KR20050050843A - 스페이서를 구비한 평판 표시소자, 스페이서의 제조 방법및 평판 표시소자의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 표시소자 내부에서 스페이서들이 동일한 높이로 구비되어 상부 기판과 하부 기판의 간격을 일정하게 유지시키는 평판 표시소자와, 스페이서의 제조 방법 및 평판 표시소자의 제조 방법을 제공한다.

상기 평판 표시소자는 임의의 간격을 두고 대향 배치되는 제1 및 제2 기판을 포함하고, 내부가 진공으로 유지되는 진공 용기와; 제1 및 제2 기판 사이에 배치되는 다수의 스페이서들을 포함하며, 각각의 스페이서가 본체와, 제1 및 제2 기판 중 적어도 한 기판에 대향하는 본체 단부에 구비되어 기판과 본체의 단부 사이를 채우며 위치하는 높이 보상부를 포함한다.

Description

스페이서를 구비한 평판 표시소자, 스페이서의 제조 방법 및 평판 표시소자의 제조 방법{FLAT PANEL DISPLAY WITH SPACER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SPACER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은 평판 표시소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표시소자 내부에서 스페이서들이 동일한 높이로 구비되어 상부 기판과 하부 기판의 간격을 일정하게 유지시키는 평판 표시소자, 스페이서의 제조 방법 및 평판 표시소자의 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로 평판 표시소자는 큰 부피와 고전압을 필요로 하는 음극선관과 달리, 두께가 얇고 저전압으로 동작하는 실질적으로 평탄한 표시소자를 통칭하며, 이러한 평판 표시소자로서 전계 방출 표시소자(FED; field emission display), 형광 표시관(VFD; vacuum fluorescent display), 액정 표시소자(LCD; liquid crystal display) 및 플라즈마 표시소자(PDP; plasma display panel) 등이 잘 알려져 있다.

상기한 평판 표시소자는 종류에 따라 세부적인 구조와 발광 원리가 상이하지만, 통상적으로는 상, 하부 기판이 밀봉재에 의해 가장자리가 접합된 이후 내부가 배기되어 이루어지는 진공 용기와, 진공 용기 내부에 배치되는 스페이서를 구비한다.

상기 스페이서는 표시소자의 내, 외압 차이에 의해 진공 용기에 가해지는 압력을 견디고, 상부 기판과 하부 기판을 일정한 간격으로 유지시키는 역할을 한다. 종래 평판 표시소자용 스페이서는 주로 유리나 세라믹으로 제작되고, 기둥형, 막대형, 십자형 또는 볼타입 등으로 구비되어 표시소자의 특성과 스페이서의 쓰임새에 따라 적절한 것이 사용된다.

이러한 스페이서는 사출 성형 또는 기계 가공 등의 방법으로 제작되며, 근래에 들어 감광성 유리를 이용한 제조 방법이 적용되고 있다. 감광성 유리로 이루어진 스페이서와 관련한 종래 기술로는 국내 공개특허공보 2000-65199호와 국내 공개특허공보 2000-46663호가 있다.

그런데 도 10에 도시한 바와 같이 종래 평판 표시소자의 진공 용기 내부를 살펴보면, 상, 하부 기판(1, 3) 사이에 위치하는 스페이서들(5)은 동일한 높이로 구비되지 않고 서로간 높이 차이를 갖게 된다. 이는 공정 편차 등에 의한 스페이서(5) 자체의 높이 차이와, 접착 페이스트(도시하지 않음)를 이용하여 스페이서(5)를 고정시킬 때, 접착 페이스트에 의한 높이 차이와, 양 기판에 형성되는 구조물(도시하지 않음)에 의한 높이 차이 등에 기인한다.

이로서 종래의 평판 표시소자는 스페이서(5)의 높이 차이에 의해 일부 스페이서에 압력이 집중되어 스페이서 파괴를 유발하고, 상부 기판(1)과 하부 기판(3)의 간격이 균일하지 않게 되어 표시소자의 화질이 저하되는 문제를 안고 있다.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 스페이서들이 표시소자 내부에서 동일한 높이를 갖도록 하여 스페이서 파괴를 방지하고, 상부 기판과 하부 기판의 간격을 일정하게 유지하여 간격 변화에 의한 화질 저하를 방지할 수 있는 평판 표시소자, 스페이서 제조 방법 및 평판 표시소자 제조 방법을 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,

임의의 간격을 두고 대향 배치되는 제1 및 제2 기판을 포함하고 내부가 진공으로 유지되는 진공 용기와, 제1 및 제2 기판 사이에 배치되는 다수의 스페이서들을 포함하며, 각각의 스페이서가 본체와, 제1 및 제2 기판 중 적어도 한 기판에 대향하는 본체 단부에 구비되어 기판과 본체의 단부 사이를 채우며 위치하는 높이 보상부를 포함하는 평판 표시소자를 제공한다.

상기 높이 보상부는 스페이서별로 서로 다른 두께로 형성되며, 스페이서들은 본체와 높이 보상부를 합한 높이가 모두 동일하게 이루어진다. 그리고 상기 높이 보상부는 본체와 동일한 단면 형상을 가지며 형성된다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,

본체를 제작하고, 본체의 적어도 일측 단부에 페이스트를 인쇄한 후 건조하여 높이 보상층을 형성하는 단계를 포함하는 스페이서의 제조 방법을 제공한다. 상기 높이 보상층의 두께는 스페이서 전체 높이의 3∼15%가 바람직하다.

상기 높이 보상층을 형성하는 단계는, 기판 위에 감광성 페이스트를 인쇄하고 건조하여 높이 보상층 형성을 위한 베이스층을 형성하고, 베이스층 위에 본체를 위치시키고, 본체 하부의 베이스층을 제외한 나머지 베이스층을 선택적으로 노광하고, 기판을 현상하여 노광된 베이스층을 제거하고, 기판으로부터 본체와 베이스층을 분리시키는 과정들을 포함한다.

이 때, 베이스층을 형성하기 이전, 기판 전면에 리프트-오프(lift-off)용 금속막을 더욱 형성할 수 있으며, 이 경우 노광된 베이스층을 제거한 다음, 리프트-오프용 금속막을 습식 에칭하는 단계를 더욱 포함한다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,

제1 및 제2 기판 상에 이미지 구현을 위한 구조물들을 형성하고, 본체의 적어도 일측 단부에 높이 보상층이 구비된 스페이서들을 제작하고, 스페이서들을 제1 기판 상에 설정된 비화소 영역에 위치시키고, 스페이서들을 사이에 두고 제1 기판 상에 제2 기판을 배치시키고, 제2 기판을 가압하면서 봉착과 동시에 소성하여 높이 보상층을 녹여 가압함으로써 제2 기판과 본체 단부 사이를 높이 보상층으로 채우는 단계를 포함하는 평판 표시소자의 제조 방법을 제공한다.

이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1과 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시소자의 부분 단면도이고, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시한 진공 용기와 스페이서들의 개략도이다.

도면을 참고하면, 평판 표시소자는 임의의 간격을 두고 대향 배치되는 제1 및 제2 기판(2, 4)을 포함하며 내부가 진공으로 유지되는 진공 용기(6)와, 제1 및 제2 기판(2, 4) 사이에 배치되는 다수의 스페이서들(8)을 기본 구성으로 한다. 스페이서(8)는 표시소자의 내, 외압 차이에 의해 진공 용기(6)에 가해지는 압력을 견디고, 제1 및 제2 기판(2, 4)을 일정한 간격으로 유지시키는 역할을 한다.

도 1 및 도 2에서는 평판 표시소자의 일례로 전계 방출 표시소자를 도시하였다. 본 실시예에서 제1 기판(2)에는 캐소드 전극들(10)과 게이트 전극들(12)이 절연층(14)을 사이에 두고 서로 교차하는 스트라이프 패턴으로 형성되며, 캐소드 전극(10)과 게이트 전극(12)이 교차하는 화소 영역마다 게이트 전극(12)과 절연층(14)을 관통하는 개구부(16)가 형성된다. 그리고 개구부(16)에 의해 노출된 캐소드 전극(10) 상에 전자 방출원인 에미터(18)가 위치한다.

상기 제1 기판(2)에 대향하는 제2 기판(4)의 일면에는 형광막들(20)과 흑색층(22)으로 이루어진 형광 스크린(24)이 형성되고, 형광 스크린(24)의 일면에는 애노드 전극으로 기능하는 금속막(26)이 형성된다. 금속막(26)에는 수백∼수천 볼트의 (+)전압이 인가되어 에미터(18)에서 방출된 전자들을 제2 기판을 향해 가속시킨다. 한편, 제2 기판과 형광 스크린 사이에는 적어도 하나의 투명 도전막(도시하지 않음)이 위치할 수 있다.

상기 제1 기판(2)에 대향하는 제2 기판(4)의 일면에는 애노드 전극(26)이 형성되고, 애노드 전극(26)의 일면에 형광막들(20)과 흑색층(22)으로 이루어진 형광 스크린(24)이 형성된다. 애노드 전극(26)은 ITO(indium tin oxide)와 같은 투명 전극으로 이루어진다. 한편, 형광 스크린(24) 표면에는 메탈 백(metal back) 효과에 의해 화면의 휘도를 높이는 금속막(도시하지 않음)이 형성될 수 있으며, 이 경우 투명 전극이 생략되고 금속막에 고전압이 인가되어 금속막이 애노드 전극으로 기능할 수 있다.

이로서 캐소드 전극(10)과 게이트 전극(12)에 소정의 구동 전압을 인가하면, 두 전극의 전압 차에 의해 에미터(18) 주위에 전계가 형성되어 에미터(18)로부터 전자가 방출되고, 방출된 전자는 금속막(26)에 인가된 (+)전압에 의해 제2 기판(4)으로 이끌려 해당 화소의 형광막(20)에 충돌함으로써 이를 발광시켜 소정의 표시가 이루어진다.

이 때, 상기 스페이서들(8)은 제1 기판(2) 상에 설정된 비화소 영역에 배치되며, 진공 용기(6) 내에 동일한 높이로 형성되어 제1 기판(2)과 제2 기판(4)의 간격을 일정하게 유지시킨다. 이를 위하여 스페이서(8)는 본체(8a)와, 제1 및 제2 기판(2, 4) 중 어느 한 기판에 대향하는 본체(8a) 단부, 일례로 제2 기판(4)에 대향하는 본체(8a) 상단에 구비되어 제2 기판(4)과 본체(8a) 상단 사이를 채우며 위치하는 높이 보상부(8b)로 이루어진다.

상기 본체(8a)는 유리, 세라믹 또는 감광성 유리 등으로 제작되며, 기둥형, 막대형, 십자형 또는 볼타입 등으로 형성된다. 도면에서는 일례로 십자형 본체를 도시하였다. 이 때, 본체(8a)는 공정 편차 등에 의해 본체(8a)간 임의의 높이 차이를 갖게 된다. 그리고 높이 보상부(8b)는 본체(8a)와 동일한 단면 형상을 갖는 일종의 막으로서, 본체(8a) 상단에 페이스트가 인쇄 및 건조된 후 진공 용기(6)의 봉착 공정에서 소성된 막으로 이루어진다.

이로서 제1 기판(2)의 가장자리에 도시하지 않은 밀봉재를 위치시키고, 고온 분위기에서 제2 기판(4)을 제1 기판(2) 위에 가압하여 접합시키는 봉착 공정시, 전술한 스페이서(8)는 높이 보상부(8b)가 고온에 의해 녹아 압착되면서 제2 기판(4)과 본체(8a) 상단 사이를 채우며 위치하여 본체(8a)간 높이 차이를 보상한다.

그 결과, 본 실시예에서 스페이서들(8)은 높이 보상부(8b)가 본체(8a)의 높이 차이를 보상하여 본체(8a)와 높이 보상부(8b)를 합한 높이가 모두 동일하게 이루어진다. 따라서 본 실시예에 따른 평판 표시소자는 스페이서들(8)의 높이를 동일하게 하여 모든 스페이서(8)에 균일한 압력이 가해지도록 하고, 제1 기판(2)과 제2 기판(4)의 사이 간격을 일정하게 유지시켜 표시소자의 화면 품질을 높이는 장점을 갖는다.

도 1과 도 2에서는 설명의 편의를 위해 매 열의 캐소드 전극(10)과 매 열의 게이트 전극(12) 사이에 스페이서(8)가 배치된 상태를 도시하였으나, 실질적으로 전계 방출 표시소자에서는 복수개 캐소드 전극(10) 열과 복수개 게이트 전극(12) 열 사이의 비화소 영역에 전술한 스페이서(8)가 배치된다.

한편, 상기에서는 평판 표시소자의 일례로 전계 방출 표시소자를 설명하였으나, 평판 표시소자는 전계 방출 표시소자에 한정되지 않고, 형광 표시관, 액정 표시소자 또는 플라즈마 디스플레이 패널 등으로 이루어질 수 있다. 또한, 전계 방출 표시소자의 구성은 도시한 구성에 한정되지 않고 다양하게 변형 가능하다.

다음으로는 도 4∼도 9를 참고하여 상기 스페이서를 이용한 평판 표시소자의 제조 방법에 대해 설명한다.

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이 제1 기판(2)과 제2 기판(4) 상에 이미지 구현을 위한 구조물들을 형성한다. 일례로 평판 표시소자가 전계 방출 표시소자인 경우, 제1 기판(2) 상에 캐소드 전극(10), 절연층(14), 게이트 전극(12) 및 에미터(18)를 형성하고, 제2 기판(2) 상에 형광 스크린(24)과 금속막(26)을 형성한다.

이어서, 도 4에 도시한 바와 같이 스페이서의 본체(8a)를 제작한다. 본체(8a)는 유리나 세라믹을 이용하여 사출 성형, 기계 가공 등의 방법으로 제작될 수 있으며, 감광성 유리를 이용하여 노광과 현상 과정을 통해 원하는 형상으로 제작될 수 있다. 도면에서는 일례로 십자형 본체를 도시하였다. 이 때, 본체(8a)는 공정 편차 등에 의해 본체(8a)간 임의의 높이 차이를 갖게 되며, 본체(8a)간 높이 차이를 보정하기 위하여 본체(8a)의 일단에 높이 보상층을 형성한다.

상기 높이 보상층을 형성하기 위한 한가지 방안으로서 도 5∼도 8에 도시한 방법을 적용할 수 있다. 이를 구체적으로 설명하면, 도 5에 도시한 바와 같이 기판(28)을 준비하고, 기판(28) 위로 리프트-오프(lift-off)용 금속막(30)을 형성하고, 이 금속막(30) 위에 감광성 페이스트를 인쇄 및 건조하여 높이 보상층 형성을 위한 베이스층(32)을 형성한다.

상기 리프트-오프용 금속막(30)으로는 크롬(Cr) 또는 알루미늄(Al)이 바람직하고, 공지의 진공증착 또는 스퍼터링 공정을 통해 대략 500∼2,000Å 두께로 형성한다.

이어서 도 6에 도시한 바와 같이, 베이스층(32) 위에 본체(8a)를 위치시키고, 기판(28) 상부에 설치된 광원(도시하지 않음)으로부터 자외선을 조사하여 베이스층(32)을 노광시킨다. 이러한 노광 과정을 통해 본체(8a) 하부의 베이스층(32)은 본체(8a)에 의해 자외선이 차단되고, 그 이외의 베이스층(32)은 자외선에 노출되어 선택적인 노광이 이루어진다. 그리고 상기 기판(28)을 현상하여 도 7에 도시한 바와 같이 노광된 베이스층을 선택적으로 제거함으로써 본체(8a) 하부의 베이스층(32)만을 기판(28) 상에 잔류시킨다.

전술한 노광과 현상 공정에서 상기 본체(8a)가 노광 마스크 역할을 하므로, 본 실시예에서는 별도의 노광 마스크와 정렬 단계를 필요로 하지 않는다. 따라서 상기 방법은 감광성 페이스트의 전면 인쇄와, 본체(8a)에 의한 선택 노광에 의해 공정이 단순해지고, 대량 생산에 용이한 장점을 갖는다. 이 때, 필요에 따라 본체(8a) 상단에 금속막(도시하지 않음)을 형성할 수 있으며, 이 경우 본체(8a)의 자외선 차단 효과를 높여 베이스층(32) 패터닝을 보다 용이하게 할 수 있다.

다음으로, 도 7에 도시한 기판(28)을 리프트-오프용 금속막(30) 에천트에 습식 에칭하여 리프트-오프용 금속막(30)을 제거한다. 이로서 도 8에 도시한 바와 같이 본체(8a)와 높이 보상층(8c)으로 이루어진 스페이서들(8)을 완성한다.

이어서 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 기판(2) 상에 설정된 비화소 영역에 전술한 스페이서(8)를 장착한다. 스페이서들(8)은 일례로 도시하지 않은 접착 페이스트를 통해 도 1에 도시한 절연층(14) 상의 비화소 영역에 고정될 수 있다. 그리고 제1 기판(2)의 가장자리에 밀봉재(도시하지 않음)를 형성하고, 제1 기판(2) 위에 제2 기판(4)을 위치시킨다.

이와 같이 스페이서(8)를 사이에 두고 제1 기판(2) 상에 제2 기판(4)을 위치시키면, 본체(8a)의 높이 차이에 의해 어떤 스페이서들은 제2 기판(4)과 밀착하나, 다른 스페이서들은 제2 기판(4)과 임의의 간격을 두고 위치하는 모습을 나타낸다.

다음으로, 제1 및 제2 기판(2, 4)을 고온 분위기에서 봉착과 동시에 소성하여 양 기판을 접합시킨다. 이 과정에서 스페이서(8)의 높이 보정층(8c)이 고온에 의해 녹으면서 제2 기판(4)을 누르는 힘에 의해 가압되어 제2 기판(4)과의 간극 없이 제2 기판(4)과 본체(8a)의 단부 사이를 채우며 위치하여 높이 보상부(8a)를 형성한다. 그리고 밀봉재 또한 고온에 의해 녹으면서 제2 기판(4)을 누르는 힘에 의해 가압되어 제1 및 제2 기판(2, 4)의 가장자리를 일체로 접합시킨다.

이 때, 높이 보상층(8c)의 두께(t1)는 봉착 공정 이전, 제2 기판(4)과 스페이서(8) 사이의 최대 간격(t2)보다 크게 형성되는 것이 바람직하며, 높이 보상층(8c)의 두께를 스페이서(8) 전체 높이의 3∼15%로 형성할 때에 높이 보상부(8b)가 제2 기판(4)과의 간극 없이 제2 기판(4)과 본체(8a)의 단부 사이를 공고하게 채우며 위치할 수 있다.

이와 같이 봉착 공정 이전, 다양한 높이를 갖는 스페이서들(8)은 봉착 공정 이후, 높이 보정부(8b)에 의해 동일한 높이로 형성된다. 그리고 각각의 스페이서(8)는 높이 보정부(8b)에 의해 제2 기판(4)에 고착되어 스페이서(8)의 위치 이동과 탈락이 방지된다.

마지막으로, 제1 기판(2)에 형성된 배기구(도시하지 않음)를 통해 양 기판의 내부 공간을 배기시키고, 배기구를 밀봉시켜 진공 용기(6)를 형성함으로써 도 1 및 도 2에 도시한 평판 표시소자를 완성한다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 표시소자 내부에 위치하는 스페이서들은 높이 보상부에 의해 모두 동일한 높이로 형성된다. 따라서 본 실시예에 따른 평판 표시소자는 모든 스페이서에 균일한 압력이 가해져 스페이서의 파괴를 억제하고, 스페이서의 지지력이 강화되며, 제1 기판과 제2 기판의 간격을 일정하게 유지시켜 표시소자의 화면 품질을 높이는 효과가 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시소자의 부분 단면도이다.

도 3은 도 1 및 도 2에 도시한 진공 용기와 스페이서들의 개략도이다.

도 4∼도 9는 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시소자의 제조 방법을 설명하기 위한 각 단계에서의 개략도이다.

도 10은 종래 기술에 의한 평판 표시소자 가운데 진공 용기와 스페이서의 개략도이다.

Claims (15)

1. 임의의 간격을 두고 대향 배치되는 제1 및 제2 기판을 포함하고, 내부가 진공으로 유지되는 진공 용기; 및

   상기 제1 및 제2 기판 사이에 배치되는 다수의 스페이서들을 포함하며,

   상기 각각의 스페이서가,

   본체; 및

   상기 제1 및 제2 기판 중 적어도 한 기판에 대향하는 본체 단부에 구비되어 상기 기판과 본체의 단부 사이를 채우며 위치하는 높이 보상부

   를 포함하는 평판 표시소자.
2. 제1항에 있어서,

   상기 높이 보상부가 상기 스페이서별로 서로 다른 두께로 형성되는 평판 표시소자.
3. 제1항에 있어서,

   상기 스페이서들은 상기 본체와 높이 보상부를 합한 높이가 모두 동일하게 이루어지는 평판 표시소자.
4. 제1항에 있어서,

   상기 높이 보상부가 상기 본체와 동일한 단면 형상을 가지며 형성되는 평판 표시소자.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 평판 표시소자가 전계 방출 표시소자로 이루어지며,

   상기 전계 방출 표시소자가,

   상기 제1 기판 상에서 절연층을 사이에 두고 배치되는 캐소드 전극들 및 게이트 전극들과;

   상기 캐소드 전극에 마련되는 전자 방출원과;

   상기 제2 기판 상에 형성되는 애노드 전극; 및

   상기 애노드 전극의 어느 일면에 위치하는 형광막

   을 포함하는 평판 표시소자.
6. 본체를 제작하고;

   상기 본체의 적어도 일측 단부에 페이스트를 인쇄한 후 건조하여 높이 보상층을 형성하는 단계

   를 포함하는 스페이서의 제조 방법.
7. 제6항에 있어서,

   상기 높이 보상층을 형성하는 단계에서, 높이 보상층의 두께를 스페이서 전체 높이의 3∼15%로 형성하는 스페이서의 제조 방법.
8. 제6항에 있어서,

   상기 높이 보상층을 형성하는 단계가,

   (a) 기판 위에 감광성 페이스트를 인쇄하고 건조하여 높이 보상층 형성을 위한 베이스층을 형성하고;

   (b) 상기 베이스층 위에 본체를 위치시키고;

   (c) 상기 본체 하부의 베이스층을 제외한 나머지 베이스층을 선택적으로 노광하고;

   (d) 상기 기판을 현상하여 노광된 베이스층을 제거하고;

   (e) 상기 기판으로부터 본체와 베이스층을 분리시키는 단계

   를 포함하는 스페이서의 제조 방법.
9. 제8항에 있어서,

   상기 (a)단계 이전에, 상기 기판 전면에 리프트-오프(lift-off)용 금속막을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 스페이서의 제조 방법.
10. 제9항에 있어서,

    상기 (d)단계와 (e)단계 사이에, 상기 리프트-오프용 금속막을 습식 에칭하는 단계를 더욱 포함하는 스페이서의 제조 방법.
11. 제1 및 제2 기판 상에 이미지 구현을 위한 구조물들을 형성하고;

    본체의 적어도 일측 단부에 높이 보상층이 구비된 스페이서들을 제작하고;

    상기 스페이서들을 제1 기판 상에 설정된 비화소 영역에 위치시키고;

    상기 스페이서들을 사이에 두고 상기 제1 기판 상에 제2 기판을 배치시키고;

    상기 제2 기판을 가압하면서 봉착과 동시에 소성하여 상기 높이 보상층을 녹여 가압함으로써 제2 기판과 본체 단부 사이를 높이 보상층으로 채우는 단계

    를 포함하는 평판 표시소자의 제조 방법.
12. 제11항에 있어서,

    상기 스페이서들을 제작할 때에, 높이 보상층의 두께를 스페이서 전체 높이의 3∼15%로 형성하는 평판 표시소자의 제조 방법.
13. 제11항에 있어서,

    상기 스페이서를 제작하는 단계가,

    (a) 본체를 제작하고;

    (b) 기판 위에 감광성 페이스트를 인쇄하고 건조하여 높이 보상층 형성을 위한 베이스층을 형성하고;

    (c) 상기 베이스층 위에 본체를 위치시키고;

    (d) 상기 본체 하부의 베이스층을 제외한 나머지 베이스층을 선택적으로 노광하고;

    (e) 상기 기판을 현상하여 노광된 베이스층을 제거하고;

    (f) 상기 기판으로부터 본체와 베이스층을 분리시키는 단계

    를 포함하는 평판 표시소자의 제조 방법.
14. 제13항에 있어서,

    상기 (b)단계 이전에, 상기 기판 전면에 리프트-오프용 금속막을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 평판 표시소자의 제조 방법.
15. 제14항에 있어서,

    상기 (e)단계와 (f)단계 사이에, 상기 리프트-오프용 금속막을 습식 에칭하는 단계를 더욱 포함하는 평판 표시소자의 제조 방법.