1998-12-18 | 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치 |
| PCT/JP1998/005751 WO1999042227A1 (fr) | 1998-02-18 | 1998-12-18 | Procede et dispositif de lavage a plusieurs niveaux de debit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10036310A JP2942532B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | 多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11226527A JPH11226527A (ja) | 1999-08-24 |
| JP2942532B2 true JP2942532B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=12466283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10036310A Expired - Fee Related JP2942532B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | 多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6432218B1 (ja) |
| JP (1) | JP2942532B2 (ja) |
| KR (1) | KR20010006404A (ja) |
| DE (1) | DE19882373T1 (ja) |
| TW (1) | TW554433B (ja) |
| WO (1) | WO1999042227A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202005013613U1 (de) * | 2005-08-29 | 2005-11-10 | Testo Ag | Vorrichtung zur Kalibrierung eines Feuchtesensors sowie Sensoranordnung mit einem kalibrierbaren Feuchtesensor |
| JP2011176118A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 |
| KR101705375B1 (ko) * | 2010-02-24 | 2017-02-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액처리 장치, 액처리 방법 및 기록 매체 |
| JP6446769B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2019-01-09 | 株式会社リコー | 洗浄装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3757806A (en) * | 1972-01-19 | 1973-09-11 | Us Army | Pulsating hydrojet lavage device |
| US3749110A (en) * | 1972-04-05 | 1973-07-31 | Dow Chemical Co | Sludge filtration device |
| US4059128A (en) * | 1976-03-12 | 1977-11-22 | Dresser Industries, Inc. | Digital pressure standard |
| US4397505A (en) * | 1981-03-16 | 1983-08-09 | Kelsey-Hayes Company | Control valve |
| JPS62188324A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-17 | Nec Corp | 水洗装置 |
| US4997490A (en) * | 1990-08-02 | 1991-03-05 | Bold Plastics, Inc. | Method of cleaning and rinsing wafers |
| JP3259412B2 (ja) * | 1993-02-22 | 2002-02-25 | ソニー株式会社 | ウエハ洗浄方法 |
| US5467789A (en) * | 1994-01-24 | 1995-11-21 | Sony Electronics Inc. | System for removal of phosphor from CRT panels |
| JP3146841B2 (ja) * | 1994-03-28 | 2001-03-19 | 信越半導体株式会社 | ウエーハのリンス装置 |
| JPH0997779A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Hitachi Ltd | 洗浄装置 |
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