KR20010006404A

KR20010006404A - 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치

Info

Publication number: KR20010006404A
Application number: KR1019997009491A
Authority: KR
Inventors: 히로카와마사토시; 소노다하루키; 아베유스케; 오이시테쓰지; 오모리마사시; 타나카히로시
Original assignee: 하시모토 나오키; 에스피씨 일렉트로닉스 코포레이션
Priority date: 1998-02-18
Filing date: 1998-12-18
Publication date: 2001-01-26
Also published as: WO1999042227A1; TW554433B; JPH11226527A; DE19882373T1; JP2942532B2; US6432218B1

Abstract

피세정물을 세정액의 액류에 의해 효과적으로 세정함과 동시에 피세정물의 표면에 부착되는 이물질의 증가를 억제하는 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치를 제공한다. 피세정물을 수납하는 세정조(10)를 설치하고, 이 세정조의 저면으로부터 순수등의 세정액을 공급하는 공급라인(14)을 구비하여, 이 공급라인(14)의 도중에 세정액의 유량을 조절하는 밸브(12)를 배설한다. 이 밸브(12)에는, 공급라인(14)을 개폐하여 세정액의 유출을 제어하는 개폐부(12a)와, 이 개폐부(12a)를 통과하여 세정액을 공급하는 바이패스(12b)를 구비한다. 또한 밸브(12)는, 바이패스(12b)로부터의 공급유량과, 개폐부(12a)로 부터의 공급유량에 의해 세정조(10)에 공급하는 세정액의 공급유량을 2단계로 조절할 수 있도록 설치한다.

Description

다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치{Multistage flow-rate washing method and multistage flow-rate washing device}

종래, 반도체웨이퍼, 유리기판, 전자기판등의 피세정물은, 약액처리(에칭)된 후, 이 피세정물의 표면으로부터 약액을 제거하기 위해서 순수등의 세정액으로 세정하는 세정공정이 필요하게 된다. 이 세정공정에서는, 약액처리한 피세정물을 세정조내에 수납하여, 이 세정조의 저면으로부터 순수등의 세정액을 공급함으로써, 이 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정하는 세정장치가 널리 사용되고 있다.

도 11은, 이와 같은 세정조에 세정액을 유출시켜 액류에 의해 피세정물을 세정하는 종래의 세정장치의 구조를 나타내는 배관도면이다.

도 11에 나타낸 바와 같이, 종래의 세정장치는, 약액처리한 피세정물(미도시)을 수납하는 세정조(20)와, 이 세정조(20)의 저면으로부터 순수등의 세정액을 공급하는 공급라인(24)과, 이 공급라인(24)의 도중에 접속되어 세정액의 공급을 제어하는 밸브(22)를 구비하고 있다.

여기에서, 밸브(22)는, 전기적인 온·오프에 의해 공급라인을 개폐하는 구조를 구비하고 있다. 따라서, 밸브(22)는, 공급라인(24)으로부터 유출되는 세정액을 세정조(20)로 공급 및 공급정지할 수 있다.

이러한 종래의 세정장치를 사용하는 경우, 우선, 소정의 공정에서 에칭등의 약액처리를 완료한 피세정물을 세정용카세트(미도시)에 복수매 수납하여, 이 세정용카세트(미도시)를 세정조(20)내로 반송한다. 세정용카세트(미도시)를 세정조(20)내에 반송하면, 공급라인(24)을 통해 공급된 순수등의 세정액을 밸브(22)를 열어 세정조(20)내로 유입시킨다.

여기에서, 도 12는, 도 11에 나타낸 종래의 세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 세정조(20)내에 공급되는 세정액유량은, 밸브(22)를 열어 세정이 종료할 때까지, 항상 일정한 유량이 세정조(20)내에 공급되고 있다. 이 일정한 유량으로 공급되는 세정액은, 세정조(20)내에 수납한 세정용카세트(미도시)의 내부에 유입함으로써 피세정물의 표면을 세정액의 액류에 의해 세정한다.

이와 같이, 종래의 세정장치는, 세정조(20)의 저면에 접속된 공급라인(24)으로부터 세정액을 일정한 유량으로 공급하는 것으로, 세정용카세트(미도시)에 수납한 피세정물의 표면을 일정하게 흐르는 액류에 의해 세정하고 있었다.

그렇지만, 종래의 세정장치로는, 세정조에 공급되는 세정액의 액류에 의해 약액처리로 피세정물의 표면에 부착된 이물질의 일부는 제거할 수 있지만, 일정하게 공급되는 세정액의 액류로서는 일부의 밀착된 이물질이 피세정물의 표면에 잔존하게 된다. 따라서, 종래의 세정장치로는, 약액처리로 부착된 이물질을 충분히 저감시키는 것이 곤란하였다.

또한, 이러한 종래의 세정장치로는, 약액처리로 피세정물의 표면에 부착되어 밀착된 이물질을 충분히 제거하기 위해서는 다량의 세정액과 긴 세정시간이 필요하게 된다. 따라서, 피세정물을 충분히 세정하기 위해서는, 세정액의 삭감 및 세정시간의 단축이 곤란하였다.

본 발명은, 상술의 문제점을 해결하여, 피세정물을 세정액의 액류에 의해 효과적으로 세정함과 동시에 피세정물의 표면에 부착되는 이물질의 증가를 억제하는 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 약액처리한 피세정물을 세정조내에 수납하여 세정액을 공급함으로써, 이 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정하는 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 1 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다.

도 2는, 도 1에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다.

도 3은, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 2 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다.

도 4는, 도 3에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다.

도 5는 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 3 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다.

도 6은, 도 5에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다.

도 7은, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 4 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다.

도 8은, 도 7에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다.

도 9는, 도 11에 나타낸 종래의 세정장치에 의해 세정실험을 한 이물질의 증가수를 나타내는 그래프이다.

도 10은, 도 1에 나타낸 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치에 의해 세정실험을 한 이물질의 증가수를 나타내는 그래프이다.

도 11은, 종래의 세정장치의 구조를 나타내는 배관도면이다.

도 12는, 도 11에 나타낸 종래의 세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다.

본 발명은 상술의 과제를 해결하기 위해서, 피세정물을 세정조에 수납하여 세정액을 공급함으로써 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정하는 세정방법에 있어서, 세정조에 세정액의 유량을 세정중에 조절하여 액류를 변화시켜 공급함으로써 이 변화하는 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정한다. 여기서, 세정조에 공급하는 세정액의 유량은, 저유량으로부터 단계적으로 고유량으로 변화, 또는 저유량으로부터 연속적으로 고유량으로 변화시키는 방법으로 공급한다. 또한, 세정액의 공급유량은, 적어도 세정조에 공급하는 세정액에 의해 피세정물이 완전히 침지할 때까지 저유량으로 공급한다.

또한, 피세정물을 세정조에 수납하고 세정조에 공급라인을 설치하여 세정액을 공급함으로써 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정하는 세정장치에 있어서, 세정조에 세정액을 공급하는 공급라인과, 이 공급라인상에 배설되어 세정조에 공급하는 세정액의 유량을 조절하는 유량조절수단을 구비하여, 이 유량조절수단에 의해 세정조에 세정액의 유량을 조절하여 액류를 변화시켜 공급함으로써 이 변화하는 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정한다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하에, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치의 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 1 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다. 또한, 도 2는, 도 1에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 1 실시예는, 약액처리한 피세정물(미도시)을 수납하는 세정조(10)와, 이 세정조(10)의 저면에 접속되어 외부에서 순수등의 세정액을 공급하는 공급라인(14)과, 이 공급라인(14)의 도중에 배설되어 순수등의 세정액의 유량을 조절하는 조절밸브(12)를 구비하고 있다.

여기서, 조절밸브(12)는, 전기적으로 온·오프하는 것에 의해 공급라인(14)을 개폐하는 개폐부(12a)와, 이 개폐부(12a)를 통과하도록 설치한 바이패스(12b)를 구비하고 있다. 따라서, 조절밸브(12)는, 종래의 세정장치와 다르고, 개폐부(12a)로부터의 공급유량과, 바이패스(12b)로부터의 공급유량에 의해 시간경과에 따라 세정액의 유량을 2단계로 조절할 수 있다.

이와 같이 구성된 다단계유량식세정장치를 사용하는 경우, 우선, 소정의 공정에서 피세정물을 세정용카세트(미도시)에 복수매 수납하여, 이 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송한다. 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송하면, 순수등의 세정액을 공급라인(14)으로부터 세정조(10)내로 유출시킨다.

이때, 조절밸브(12)의 개폐부(12a)는, 닫은 상태에 유지되는 것으로 공급라인(14)에 공급된 세정액이 바이패스(12b)를 통해 세정조(10)내로 유출한다. 이 세정조(10)내에 유출된 세정액은, 세정용카세트(미도시)의 하부에서 상부로 유입되어 수납된 피세정물의 표면을 액류에 의해 세정한다.

또한, 조절밸브(12)는, 바이패스(12b)에서 공급되는 세정액에 의해 피세정물을 일정한 시간동안 세정한 후, 개폐부(12a)를 열어 바이패스(12b)에 부가하여 개폐부(12a)로부터도 세정액을 공급한다.

이와 같이, 제 1 실시예에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 최초의 1단계로서 밸브(12)를 닫은 상태에서 바이패스(12b)로부터 저유량으로 유출되는 세정액의 액류에 의해 피세정물을 세정한다. 다음에, 1단계에서 피세정물의 세정을 일정시간동안 실행한 후, 2단계로서 조절밸브(12)의 개폐부(12a)를 열어, 바이패스(12b) 및 개폐부(12a)에서 동시에 세정액을 공급하여 고유량으로 피세정물의 세정을 실행한다. 이와 같이 세정조(10)내에 공급된 세정액은, 이 세정조(10)내에 수납된 피세정물을 2단계로 변화하는 세정액의 액류에 의해 세정한다.

이와 같이, 제 1 실시예에 따르면, 피세정물을 세정할 때, 시간경과에 따라 2단계의 순수의 유량으로 세정처리하기 때문에, 피세정물의 표면에 부착된 이물질을 효과적으로 제거할 수 있고, 세정시간의 단축 및 세정액의 삭감을 실현할 수 있다.

다음에, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치의 제 2 실시예를 상세히 설명한다. 도 3은, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 2 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다. 또한, 도 4는, 도 3에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다. 여기에서, 제 2 실시예는, 제 1 실시예에서의 조절밸브(12)를 복수개 장착한 것이며, 동일구성요소에는 동일부호를 기재함과 동시에, 중복되는 설명은 생략한다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 2 실시예는, 피세정물을 수납하는 세정조(10)와, 순수등의 세정액을 공급하는 공급라인(14)과, 이 공급라인(14)에 직렬로 배설된 복수개의 조절밸브(12-1,12-2) 및 밸브(16)를 구비하고 있다.

또한, 밸브(16)는, 전기적으로 온·오프하는 것에 의해 공급라인이 개폐되도록 설치한다. 더욱이, 조절밸브(12-1,12-2)는, 전기적으로 온·오프하는 것에 의해 공급라인(14)을 개폐하는 개폐부(12a)와, 이 개폐부(12a)를 통과하도록 설치한 바이패스(12b)를 구비하고 있다. 따라서, 제 2 실시예는, 조절밸브(12-1,12-2) 및 밸브(16)에 의해 시간경과에 따라 세정액의 유량을 복수단계로 변화시킬 수 있다.

이와 같이 구성된 다단계유량식세정장치를 사용하는 경우, 우선, 소정의 공정에서 피세정물을 세정용카세트(미도시)에 복수매 수납하여, 이 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송한다. 피세정물을 수납한 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송하면, 순수등의 세정액을 공급라인(14)으로부터 세정조(10)내로 유출시킨다.

이 때, 조절밸브(12-1,12-2)는 개폐부(12a-1,12a-2)를 닫은 상태로 유지된다. 여기에서, 밸브(16)를 열어, 조절밸브(12-1,12-2)의 바이패스(12b-1,12b-2)를 통해 세정조(10)내로 세정액이 공급되어 피세정물을 세정한다.

또한, 이러한 상태로 일정한 시간세정을 한 후, 조절밸브(12-2)의 개폐부(12a-2)를 닫은 상태에서 연 상태로 한다. 이것에 의해, 세정조(10)에는, 조절밸브(12-1)의 바이페스(12b-1)를 통해, 바이패스(12b-2), 그리고 개폐부(12a-2)로부터 고유량의 세정액이 유출되어 피세정물의 표면을 세정한다.

더욱이, 이러한 고유량으로 일정한 시간동안 세정을 한 후, 조절밸브(12-1)의 개폐부(12a-1)를 닫은 상태로부터 연 상태로 한다. 이것에 의해, 세정조(10)에는, 조절밸브(12-1,12-2)로부터 더욱 고유량의 세정액이 공급되어 피세정물의 표면을 세정한다.

이와 같이, 제 2 실시예에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 최초의 1단계에서 밸브(16)를 열어 유출되는 세정액에 의해 피세정물을 세정한다. 또한, 1단계에 의한 피세정물의 세정을 일정시간동안 실행한 후, 2단계로서 조절밸브(12-2)의 개폐부(12a-2)를 열어, 피세정물의 세정을 실행한다. 더욱이, 2단계에 의한 피세정물의 세정을 일정시간동안 실행한 후, 3단계로서 조절밸브(12-1)의 개폐부(12a-1)를 열어, 피세정물의 세정을 실행한다. 이와 같이, 세정조(10)내로 공급되는 세정액은, 3단계로 변화하는 세정액의 액류에 의해, 세정조(10)내에 수납된 피세정물을 세정할 수가 있다.

이와 같이, 제 2 실시예에 따르면, 피세정물을 세정할 때, 시간경과에 따라 3단계의 순수의 유량으로 세정처리하기 때문에, 피세정물의 표면에 부착한 이물질을 효과적으로 제거할 수 있고, 세정시간의 단축 및 세정액의 삭감이 실현된다. 또한 제 2 실시예는, 제 1 실시예에 비교하여 보다 효과적인 세정을 실행할 수가 있다.

다음에, 도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치의 제 3 실시예를 상세히 설명한다. 도 5는, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 3 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다. 또한, 도 6은, 도 5에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다. 여기에서, 제 3 실시예는, 제 1 실시예에서의 조절밸브(12)이외는 동일한 구성요소이고, 동일구성요소에는 동일부호를 기재함과 동시에, 중복되는 설명은 생략한다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 3 실시예는, 피세정물을 수납하는 세정조(10)와, 이 세정조(10)의 저부에서 병렬로 2개 분기하여 순수등의 세정액을 각각 공급하는 공급라인(14-1,14-2)과, 이 병렬로 배열되는 공급라인(14-1,14-2)에 각각 배설된 밸브(16-1,16-2)를 구비하고 있다.

또한, 밸브(16-1,16-2)는 전기적으로 온·오프하는 것에 의해 공급라인을 개폐하도록 설치한다. 또한, 밸브(16-2)는, 밸브(16-1)에 비교하여 세정액의 유량을 더 많이 공급할 수 있도록 설치한다. 따라서, 제 3 실시예는, 밸브(16-1)로부터의 공급유량과, 밸브(16-2)로부터의 공급유량과, 이 양쪽의 밸브(16-1,16-2)로부터 동시에 공급하는 공급유량에 의해 시간경과에 따라 세정액의 유량을 3단계로 변화시킬 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 다단계유량식세정장치를 사용하는 경우, 우선, 소정의 공정에서 피세정물을 세정용카세트(미도시)에 복수매 수납하여, 이 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송한다. 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송하면 , 순수등의 세정액을 세정조(10)내로 유출시킨다.

이때, 밸브(16-2)는, 닫은 상태로 유지한다. 또한, 밸브(16-1)는 닫은 상태로부터 서서히 연 상태로 한다. 이것에 의해, 밸브(16-1)를 통해 세정조(10)내로 세정액이 공급되어 피세정물을 세정한다.

또한, 이러한 상태로 일정한 시간동안 세정을 한 후, 밸브(16-1)를 닫음과 동시에, 밸브(16-2)를 닫은 상태로부터 연 상태로 한다. 이것에 의해, 세정조(10)에는, 밸브(16-2)를 통해 세정액이 공급되어 피세정물을 세정한다.

더욱이, 이러한 상태로 일정한 시간동안 세정을 한 후, 밸브(16-1,16-2)를 동시에 연 상태로 한다. 이것에 의해, 세정조(10)에는, 밸브(16-1,16-2)로부터 고유량의 세정액이 공급되어 피세정물을 세정한다.

이와 같이, 제 3 실시예에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 최초의 1단계에 밸브(16-1)를 여는 것에 의해 피세정물을 세정한다. 또한, 1단계에 의한 피세정물의 세정을 일정시간동안 실행한 후, 2단계로서 밸브(16-1)를 닫고 밸브(16-2)를 열어 피세정물의 세정을 실행한다. 더욱이, 2단계에 의한 피세정물의 세정을 일정시간동안 실행한 후, 3단계로서 밸브(16-1,16-2)를 동시에 열어 피세정물의 세정을 실행한다. 이와 같이, 세정조(10)내에 공급된 세정액은, 이 세정조(10)내에 수납된 피세정물을 3단계로 변화하는 세정액의 액류에 의해 세정할 수가 있다.

이러한 구성에 따른 제 3 실시예에 따르면, 피세정물을 세정할 때, 시간경과에 따라 세정액의 유량을 3단계로 변화시켜 세정처리하기 때문에, 피세정물의 표면에 부착된 이물질을 효과적으로 제거할 수 있고, 세정시간의 단축 및 세정액의 삭감이 실현된다. 또한 제 3 실시예는, 제 2 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

다음에, 도 7 및 도 8을 참조하여, 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치의 제 4 실시예를 상세히 설명한다. 도 7은, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 4 실시예의 구조를 나타내는 배관도면이다. 또한, 도 8은, 도7에 나타낸 다단계유량식세정장치가 세정중에 공급하는 세정액의 유량변화를 나타내는 그래프이다. 여기에서, 제 4 실시예는, 제 1 실시예에서의 조절밸브(12)이외는 동일한 구성요소이고, 동일구성요소에는 동일부호를 기재함과 동시에, 중복되는 설명은 생략한다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치의 제 4 실시예는, 피세정물을 수납하는 세정조(10)와, 이 세정조(10)의 저부로부터 순수등의 세정액을 공급하는 공급라인(14)과, 이 공급라인(14)에 배설된 밸브(16)와, 이 밸브(16)로부터 공급된 세정액을 유량조정하는 레귤레이터(18)를 구비하고 있다.

또한, 밸브(16)는, 전기적으로 온·오프하는 것에 의해 공급라인을 개폐하도록 설치한다. 또한, 레귤레이터(18)는, 밸브(16)로부터 공급되는 세정액을 전압 또는 에어-구동압에 의해 유량조정하도록 설치한다. 따라서, 제 4 실시예는, 밸브(16)로부터의 공급유량을 레귤레이터(18)가 시간경과에 따라 연속적으로 변화시킬 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치를 사용하는 경우, 우선, 소정의 공정에서 피세정물을 세정용카세트(미도시)에 복수매 수납하여, 이 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송한다. 피세정물을 수납한 세정용카세트(미도시)를 세정조(10)내로 반송하면 , 순수등의 세정액을 세정조(10)내로 유출시킨다.

이때, 밸브(16)를 연 상태로 함과 동시에, 레귤레이터(18)를 구동시켜, 세정조(10)내에 연속적으로 세정액의 유량을 변화시켜 공급한다. 이것에 의해, 레귤레이터(18)를 통해, 세정조(10)내로 세정액이 공급되어 피세정물이 세정된다.

이와 같이 제 4 실시예에서는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 밸브(16)를 열어 레귤레이터(18)가 세정액의 유량을 연속적으로 증가시킨다. 또한, 레귤레이터(18)는, 소정의 시간이 경과하면 , 세정액의 유량을 일정한 유량으로 공급한다. 이와 같이 피세정물은, 레귤레이터(18)가 세정조(10)내로 공급하는 세정액에 의해, 최초에는 연속적으로 증가하는 세정액의 액류에 의해 세정되고, 소정의 시간이 경과하면 일정한 유량으로 세정된다.

이러한 구성에 의한 제 4 실시예에 따르면, 피세정물을 세정할 때, 시간경과에 따라 연속적으로 증가하는 순수의 유량으로 세정처리하기 때문에, 피세정물의 표면에 부착된 오염물질을 효과적으로 제거할 수 있어, 세정시간의 단축 및 세정액의 삭감이 실현된다.

이와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치의 실시예를 설명하였지만 추가의 실시예에 의해 상세히 설명한다.

실시예

도 9는, 도 11에 나타낸 종래의 세정장치에 의해 세정실험을 한 이물질의 증가수를 나타내는 그래프이다. 또한, 도 10은 도 1에 나타낸 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치에 의해 세정실험을 한 이물질의 증가수를 나타내는 그래프이다.

도 9에 나타낸 바와 같이, 종래의 세정장치에 있어서의 세정실험은, 피세정물을 10L/min 및 30L/min의 순수의 유량으로 각각 10min, 15min, 그리고 20min의 처리시간으로 세정실험을 하였다.

또한, 도 10에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치는, 종래의 세정장치와 비교하기 위해서, 피세정물을 10L/min의 저유량으로 1min 및 30L/min의 고유량으로 10min의 합계 11min의 세정과, 10L/min의 저유량으로3 min 및 30L/min의 고유량으로 10min의 합계 13min의 세정과, 10L/min의 저유량으로10 min 및 30L/min의 고유량으로 10min의 합계 20min의 세정에 의하는 각각의 3종류의 세정실험을 하였다.

여기에서, 피세정물은, 산화실리콘막으로 덮여진 실리콘기판사이에 개재된 베어실리콘기판을 불소산으로 처리한 기판을 사용한다. 또한, 도 9 및 도 10에 나타낸 이물질증가수는, 약액처리전 및 세정처리후에 피세정물의 표면에 부착된 이물질수를 측정하여, 이 세정처리 후의 이물질수로부터 약액처리전의 이물질수를 가감한 수를 나타낸다. 또한, 도 9 및 도 10에 나타낸 그래프로에서는, 0.13 ∼ 0.3㎛의 크기의 이물질을 해칭한 막대그래프로, 0.3㎛ 이상의 크기의 이물질을 흰 바탕의 막대그래프로 각각 나타낸다.

도 9에 나타낸 바와 같이, 종래의 세정장치는, 순수의 유량이 10L/min, 30L/min의 어느 쪽도 처리시간이 연장되어 이물질증가가 감소하는 경향에 있지만, 20min간, 세정처리를 실행하더라도, 항상 약 200개 ∼ 1000개의 이물질이 항상 잔존하는 것을 알 수 있다.

한편, 도 10에 나타낸 본 발명에 따른 다단계유량식세정장치는, 저유량으로 3min 및 고유량으로 10min의 합계 13min의 세정처리을 하는 것으로, 종래의 세정장치와 비교하여 약 200개 이하로 이물질증가를 억제하고 있는 것을 알 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치를 사용하는 것에 의해, 이물질의 증가를 저감시키고, 또한 세정시간의 단축, 그리고 세정에 있어서의 세정액의 사용량을 효과적으로 삭감하는 것이 가능하다.

이상, 본 발명에 의해서 주어진 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치의 실시예를 상세히 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 벗어나지 않은 범위내에서 변경가능하다.

예컨대, 본 실시예에서 설명한 조절밸브(12)의 수는, 본 실시예에서 설명한 수에 한정되는 것이 아니라, 필요에 따라서 늘리는 것도 가능하다.

이와 같이, 본 발명에 따른 다단계유량식세정방법 및 다단계유량식세정장치에 의하면, 세정처리중에 공급하는 순수의 유량을 단속적 또는 연속적으로 변화시킴으로써 이물질증가를 저감시키고, 또한 효율적인 세정처리를 실행하는 것이 가능하다.

Claims

피세정물을 세정조에 수납하고, 이 세정조에 세정액을 공급함으로써 상기 세정액의 액류에 의해 상기 피세정물을 세정하는 세정방법에 있어서,

상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량을 세정중에 조절하여, 상기 세정조에 세정액의 액류를 변화시켜 공급함으로써, 이 변화하는 세정액의 액류에 의해 상기 피세정물을 세정하는 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정방법.
제 1 항에 있어서, 상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량은, 저유량으로부터 단계적으로 고유량으로 변화시켜 공급하는 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정방법.
제 1 항에 있어서, 상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량은, 저유량으로부터 연속적으로 고유량으로 변화시켜 공급하는 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정방법.
제 2 항 또는 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액의 공급유량은, 적어도 상기 세정조에 공급되는 세정액에 의해 상기 피세정물이 완전히 침지할 때까지동안 저유량으로 공급하는 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정방법.
피세정물을 세정조에 수납하고, 이 세정조에 공급라인을 설치하여 세정액을 공급함으로써 상기 세정액의 액류에 의해 상기 피세정물을 세정하는 세정장치에 있어서,

상기 세정조에 세정액을 공급하는 상기 공급라인과,

상기 공급라인상에 배설되어, 상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량을 조절하는 유량조절수단을 구비하고,

상기 유량조절수단에 의해 상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량을 조절하여, 상기 세정조내에 세정액의 액류를 변화시켜 공급함으로써, 이 변화하는 세정액의 액류에 의해 상기 피세정물을 세정하는 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정장치.
제 5 항에 있어서, 상기 유량조절수단은, 상기 공급라인을 개폐하는 개폐부와, 이 개폐부를 통과하도록 배설한 바이패스를 가지며, 이 바이패스로부터의 공급유량에 상기 개폐부로부터의 공급유량을 부가함으로써 상기 세정액의 유량을 2단계로 조절하는 조절밸브를 상기 공급라인상에 적어도 1개 배설하는 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정장치.
제 6 항에 있어서, 상기 유량조절수단의 조절밸브는, 상기 공급라인상에 복수개를 직렬로 연결함으로써 상기 세정액의 유량을 복수단계로 조절할 수 있도록 설치한 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정장치.
제 5 항에 있어서, 상기 유량조절수단은, 상기 세정조에 세정액을 공급하는 복수개의 공급라인을 설치하여, 이 복수의 공급라인을 각각 개폐하는 복수의 밸브를 배설하여, 이 복수의 밸브를 각각 개폐함으로써 상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량을 복수 단계로 조절할 수 있도록 설치한 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정장치.
제 5 항에 있어서, 상기 유량조절수단은, 상기 세정조에 세정액을 공급하는 상기 공급라인에 전압 또는 에어구동전압에 의해 유량조정이 가능한 레귤레이터를 배설하여, 상기 세정조에 공급하는 세정액의 유량을 연속적으로 조절할 수 있도록 설치한 것을 특징으로 하는 다단계유량식세정장치.