JP2002334670A

JP2002334670A - 表示装置

Info

Publication number: JP2002334670A
Application number: JP2001138912A
Authority: JP
Inventors: Kenji Miyata; 健治宮田; Shigemi Hirasawa; 重實平澤; Tomio Yaguchi; 富雄矢口; Yuichi Kijima; 勇一木島
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2001-05-09
Filing date: 2001-05-09
Publication date: 2002-11-22
Also published as: KR20020085789A; US20020167265A1; KR100479840B1; US6936958B2

Abstract

(57)【要約】【課題】陰極配線（電子源）と制御電極の間のギャップ
を均一とし、かつ背面パネルと前面パネルの間の間隙を
規定値に高精度で保持する。【解決手段】背面パネル１００に形成した陰極配線２と
交差する制御電極４の画素領域に、陰極配線２に有する
電子源からの電子を前面パネル２００側に通過させる開
孔４ａを有し、隣り合う陰極配線２の間に背面パネル１
００側に突出して制御電極４を支える接触部１０を設
け、制御電極４の接触部１０の直上で、かつ前面パネル
２００側に、前面パネル２００と背面パネル１００の間
隙を規定値に保持する間隙保持部材９を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空中への電子放
出を利用した表示装置に係り、特に、電子源とこの電子
源からの電子の放出量を制御する制御電極の間隙を高精
度に形成して安定した電子放出量の制御を可能として表
示特性を向上した表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】高輝度、高精細に優れたディスプレイデ
バイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられて
いる。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画
質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、
省スペースの平板状ディスプレイ（パネルディスプレ
イ）の要求が高まっている。

【０００３】その典型例として液晶表示装置、プラズマ
表示装置などが実用化されている。また、特に、高輝度
化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を
利用した表示装置（以下、電子放出型表示装置、または
電界放出型表示装置と呼ばれる）や、低消費電力を特徴
とする有機ＥＬディスプレイなど、種々の型式のパネル
型表示装置の実用化も近い。

【０００４】このようなパネル型の表示装置のうち、上
記電界放出型表示装置には、Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔらに
より発案された電子放出構造をもつもの（例えば、米国
特許第３４５３４７８号明細書、特開２０００−２１３
０５号公報参照）、メタル−インシュレータ−メタル
（ＭＩＭ）型の電子放出構造をもつもの、量子論的トン
ネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造
（表面伝導型電子源とも呼ばれる特開２０００−２１３
０５公報参照）をもつもの、さらにはダイアモンド膜や
グラファイト膜、カーボンナノチューブの持つ電子放出
現象を利用するもの、等が知られている。

【０００５】図３８は既知の電界放出型の表示装置の一
構成例を説明する断面図、図３９は１画素の電子放出源
とその電子放出量を制御する制御電極の構成例の説明図
で、同（ａ）は断面図、同（ｂ）は平面図である。電界
放出型表示装置は、内面に電界放出型の電子源と制御電
極を形成した背面パネル１００と、上記背面パネルと対
向する内面に陽極と蛍光体層を備えた前面パネル２００
の両者の内周縁に封止枠３００を介挿して封止し、当該
背面パネル１００と前面パネル２００および封止枠３０
０で形成される内部を外界の気圧より低圧あるいは真空
（以下、真空と言う）にして構成される。

【０００６】背面パネル１００はガラスあるいはアルミ
ナ等を好適とする背面基板１の上に電子源をもつ複数の
陰極配線２と、絶縁層３を介して陰極配線２に交差して
設けた制御電極４を有する。そして、陰極配線２と制御
電極４との間の電位差で電子源からの電子の放出量（放
出のオン・オフを含む）を制御する。

【０００７】また、前面パネル２００はガラス等の光透
過性の材料で形成された前面基板５の上に陽極７および
蛍光体６を有する。封止枠３００は背面パネル１００と
前面パネル２００との内周縁にフリットガラスなどの接
着材で固着される。背面パネル１００と前面パネル２０
０および封止枠３００で形成される内部は、例えば１０
^-5〜１０^-7Ｔｏｒｒの真空に排気される。

【０００８】内部を真空としたこの種の表示装置では、
背面パネル１００と前面パネル２００の間の間隙、すな
わち陰極配線２（電子源２ａ）と陽極７との間の間隙
（ギャップ）を規定値に保つために、画素領域を避けた
部分に間隙保持部材９を設ける必要がある。

【０００９】背面パネル１００に有する陰極配線２と交
差する制御電極４の間には絶縁層３が介挿され、制御電
極の各交差部に開孔（グリッドホール）４ａを有してい
る。この開孔４ａは電子源２ａから放出される電子を陽
極側に通過させる。一方、陰極配線２の上記交差部には
電子源２ａを有し、制御電極４の開孔４ａに対応する部
分では絶縁層３が除去されている。上記電子源は、例え
ばカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、あるいはダイアモ
ンドライクカーボン（ＤＬＣ）、その他の電界放出カソ
ード（陰極）で構成される。

【００１０】なお、電子源として、ここではカーボンナ
ノチューブを用いたものとして示してある。この電子源
２ａは、図３９に示したように、制御電極４の開孔４ａ
の直下に設けられている。図３９は電子源２ａを１画素
あたり１つの場合であるが、これを複数個とすることも
できる。

【００１１】図４０は電子源を１画素あたり複数個形成
した表示装置の図３９に対応する説明図である。ここで
は、制御電極４に複数の開孔４ａを設けてあり、それぞ
れの開孔に対応した陰極配線２上に複数の電子源２ａが
配置されている。

【００１２】背面パネルから出射された電子は対向する
前面パネル２００の蛍光体６に射突する。そして、蛍光
体６の発光特性に応じた光は前面パネル２００の外部に
出射し、表示装置として機能する。

【００１３】なお、この種の表示装置に関する従来技術
を開示したものとしては、例えば特開平１１−１４４６
５２号公報、特開２０００−３２３０７８号公報などを
挙げることができる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】図４１は従来の電界放
出型の表示装置の背面パネルの構成例を説明する１画素
部分の拡大断面図である。この形式の表示装置では、そ
の背面パネル１００は、背面基板１上に陰極配線２を薄
膜パターニング技法等で形成し、さらにその上に絶縁層
３を塗布して所要の厚さに形成し、画素部分の絶縁層を
除去する。そして、さらに開孔４ａを残して絶縁層３の
上に蒸着法やスパッタリング法で制御電極４を形成す
る。

【００１５】絶縁層３は樹脂材料をスクリーン印刷法を
用いた塗布で形成されるため厚みを均一とすることが困
難であり、表示領域の全面にわたってばらつきが無い一
様な厚さとはならない。制御電極４は絶縁層３の表面形
状に倣って形成されるため、図４１に強調して示したよ
うに、陰極配線２と制御電極４のギャップはμｍ単位で
制御する必要があり、制御電極４の開孔４ａの周縁での
厚さのばらつきは個々の画素における電子放出能のばら
つきを招く。

【００１６】また、陰極配線２と制御電極４の交差部分
の間に絶縁層３が存在すると容量が形成される。絶縁層
３の厚みのばらつきは、容量のばらつきとなると共に、
その厚みが大きくなると高周波駆動の妨げとなる。その
ため、絶縁層３の厚みは薄い程よく、究極的には絶縁層
３を要しない構成とするのが望ましい。

【００１７】そして、この種の表示装置では、前記図３
８で説明したように、背面パネルと前面パネルの間隙を
規定値に保持する間隙保持部材を設ける必要がある。背
面パネルと前面パネルの間隙が変化すると個々の画素の
輝度が均一でなくなり、信頼性のよい表示装置を得るこ
とができない。しかし、従来技術ではこれらの事項が表
示装置として実用化するのに充分でなく、解決すべき課
題となっていた。

【００１８】本発明の目的は、上記した従来技術におけ
る諸課題を解決し、陰極配線（電子源）と制御電極の間
のギャップを均一とし、かつ背面パネルと前面パネルの
間の間隙を規定値に高精度で保持して高性能の電子放出
特性と高周波駆動を実現した高信頼性をもつ表示装置を
提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による表示装置は、板状部材に開孔を形成し
て制御電極を構成し、この開孔の板厚方向サイズで陰極
配線と制御電極の間隙を規制する。

【００２０】また、本発明は、背面パネルと前面パネル
の間に略板状の間隙保持部材を高精度で設置することに
より、当該間隙を規定値に精密に保持する。

【００２１】さらに、本発明は、制御電極と陰極配線と
の間に介在する絶縁層を除去、あるいは最小限として容
量低減を図る。さらに、制御電極の開孔部分あるいは開
口部分を避けた部分、すなわち開孔領域を含む陰極配線
側に当該開孔と前記陰極配線の間のギャップを規制する
大径口をにエッチング加工等で形成し、もしくは電子流
が通過する開孔と陰極配線間の間隙を制御する。本発明
の基本的な構成を列挙すれば、次のとおりである。

【００２２】（１）、電子源を有する複数の陰極配線
と、前記陰極配線と交差して前記陰極配線との間の電位
差により前記電子源からの電子の放出量を制御する複数
の制御電極、および背面基板とを有する背面パネルと、
陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備えた表示装
置であって、前記制御電極は板部材であり、前記陰極配
線と交差する画素領域に前記電子源からの電子を前記前
面パネル側に通過させる開孔を有すると共に、隣り合う
前記陰極配線の間に前記背面パネル側に突出して前記制
御電極を支える接触部を有するとともに、前記制御電極
の前記接触部の直上で、かつ前記前面パネル側に、前記
前面パネルと前記背面パネルの間隙を規定値に保持する
間隙保持部材を有することを特徴とする。

【００２３】（２）、（１）にいて、前記接触部は第１
接触部と第２接触部を有し、前記制御電極の前記第１接
触部の直上で、かつ前記前面パネル側に前記間隙保持部
材を有することを特徴とする。

【００２４】（３）、（１）または（２）において、前
記制御電極に有する前記接触部の直上で前記前面パネル
側に前記間隙保持部材の一端を嵌合する溝を有すること
を特徴とする。

【００２５】（４）、（１）〜（３）の何れかにおい
て、前記陰極配線が前記画素領域で２以上に分割され、
前記制御電極に前記背面パネル側に突出して前記制御電
極を支える第３接触部を有し、分割された前記陰極配線
の間に前記第３接触部が配置されることを特徴とする。

【００２６】（５）、（１）〜（３）の何れかにおい
て、前記陰極配線の前記画素領域内に前記制御電極側か
ら前記背面基板側に貫通する開口を有し、前記制御電極
に前記背面パネル側に突出して前記制御電極を支える第
３接触部を有し、前記第３接触部が前記陰極配線の前記
開口に配置されることを特徴とする。

【００２７】（６）、（１）〜（６）の何れかにおい
て、前記制御電極と前記間隙保持部材が接着剤又は陽極
接合で固定されていることを特徴とする。

【００２８】（７）、（１）〜（６）の何れかにおい
て、前記制御電極の各接触部のうちの少なくとも一部が
前記背面パネルに接着剤又は陽極接合により固定されて
いることを特徴とする。

【００２９】（８）、（１）〜（７）の何れかにおい
て、前記間隙保持部材は、前記陰極配線と交差する支持
部材により互いに所定の間隙で支持されていることを特
徴とする。

【００３０】（９）、（８）において、前記支持部材
は、前記間隙保持部材の間隙保持方向の側縁に嵌合する
切り込みを有することを特徴とする。

【００３１】（１０）、（８）において、前記支持部材
は、前記制御電極の間で前記間隙保持部材と交差する位
置に配置され、前記陰極配線側の端縁に嵌合する切り込
みを有することを特徴とする。

【００３２】（１１）、（１）〜（１０）の何れかにお
いて、前記間隙保持部材は、隣接する前記画素領域の間
に前記陰極配線および前記制御電極のそれぞれに平行な
板状部を有し、前記陰極配線および前記制御電極と平行
する面方向の断面が略十字形を有することを特徴とす
る。

【００３３】（１２）、（１）〜（１１）の何れかにお
いて、前記接触部が前記背面基板に接触していることを
特徴とする（１３）、（１）〜（１１）の何れかにおい
て、前記接触部と前記背面基板の間に絶縁層を有するこ
とを特徴とする。

【００３４】（１４）、（１）〜（１１）の何れかにお
いて、前記制御電極の前記開孔領域を含む前記陰極配線
側に凹部を有することを特徴とする。

【００３５】（１５）、（１４）において、前記制御電
極の幅よりも前記凹部の幅の方が小さく、前記凹部以外
の場所と前記陰極配線の間に絶縁層を有することを特徴
とする。

【００３６】（１６）、（１）〜（１５）の何れかにお
いて、前記制御電極は、その長手方向に張力が印加され
ていることを特徴とする。

【００３７】上記の各構成としたことで、板状部材の制
御電極の背面パネル側に突出した接触部が背面基板に押
接し、陰極配線との間の間隙を所定値に一様に規制で
き、背面パネルと前面パネルの両側から印加される空気
圧に対して効果的に対抗できる。

【００３８】また、接触部を増やし、あるいは接着剤で
固定することにより、背面パネルと前面パネルの両側か
ら印加される空気圧に対してさらに効果的に対抗できる
と共に、間隙保持部材を強固に固定でき、信頼性が向上
する。

【００３９】さらに、接着剤を接触面に介在さ、あるい
は間隙保持部材を制御電極の溝に嵌合すると共にその溝
の周縁を接着剤で固定することにより、より確実かつ強
固な固定がなされ、間隙保持部材や制御電極の加工ばら
つきを吸収でき、かつ間隙保持部材を強固に固定でき、
信頼性が向上すると共に、電子放出能の変化を無くして
高品質の画像表示を得ることができる。

【００４０】断面が略十字形を有する形状の間隙保持部
材は、それ自体で自立機能を有し、これを画素領域間の
所要部分に設置することにより、前面パネルと背面パネ
ルの間隙を規定値に保持することができる。

【００４１】また、前記間隙保持部材の前記陰極配線と
交差する板状部材と前記背面基板および前記陰極配線と
の間を接着剤で固定することで間隙保持部材を確実に植
立させることができ、さらに確実に前面パネルと背面パ
ネルの間隙を規定値に保持することができる。

【００４２】そして、前記制御電極の前記開孔領域を含
む前記陰極配線側に前記開孔と前記陰極配線の間のギャ
ップを規制する大径口を有せしめ、この大径開孔の深さ
で制御電極の開孔と陰極配線間のギャップを調整でき、
かつより正確なギャップ設定が可能となる。

【００４３】さらに、前記制御電極の長手方向に張力を
印加して背面パネルに組み込むことにより、制御電極の
平面性が保証され、その開孔と陰極配線間のギャップを
均一の設定できる。

【００４４】なお、以上の説明、および後述する実施例
において、特に記述しない場合は陰極配線は電子源を含
む。また制御電極と陰極配線の間の間隙（ギャップ）は
制御電極の開孔と陰極配線（電子源）の間のギャップで
ある。

【００４５】また、本発明は、上記の構成および後述す
る実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技
術思想を逸脱することなく種々の変更が可能であること
は言うまでもない。

【００４６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、実施例の図面を参照して詳細に説明する。

【００４７】図１は本発明による表示装置の第１実施例
を説明する背面パネルと前面パネルとの間に設ける間隙
保持部材の設置構造を説明する斜視図である。また、図
２は図１のＡ−Ｂ断面図、図３は図１の要部構造の説明
図であり、同（ａ）は図１のＩ−Ｊ方向からみた平面
図、同（ｂ）は同（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実
施例は制御電極４をたとえば、単一板又は２以上の復合
板からなる板状部材、すなわち板部材とし、比較的板厚
の厚い鉄または鉄を主成分とする合金板で形成してあ
り、陰極配線との間に絶縁層を有しない構造とした。

【００４８】すなわち、図１〜図３において、制御電極
４は背面パネル１００を構成する背面基板１上に形成し
た陰極配線２に対して空間的に浮いた状態に設置したも
のである。制御電極４の板厚は１０μｍ〜５００μｍ程
度が好適であるが、これに限らない。陰極配線２上には
カーボンナノチューブやカーボンファイバ等の電子源を
有するが、図示は省略した。

【００４９】背面パネル１００を構成する背面基板１の
内面には複数の陰極配線２と複数の制御電極４が交差し
て設けられ、各交差部分に１画素が形成される。制御電
極４は１画素あたり複数の開孔４ａを有し、背面基板１
と接する部分において当該背面基板１側に凸型形状の第
１接触部１０と第２接触部１１を有している。

【００５０】第１接触部１０と第２接触部１１は背面基
板１に直接に、または後述する第２接着材１５で固定さ
れる。また、第１接触部１０の反対側に間隙保持部材９
が直接に、または後述する第１接着材１４で固定されて
いる。第１接触部１０と第２接触部１１は複数の陰極配
線２間に形成され、間隙保持部材９が存在しない部分に
も第２接触部１１が形成されている。間隙保持部材９の
設置数は全ての画素間に、あるいは任意の画素毎に設置
されるもので、その数は表示装置のサイズ等による。

【００５１】背面基板１は無機絶縁物、ガラス、石英、
絶縁物で表面を覆った金属板などが使用できる。その板
厚は、０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度であるが、これに限るも
のではない。

【００５２】前面パネル２００の内面には陽極と蛍光体
が形成されているが、図示は省略した。この前面パネル
２００と背面パネル１００との対向間隙を規定する間隙
保持部材９は無機絶縁物、ガラス、石英、絶縁物で表面
を被覆した金属板などで構成される。

【００５３】本実施例では、間隙保持部材９は所謂リブ
構造と称する単純な板状部材を用いているが、後述する
ように、面内の異なる方向にもリブを持つ所謂クロス構
造を持つものなど他の形状のものも使用できる。

【００５４】この種の表示装置の駆動特性に大きく影響
する制御電極４と陰極配線２の空間的な位置関係は、制
御電極４の精密加工で実現できる。接着電極４を金属板
で構成した場合は、感光性レジストを用いたフォトリソ
グラフィ技法によるエッチング処理を採用して開孔４ａ
を精密に加工することができる。

【００５５】制御電極４は、その下面の一部で背面基板
１に直接、または接着剤を介して当接し、上面の一部は
間隙保持部材９に直接、または接着剤を介して当接して
いる。このとき、制御電極４に溝１３を設けて間隙保持
部材９をこの溝１３に嵌合して保持することができる。
図３に示したように、制御電極４に設ける電子通過用の
開孔４ａは正方配列とされている。

【００５６】この間隙保持部材９の上方は前面基板５に
直接、または接着剤を介して当接しており、背面パネル
１００と前面パネル２００を強固に支持して表示装置の
外面に加わる大気圧に抗して当該背面パネル１００と前
面パネル２００の対向間隙を所定値に高精度で保持す
る。

【００５７】本実施例の表示装置は、陰極配線２と制御
電極４の間に絶縁層は介在せず、真空となっているた
め、両電極間の容量が最小となる。その結果、高周波の
制御信号を入力することができ、大画面で高精細の表示
装置を容易に実現することができる。

【００５８】また、背面基板１と制御電極４を別個の部
品として加工できるため、それぞれを最適な加工方法で
製作した後に組み立てることが可能となり、結果として
生産性を向上することができる。例えば、エッチングや
２以上の部材を貼り合わせるなどである。なお、図２に
おけるＡ部分およびＢ部分の詳細は後述する。

【００５９】図４は図１に示した本発明による表示装置
の第１実施例に用いる制御電極の他の形状を説明する平
面図である。図３では、制御電極４に設けた開孔４ａが
正方配列であるが、図４に示した制御電極ではこの開孔
４ａを所謂デルタ配列としたものである。

【００６０】図３と同様に、開孔の形状を円形とするこ
とで加工精度および強度の維持性能が高い。そして、図
４に示したデルタ配列の開孔とすることで、複数の開孔
４ａの全開孔面積の制御電極４の面積に占める割合、す
なわち開口率が図３の開孔配列よりも大きくなり、大き
な電子エミッション能を得ることができる。

【００６１】図５は図１に示した本発明による表示装置
の第１実施例に用いる制御電極のさらに他の形状を説明
する平面図である。この制御電極４に形成する開孔４ａ
は当該制御電極４の長手方向と直交する方向に長軸をも
つ略長方形である。この形状の開孔としたことで開口率
をさらに大きくすることができ、さらに大きな電子エミ
ッション能を得ることができる。

【００６２】図６は図１に示した本発明による表示装置
の第１実施例に用いる制御電極のさらにまた他の形状を
説明する平面図である。この制御電極４に形成する開孔
４ａは当該制御電極４の長手方向と平行する方向に長軸
をもつ略長方形である。この形状の開孔としたことで図
５に示したものと同様に開口率をさらに大きくすること
ができ、さらに大きな電子エミッション能を得ることが
できると共に、制御電極４に長手方向に張力を印加した
場合の当該開孔４ａの変形が図５のものに比較して少な
くなる。

【００６３】図７は本発明による表示装置の第２実施例
を説明する背面パネルと前面パネルとの間に設ける間隙
保持部材の設置構造を説明する図２と同様の断面図であ
る。また、図８は図３（ａ）と同様の要部平面図であ
る。但し、ここでは前面パネルは図示を省略した。

【００６４】本実施例は、１画素の陰極配線２をその長
手方向に沿って２−１と２−２に２分割し、その間に制
御電極４の第３接触部１２を位置させたものである。制
御電極４に形成する開孔４ａは２分割したそれぞれの陰
極配線２−１と２−２の画素範囲に含まれるように設け
ている。

【００６５】本実施例は、制御電極４を第１と第２およ
び第３の３つの接触部１０、１１、１２で陰極配線に当
接させることで、両電極の間隙を高精度に保持できる。
なお、間隙保持部材９は画素の両端のそれぞれの位置に
設けているが、この間隙保持部材９は必ずしも画素毎に
設ける必要はなく、幾つかの画素毎に設けてもよいもの
であることは前記したとおりである。

【００６６】図９は本発明による表示装置の第３実施例
の説明図であり、同（ａ）は要部平面図、同（ｂ）は同
（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実施例では、制御電
極４の下面に設ける第３接触部１２を画素内に局在させ
たものである。第３接触部１２を画素内に局在させたこ
とで、制御電極４と背面基板１との接触部を多くして両
者の間隙を精度良く設定できると共に前記第２実施例よ
りも電子エミッション面積を広く取ることができるよう
にしたものである。

【００６７】図１０は本発明による表示装置の図２にお
けるＡで囲った部分の１構成例の説明図である。陰極配
線２は銀の粉末を好適とする導電物質を含有したペース
トを背面基板１上に印刷し、焼成して形成される。この
陰極配線２上にカーボンナノチューブあるいはカーボン
ファイバなどの極細の針状材料を含む導電性材料を塗布
等で形成して電子源２ａとしている。

【００６８】この電子源２ａは電界の印加で電子を放出
する機能を有する。制御電極４に形成する開孔４ａは電
子源２ａの面積内に含まれる。このように、陰極配線２
と電子源２ａを別個に形成し積層することで、陰極配線
２と電子源２のそれぞれに最適の材料を選択して用いる
ことができる。

【００６９】図１１は本発明による表示装置の図２のＡ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。ここでは、
図１０で説明した電子源２ａを制御電極２の開孔２ａの
面積内に含まれる範囲に形成した。この構成とすること
で、不要な電子エミッションを無くし、かつ高価な電子
源材料を節約することができる。

【００７０】具体的には、図１１において、電子源２ａ
のサイズｂを開孔４ａのサイズａより小さくすること
で、開孔４の端縁近傍で生じる電界の急激な変化に起因
する電子の走行乱れを抑制し、不用電子の拡散による画
質劣化を防止することができる。

【００７１】図１２は本発明による表示装置の図２のＡ
で囲った部分のさらに他の構成例の説明図である。この
構成例では、電子源を陰極配線の機能と電子源の機能を
陰極配線２として一体化したものである。例えば、銀の
粉末粒子とカーボンナノチューブを混合したペーストを
用いて印刷して陰極配線２とする。これにより、電気抵
抗が低く、しかも充分な電子放出が得られる陰極配線２
を構成できるため、生産が容易で簡潔な構造の表示装置
を提供できる。

【００７２】図１３は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の構成例の説明図である。この構成例で
は、背面基板１に制御電極４の第１接触部１０が接触
（当接）し、その反対側に形成した溝１３に間隙保持部
材９の下端を嵌合している。

【００７３】間隙保持部材９は、前面パネルと背面パネ
ルの間隙を規定値に保持する機能と共に、図の上方（前
面パネル側）から下方に向けて印加される大気圧に起因
する圧力で制御電極４を背面基板１に押接して強固に保
持する機能を持つ。特に、制御電極４の上方に形成した
溝１３に間隙保持部材９の下端を嵌合することで位置ず
れを無くし、間隙保持部材９を精密に配置することがで
きる。

【００７４】図１４は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。この構成例
では、制御電極４の溝１３の周縁に第１接着材１４を塗
布して間隙保持部材９を固定したものである。これによ
り、さらに間隙保持部材９を強固に固定し、振動等の外
部衝撃による間隙保持部材９の位置ずれや制御電極４の
位置変動を回避することができる。

【００７５】図１５は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。この構成例
では、制御電極４の溝１３のサイズを間隙保持部材９よ
り若干大きくし、ここに第１接着材１４を充填したもの
である。この構造としたことで、間隙保持部材９がさら
に強固に固定され、振動等の外部衝撃による間隙保持部
材９の位置ずれや制御電極４の位置変動を回避すること
ができる。

【００７６】図１６は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。この構成例
では、制御電極４の溝１３のサイズを間隙保持部材９よ
り若干大きくすると共に、溝１３と間隙保持部材９の当
接面にも第１接着材１４を充填したものである。この構
造としたことで、間隙保持部材９がさらに強固に固定さ
れ、振動等の外部衝撃による間隙保持部材９の位置ずれ
や制御電極４の位置変動を回避することができる。

【００７７】図１７は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。この構成例
では、制御電極４に溝は設けずに間隙保持部材９を当該
制御電極４の上面に当接したものである。この構造は加
工が容易であると共に、制御電極４と間隙保持部材９が
熱変形（熱膨膨張や熱収縮）を起こした場合でも当接部
に歪みを及ぼさないため、熱変形に強い。

【００７８】図１８は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。この構成例
では、図１７の構成において、制御電極４と間隙保持部
材９の当接部周縁に第１接着剤１４を塗布して固定した
ものである。本構成によれば、図１７に比べて制御電極
４と間隙保持部材９の固定強度を大きくできる。

【００７９】図１９は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。この構成例
では、図１７の構成において、制御電極４と間隙保持部
材９の当接部周縁と両者の当接面に第１接着剤１４を塗
布して固定したものである。本構成によれば、図１７に
比べて制御電極４と間隙保持部材９の固定強度を大きく
できると共に、制御電極４の表面状態や間隙保持部材９
のサイズばらつきを接着剤で吸収でき、一様なギャップ
を容易に得ることができる。

【００８０】図２０は本発明による表示装置の図２のＢ
で囲った部分の他の構成例の説明図である。間隙保持部
材９は背面基板１に対して第１接触部１０で当接した制
御電極４の当該第１接触部１０の直上に配置される。制
御電極４の上面には溝１３を有し、この溝１３に間隙保
持部材９が嵌合している。

【００８１】そして、制御電極４と背面基板１とは第２
接着剤１５で固定されている。このように、制御電極４
と背面基板１とが直接接触して接着剤１５で強固に固定
されるため、背面基板１と制御電極４、ひいては間隙保
持部材９は精度よく位置決めされ、この位置を維持でき
る。

【００８２】図２１は本発明による表示装置の図２にお
けるＢで囲った部分のさらに他の構成例の説明図であ
る。間隙保持部材９は背面基板１に接着剤１５を介して
第１接触部１０で固定した制御電極４の当該第１接触部
１０の直上に配置される。制御電極４の上面には溝１３
を有し、この溝１３に間隙保持部材９が嵌合している。

【００８３】そして、制御電極４と背面基板１とは第２
接着剤１５で固定されている。このように、制御電極４
は背面基板１に対して第１接触部１０との間に浸透した
接着剤１５で強固に固定されるため、仮に背面基板１と
複数の第１接触部１０の間の間隙にばらつきがあって
も、接着剤がこのばらつきを埋めるため、背面基板１と
制御電極４、ひいては間隙保持部材９は精度よく位置決
めされ、この位置を維持できる。

【００８４】図２２は本発明による表示装置の図１のＩ
−Ｊ断面図である。背面基板１と複数の制御電極４の間
に第２接着剤１５が介在して両者を固定している。制御
電極４は背面基板１に直接固定されるので、制御電極の
位置決めを高精度で行うことができる。なお、上記図１
３〜図２２の構成を組み合わせることもできる。

【００８５】次に、間隙保持部材の他の構造の実施例に
ついてさらに詳細に説明する。なお、以下の説明中、背
面基板に設ける陰極配線や制御電極の構成は前記実施例
で説明したものと同様であるので、特に必要がない場合
は繰り返しの説明はしない。

【００８６】図２３は本発明による第４実施例を説明す
る間隙保持部材の構造を示す斜視図である。また、図２
４は図２３における支持部材の斜視図である。本実施例
では、間隙保持部材９の端部を支持部材１６で固定した
ものである。すなわち、間隙保持部材９は、陰極配線１
１と交差する支持部材１６により互いに所定の間隙で支
持されている。

【００８７】支持部材１６には、図２４に示したよう
に、間隙保持部材９の間隙保持方向の側縁に嵌合する切
り込み１６ａを有している。この構成としたことで、間
隙保持部材９間の位置が規制され、かつ背面パネルと前
面パネルの両側から印加される大気圧に対して効果的に
対抗でき、陰極配線２と制御電極４を正確に保持し、前
面パネルとの間隙を所定値に一様に規制できる。

【００８８】また、支持部材１６に間隙保持部材９の間
隙保持方向の側縁に嵌合する切り込みを１６ａ有し、こ
の切り込みに間隙保持部材を嵌合することで間隙保持部
材間の位置をより精密に設定することができる。

【００８９】図２５は本発明による第５実施例を説明す
る間隙保持部材の構造を示す斜視図である。また、図２
６は図２５における補助支持部材の斜視図である。本実
施例では、補助支持部材１７を隣接する制御電極４の間
で間隙保持部材９と交差する位置に配置される。この補
助支持部材１７の陰極配線２側の端縁に嵌合する切り込
み１７ａを有する。

【００９０】そして、切り込み１７に間隙保持部材９の
下端を嵌合することで間隙保持部材９間の位置が規制さ
れ、間隙保持部材９が陰極配線１１と交差する補助支持
部材１７により互いに所定の間隙で支持されている。

【００９１】この構成としたことで、間隙保持部材９間
の位置が規制され、かつ背面パネルと前面パネルの両側
から印加される大気圧に対して効果的に対抗でき、陰極
配線２と制御電極４を正確に保持し、前面パネルとの間
隙を所定値に一様に規制できる。

【００９２】この補助支持部材１７は表示装置の周辺の
みならず、表示領域の内部にも設置できるので、表示装
置全体に間隙保持部材９を効率よく配置することでより
効果的なギャップ設定をすることができる。

【００９３】なお、上記した第４実施例および第５実施
例における支持部材１６あるいは補助支持部材１７は、
無機絶縁物、表面に絶縁処理した金属、ガラス、石英な
どが使用できる。また、マイカも耐熱性があり、加工し
易く弾力性を有するのでこの材料として使用できる。ま
た、切り込みの部分を適当な接着剤を用いて固定するこ
ともできる。

【００９４】図２７は本発明による第６実施例を説明す
る間隙保持部材の構造を示す斜視図である。本実施例は
前記の図２３〜図２４の構造と図２５〜図２６の構造を
組み合わせたもので、この構成としたことで表示装置全
体にわたって間隙保持部材を精密かつ確実に固定するこ
とができる。

【００９５】図２８は本発明による第７実施例を説明す
る間隙保持部材の構造を示す斜視図である。また、図２
９は図２８の上面図、図３０は図２９のＭ−Ｎ断面図で
ある。本実施例の間隙保持部材９は隣接する画素領域の
間に陰極配線２および制御電極４にそれぞれ平行な板状
部材でクロス構造とした略十字断面を有する。

【００９６】この形状の間隙保持部材９は、それ自体で
基板面に対して自立機能を有し、これを画素領域間の所
要部分に設置することにより、前面パネルと背面パネル
の間隙を規定値に保持することができる。

【００９７】間隙保持部材９の陰極配線２と交差する板
状部材と背面基板および陰極配線２との間に第２接着剤
１５を有する。この第２接着剤１５による固定で間隙保
持部材９を背面基板に確実に植立させることができ、さ
らに確実に前面パネルと背面パネルの間隙を規定値に保
持することができる。

【００９８】図３１は本発明による第８実施例を説明す
る間隙保持部材の構造を示す斜視図である。また、図３
２は図３１の上面図、図３３は図３２のＭ−Ｎ断面図で
ある。本実施例の間隙保持部材９は第７実施例と同様に
隣接する画素領域の間に陰極配線２および制御電極４に
それぞれ平行な板状部材でクロス構造とした略十字断面
を有する。

【００９９】そして、この間隙保持部材９の陰極配線２
と交差する板状部材のすべてが制御電極４の上に位置し
ている。図３３に示したように、本実施例のクロス構造
を有する間隙保持部材９の中心線Ｚ’−Ｚ’は隣接する
画素の中央をとおる垂直線Ｚ−Ｚに対してずれた位置と
なる。間隙保持部材９の下端が制御電極４の上に位置す
るため、その植立位置を正確に設定できる。

【０１００】また、間隙保持部材９の陰極配線２と平行
する板状部材と背面基板との間に接着剤を有する。この
接着剤による固定を行うことにより、背面基板に間隙保
持部材９を安定して確実に固定できる。

【０１０１】図３４は本発明による第９実施例を説明す
る間隙保持部材および背面パネルの構造図である。本実
施例の間隙保持部材９は前記第８実施例で説明したもの
と同様である。

【０１０２】制御電極４は、その開孔４ａを形成した画
素領域を含む陰極配線２側に開孔４ａと陰極配線２の間
にギャップを形成する凹部４ｃを有する。凹部４ｃは陰
極配線２の幅を越えて形成されている。この凹部４ｃの
深さで制御電極４の開孔４ａと陰極配線２間のギャップ
を調整でき、かつより正確なギャップ設定が可能とな
る。

【０１０３】制御電極４は、その長手方向に張力を印加
して固定した方が望ましい。背面パネルの基板１に制御
電極４を組み込む際に、その長手方向に張力を印加しな
がら端部を接着剤などで固定する。これにより、制御電
極４の平面性が保証され、その開孔４ａと陰極配線２間
のギャップを均一に設定できる。他の実施例についても
同様で或る。

【０１０４】図３５は本発明による第１０実施例を説明
する間隙保持部材および背面パネルの構造図である。本
実施例は第９実施例の変形例であり、その制御電極４は
前記第９実施例で説明したものと同様であるが、制御電
極４に形成する凹部４ｃの範囲を陰極配線と交差する領
域内に収めたものである。

【０１０５】図３６は本発明による第１１実施例を説明
する制御電極まわりの構造図で、同図（ａ）は平面図、
同図（ｂ）および（ｃ）は同図（ａ）のＡ−Ａ’断面図
である。本実施例の制御電極４に形成する開孔４ａは、
陰極配線側で大径を有し、陽極側で小径を有する２段形
状をもつ。陰極配線２と開孔４ａの間のギャップは大径
側の加工深さに依存する。

【０１０６】図３６の（ｂ）のように、開孔４ａの陰極
配線２側に絶縁層３を介在させてもよいし、図３６の
（ｂ）のように、陰極配線２に対して空間を持たせても
よい。図３６の（ｂ）の構造では制御電極４と陰極配線
２を正確に絶縁できるが、図３６の（ｂ）の構造とする
ことで容量を低減でき高周波駆動に適したものとなる。

【０１０７】上記した第９実施例、第１０実施例、第１
１実施例は制御電極４の板状体の強度や寸法、表示装置
の画面サイズなどに応じて選定すればよい。また、間隙
保持部材９は前記した各実施例のものを採用してもよい
ものである。

【０１０８】また、制御電極４の熱膨張係数を背面基板
の熱膨張係数よりも大きく設定することで、製造工程に
おける加熱プロセス（例えば、３００°以上に加熱され
るプロセス）を通す場合、室温より高い温度で背面基板
に制御電極を固定した後、室温まで冷却した時に制御電
極４に引張応力が発生する。これにより、制御電極４は
常に平坦性を維持し、陰極配線２との間の間隙が高精度
に維持される。

【０１０９】図３７は本発明による表示装置の駆動方式
を説明する等価回路である。この表示装置は、ｙ方向に
延びるｎ本の陰極配線２がｘ方向に並設されている。ま
た、ｘ方向に延びるｍ本の制御電極４がｙ方向に並設さ
れ、陰極配線２と共にｍ行×ｎ列のマトリクスを構成し
ている。

【０１１０】この表示装置を構成する背面パネルの周辺
には走査回路４０と映像信号回路２０が配置されてい
る。制御電極４のそれぞれには走査回路４０から制御電
極端子４１（Ｙ１，Ｙ２，・・・・Ｙｍ）で接続されて
いる。そして、陰極配線２のそれぞれには映像信号回路
２０から陰極端子２１（Ｘ１，Ｘ２，・・・・Ｘｎ）で
接続されている。

【０１１１】マトリクス配列された画素毎に前記の実施
例で説明した電子源が設けられている。図中のＲ，Ｇ，
Ｂはそれぞれ赤、緑、青の画素であり、それぞれの色に
対応した光を蛍光体から放出させる。

【０１１２】走査回路４０には同期信号４２が入力され
る。走査回路４０は制御電極端子４１を介して制御電極
４に接続されており、マトリクスの行を選択して制御電
極４に走査信号電圧を印加する。

【０１１３】一方、映像信号回路２０には映像信号２２
が入力される。映像信号回路２０は陰極端子２１（Ｘ
１，Ｘ２，・・・・Ｘｎ）を介して陰極配線２に接続さ
れ、マトリクスの列を選択して選択された陰極配線に映
像信号２２に応じた電圧を印加する。これにより、制御
電極４と陰極配線２とで順次選択された所定の画素が所
定の色光で発光し、２次元の映像を表示する。本構成例
の表示装置により、比較的低電圧で高効率のフラットパ
ネル型の表示装置が実現される。

【０１１４】尚、今まで説明してきた各実施例において
は接着剤１４、１５を用いているが、制御電極４と背面
基板１とを固定する方法として陽極接合の技術を用いる
こともできる。間隙保持部材９と制御電極４とを固定す
る場合も同様に陽極接合の技術を用いることもできる。

【０１１５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
制御電極を板状部材で形成して背面基板に組み立てると
共に、背面パネルと前面パネルの間に略板状の間隙保持
部材を高精度で設置することにより、当該間隙を規定値
に精密に保持でき、信頼性の高い表示装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による表示装置の第１実施例を説明する
背面パネルと前面パネルとの間に設ける間隙保持部材の
設置構造を説明する斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ｂ断面図である。

【図３】図１の要部構造の説明図である。

【図４】本発明による表示装置の第１実施例に用いる制
御電極の他の形状を説明する平面図である。

【図５】本発明による表示装置の第１実施例に用いる制
御電極のさらに他の形状を説明する平面図である。

【図６】本発明による表示装置の第１実施例に用いる制
御電極のさらにまた他の形状を説明する平面図である。

【図７】本発明による表示装置の第２実施例を説明する
背面パネルと前面パネルとの間に設ける間隙保持部材の
設置構造を説明する図２と同様の断面図である。

【図８】本発明による表示装置の第２実施例を説明する
図３（ａ）と同様の要部平面図である。

【図９】本発明による表示装置の第３実施例の説明図で
ある。

【図１０】本発明による表示装置の図２におけるＡで囲
った部分の１構成例の説明図である。

【図１１】本発明による表示装置の図２のＡで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図１２】本発明による表示装置の図２のＡで囲った部
分のさらに他の構成例の説明図である。

【図１３】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の構成例の説明図である。

【図１４】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図１５】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図１６】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図１７】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図１８】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図１９】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図２０】本発明による表示装置の図２のＢで囲った部
分の他の構成例の説明図である。

【図２１】本発明による表示装置の図２におけるＢで囲
った部分のさらに他の構成例の説明図である。

【図２２】本発明による表示装置の図１のＩ−Ｊ断面図
である。

【図２３】本発明による第４実施例を説明する間隙保持
部材の構造を示す斜視図である。

【図２４】図２３における支持部材の斜視図である。

【図２５】本発明による第５実施例を説明する間隙保持
部材の構造を示す斜視図である。

【図２６】図２５における補助支持部材の斜視図であ
る。

【図２７】本発明による第６実施例を説明する間隙保持
部材の構造を示す斜視図である。

【図２８】本発明による第７実施例を説明する間隙保持
部材の構造を示す斜視図である。

【図２９】図２８の上断面図である。

【図３０】図２９のＭ−Ｎ断面図である。

【図３１】本発明による第８実施例を説明する間隙保持
部材の構造を示す斜視図である。

【図３２】図３１の上断面図である。

【図３３】図３２のＭ−Ｎ断面図である。

【図３４】本発明による第９実施例を説明する間隙保持
部材および背面パネルの構造図である。

【図３５】本発明による第１０実施例を説明する間隙保
持部材および背面パネルの構造図である。

【図３６】本発明による第１１実施例を説明する制御電
極まわりの構造図である。

【図３７】本発明による表示装置の駆動方式を説明する
等価回路である。

【図３８】電界放出型の表示装置の一構成例を説明する
断面図である。

【図３９】１画素の電子放出源とその電子放出量を制御
する制御電極の構成例の説明図である。

【図４０】電子源を１画素あたり複数個形成した表示装
置の図３９に対応する説明図である。

【図４１】従来の電界放出型の表示装置の背面パネルの
構成例を説明する１画素部分の拡大断面図である。

【符号の説明】

１背面基板２陰極配線２ａ電子源３絶縁層４制御電極４ａ開孔５前面基板６蛍光体７陽極９間隙保持部材１０第１接触部１１第２接触部１２第３接触部１３溝１４第１接着剤１５第２接着剤１６支持部材１７補助支持部材１００背面パネル２００前面パネル３００封止枠。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１３年６月１１日（２００１．６．１
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４７】図１は本発明による表示装置の第１実施例
を説明する背面パネルと前面パネルとの間に設ける間隙
保持部材の設置構造を説明する斜視図である。また、図
２は図１のＡ−Ｂ断面図、図３は図１の要部構造の説明
図であり、同（ａ）は図１のＩ−Ｊ方向からみた平面
図、同（ｂ）は同（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実
施例は制御電極４をたとえば、単一板又は２以上の複合
板からなる板状部材、すなわち板部材とし、比較的板厚
の厚い鉄または鉄を主成分とする合金板で形成してあ
り、陰極配線との間に絶縁層を有しない構造とした。

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４０

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４０】

フロントページの続き (72)発明者矢口富雄東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者木島勇一千葉県茂原市早野3300番地株式会社日立製作所ディスプレイグループ内Ｆターム(参考） 5C032 AA01 AA07 5C036 EE02 EE14 EE15 EE19 EF01 EF06 EF09 EG02 EG15 EG31 EH01 EH04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子源を有する複数の陰極配線と、前記陰
極配線と交差して前記陰極配線との間の電位差により前
記電子源からの電子の放出量を制御する複数の制御電
極、および背面基板とを有する背面パネルと、陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備えた表示装
置であって、前記制御電極は板部材であり、前記陰極配線と交差する
画素領域に前記電子源からの電子を前記前面パネル側に
通過させる開孔を有すると共に、隣り合う前記陰極配線
の間に前記背面パネル側に突出して前記制御電極を支え
る接触部を有するとともに、前記制御電極の前記接触部
の直上で、かつ前記前面パネル側に、前記前面パネルと
前記背面パネルの間隙を規定値に保持する間隙保持部材
を有することを特徴とする表示装置。
【請求項２】前記接触部は第１接触部と第２接触部を有
し、前記制御電極の前記第１接触部の直上で、かつ前記
前面パネル側に前記間隙保持部材を有することを特徴と
する請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】前記制御電極に有する前記接触部の直上で
前記前面パネル側に前記間隙保持部材の一端を嵌合する
溝を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の表
示装置。
【請求項４】前記陰極配線が前記画素領域で２以上に分
割され、前記制御電極に前記背面パネル側に突出して前
記制御電極を支える第３接触部を有し、分割された前記
陰極配線の間に前記第３接触部が配置されることを特徴
とする請求項１〜３の何れかに記載の表示装置。
【請求項５】前記陰極配線の前記画素領域内に前記制御
電極側から前記背面基板側に貫通する開口を有し、前記
制御電極に前記背面パネル側に突出して前記制御電極を
支える第３接触部を有し、前記第３接触部が前記陰極配
線の前記開口に配置されることを特徴とする請求項１〜
３の何れかに記載の表示装置。
【請求項６】前記制御電極と前記間隙保持部材が接着剤
又は陽極接合で固定されていることを特徴とする請求項
１〜６の何れかに記載の表示装置。
【請求項７】前記制御電極の各接触部のうちの少なくと
も一部が前記背面パネルに接着剤又は陽極接合により固
定されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに
記載の表示装置。
【請求項８】前記間隙保持部材は、前記陰極配線と交差
する支持部材により互いに所定の間隙で支持されている
ことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の表示装
置。
【請求項９】前記支持部材は、前記間隙保持部材の間隙
保持方向の側縁に嵌合する切り込みを有することを特徴
とする請求項８に記載の表示装置。
【請求項１０】前記支持部材は、前記制御電極の間で前
記間隙保持部材と交差する位置に配置され、前記陰極配
線側の端縁に嵌合する切り込みを有することを特徴とす
る請求項８に記載の表示装置。
【請求項１１】前記間隙保持部材は、隣接する前記画素
領域の間に前記陰極配線および前記制御電極のそれぞれ
に平行な板状部を有し、前記陰極配線および前記制御電
極と平行する面方向の断面が略十字形を有することを特
徴とする請求項１〜１０の何れかに記載の表示装置。
【請求項１２】前記接触部が前記背面基板に接触してい
ることを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記載の表
示装置。
【請求項１３】前記接触部と前記背面基板の間に絶縁層
を有することを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記
載の表示装置。
【請求項１４】前記制御電極の前記開孔領域を含む前記
陰極配線側に凹部を有することを特徴とする請求項１〜
１１の何れかに記載の表示装置。
【請求項１５】前記制御電極の幅よりも前記凹部の幅の
方が小さく、前記凹部以外の場所と前記陰極配線の間に
絶縁層を有することを特徴とする請求項１４に記載の表
示装置。
【請求項１６】前記制御電極は、その長手方向に張力が
印加されていることを特徴とする請求項１〜１５の何れ
かに記載の表示装置。