KR0139601B1 - 평판 디스플레이 장치용 스페이서 - Google Patents

평판 디스플레이 장치용 스페이서

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KR0139601B1
KR0139601B1 KR1019940002531A KR19940002531A KR0139601B1 KR 0139601 B1 KR0139601 B1 KR 0139601B1 KR 1019940002531 A KR1019940002531 A KR 1019940002531A KR 19940002531 A KR19940002531 A KR 19940002531A KR 0139601 B1 KR0139601 B1 KR 0139601B1
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KR
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KR1019940002531A
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Inventor
로이 안토니
Original Assignee
윌리엄 티. 엘리스
인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
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Abstract

디스플레이 장치의 뒷판으로부터 평판 디스플레이 장치의 스크린을 일정 간격으로 이격시키기 위한 스페이서(60)은 뒷판에 대해 스크린을 지지하기 위한 유전체 무기질로 형성된 돌출물(62), 및 디스플레이 장치의 뒷판에 돌출물(62)를 부착시키기 위한 돌출물(62)의 한 단부에 배치된 부착물층(64)를 포함한다.

Description

평판 디스플레이 장치용 스페이서
제1도는 전계 방출 디스플레이 장치의 단면도.
제2도는 전계 방출 디스플레이 장치의 사시도.
제3a, 3b 및 3c도는 본 발명의 바람직한 스페이서의 사시도.
제4도는 본 발명에 따른 스페이서를 위치설정하기 위한 장치의 바람직한 실시예의 사시도.
제5a도 및 제5b도는 동작시 제4도에 도시된 장치의 측면도.
제6도는 본 발명에 따른 스페이서를 위치설정하기 위한 장치의 다른 바람직한 실시예의 측면도.
제7a 및 7b도는 본 발명에 따른 스페이서를 위치설정하기 위한 장치의 또다른 실시예의 측면도.
제8도는 본 발명의 스페이서를 제조하는 바람직한 방법을 예시하는 공정 흐름도.
제9도는 롤러 상을 지나가는 본 발명의 스페이서의 어레이의 측면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10:스크린(앞판)20:뒷판
22:부착 위치31,32,33:도전성 베이스
41,42,43:열 내의 도체50:절연층
60:스페이서62:돌출물
66:스페이서의 2차원 어레이70:투명한 도전층
64:부착물80:음극
81,82,83:음극의 어레이90,100,110:행 내의 도체
130,140,150:인 스트립120:도전성 게이트 층
400:픽 앤드 플레이스 헤드410,520:초음파 혼
500:섬유510:위치설정용 헤드
800:웹
본 발명은 전계 방출 디스플레이 장치(field emission display)와 같은 평탄 디스플레이 장치용 스페이서에 관한 것이다.
미합중국 특허 제4,857,799호에 종래의 칼라 전계 방출 디스플레이 장치의 예가 기술되어 있다. 이러한 디스플레이 장치는 전형적으로 전계 방출 음극의 2차원 매트릭스 위에 일정 간격 떨어져서 놓인 음극 발광(cathodoluminescent) 스크린을 포함한다. 미합중국 특허 제3,789,471호, 제3,665,241호 및 제3,775,704호에는 이러한 음극을 생성하는 방법 및 그 예가 기술되어 있다. 각각의 음극은 3개의 전계 방출 팁(tip) 어레이를 포함한다. 각각의 어레이는 전형적으로 300×300미크론의 표면 영역을 덮는다. 어레이는 각각 실질적으로 동일한 수의 팁(전형적으로 1000개)를 포함한다. 스크린은 다수의 화소들로 분할된다. 각 화소는 3개의 부하소로 분할된다. 각 부화소는 적, 녹 및 청의 삼원색 중에서 어느 하나에 각각 대응되는 인광(phosphor)에 의해 형성된다. 각각의 음극 어레이는 대응하는 화소 중 어느 한 개의 부화소와 면한다. 어레이들은 행 및 열 도체들을 통해 개별적으로 어드레싱될 수 있다.
동작시, 적, 녹 및 청의 입력 비디오 신호에 의해 결정되는 전압들은 행 및 열의 도체들에 순차적으로 인가되어 각 캐소드를 래스터 방식(raster fashion)으로 차례로 어드레싱한다. 전압들은 상호작용하여 각각의 팁에 국부화된 높은 전계를 발생시킨다. 국부화된 전계는 터널링 효과에 의해 전자들이 팁으로부터 방출되도록 한다. 전자들은 스크린과 음극 매트릭스 사이에 발생된 전계에 의해 인광을 향해 집단적으로 가속된다. 인광은 입사된 전자들에 의해 여기되어 입력 비디오 신호들의 함수로서 영상을 디스플레이한다.
소정의 종래 전계 방출 디스플레이 장치에서, 스크린은 200 미크론 직경의 볼 스페이서에 의해 음극으로부터 이격된다. 스페이서는 유전체로 형성된다. 유전체는 폴리프로필렌과 같은 플라스틱 물질이거나 유리와 같은 무기질일 수 있다. 유기질의 접착제가 스페이서를 제자리에 고착시킨다. 그러나, 이러한 접착제는 디스플레이 장치 내부와 같은 진공 환경에서 휘발하는 경향이 있다. 휘발된 접착제는 디스플레이 장치의 내부를 더럽힌다. 이것은 디스플레이 장치의 성능을 저하시킬 수 있다. 더우기, 각 스페이서는 아래에 놓여있는 음극의 상당 부분을 가리게 된다.
종래의 다른 전계 방출 디스플레이 장치에서는, 스크린은 100 내지 200마이크론 두께의 폴리이미드(polyimide) 피착막으로부터 에칭된 필러(pillar) 어레이에 의해 음극으로부터 떨어져 있다. 필러에 의해 높은 종횡비의 디스플레이 장치가 제조될 수 있다. 그러나, 필러 또한 유기물이어서, 상술한 장치에서와 같이 필러 물질의 휘발성에 의해 디스플레이 장치의 성능이 저하될 수 있다. 더우기, 필러의 제조 공정은 전형적으로 6 내지 7단계를 포함하므로 비용을 부가시키고 수율을 감소시킨다.
종래의 가스 플라즈마 디스플레이 장치에서, 스페이서는 후막 프린팅 기술(thick film priniting technique)에 의해 피착된다. 스페이서는 세라믹 기판의 잉크 형태로 피착된 후 불에 의해 경화된다. 이러한 공정의 단점은 2:1 이상의 스페이서 종횡비를 갖는 가스 플라즈마 디스플레이 장치를 얻는 것이 어렵다는 것이다.
본 발명에 따르면, 평판 디스플레이 장치의 스크린을 디스플레이 장치의 뒷판으로부터 일정 간격 이격시키기 위한 스페이서가 제공되는데, 이 스페이서는 뒷판에 대해 스크린을 지지하기 위한 유전체가 무기물로 형성된 돌출물(extrusion), 및 상기 돌출물을 디스플레이 장치의 뒷판에 부착시키기 위해 돌출물의 한 단부에 배치된 부착물층을 포함한다. 본 발명의 스페이서는 유기물로 구성되지 않기 때문에 평판 디스플레이 장치의 성능에 영향을 주지 않는다.
바람직하게는, 돌출물은 디스플레이 장치의 시청자에게 잘 보이지 않으면서 스페이서의 안정도를 증가시키도록 십자형 단면을 갖는다. 스페이서의 폭은 양호하게 디스플레이 장치의 화소간 갭과 정합한다.
돌출물은 일반적으로 유리나 세라믹으로 형성된다.
부착물 층은 유리로 형성된다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 돌출물은 투명한 유리로 형성되고 부착물은 불투명한 유리로 형성된다. 이것은 캐리어 기판(carrier substrate) 상에 장착된 스페이서의 2차원 어레이를 픽 앤드 플레이스 헤드(pick and place head)에 공급하고, 픽 앤드 플레이스 헤드를 사용하여 어레이로부터 스페이서를 선택하고, 선택된 스페이서를 뒷판 상의 부착 위치에 배치하며, 픽 앤드 플레이스 헤드 내의 레이저 출력으로부터 돌출물을 통해 부착물층으로 레이저 펄스를 유도하여 부착물층을 용융시켜서 스페이서를 뒷판에 결합시킴으로써 스페이서가 뒷판 상에 배치되도록 한다. 다른 방도로써 부착물 층은 금속으로 형성될 수도 있다. 이것은 캐리어 기판 상에 장착된 스페이서의 2차원 어레이를 픽 앤드 플레이스 헤드에 공급하고, 픽 앤드 플레이스헤드를 사용하여 어레이로부터 스페이서를 선택하고, 선택된 스페이서를 뒷판의 부착 위치에 배치하며, 픽 앤드 플레이스 헤드에 배치된 초음파 혼을 사용하여 부착물층을 뒷판에 초음파적으로 결합함으로써 스페이서가 뒷판 상에 배치될 수 있도록 한다. 이렇게 함으로써 상술한 종래의 사진 평판기술에 의해 스페이서 배치를 완료하는데 요구되는 시간보다 짧은 시간(전형적으로 100개의 스페이서당 3.5분)에 스페이서를 뒷판 상에 정확하게 배치할 수 있게 한다.
더우기, 픽 앤드 플레이스 헤드에 관찰 시스템(vision system)을 설치하여 불완전한 스페이서를 불합격시키고 잘못된 부착을 검출하도록 할 수 있다. 픽 앤드 플레이스 헤드는 잘못된 부착의 교정 작업을 즉시 수행할 수 있다. 그래서, 본 발명에 의해 매우 높은 제조 수율을 얻을 수 있다.
상술한 캐리어 기판은 유연한 웹(web)의 형태로 되어 있을 수 있으며, 이러한 유연한 웹의 형태에서는 캐리어 기판을 각이진 경로를 따라 이동시킴으로써 만곡이 형성되어 어레이의 열 각각의 스페이서들이 픽 앤드 플레이스 헤드에 순차적으로 노출되어 접근이 용이하게 될 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 디스플레이 장치의 뒷판으로부터 평판 디스플레이 장치의 스크린을 일정 간격 이격시키기 위한 장치가 제공되는데, 이 장치는 뒷판에 대해 스크린을 지지하기 위한 무기질 유전체의 돌출물, 및 뒷판에 돌출물을 부착시키기 위해 뒷판 상에 배치된 부착 층을 포함한다. 부착물층은 바람직하게는 초음파적으로 변형 가능한 금속을 포함한다.
본 발명은 평판 디스플레이 장치의 뒷판에 스페이서를 부착시키는 방법까지 더욱 확장되는데, 이 방법은 위치 설정용 헤드에 무기질 유전체 섬유를 공급하는 단계, 섬유의 자유 단부를 뒷판 상에 초음파적으로 변경가능한 금속으로 형성된 부착 위치에 배치시키는 단계, 위치 설정용 헤드에 배치된 초음파 혼을 사용하여 섬유의 자유 단부를 부착 위치 내로 넣는 단계, 및 위치설정용 헤드에 배치된 길로틴(guillotine)을 사용하여 부착 위치로부터 소정 길이의 섬유를 절단하는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 평판 디스플레이 장치의 스크린을 디스플레이 장치의 뒷판으로부터 일정 간격 이격시키기 위한 스페이서를 제조하기 위한 방법이 제공되는데, 이 방법은 제1금속층을 무기질 유전체 기판상에 피착하는 단계, 포토레지스트 층을 제1금속층 상에 피착하는 단계, 포토레지스트를 처리하여 포토레지스트 내의 개구부 어레이를 통해 금속 부착물을 노출시키는 단계, 제2금속층을 포토레지스트 상에 피착하는 단계, 캐리어 기판을 제2금속층에 접착시키는 단계, 유전체 기판에 스페이서 어레이를 정의하는 단계, 제1금속층 및 포토레지스트를 에칭하여 각 스페이서가 금속의 부서지기 쉬운 네크에 의해 제2금속층에 부착된 상태로 남도록 하는 단계를 포함한다. 이렇게 함으로써 매우 높은 밀도의 스페이서가 제조될 수 있어서, 디스플레이 장치 내의 스페이서의 밀도에 대한 어레이 내의 스페이서의 밀도의 비와 직접적인 관계가 있는 공정 시간 및 비용을 절약하게 한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 평판 디스플레이 장치의 스크린을 디스플레이 장치의 뒷판으로부터 일정 간격 이격시키기 위한 스페이서를 제조하기 위한 방법이 제공되는데, 이 방법은 무기질 유전체 기판 상에 부착물질 층을 피착하는 단계, 부착 물질 층을 캐리어 기판에 결합하는 단계, 및 유전체 기판을 다이싱(dicing)하여 스페이서의 어레이를 정의하는 단계를 포함한다.
부착 물질층을 피착하는 단계는 유전체 기판을 유리층으로 스핀-코팅(spin-coating)하는 단계를 포함한다. 다른 방도로는, 부착 물질층을 피착하는 단계는 금속 층을 유전체 기판 상에 전착(electro-depositing)하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 평판 디스플레이 장치의 뒷판에 스페이서를 부착하기 위한 방법이 제공되는데, 이 방법은 무기질 유전체 물질로 이루어진 섬유를 위치설정용 헤드에 제공하는 단계, 섬유의 자유 단부를 용융된 금속의 저장기에 담금으로써 금속층을 섬유의 자유 단부 상에 피착하는 단계, 삼유의 자유 단부를 뒷판 상의 부착 위치에 배치시키는 단계, 금속층을 위치설정용 헤드의 초음파 혼을 사용하여 부착 위치의 섬유의 자유 단부상에 납땜하는 단계, 및 용접에 의해 접착부로부터 소정 길이의 섬유를 절단하는 단계를 포함한다.
본 발명은 상술한 11개의 문단에 기술된 바와 같이 스페이서를 포함하는 전계 방출 디스플레이 장치나 가스 플라즈마 패널과 같은 평판 디스플레이 장치로 확장될 수 있다.
제1도를 참조하면, 칼라 전계 방출 디스플레이 장치는, 예를 들면 이산화규소로 이루어진 비도전성 뒷판(20)으로부터 일정 간격 떨어져 겹쳐 놓여진 투명 스크린(10)을 포함한다. 뒷판(20)과 면한 스크린(10)의 표면은, 예를 들면 인듐 주석 산화물로 이루어진 투명한 전도층(70)을 갖는다. 음극(80)의 매트릭스가 화면(10)과 면한 뒷판(20)의 표면 상에 제공된다. 각각의 음극(80)은, 예를 들면 몰리브덴으로 이루어진 전계 방출기 팁의 3개의 어레이(81,82,83)을 포함한다. 이들 각각의 어레이는 실질적으로 동일한 면적을 차지한다. 이들 각각의 어레이는 적, 녹 및 청의 3원색 중에서 서로 다른 어느 하나에 각각 대응한다. 팁들은 직경이 약 1.4μm로서 약 5μm의 간격으로 배치된다. 각 어레이의 면적은 전형적으로 250μm2이다.
어레이(81,82,83)은 예를 들면 뒷판(20)을 통과하여 연장하는 비정질 실리콘으로 이루어진 도전성 베이스(31,32,33)을 각각 갖추고 있다. 매트릭스의 각 행내의 음극 어레이의 베이스(31,32,33)은 예를 들면 니오븀(Niobium)으로 이루어진 도전성 스트립이나 도체(41,42,43)의 행에 의해 상호 접속된다. 팁은 예를 들면 이산화규소로 이루어진 절연층(50)에 형성된 피트(pit)로부터 앞판(10)을 향해 돌출한다. 예를 들어 니오븀으로 이루어진 도전성 게이트 층(120)이 스크린(10)과 면한 절연층(50) 표면상에 제공된다. 게이트 층(120)은 각 음극의 어레이(81,82,83) 각각에 공통된다. 매트릭스 어레이의 음극의 각 열을 따르는 게이트 층(120)은 도전성 스트립 또는 도체의 열(120)을 형성하도록 접속된다. 그러므로, 디스플레이 장치의 각 음극(80)의 어레이(81,82,83) 각각은 음극(80)의 베이스(31,32,33)에 접속된 도체(41,42,43)의 행 및 어레이(81,82,83)의 팁이 배치된 피트에 의해 관통되는 도체(120)의 열의 형태로 서로 수직한 어드레스 라인에 의해 어드레싱될 수 있다.
3원색 R, G 및 B에 대응하는 인광 스트립( 130,140,150)은 도전층(70) 상에 제공된다. 스트립(1301,40,150) 각각은 어레이(81,82,83)중 서로 다른 하나와 각각 면한다. 스크린(10)과 뒷판(20) 사이의 공간은 진공으로 된다. 그러므로, 약 200μm 길이와 약 20μm 폭의 유전체 스페이서(60)이 공간이 왜곡되는 것을 방지하기위해 스크린(10)과 뒷판(20) 사이에 제공된다. 스페이서(60)은 전형적으로 서로에 대해 20mm 간격으로 배치되고 뒷판(20)과 스크린(10) 사이를 전형적으로 200μm의 거리로 유지시킨다. 전형적으로 100개의 스페이서가 26cm의 디스플레이 장치 패널에 사용된다. 사용되는 스페이서의 수는 스페이서 물질의 압축 강도 및 판(10 및 20)을 형성하는데 사용된 물질의 두께 및 탄성 계수의 함수로서 최적화된다.
뒷판(20), 도체(120) 및 절연층(50)은 종래의 사진 석판법을 평면 확산법(planar diffusion), 전기화학 에칭법(electrochemical etching), 화학증착법 등과 같은 종래의 공정과 함께 사용하여 제조될 수 있다. 팁이 배치되는 피트들은 절연층(50)내로 이온 에칭될 수 있다. 팁 자체는 전자 빔 증발법과 전기화학 에칭법을 함께 사용하여 제조될 수 있다. 디스플레이 장치의 기계적인 강도를 증가시키기 위해, 뒷판(20)은 유리 기판 상에 제조될 수 있다.
제2도를 참조하면, 도전성 코팅(70)이 애노드 전압 발생기(200)에 접속되고, 도체들의 열이 열 구동기(210)에 접속되며, 도체들의 행은 행 구동기(220)에 접속된다. 동작시, 애노드 전압 발생기(200)은 도전층(70; 이하 애노드라 함)에 약 400V의 애노드 전압을 인가한다. 열 구동기(210)은 약 -30V의 구동 전압을 도체들의 열에 인가한다. 구동 전압은 베이스를 경유하여 어레이(81,82,83)의 팁에 전송된다. 행구동기(220)은 게이트를 형성하는 도체의 행에 전형적으로 50V의 바이어스 전압을 인가한다. 도체의 행렬 상의 전압은 각각의 팁으로부터 전자를 끌어 내기 위한 국부화된 높은 전계를 발생시키는데 서로 협동한다. 전자는 애노드(70)에 생성된 높은 전계에 의해서 인광(130,140,150)을 향해 집단적으로 가속된다. 각각의 팁은 전자를 인광(130,140,150)을 향해 전형적으로 30도의 원추형으로 발산하도록 방출한다. 예를 들면, 1000개의 팁을 포함하는 어레이로부터의 전체 전자 빔 전류는 약 100μA이다. 인광(130,140,150)은 입사 전자들에 의해 여기되어 디스플레이된 영상을 생성한다. 각각의 음극(80)은 디스플레이된 영상의 화소에 대응한다. 각 어레이의 음극은 디스플레이 장치된 영상의 각 화소의 적, 녹 및 청의 부화소 중 어느 하나에 대응한다.
도체들의 행렬은 통상적으로 구동기(210,220)에 의해 주사되어 구동 전압 및 바이어스 전압을 래스터 형식으로 각 음극(80)의 어레이(81,82,83)에 순차적으로 어드레싱한다. 구동기(210,220)은, 예를 들면 종래의 액정 디스플레이 장치나 플라즈마 패널 어드레스 구동기일 수 있다. 각 음극 상의 구동 전압은 일정하게 유지되지만, 음극당 3개의 게이트 전압이 디스플레이된 영상을 생성하기 위해 적, 녹 및 청 비디오 신호 각각의 함수로서 변이된다.
이제 제3a도, 제3b도 및 제3c도를 참조하면, 본 발명에 따라, 각 스페이서(60)은 세라믹이나 유리와 같은 무기질 유전체 물질로 이루어진 돌출물 또는 길이가 연장된 부준(62)를 포함한다. 돌출물(62)의 한 단부는 끝부분(64)에 디스플레이 장치의 뒷판(20)에 돌출물(62)를 부착시키기 위한 부착물층이 제공된다. 제3a도 및 제3b도를 참조하면, 본 발명의 스페이서의 단면은 원형이거나 직사각형일 수 있다.
제3c도를 참조하면, 본 발명의 바람직한 장치에서, 스페이서(60)의 단면은 잘 보이지 않으면서 안정도를 증가시키는 십자형일 수 있다.
제4도를 참조하면, 본 발명에 따른 전계 방출 디스플레이 장치를 조립하기 위한 바람직한 방법에 있어서, 스페이서(60)이 2차원 어레이(66) 내에서 픽 앤드 플레이스 헤드(400)에 공급된다. 그 다음 밀봉 프릿(sealing frit; 도시되지 않음)이 나중에 뒷판(20)을 스크린(10)에 밀봉하기 위해 뒷판에 제공된다. 다음으로, 픽 앤드 플레이스 헤드(400)이 어레이(66)으로부터 각 스페이서(20)을 순차적으로 선태하여, 이것을 감시 시스템(도시되지 않음)의 자동화된 제어 하에서 뒷판(20)의 부착 위치(22) 상에 배치시킨다. 각 픽 앤드 플레이스 헤드(400)에 배치된 적당한 에너지 소스(410)을 사용하여 부착 물질(64)를 활성화시킴으로써 스페이서(60)은 배치 후에 뒷판(20)에 부착된다. 모든 스페이서(60)의 뒷판(20)에 부착되면 스크린(10)이 뒷판(20) 상에 놓여진다. 이 단계에서는, 스크린(10)이 스페이서(60)이 아닌 밀봉 프릿에 의해 지지된다. 그 다음, 밀봉 프릿은 리플로우(reflow)되어, 스크린이 스페이서(60)에 의해 지지될 수 있도록 한다. 그 다음 디스플레이 장치는 밀봉되어 진공상태로 되거나, 진공 조건 하에서 조립된다. 이렇게 하여 스페이서(60)은 뒷판(20) 및 스크린(10)의 탄성 변형에 의한 압축력에 의해 유지된다.
제5a도 및 제5b도를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시에에 있어서, 돌출물(62)는 투명하고 부착물(64)는 뒷판 물질의 용융점보다 상당히 낮은 용융점을 갖는 접착용 유리이다. 접착용 유리가 불투명하게 되는 파장의 레이저 펄스가 유리를 용융시키는데 사용된다. 상술한 공정에서, 각 스페이서(60)은 픽 앤드 플레이스 헤드(400)의 레이저 출력(410)으로부터 돌출물(62)를 통해 전달되는 레이저 펄스 E로 유리층(64)를 용융시킴으로써 뒷판(20)에 부착된다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예에서, 부착물(64)는 돌출물(62)에 대해 바람직한 접착성을 갖는 초음파적으로 결합할 수 있는 금속이다. 이러한 금속의 예에는 알루미늄 및 금이 포함된다. 상술한 공정에서, 각 스페이서(60)은 이전의 예에서 사용된 레이저 대신 픽 앤드 플레이스 헤드(400)에 배치된 초음파 혼(410)을 사용하여 금속을 뒷판(20) 상의 금속처리된(metallised) 스페이서 위치(22)에 초음파적으로 용접함으로써 배치 후에 뒷판(20)에 부착된다. 금속처리된 스페이서 위치(22)는 디스플레이 기판 상에 전기적으로 고립된 섬의 형태를 하여 디스플레이 장치 구동 회로에서 단락이 일어나는 것을 방지한다.
제6도를 참조하면, 본 발명에 다른 전계 방출 디스플레이 장치를 조립하기 위한 다른 바람직한 방법에 있어서, 스페이서(60)은 초음파 혼(520)을 포함하는 위치 설정용 헤드(510)에 연속적인 섬유(500)의 형태로 공급된다. 뒷판(20)에 밀봉 프릿을 인가한 후 각 스페이서를 배치하기 전에, 섬유(500)의 자유 단부(530)이 용융된 금속의 저장기(540)내로 넣어진다. 그 다음 금속 코팅된 자유 단부(530)은 뒷판(20) 상의 스페이서 위치(22)에 배치되어 초음파 혼(520)에 의해 그 위치에 용접된다. 그 다음 제어된 길이의 섬유(500)가 위치설정용 헤드(510)으로부터 분리되어 절단기(550)에 의해 절단된다.
이제 제7a도 및 제7b도를 참조하면, 상술한 공정의 변형예에서, 섬유(500)의 자유단부(530)은 각 스페이서의 배치 사이에서 금속으로 코팅되지 않는다. 그대신, 자유 단부(530)은 초음파 에너지에 의해 뒷판(20) 상의 변형가능한 스페이서 위치(22')내로 삽입(sink)된다. 제7a도 및 제7b도에서, 변형가능한 스페이서 위치(22')는 뒷판(20)내로 파여져 있다. 그러나, 본 발명의 다른 실시예에서는 변형가능한 스페이서 위치들이 뒷판(20)의 표면으로부터 돌출될 수도 있다.
디스플레이 장치가 밀봉되어 진공으로 된 후에는 스페이서(60)이 압축에 의해 제자리에 유지되기 때문에 스페이서(60)과 뒷판(20)이 강력하게 접착될 필요는 없다.
이제 제8도를 참조하면, 본 발명의 스페이서(60)의 어레이(66)을 제조하기 위한 바람직한 방법에 있어서, 금속 부착물층(702)가 먼저 전기도금이 수반되는 무전극 시딩(seeding)에 의해 유전체 기판(701) 상에 피착된다. 그 다음 포토레지스트(703)이 금속 부착물층(702) 상에 피착된다. 포토레지스트(703)은 마스크를 통해 노출되어 포토레지스트(703)을 통해 금속 부착물층(702)까지 아래로 개구부(704)의 어레이를 남기도록 현상된다. 제2금속 부착물층(705)는 현상된 포토레지스트(703) 상에 예를 들어 전기도금이 수반되는 무전극 시딩에 의해 피착된다. 캐리어 기판(706)이 접착제(708)에 의해 제2금속 부착물층(705)에 결합된다. 접착제는 예를 들어 에폭시와 같이 다음 공정과 양립할 수 있는 열가소성이나 열경화성 접착제면 어느 것도 가능하다. 스페이서(60)은 사진석판법이나 다이싱 소(dicing saw)의 사용을 통해 유전체 기판(701)에 정의된다. 사진석판법에 의해 직사각형 이외의 다른 형태의 단면, 예를 들어 원형이나 십자형의 단면을 갖는 스페이서를 한정할 수 있다.
금속 부착물층(702)은 각 스페이서(60)이 금속의 부서지기 쉬운 네크(707)에 의해 캐리어 기판(706)에 접착된 상태로 남도록 에칭된다. 각각의 네크(707)은 쉽게 절단되어 상술한 픽 앤드 플레이스 동작 동안 대응하는 스페이서(60)을 해제시킬 수 있다.
본 발명의 스페이서(60)을 제조하기 위한 다른 바람직한 방법에서, 유리층이 유전체 기판 상에 스핀-코팅되거나 스크린된 다음 리플로우된다. 그 다음, 유전체기판이 압력 감지 실리콘이나 아크릴 접착제와 같은 저 점성(tack) 접착제를 통해 캐리어 기판에 부착된다. 스페이서는 상술한 픽 앤드 플레이스 동작 동안 저 점성 접착제로부터 용이하게 떨어질 수 있다. 상기 공정의 변형에서는, 유리층 대신 금속층이 유전체 기판 상에 피착된다. 금속층은 무전극 시딩 및 전기 도금에 의해 피착된다. 제9도를 참조하면, 캐리어 기판은 양호하게 유연한 웹(800)의 형태로 되어 있으며, 픽 앤드 플레이스 장치 내의 롤러(810) 상에서 이동하도록 유도된다. 웹(800)은 롤러(810) 상을 통과하면서 스페이서(60)의 연속적인 열(820-822)를 픽 앤드 플레이스 헤드(400)에 순차적으로 노출시킬 수 있는 각만큼 만곡된다.
이제까지, 본 발명의 바람직한 실시예가 칼라 전계 방출 디스플레이 장치를 참조하여 기술되었지만, 본 발명은 단색 전계 방출 디스플레이 장치에도 동일하게 적용될 수 있다.

Claims (14)

  1. 스크린, 뒷판, 상기 스크린을 상기 뒷판으로부터 일정 간격 이격시켜서 상기 스크린과 상기 뒷판 간에 공간을 형성하기 위한 한 개 이상의 스페이서(spacer), 및 상기 공간을 밀봉하기 위한 수단을 포함하는 평판 디스플레이 장치에 있어서,
    상기 공간은 상기 한 개 이상의 스페이서가 상기 뒷판 사이에서 압축될 수 있도록 충분히 진공으로 되어 있으며,
    상기 스페이서는
    유전체 무기질로 형성되어 있으며, 상기 스크린을 상기 뒷판에 대해 지지하기 위한 돌출물-상기 돌출물의 단면은 십자 형태이어서 상기 압력 하에서 상기 뒷판과 상기 스크린이 일정한 간격을 유지하도록 충분한 안정성을 제공할 수 있음- , 및
    상기 돌출물의 한 단부에 배치되어 있으며 상기 돌출물을 상기 디스플레이 장치의 뒷판에 부착시키기 위한 비유기물질의 부착물층
    을 포함하는 디스플레이 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 부착물층이 초음파적으로 변형가능한 금속을 포함하는 디스플레이 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 돌출물이 유리로 형성되는 디스플레이 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 돌출물이 세라믹으로 형성되는 디스플레이 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 부착물층이 유리로 형성되는 디스플레이 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 부착물층이 금속으로 형성되는 디스플레이 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 돌출물이 투명한 유리로 형성되고,
    상기 부착물층이 불투명한 유리로 형성되어,
    광선이 상기 돌출물을 통과하여 상기 부착물층을 용융함으로써 상기 돌출물이 상기 뒷판에 부착될 수 있도록 되어 있는 디스플레이 장치.
  8. 평판 디스플레이 장치에 있어서,
    ① 복수의 화소를 구비한 스크린-상기 화소 간에는 갭(gaps)이 있음-,
    ② 뒷판,
    ③ 상기 스크린을 상기 뒷판으로부터 일정 간격 이격시켜서 상기 스크린과 상기 뒷판 간에 공간을 형성하기 위한 복수의 스페이서(spacer)-상기 스페이서의 폭은 상기 화소 간의 갭과 정합되도록 선택됨-, 및
    ④ 상기 공간을 상기 한 개 이상의 스페이서가 상기 뒷판 사이에서 압축될 수 있도록 충분히 진공으로 되어 있는 압축 공간으로 밀봉하기 위한 수단을 포함하고,
    상기 스페이서는
    ⓐ 유전체 무기질로 형성되어 있으며 상기 스크린을 상기 뒷판에 대해 지지하기 위한 돌출물-상기 돌출물의 단면은 십자 형태이어서 상기 압력 하에서 상기 뒷판과 상기 스크린이 일정한 간격을 유지하도록 충분한 안정성을 제공할 수 있음-, 및
    ⓑ 상기 돌출물의 한 단부에 배치되어 있으며 상기 돌출물을 상기 디스프레이 장치의 뒷판에 부착시키기 위한 비유기물질의 부착물층을 포함하는 디스플레이 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 돌출물이 유리로 형성되는 디스플레이 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 부착물층이 초음파적으로 변형가능한 금속을 포함하는 디스플레이 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 돌출물이 세라믹으로 형성되는 디스플레이 장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 부착물층이 유리로 형성되는 디스플레이 장치.
  13. 제8항에 있어서, 상기 부착물층이 금속으로 형성되는 디스플레이 장치.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 돌출물이 투명한 유리로 형성되고,
    상기 부착물층이 불투명한 유리로 형성되어,
    광선이 상기 돌출물을 통과하여 상기 부착물층을 용융함으로써 상기 돌출물이 상기 뒷판에 부착될 수 있도록 되어 있는 디스플레이 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100798432B1 (ko) * 2000-03-07 2008-01-28 쌩-고벵 글래스 프랑스 유리 스페이서와 상기 스페이서를 사용하는 방법

Families Citing this family (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5534743A (en) * 1993-03-11 1996-07-09 Fed Corporation Field emission display devices, and field emission electron beam source and isolation structure components therefor
US5629583A (en) * 1994-07-25 1997-05-13 Fed Corporation Flat panel display assembly comprising photoformed spacer structure, and method of making the same
US5949184A (en) * 1994-11-11 1999-09-07 Sony Corporation Light-emitting device and method of manufacturing the same
US5486126A (en) * 1994-11-18 1996-01-23 Micron Display Technology, Inc. Spacers for large area displays
US5789857A (en) * 1994-11-22 1998-08-04 Futaba Denshi Kogyo K.K. Flat display panel having spacers
US5598056A (en) * 1995-01-31 1997-01-28 Lucent Technologies Inc. Multilayer pillar structure for improved field emission devices
CA2166506C (en) * 1995-01-31 2000-11-28 Sungho Jin Improved field emission devices having corrugated support pillars with discontinuous conductive coating
US5704820A (en) * 1995-01-31 1998-01-06 Lucent Technologies Inc. Method for making improved pillar structure for field emission devices
US5561340A (en) * 1995-01-31 1996-10-01 Lucent Technologies Inc. Field emission display having corrugated support pillars and method for manufacturing
JP3320294B2 (ja) * 1995-02-03 2002-09-03 キヤノン株式会社 電子線発生装置、及び、それを用いた画像形成装置
US5859497A (en) * 1995-12-18 1999-01-12 Motorola Stand-alone spacer for a flat panel display
JPH09199039A (ja) * 1996-01-11 1997-07-31 Hitachi Ltd ガス放電型表示パネル及びその製造方法
US6433471B1 (en) * 1996-01-19 2002-08-13 Philips Electronics North America Corporation Plasma addressed liquid crystal display with glass spacers
US5785569A (en) * 1996-03-25 1998-07-28 Micron Technology, Inc. Method for manufacturing hollow spacers
US5708325A (en) * 1996-05-20 1998-01-13 Motorola Display spacer structure for a field emission device
US5811927A (en) * 1996-06-21 1998-09-22 Motorola, Inc. Method for affixing spacers within a flat panel display
US5910703A (en) * 1996-07-31 1999-06-08 Hewlett-Packard Company High voltage spacer for a flat panel display with specific cross section
US5789848A (en) * 1996-08-02 1998-08-04 Motorola, Inc. Field emission display having a cathode reinforcement member
EP0827181A3 (en) * 1996-08-29 1998-10-14 Motorola, Inc. Method for affixing spacers in a flat panel display
GB2317987A (en) * 1996-10-04 1998-04-08 Ibm Display devices
US6008573A (en) * 1996-10-04 1999-12-28 International Business Machines Corporation Display devices
CN1147906C (zh) 1996-12-16 2004-04-28 松下电器产业株式会社 气体放电屏及其制造方法
US6278066B1 (en) 1996-12-20 2001-08-21 Candescent Technologies Corporation Self-standing spacer wall structures
US5851133A (en) * 1996-12-24 1998-12-22 Micron Display Technology, Inc. FED spacer fibers grown by laser drive CVD
JP3234188B2 (ja) * 1997-03-31 2001-12-04 キヤノン株式会社 画像形成装置とその製造方法
US5777432A (en) * 1997-04-07 1998-07-07 Motorola Inc. High breakdown field emission device with tapered cylindrical spacers
US5831383A (en) * 1997-05-12 1998-11-03 Motorola Inc. Spacer pads for field emission device
FR2764109A1 (fr) * 1997-05-30 1998-12-04 Commissariat Energie Atomique Espaceurs pour ecran plat de visualisation
FR2764729A1 (fr) * 1997-06-13 1998-12-18 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'espaceurs pour ecran plat de visualisation
US5872424A (en) * 1997-06-26 1999-02-16 Candescent Technologies Corporation High voltage compatible spacer coating
JP3457162B2 (ja) * 1997-09-19 2003-10-14 松下電器産業株式会社 画像表示装置
US6630782B1 (en) 1997-12-01 2003-10-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus having electrodes comprised of a frame and wires
US6133689A (en) * 1997-12-31 2000-10-17 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for spacing apart panels in flat panel displays
KR100459878B1 (ko) * 1998-02-12 2005-02-28 삼성에스디아이 주식회사 전계효과전자방출소자의스페이서제조방법
US6168737B1 (en) 1998-02-23 2001-01-02 The Regents Of The University Of California Method of casting patterned dielectric structures
FR2778180B3 (fr) * 1998-04-29 2000-05-19 Saint Gobain Vitrage Fibre de verre entaillee et son procede de fabrication
US6152796A (en) * 1998-04-30 2000-11-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an image forming apparatus
US6506087B1 (en) * 1998-05-01 2003-01-14 Canon Kabushiki Kaisha Method and manufacturing an image forming apparatus having improved spacers
US6236149B1 (en) * 1998-07-30 2001-05-22 Micron Technology, Inc. Field emission devices and methods of forming field emission devices having reduced capacitance
US6373176B1 (en) 1998-08-21 2002-04-16 Pixtech, Inc. Display device with improved grid structure
JP3689598B2 (ja) 1998-09-21 2005-08-31 キヤノン株式会社 スペーサの製造方法および前記スペーサを用いた画像形成装置の製造方法
JP3507393B2 (ja) * 1999-02-25 2004-03-15 キヤノン株式会社 スペーサの製造方法および電子源装置の製造方法
US6042445A (en) * 1999-06-21 2000-03-28 Motorola, Inc. Method for affixing spacers in a field emission display
US6155900A (en) 1999-10-12 2000-12-05 Micron Technology, Inc. Fiber spacers in large area vacuum displays and method for manufacture
KR100335627B1 (ko) * 2000-02-15 2002-05-08 김순택 십자 구조의 스페이서가 적용된 평판 표시 소자
FR2807872B1 (fr) * 2000-04-17 2002-08-30 Saint Gobain Vitrage Cadre en verre
US6716077B1 (en) * 2000-05-17 2004-04-06 Micron Technology, Inc. Method of forming flow-fill structures
JP2002083535A (ja) * 2000-09-06 2002-03-22 Sony Corp 密封容器およびその製造方法ならびに表示装置
JP2002157959A (ja) 2000-09-08 2002-05-31 Canon Inc スペーサの製造法およびこのスペーサを用いた画像形成装置の製造方法
KR100617026B1 (ko) * 2000-12-07 2006-08-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판형 형광램프
US6587351B2 (en) * 2001-04-05 2003-07-01 Cooper Technologies Surface mount standoff for printed circuit board assembly
KR100416761B1 (ko) * 2001-06-12 2004-01-31 삼성에스디아이 주식회사 평판 표시 소자의 스페이서 형성방법
KR100444506B1 (ko) * 2001-12-27 2004-08-16 엘지전자 주식회사 전계방출 표시소자의 스페이서 및 그의 형성 및 설치방법
JP3843911B2 (ja) * 2002-08-05 2006-11-08 ソニー株式会社 表示装置及びその製造方法
US20050156507A1 (en) * 2002-09-27 2005-07-21 Shigeo Takenaka Image display device, method of manufacturing a spacer for use in the image display device, and image display device having spacers manufactured by the method
JP3944148B2 (ja) * 2002-10-31 2007-07-11 キヤノン株式会社 画像表示装置の製造方法
FR2848333B1 (fr) 2002-12-04 2005-04-01 Saint Gobain Materiau de jonction entre des espaceurs et un substrat verrier
DE10343073A1 (de) * 2003-09-17 2005-04-21 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Verfahren zur Herstellung einer flachen Entladungslampe mit Abstandselementen
KR20050050843A (ko) * 2003-11-26 2005-06-01 삼성에스디아이 주식회사 스페이서를 구비한 평판 표시소자, 스페이서의 제조 방법및 평판 표시소자의 제조 방법
US20060066235A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Brody Thomas P Receptacles for inkjet deposited PLED/OLED devices and method of making the same
KR20060087646A (ko) * 2005-01-31 2006-08-03 삼성전자주식회사 서포트 부재, 이를 갖는 백라이트 어셈블리 및 이를 갖는표시장치
KR20060124331A (ko) 2005-05-31 2006-12-05 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출 소자
CN1929080A (zh) * 2005-09-07 2007-03-14 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 场发射显示装置
KR20080043532A (ko) * 2006-11-14 2008-05-19 삼성에스디아이 주식회사 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치
DK1978199T3 (en) * 2007-04-05 2016-09-05 Grenzebach Maschb Gmbh The vacuum insulating glass construction element as well as method and device for its production,
KR20120083176A (ko) 2011-01-17 2012-07-25 삼성전자주식회사 전계방출 디스플레이용 스페이서 자동 실장 시스템 및 스페이서 자동 실장방법

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1417803A (en) * 1972-02-28 1975-12-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Luminous radiation panel apparatus
US3788722A (en) * 1973-04-18 1974-01-29 Panel Technology Process for producing a gaseous breakdown display device
US4024613A (en) * 1975-01-02 1977-05-24 Owens-Illinois, Inc. Method of permanently attaching metallic spacers in gaseous discharge display panels
US4039882A (en) * 1975-12-19 1977-08-02 Panel Technology, Inc. Edge terminations for gas discharge display panel
US4071287A (en) * 1976-03-15 1978-01-31 International Business Machines Corporation Manufacturing process for gaseous discharge device
JPS5329661A (en) * 1976-08-30 1978-03-20 Burroughs Corp Display panel and method of manufacturing same
CA1114000A (en) * 1977-10-11 1981-12-08 Charles H. Perry Gas panel spacer
US4428764A (en) * 1979-12-20 1984-01-31 United Technologies Corporation Method of making fusible spacer for display panel
JPS5754923A (en) * 1980-09-19 1982-04-01 Sony Corp Display device
DE3036671A1 (de) * 1980-09-29 1982-05-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Flacher bildschirm, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung
DE3175837D1 (en) * 1980-10-20 1987-02-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method of making an electrode construction and electrode construction obtainable by this method
JPS57177122A (en) * 1981-04-24 1982-10-30 Toshiba Corp Liquid crystal display device
JPS5997177A (ja) * 1982-11-26 1984-06-04 富士通株式会社 平板状表示パネルのスペ−サ固定方法
SE8403066L (sv) * 1983-06-16 1984-12-17 American Telephone & Telegraph Forbettringar hos eller med avseende pa skermanordningar
US5063327A (en) * 1988-07-06 1991-11-05 Coloray Display Corporation Field emission cathode based flat panel display having polyimide spacers
US4923421A (en) * 1988-07-06 1990-05-08 Innovative Display Development Partners Method for providing polyimide spacers in a field emission panel display
KR910003693B1 (en) * 1988-09-14 1991-06-08 Samsung Electronic Devices Pdp barrack manufacturing method
DE69009307T3 (de) * 1989-06-19 2004-08-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma Anzeigevorrichtung mit flachem Bildschirm.
DE69125650T2 (de) * 1990-06-05 1997-09-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flache Anzeigevorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
DE69125224T2 (de) * 1990-08-16 1997-08-14 Toshiba Kawasaki Kk Flache Anzeigevorrichtung
JPH04324235A (ja) * 1991-04-25 1992-11-13 Nec Kagoshima Ltd 蛍光表示管
JPH053006A (ja) * 1991-06-25 1993-01-08 Mitsubishi Electric Corp 発光素子

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100798432B1 (ko) * 2000-03-07 2008-01-28 쌩-고벵 글래스 프랑스 유리 스페이서와 상기 스페이서를 사용하는 방법

Also Published As

Publication number Publication date
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