JP2886436B2 - フラット・パネル表示装置、該装置の製造方法、該装置のスクリーンを背面板から間隔づけるスペーサ及びこれの製造方法 - Google Patents
フラット・パネル表示装置、該装置の製造方法、該装置のスクリーンを背面板から間隔づけるスペーサ及びこれの製造方法Info
- Publication number
- JP2886436B2 JP2886436B2 JP6007221A JP722194A JP2886436B2 JP 2886436 B2 JP2886436 B2 JP 2886436B2 JP 6007221 A JP6007221 A JP 6007221A JP 722194 A JP722194 A JP 722194A JP 2886436 B2 JP2886436 B2 JP 2886436B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- back plate
- spacer
- flat panel
- display device
- panel display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/075—Manufacture of non-optical fibres or filaments consisting of different sorts of glass or characterised by shape, e.g. undulated fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/028—Mounting or supporting arrangements for flat panel cathode ray tubes, e.g. spacers particularly relating to electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/864—Spacers between faceplate and backplate of flat panel cathode ray tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
- H01J31/123—Flat display tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
- H01J9/185—Assembling together the component parts of electrode systems of flat panel display devices, e.g. by using spacers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/241—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
- H01J9/242—Spacers between faceplate and backplate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/8625—Spacing members
- H01J2329/863—Spacing members characterised by the form or structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/8625—Spacing members
- H01J2329/864—Spacing members characterised by the material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/8625—Spacing members
- H01J2329/865—Connection of the spacing members to the substrates or electrodes
- H01J2329/866—Adhesives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
装置のようなフラット・パネル表示装置のためのスペー
サに関する。
準型のカラー電界放出型表示装置の例を示している。こ
のような表示装置は代表的には、2次元的な電界放出カ
ソードのマトリクスに重なるカソード・ルミネッセンス
・スクリーンを有する。米国特許第3、789、47
1、3、665、241及び3、775、704号は、
このようなカソードの例及びこれを製造する方法を説明
している。各アレイは、代表的には300x300ミク
ロンの表面積をおおう。各アレイは、ほぼ同じ数のチッ
プ(代表的には1000個)を有する。スクリーンは複
数個のピクセルに分割されている。各ピクセルは3つの
サブピクセルに分割されている。各サブピクセルは、3
原色、赤、緑及び青のそれぞれに対応する蛍光体により
形成されている。
の各サブピクセルに対面している。アレイは、行導体及
び列導体を介して個別にアドレスされることができる。
信号により決定される電圧が行導体及び列導体に逐次的
に印加されて各カソードをラスタ走査で順次にアドレス
する。
界を発生するように働く。この局部的な高電界により、
電子がトンネル効果によってチップから放出される。電
子は、スクリーン及びカソード・マトリクスの間に発生
される電界により蛍光体に向かって加速される。入力ビ
デオ信号の関数であるこの入力電子により蛍光体が励起
されてイメージを表示する。
界放出型表示装置においては、スクリーンは、直径が2
00ミクロンのボール・スペーサによりカソードから離
されている。スペーサは誘電材料(絶縁材料)で形成さ
れている。絶縁材料は、例えばポリプロピレンのような
プラスチック材料若しくは例えばガラスのような無機材
料でもよい。有機接着材がスペーサを所定の位置に固定
する。しかしながらこのような接着材は、表示装置の内
部のような排気された雰囲気中では揮発しがちである。
揮発した接着材は表示装置の清浄な内部を汚染する。こ
れは表示装置のパフォーマンスを悪化する。更に、表示
動作の間、各スペーサはこれの下側のカソードの相当な
部分を隠し、この部分のイメージをぼやけさせる。
は、スクリーンは、100乃至200ミクロンのレンジ
の厚さに付着されたポリイミド・フィルムをエッチして
形成されたアレイ状の柱状部材によりカソードから離さ
れている。この柱状部材を使用すると、高い縦横比の表
示装置を製造することができる。しかしながらこの柱状
部材は有機材料であり、かくして上述のように配列する
と、この柱状部材の材料の揮発により表示装置のパフォ
ーマンスが悪化する。更に、柱状部材の製造プロセス
は、6若しくは7ステップの工程を必要とし、これは製
造コストを上昇しそして歩留まりを減少する。
は、スペーサは、厚いフィルムを印刷する技法により付
着される。このスペーサは、セラミックをベースとした
インクの形で付着され次いで加熱により硬化される。こ
のプロセスを使用することの不利点は、このスペーサを
使用して縦横比が2:1よりも大きいガス・プラズマ表
示装置を実現することが困難なことである。
ト・パネル表示装置のスクリーンをこの表示装置の背面
板から間隔づけるためのスペーサが実現され、そしてこ
のスペーサは、スクリーンを背面板に対して支持する絶
縁性の無機材料で形成された細長い部材と、この細長い
部材を表示装置の背面板に取り付けるためにこの細長い
部分の一端に配置された取り付け材料の層とを有する。
本発明のスペーサは有機材料で形成されていないので、
このスペーサはフラット・パネル表示装置のパフォーマ
ンスに悪影響を与えない。
作者によりこのスペーサが観察される度合いを増加する
ことなくスペーサの安定性を増大するように、十字架状
の断面を有することが望ましい。
形成されるのが望ましい。取り付け層は、ガラスで形成
されることができる。本発明の好適な実施例において
は、細長い部材は透明なガラスで形成されそして取り付
け層は不透明なガラスで形成される。これによりスペー
サは次のようにして背面板上に位置決めされ接着される
ことができる。即ち、キャリア基板上に装着されたスペ
ーサの2次元のアレイを”取り出し及び位置決めヘッ
ド”に対して位置決めし、この取り出し及び位置決めヘ
ッドを使用してアレイから一つのスペーサを取り出し、
この取り出されたスペーサを背面板上の取り付け位置に
位置決めし、そしてこの取り出し及び位置決めヘッドの
レーザ出力部からのレーザ・パルスを透明な細長い部材
を介して取り付け層に導いてこの取り付け層を溶融し、
これによりスペーサを背面板に取り付ける。これの代わ
りに取り付け層は、金属で形成されることができる。こ
れによりスペーサは次のようにして背面板に取り付けら
れることができる。即ち、キャリア基板上に装着された
スペーサの2次元のアレイを”取り出し及び位置決めヘ
ッド”に対して位置決めし、この取り出し及び位置決め
ヘッドを使用してアレイから一つのスペーサを取り出
し、この取り出されたスペーサを背面板上の取り付け位
置に位置決めし、そしてこの取り出し及び位置決めヘッ
ドに取り付けられている超音波ホーンを使用して取り付
け層を背面板に超音波ボンディングする。上記のように
本発明により、スペーサは、従来のフォトリソグラフィ
技法によるスペーサの接着に必要であった時間よりも短
い時間で(100個のスペーサ当たり3.5分)背面板
上に正確に配置されることができる。更に、取り出し及
び位置決めヘッドは、不完全なスペーサを排除しそして
不完全な取り付け状態を検出するためのビジョンシステ
ムに適合されうる。この取り出し及び位置決めヘッド
は、不完全な取り付け状態を直ちに修正(rework)する
事ができる。かくして、本発明により非常に高い製造歩
留まりが達成される。
性のウエブの形を取ることができ、そしてこの場合に
は、或る角度がつけられた曲線通路に沿ってこのキャリ
ア基板を通すことによりウエブが曲がりそしてこのキャ
リア基板上のアレイ状のスペーサを各列毎に上記の取り
出し及び位置決めヘッドに対して対面させるので、スペ
ーサの取り出しが容易になる。
パネル表示装置のスクリーンをこの表示装置の背面板か
ら間隔づける装置が提供される。この装置は、背面板に
対してスクリーンを支持する無機の絶縁性材料の細長い
部材と、この細長い部材を背面板に取り付けるために背
面板上に配置された取り付け層とを有する。この取り付
け層は、超音波により変形する金属からなることが望ま
しい。
ル表示装置の背面板に取り付ける方法が提供される。こ
の方法は、無機の絶縁性材料の繊維を位置決めヘッドに
供給し、背面板上の超音波により変形可能な金属で形成
された取り付け位置に繊維の自由端を位置決めし、位置
決めヘッドに配置された超音波ホーンを使用して繊維の
自由端を取り付け位置内に沈み込ませ、そして位置決め
ヘッドに配置された切断手段(ギロチン)を使用して、
取り付け位置から測定した所定の長さに繊維を切断する
ことを含む。
ネル表示装置のスクリーンをこの表示装置の背面板から
間隔づけるためのスペーサを製造する方法が提供され
る。この方法は、無機材料の絶縁基板上に第1金属層を
付着し、この第1金属層上にフォトレジスト層を付着
し、このフォトレジスト層に第1金属層を露出する複数
個の開口をアレイ状に形成し、フォトレジスト層上及び
開口内に第2の金属層を付着し、第2金属層上にキャリ
ア基板を接着し、絶縁基板をアレイ状の複数個のスペー
サに分割するための溝を絶縁基板の一方の表面から他方
の表面に亙って形成し、スペーサの各々がフォトレジス
ト層の開口により規定されるネック状の第2金属層を介
してこれに連続する第2金属層に接続されるように、こ
れらの溝を介して第1金属層及びフォトレジスト層をエ
ッチングする事を含む。これにより非常に高密度のスペ
ーサ・アレイが製造されることができ、処理時間及びコ
ストが著しく減少される。処理時間及びコストは、アレ
イ内のスペーサの密度対表示装置内のスペーサの密度の
比に正比例する。本発明によると、所持時間及びコスト
を減少する比が実現される。
・パネル表示装置のスクリーンをこの表示装置の背面板
から間隔づけるスペーサを製造する方法が提供される。
この方法は、無機の絶縁基板上に取り付け材料の層を付
着し、取り付け材料の層をキャリア基板に接着し、そし
て絶縁基板をアレイ状の複数個のスペーサを画成するよ
うに絶縁基板をダイスにより切断することを含む。
基板上にガラス層をスピンコーティングする工程を含む
ことができる。これの代わりに、取り付け層を付着する
工程は、金属層を絶縁基板上に電着する工程を含むこと
ができる。
をフラット・パネル表示装置の背面板に取り付ける方法
が提供される。この方法は、無機絶縁材料の繊維を位置
決めヘッドに供給し、溶融金属を含む槽に繊維の自由端
を漬けることにより繊維の自由端に金属層を付着し、繊
維の自由端を背面板上の取り付け位置に位置決めし、位
置決めヘッドの超音波ホーンを使用して繊維の自由端の
金属層を取り付け位置に溶接し、そして位置決めヘッド
の切断装置(ギロチン)を使用して溶接部分から所定の
長さに繊維を切断することを含む。
装置は、例えば2酸化シリコンの背面版20に重ねられ
且つこれから離されている透明のスクリーン10を有す
る。
面には、例えばインヂィウム・ティン・オキサイド(I
TO)の透明な導電層70が設けられている。スクリー
ン10と対面する背面版20の表面にはカソード即ち陰
極80のマトリクスが設けられている。各カソードは、
例えばモリブデンの3つの電界放出チップ81、82及
び83のアレイを有する。各アレイはほぼ等しい面積を
占める。各アレイは、3原色、赤、緑及び青のそれぞれ
に対応する。チップの直径は約1.4ミクロンであり間
隔は約5ミクロンである。各アレイの面積は代表的には
1250平方ミクロンである。
20内に延びる例えばアモルファス・シリコンの導電性
基板部材31、32及び33が形成されている。マトリ
クスの各列のカソードのアレイの基板部材31、32及
び33は、例えばニオブのような導電性条線即ち列導体
41、42及び43により相互接続されている。チップ
は、例えば2酸化シリコンのような絶縁層50内に形成
されたピットからスクリーン10に向かって突出してい
る。例えばニオブのような導電性のゲート層120がス
クリーン10に対面して絶縁層50上に支持されてい
る。ゲート層120は各カソードのアレイ81、82及
び83のそれぞれに共通である。マトリクス・アレイの
カソードの各行に沿うゲート層120は、導電性の条線
即ち行導体120を形成するように接続されている。従
って、この表示装置の各カソード80の各アレイ81、
82及び83は、カソード80の基板部材31、32及
び33に接続された列導体41、42及び43と、ピッ
ト(ここにアレイ81、82及び83のチップが配置さ
れている)により開口が開けられている行導体120と
の形をした直交アドレス線によりアドレスされる。
条線130、140及び150が導電層70の上に形成
されている。蛍光体条線130、140及び150のそ
れぞれは、アレイ81、82及び83のそれぞれに対面
している。スクリーン10及び背面板20の間の間隔は
真空にされている。従って、長さが約200ミクロンで
幅が約20ミクロンの誘電性スペーサ60が、スクリー
ン10及び背面板20の間の間隔を歪めないようにこれ
らの間に設けられている。スペーサ60は20mm毎に
位置決めされており、そしてスクリーン10及び背面板
20の間の間隔を代表的には200ミクロンの距離に維
持する。26cmの表示パネルにおいては代表的には1
00個のスペーサが使用される。スペーサの数は、スペ
ーサの材料の圧縮強度と、スクリーン10及び背面板2
0を形成するのに使用される材料の厚さ及び弾性係数と
の関数として最適化される。
20並びに絶縁層50は、例えばプレーナ拡散、電気化
学的エッチング、化学的蒸着等の標準的なプロセスを組
み合わせられた標準的なフォトリソグラフィにより製造
されることができる。ピット(この中にチップが配置さ
れている)は、絶縁層50をイオン・エッチすることに
より形成されることができる。チップ自体は、電子ビー
ム蒸着及び電気化学的エッチングの組み合わせにより形
成されることができる。表示装置の機械的強度を上げる
ために、背面板20はガラス基板上に形成されることが
できる。
圧発生装置200に接続され、列導体は列駆動装置22
0に接続されそして行導体は行駆動装置210に接続さ
れている。動作において、陽極電圧発生装置200は、
導電層70(以下陽極70と呼ぶ)に約400ボルトの
陽極電圧を印加する。列駆動装置220は、約ー30ボ
ルトの駆動電圧を列導体に印加する。駆動電圧は、基板
部材31、32及び33を介してアレイ81、82及び
83のチップに印加される。行駆動装置210は、代表
的には50ボルトのバイアス電圧を、ゲートを形成する
行導体に印加する。行導体及び列導体上の電圧が共働し
て各チップから電子を引き出す局部的な高電界を発生す
る。これらの電子は陽極70に発生される高電界により
蛍光体130、140及び150に向かって正確に加速
される。各チップは、蛍光体130、140及び150
に向かって約30度の円錐状に電子を放出する。例えば
1000個のチップからなるアレイからの総計的な電子
ビーム電流は、約100マイクロアンペアである。蛍光
体130、140及び150は、この入力電子により励
起されて表示イメージを発生する。各カソード81、8
2及び83は、表示イメージの各ピクセルに対応する。
カソードの各アレイは、表示イメージの各ピクセルの
赤、青及び緑のサブ・ピクセルにそれぞれ対応する。
80のアレイ81、82及び83へ駆動及びバイアス電
圧を逐次的にアドレスするように駆動装置210及び2
20により逐次的に走査される。駆動装置210及び2
20は、例えば標準型の液晶表示装置用の若しくはプラ
ズマ・パネル表示装置用のアドレス駆動装置でもよい。
るが、カソード当たり3つのゲート電圧は、赤、青及び
緑のビデオ信号の関数として変化されて表示イメージを
発生する。
参照すると、本発明に従うスペーサ60が示され、そし
て各スペーサ60は、例えばセラミック若しくはガラス
のような無機絶縁材料の細長い部材62の形をしてい
る。 細長い部材62の一端には、この細長い部材62
を表示装置の背面板20に取り付けるための取り付け材
料の層64が付着されている。図3の(A)及び(B)
を参照すると、本発明のスペーサは、円形状若しくは矩
形状の断面を有する。本発明の好適な実施例である図3
の(C)を参照すると、スペーサ60は、表示装置の動
作中にこのスペーサが操作者により観察される度合いを
増加することなく安定性を増大するために十字架状の断
面をしている。
放出型の表示装置の組立工程において、スペーサ60
は、2次元アレイ66状に配置されて、取り出し及び位
置決めヘッド400に対して準備される。次いでシーリ
ング・フリット(図示せず)が背面板20上に付着され
る。このシーリング・フリットは、後にこの背面板20
をスクリーン10にシール(封止)するためのものであ
る。次いで、ビジョン・システム(図示せず)の自動制
御のもとに、取り出し及び位置決めヘッド400が、ア
レイ66から各スペーサ60を順次取り出し、そしてこ
れを背面板20の取り付け位置22上に位置決めする。
各スペーサ60は位置決めされた後に、この取り出し及
び位置決めヘッド400に取り付けられている適切なエ
ネルギー源410を使用して取り付け材料64を加熱す
ることにより背面板20に取り付けられる。全てのスペ
ーサ60が背面板20に取り付けられた後に、スクリー
ン10が背面板20上に配置される。この時点で、スク
リーン10は、スペーサ60により支持されておらずシ
ーリング・フリットにより支持されている。次いで、シ
ーリング・フリットがリフローされ、これによりスクリ
ーン10はスペーサ60により支持されるようになる。
次いで、表示装置がシールされそして真空状態に排気さ
れて組み立てられる。かくして、スペーサ60は、背面
板20及びスクリーン10の弾性的な撓みにより圧縮さ
れる。
と、本発明の好適な実施例では、細長い部材62は透明
であり、そして取り付け材料64は、背面板よりも溶融
点が非常に低いハンダ・ガラスである。或る波長のレー
ザ・パルス(これに対して半田・ガラスは不透明であ
る)がガラスを溶融するために使用される。上述のプロ
セスにおいて、各スペーサ60は、取り出し及び位置決
めヘッド400のエネルギー源即ちレーザ出力410か
ら細長い部材62の内部を伝わるレーザ・パルスEによ
りガラス層即ち取り付け材料64を溶融することにより
背面板20に取り付けられる。
材料64は、細長い部材62に対する良好な接着特性を
有する超音波溶接可能な金属である。このような材料の
例は、アルミニューム及び金である。上述のプロセスで
は、スペーサ60を背面板20のメタライズされた取り
付け位置22に配置した後に、前述の例で使用したレー
ザの代わりに取り出し及び位置決めヘッド400に取り
付けられた超音波ホーン410によってスペーサの金属
をこのメタライズされたスペーサ位置22上に超音波溶
接することにより各スペーサ60が背面板20に取り付
けられる。このメタライズされたスペーサ位置22は、
表示駆動回路の短絡を防止するために表示装置の基板上
の電気的に絶縁された島状領域の形とされる。
放出型の表示装置を組み立てる他の好適な実施例におい
て、スペーサ60は、超音波ホーン520を有する位置
決めヘッド510に対して連続した繊維の形で供給され
る。背面板20にシーリング用フリットを塗布した後、
但し各スペーサを位置決めする前に、繊維500の自由
端530が、溶融金属槽540に漬けられる。溶融金属
で被覆された自由端530は次いで背面板20のスペー
サ取り付け位置22に位置決めされそして超音波ホーン
520によりこの位置に溶接される。繊維500が選択
された長さだけ位置決めヘッドから繰り出されそしてカ
ッター550により所定の長さに切断される。
と、上記のプロセスの修正型が示され、そしてここでは
繊維500の自由端530は、各スペーサに位置決め作
業の間で金属を被覆されない。その代わりに、自由端5
30は、超音波エネルギーの印加により背面板20の変
形可能なスペーサ配置位置22’に沈み込まされる。図
7の(A)及び(B)において、変形可能なスペーサ配
置位置22’は、背面板20内にくぼまされている。し
かしながら本発明の他の実施例においては、この変形可
能なスペーサ配置位置は、背面板20の表面から立ち上
げられた形状にされることができる。
にはスペーサ60が、沈み込みにより所定の位置に保持
されるので、スペーサ60及び背面板20の間の良好な
接着は必要でない。
ペーサ60のアレイ66を製造する好適なプロセスにお
いて、例えば無電気種づけ処理に続いて電気メッキを行
うことにより金属の取り付け層702が誘電性(絶縁
性)基板701上に最初に付着される。次いで、フォト
レジスト層703が金属取り付け層702上に付着され
る。次いで、金属取り付け層702に迄下方に延びる開
口704のアレイをこのフォトレジスト層703に形成
するようにフォトレジスト703が露光されそして現像
される。次いで、例えば無電気種付け処理及び電気メッ
キ処理により第2の金属取り付け層705がこの現像さ
れたフォトレジスト層703の上及び開口内に付着され
る。次いで、接着剤708によりキャリア基板706が
第2の金属取り付け層705の上に接着される。接着剤
は、後続のプロセスに適応する例えばエポキシのような
熱可塑性若しくは熱硬化性接着剤でもよい。次いで、ス
ペーサ60は、絶縁基板701を、フォトリソグラフィ
若しくは鋸によるダイシングによる溝によって区切るこ
とにより形成される。ステップ740に示すように、各
溝は、残存するフォトレジスト層703に対面するよう
に形成される。この実施例では、各溝は、残存フォトレ
ジスト層703の中心部に対面するように形成される。
フォトリソグラフィを使用すると、例えば円形状若しく
は十字架状のような矩形以外の断面のスペーサ60を形
成することができる。残存しているフォトレジスト層7
03及びスペーサ60の間の金属取り付け層702はエ
ッチングにより除去され、これにより各スペーサ60
は、壊れやすい金属ネック部分707によりキャリア基
板706に取り付けられている。この壊れやすい金属ネ
ック部分707は、上述の取り出し及び位置決め動作の
間にスペーサを取り出せるように簡単に壊されることが
できる。
な実施例において、ガラス層が絶縁基板状にスピン・コ
ート若しくはスクリーン印刷されそしてリフローされ
る。次いで、例えば感圧性のシリコーン若しくはアクリ
ル接着剤のような低接着力の接着剤により絶縁基板がキ
ャリア基板状に取り付けられる。スペーサは、上述の取
り出し及び位置決め動作の間にこの低接着力の接着剤か
ら容易にはがされることができる。上記プロセスの改良
型において、ガラス層の代わりに金属層が絶縁基板上に
付着されることができる。この金属層は、無電気種付け
処理及び電気メッキにより付着される。図9を参照する
と、キャリア基板は、可撓性のウエブ800の形である
のが望ましく、そしてこのウエブは、取り出し及び位置
決め装置のローラ810の回りに移動するようにガイド
される。ウエブ800は、これがローラ810を通過す
るときにスペーサ60の各行820、821及び822
を取り出し及び位置決め装置400に対して順番に対面
させる。
て説明されたけれども、本発明はモノクロムの電界放出
表示装置にも適用されうることは明らかである。
トリソグラフィ技法によるスペーサの接着に必要であっ
た時間よりも短い時間で(100個のスペーサ当たり
3.5分)背面板上に正確に配置されることができる。
好適な実施例を示す図である。
る。
例を示す図である。
例を示す図である。
である。
のアレイを示す図である。
Claims (12)
- 【請求項1】フラット・パネル表示装置のスクリーンを
該表示装置の背面板から間隔づけるスペーサにおいて、 上記スクリーンを上記背面板に対して支持するガラスま
たはセラミックの絶縁材料で形成された細長い部材と、 該細長い部材を上記背面板に取り付けるための上記細長
い部材の一端に付着された取り付け金属材料層とを有す
る上記スペーサ。 - 【請求項2】上記細長い部材の断面は十字架状であるこ
とを特徴とする請求項1のスペーサ。 - 【請求項3】背面板と、 スクリーンと、 上記背面板及び上記スクリーンの間に配置され、上記ス
クリーンを上記背面板に対して支持するガラスまたはセ
ラミックの絶縁材料で形成された細長い部材と、 該細長い部材を上記背面板に取り付けるための上記細長
い部材の一端に付着された取り付け金属材料層と、 を有する電界放出型表示装置。 - 【請求項4】上記取り付け層は超音波により変形可能な
金属で形成されていることを特徴とする請求項3の電界
放出型表示装置。 - 【請求項5】フラット・パネル表示装置のスクリーンを
該表示装置の背面板から間隔づけるスペーサを製造する
方法において、 無機の絶縁材料の基板上に第1金属層を付着し、 該第1金属層上にフォトレジスト層を付着し、 該フォトレジスト層に上記第1金属層を露出する複数個
の開口をアレイ状に形成し、 該フォトレジスト層の上及び上記開口内に第2金属層を
付着し、 該第2金属層上にキャリア基板を接着し、 上記絶縁基板をアレイ状の複数個のスペーサに分割する
溝を形成し、 上記スペーサのそれぞれが上記開口により規定されるネ
ック状の金属により上記第2金属層に接続されるよう
に、上記溝を介して上記第1金属層及び上記フォトレジ
スト層をエッチングすることを含む上記方法。 - 【請求項6】フラット・パネル表示装置のスクリーンを
該表示装置の背面板から間隔づけるスペーサを製造する
方法において、 無機の絶縁材料の基板上に取り付け材料の層を付着し、 該取り付け材料の層をキャリア基板に接着し、 上記絶縁基板をアレイ状の複数個のスペーサに切断する
ことを含む上記方法。 - 【請求項7】ガラス層を上記絶縁材料の基板上にスピン
・コーティングする工程を含むことを特徴とする請求項
6の方法。 - 【請求項8】透明なガラスで形成され、その一端に不透
明なガラスで形成された取り付け材料層を有するスペー
サをフラット・パネル表示装置の背面板に取り付ける工
程を含むフラット・パネル表示装置の製造方法にして、
上記取り付ける工程は、 キャリア基板上に2次元アレイ状に配列されたスペーサ
を、レーザ出力部を有する取り出し及び位置決めヘッド
に対する供給位置に配置し、 上記取り出し及び位置決めヘッドにより一つのスペーサ
を上記アレイから取り出し、 該取り出されたスペーサを上記背面板上の取り付け位置
に位置決めし、 上記レーザ出力部からのレーザ・パルスを上記細長い部
材を通して上記取り付け材料層に導き、該取り付け材料
層を溶融して上記スペーサを上記背面板に取り付ける工
程を含むことを特徴とする上記フラット・パネル表示装
置の製造方法。 - 【請求項9】ガラスまたはセラミックで形成され、その
一端に金属で形成された取り付け材料層を有するスペー
サをフラット・パネル表示装置の背面板に取り付ける工
程を含むフラット・パネル表示装置の製造方法にして、
上記取り付ける工程は、 キャリア基板上に2次元アレイ状に配列されたスペーサ
を、超音波出力部を有する取り出し及び位置決めヘッド
に対する供給位置に配置し、 上記取り出し及び位置決めヘッドにより一つのスペーサ
を上記アレイから取り出し、 該取り出されたスペーサを上記背面板上の取り付け位置
に位置決めし、 上記超音波出力部を使用して、上記取り付け材料層を上
記背面板に超音波ボンディングする工程を含むことを特
徴とする上記フラット・パネル表示装置の製造方法。 - 【請求項10】曲線状の通路に沿って上記キャリア基板
を移動させて該キャリア基板を曲げ、該キャリア基板上
の上記スペーサを行毎に上記取り出し及び位置決めヘッ
ドに対面させる工程を含むことを特徴とする請求項8又
は9のフラット・パネル表示装置の製造方法。 - 【請求項11】スペーサをフラット・パネル表示装置の
背面板に取り付ける工程を含むフラット・パネル表示装
置の製造方法にして、上記取り付ける工程は、 無機の絶縁材料の繊維を位置決めヘッドに供給し、 溶融金属を含む槽に上記繊維の自由端を漬けて該自由端
に金属層を付着し、 上記繊維の自由端を上記背面板の取り付け位置に位置決
めし、 上記位置決めヘッドの超音波出力部を使用して、上記自
由端の金属層を上記背面板の取り付け位置に溶接し、 上記位置決めヘッドの切断手段を使用して、上記繊維を
上記溶接部から所定の長さに切断することを含むことを
特徴とする上記フラット・パネル表示装置の製造方法。 - 【請求項12】スペーサをフラット・パネル表示装置の
背面板に取り付ける工程を含むフラット・パネル表示装
置の製造方法にして、上記取り付ける工程は、 無機の絶縁材料の繊維を位置決めヘッドに供給し、 上記背面板上の超音波により変形される金属で形成され
た取り付け位置に上記繊維の自由端を位置決めし、 上記位置決めヘッドの超音波出力部を使用して上記取り
付け位置の金属に超音波を印加して上記自由端を上記取
り付け位置の金属内に沈み込ませ、 上記位置決めヘッドの切断手段を使用して、上記繊維を
上記取り付け部から所定の長さに切断することを含むこ
とを特徴とする上記フラット・パネル表示装置の製造方
法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB9305562A GB2276270A (en) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | Spacers for flat panel displays |
GB9305562.2 | 1993-03-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH075821A JPH075821A (ja) | 1995-01-10 |
JP2886436B2 true JP2886436B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=10732271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6007221A Expired - Lifetime JP2886436B2 (ja) | 1993-03-18 | 1994-01-26 | フラット・パネル表示装置、該装置の製造方法、該装置のスクリーンを背面板から間隔づけるスペーサ及びこれの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5561343A (ja) |
EP (1) | EP0616354A3 (ja) |
JP (1) | JP2886436B2 (ja) |
KR (1) | KR0139601B1 (ja) |
GB (1) | GB2276270A (ja) |
TW (1) | TW289107B (ja) |
Families Citing this family (67)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5534743A (en) * | 1993-03-11 | 1996-07-09 | Fed Corporation | Field emission display devices, and field emission electron beam source and isolation structure components therefor |
US5629583A (en) * | 1994-07-25 | 1997-05-13 | Fed Corporation | Flat panel display assembly comprising photoformed spacer structure, and method of making the same |
US5949184A (en) * | 1994-11-11 | 1999-09-07 | Sony Corporation | Light-emitting device and method of manufacturing the same |
US5486126A (en) * | 1994-11-18 | 1996-01-23 | Micron Display Technology, Inc. | Spacers for large area displays |
US5789857A (en) * | 1994-11-22 | 1998-08-04 | Futaba Denshi Kogyo K.K. | Flat display panel having spacers |
US5598056A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-28 | Lucent Technologies Inc. | Multilayer pillar structure for improved field emission devices |
US5704820A (en) * | 1995-01-31 | 1998-01-06 | Lucent Technologies Inc. | Method for making improved pillar structure for field emission devices |
CA2166506C (en) * | 1995-01-31 | 2000-11-28 | Sungho Jin | Improved field emission devices having corrugated support pillars with discontinuous conductive coating |
US5561340A (en) * | 1995-01-31 | 1996-10-01 | Lucent Technologies Inc. | Field emission display having corrugated support pillars and method for manufacturing |
JP3320294B2 (ja) * | 1995-02-03 | 2002-09-03 | キヤノン株式会社 | 電子線発生装置、及び、それを用いた画像形成装置 |
US5859497A (en) * | 1995-12-18 | 1999-01-12 | Motorola | Stand-alone spacer for a flat panel display |
JPH09199039A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-31 | Hitachi Ltd | ガス放電型表示パネル及びその製造方法 |
US6433471B1 (en) * | 1996-01-19 | 2002-08-13 | Philips Electronics North America Corporation | Plasma addressed liquid crystal display with glass spacers |
US5785569A (en) * | 1996-03-25 | 1998-07-28 | Micron Technology, Inc. | Method for manufacturing hollow spacers |
US5708325A (en) * | 1996-05-20 | 1998-01-13 | Motorola | Display spacer structure for a field emission device |
US5811927A (en) * | 1996-06-21 | 1998-09-22 | Motorola, Inc. | Method for affixing spacers within a flat panel display |
US5910703A (en) * | 1996-07-31 | 1999-06-08 | Hewlett-Packard Company | High voltage spacer for a flat panel display with specific cross section |
US5789848A (en) * | 1996-08-02 | 1998-08-04 | Motorola, Inc. | Field emission display having a cathode reinforcement member |
EP0827181A3 (en) * | 1996-08-29 | 1998-10-14 | Motorola, Inc. | Method for affixing spacers in a flat panel display |
GB2317987A (en) * | 1996-10-04 | 1998-04-08 | Ibm | Display devices |
US6008573A (en) * | 1996-10-04 | 1999-12-28 | International Business Machines Corporation | Display devices |
EP0945886B1 (en) * | 1996-12-16 | 2005-03-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Gaseous discharge panel and manufacturing method therefor |
US6278066B1 (en) * | 1996-12-20 | 2001-08-21 | Candescent Technologies Corporation | Self-standing spacer wall structures |
US5851133A (en) * | 1996-12-24 | 1998-12-22 | Micron Display Technology, Inc. | FED spacer fibers grown by laser drive CVD |
JP3234188B2 (ja) | 1997-03-31 | 2001-12-04 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置とその製造方法 |
US5777432A (en) * | 1997-04-07 | 1998-07-07 | Motorola Inc. | High breakdown field emission device with tapered cylindrical spacers |
US5831383A (en) * | 1997-05-12 | 1998-11-03 | Motorola Inc. | Spacer pads for field emission device |
FR2764109A1 (fr) * | 1997-05-30 | 1998-12-04 | Commissariat Energie Atomique | Espaceurs pour ecran plat de visualisation |
FR2764729A1 (fr) * | 1997-06-13 | 1998-12-18 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'espaceurs pour ecran plat de visualisation |
US5872424A (en) * | 1997-06-26 | 1999-02-16 | Candescent Technologies Corporation | High voltage compatible spacer coating |
JP3457162B2 (ja) * | 1997-09-19 | 2003-10-14 | 松下電器産業株式会社 | 画像表示装置 |
US6630782B1 (en) | 1997-12-01 | 2003-10-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Image display apparatus having electrodes comprised of a frame and wires |
US6133689A (en) * | 1997-12-31 | 2000-10-17 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for spacing apart panels in flat panel displays |
KR100459878B1 (ko) * | 1998-02-12 | 2005-02-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계효과전자방출소자의스페이서제조방법 |
US6168737B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-01-02 | The Regents Of The University Of California | Method of casting patterned dielectric structures |
FR2778180B3 (fr) * | 1998-04-29 | 2000-05-19 | Saint Gobain Vitrage | Fibre de verre entaillee et son procede de fabrication |
US6152796A (en) * | 1998-04-30 | 2000-11-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an image forming apparatus |
US6506087B1 (en) | 1998-05-01 | 2003-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and manufacturing an image forming apparatus having improved spacers |
US6236149B1 (en) * | 1998-07-30 | 2001-05-22 | Micron Technology, Inc. | Field emission devices and methods of forming field emission devices having reduced capacitance |
US6373176B1 (en) | 1998-08-21 | 2002-04-16 | Pixtech, Inc. | Display device with improved grid structure |
JP3689598B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2005-08-31 | キヤノン株式会社 | スペーサの製造方法および前記スペーサを用いた画像形成装置の製造方法 |
JP3507393B2 (ja) * | 1999-02-25 | 2004-03-15 | キヤノン株式会社 | スペーサの製造方法および電子源装置の製造方法 |
US6042445A (en) * | 1999-06-21 | 2000-03-28 | Motorola, Inc. | Method for affixing spacers in a field emission display |
US6155900A (en) * | 1999-10-12 | 2000-12-05 | Micron Technology, Inc. | Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture |
KR100335627B1 (ko) * | 2000-02-15 | 2002-05-08 | 김순택 | 십자 구조의 스페이서가 적용된 평판 표시 소자 |
FR2806075B1 (fr) * | 2000-03-07 | 2002-09-20 | Saint Gobain Vitrage | Espaceur en verre |
FR2807872B1 (fr) | 2000-04-17 | 2002-08-30 | Saint Gobain Vitrage | Cadre en verre |
US6716077B1 (en) * | 2000-05-17 | 2004-04-06 | Micron Technology, Inc. | Method of forming flow-fill structures |
JP2002083535A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Sony Corp | 密封容器およびその製造方法ならびに表示装置 |
JP2002157959A (ja) | 2000-09-08 | 2002-05-31 | Canon Inc | スペーサの製造法およびこのスペーサを用いた画像形成装置の製造方法 |
KR100617026B1 (ko) * | 2000-12-07 | 2006-08-29 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 평판형 형광램프 |
US6587351B2 (en) * | 2001-04-05 | 2003-07-01 | Cooper Technologies | Surface mount standoff for printed circuit board assembly |
KR100416761B1 (ko) * | 2001-06-12 | 2004-01-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 표시 소자의 스페이서 형성방법 |
KR100444506B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-08-16 | 엘지전자 주식회사 | 전계방출 표시소자의 스페이서 및 그의 형성 및 설치방법 |
JP3843911B2 (ja) * | 2002-08-05 | 2006-11-08 | ソニー株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
US20050156507A1 (en) * | 2002-09-27 | 2005-07-21 | Shigeo Takenaka | Image display device, method of manufacturing a spacer for use in the image display device, and image display device having spacers manufactured by the method |
JP3944148B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2007-07-11 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置の製造方法 |
FR2848333B1 (fr) | 2002-12-04 | 2005-04-01 | Saint Gobain | Materiau de jonction entre des espaceurs et un substrat verrier |
DE10343073A1 (de) * | 2003-09-17 | 2005-04-21 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Verfahren zur Herstellung einer flachen Entladungslampe mit Abstandselementen |
KR20050050843A (ko) * | 2003-11-26 | 2005-06-01 | 삼성에스디아이 주식회사 | 스페이서를 구비한 평판 표시소자, 스페이서의 제조 방법및 평판 표시소자의 제조 방법 |
US20060066235A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Brody Thomas P | Receptacles for inkjet deposited PLED/OLED devices and method of making the same |
KR20060087646A (ko) * | 2005-01-31 | 2006-08-03 | 삼성전자주식회사 | 서포트 부재, 이를 갖는 백라이트 어셈블리 및 이를 갖는표시장치 |
KR20060124331A (ko) | 2005-05-31 | 2006-12-05 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 소자 |
CN1929080A (zh) * | 2005-09-07 | 2007-03-14 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 场发射显示装置 |
KR20080043532A (ko) * | 2006-11-14 | 2008-05-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치 |
DK1978199T3 (en) * | 2007-04-05 | 2016-09-05 | Grenzebach Maschb Gmbh | The vacuum insulating glass construction element as well as method and device for its production, |
KR20120083176A (ko) * | 2011-01-17 | 2012-07-25 | 삼성전자주식회사 | 전계방출 디스플레이용 스페이서 자동 실장 시스템 및 스페이서 자동 실장방법 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1417803A (en) * | 1972-02-28 | 1975-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Luminous radiation panel apparatus |
US3788722A (en) * | 1973-04-18 | 1974-01-29 | Panel Technology | Process for producing a gaseous breakdown display device |
US4024613A (en) * | 1975-01-02 | 1977-05-24 | Owens-Illinois, Inc. | Method of permanently attaching metallic spacers in gaseous discharge display panels |
US4039882A (en) * | 1975-12-19 | 1977-08-02 | Panel Technology, Inc. | Edge terminations for gas discharge display panel |
US4071287A (en) * | 1976-03-15 | 1978-01-31 | International Business Machines Corporation | Manufacturing process for gaseous discharge device |
JPS5329661A (en) * | 1976-08-30 | 1978-03-20 | Burroughs Corp | Display panel and method of manufacturing same |
CA1114000A (en) * | 1977-10-11 | 1981-12-08 | Charles H. Perry | Gas panel spacer |
US4428764A (en) * | 1979-12-20 | 1984-01-31 | United Technologies Corporation | Method of making fusible spacer for display panel |
JPS5754923A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-01 | Sony Corp | Display device |
DE3036671A1 (de) * | 1980-09-29 | 1982-05-13 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Flacher bildschirm, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung |
DE3175837D1 (en) * | 1980-10-20 | 1987-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of making an electrode construction and electrode construction obtainable by this method |
JPS57177122A (en) * | 1981-04-24 | 1982-10-30 | Toshiba Corp | Liquid crystal display device |
JPS5997177A (ja) * | 1982-11-26 | 1984-06-04 | 富士通株式会社 | 平板状表示パネルのスペ−サ固定方法 |
SE8403066L (sv) * | 1983-06-16 | 1984-12-17 | American Telephone & Telegraph | Forbettringar hos eller med avseende pa skermanordningar |
US5063327A (en) * | 1988-07-06 | 1991-11-05 | Coloray Display Corporation | Field emission cathode based flat panel display having polyimide spacers |
US4923421A (en) * | 1988-07-06 | 1990-05-08 | Innovative Display Development Partners | Method for providing polyimide spacers in a field emission panel display |
KR910003693B1 (en) * | 1988-09-14 | 1991-06-08 | Samsung Electronic Devices | Pdp barrack manufacturing method |
DE69009307T3 (de) * | 1989-06-19 | 2004-08-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Anzeigevorrichtung mit flachem Bildschirm. |
US5272413A (en) * | 1990-06-05 | 1993-12-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Flat panel display device and a method of making the same |
US5287034A (en) * | 1990-08-16 | 1994-02-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Flat display device for displaying an image utilizing an electron beam, which is provided with a support arrangement for supporting a single faceplate |
JPH04324235A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-13 | Nec Kagoshima Ltd | 蛍光表示管 |
JPH053006A (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 発光素子 |
-
1993
- 1993-03-18 GB GB9305562A patent/GB2276270A/en not_active Withdrawn
-
1994
- 1994-01-26 JP JP6007221A patent/JP2886436B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1994-02-14 KR KR1019940002531A patent/KR0139601B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-02-21 EP EP19940301215 patent/EP0616354A3/en not_active Withdrawn
- 1994-03-15 US US08/213,346 patent/US5561343A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-04-11 TW TW083103156A patent/TW289107B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH075821A (ja) | 1995-01-10 |
GB9305562D0 (en) | 1993-05-05 |
EP0616354A3 (en) | 1994-11-17 |
US5561343A (en) | 1996-10-01 |
EP0616354A2 (en) | 1994-09-21 |
KR0139601B1 (ko) | 1998-06-01 |
GB2276270A (en) | 1994-09-21 |
TW289107B (ja) | 1996-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2886436B2 (ja) | フラット・パネル表示装置、該装置の製造方法、該装置のスクリーンを背面板から間隔づけるスペーサ及びこれの製造方法 | |
US5600203A (en) | Airtight envelope for image display panel, image display panel and method for producing same | |
US5243252A (en) | Electron field emission device | |
US6176753B1 (en) | Wall assembly and method for attaching walls for flat panel display | |
US6663454B2 (en) | Method for aligning field emission display components | |
US20020185951A1 (en) | Carbon cathode of a field emission display with integrated isolation barrier and support on substrate | |
US6682382B2 (en) | Method for making wires with a specific cross section for a field emission display | |
US5899350A (en) | Hermetic container and a supporting member for the same | |
US20020195959A1 (en) | Method for driving a field emission display | |
US20020185950A1 (en) | Carbon cathode of a field emission display with in-laid isolation barrier and support | |
US20020195960A1 (en) | Method for controlling the electric field at a fed cathode sub-pixel | |
US7061457B2 (en) | Flat display apparatus with spacers between first panel substrate and second panel substrate, and method of manufacturing the same | |
US6356013B1 (en) | Wall assembly and method for attaching walls for flat panel display | |
JP2827306B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JPH05266832A (ja) | 表示素子 | |
KR100289031B1 (ko) | 평판표시장치의형성방법 | |
KR100322966B1 (ko) | 전계방출 표시소자의 제조방법 | |
JP2000003664A (ja) | 電界放出陰極とその駆動方法及び製造方法 | |
KR100464306B1 (ko) | 전계방출표시소자및그스페이서제조방법 | |
JPH0787074B2 (ja) | 電子放出素子およびその製造方法 | |
US20050231089A1 (en) | Mesh structure of tetraode field-emission display and method of fabricating the same | |
JPH03190034A (ja) | 電子放出素子とその製造方法 | |
JP2748382B2 (ja) | 平面型表示装置 | |
US20070170837A1 (en) | FED including gate-supporting device with gate mask having reflection layer | |
JP2003031165A (ja) | 表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
S202 | Request for registration of non-exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R315201 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S202 | Request for registration of non-exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R315201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080212 Year of fee payment: 9 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080212 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090212 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090212 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090212 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110212 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110212 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110212 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140212 Year of fee payment: 15 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |