JP2758825B2 - 自動搬送台車 - Google Patents

自動搬送台車

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JP2758825B2
JP2758825B2 JP6022976A JP2297694A JP2758825B2 JP 2758825 B2 JP2758825 B2 JP 2758825B2 JP 6022976 A JP6022976 A JP 6022976A JP 2297694 A JP2297694 A JP 2297694A JP 2758825 B2 JP2758825 B2 JP 2758825B2
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善実 門脇
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    • B60KARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
    • B60K17/00Arrangement or mounting of transmissions in vehicles
    • B60K17/34Arrangement or mounting of transmissions in vehicles for driving both front and rear wheels, e.g. four wheel drive vehicles
    • B60K17/358Arrangement or mounting of transmissions in vehicles for driving both front and rear wheels, e.g. four wheel drive vehicles all driven wheels being steerable
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B62LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
    • B62DMOTOR VEHICLES; TRAILERS
    • B62D61/00Motor vehicles or trailers, characterised by the arrangement or number of wheels, not otherwise provided for, e.g. four wheels in diamond pattern
    • B62D61/12Motor vehicles or trailers, characterised by the arrangement or number of wheels, not otherwise provided for, e.g. four wheels in diamond pattern with variable number of ground engaging wheels, e.g. with some wheels arranged higher than others, or with retractable wheels

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Handcart (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は自動搬送台車に関し、特
に脆弱な半導体ウェーハなどの半導体部品を積載し自動
走行する自動搬送台車に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体装置製造工場においては製
造設備の自動化は勿論工程設備間の半製品の搬送および
受渡しも自動化され無人化が図られてきた。また、この
半製品の搬送および受け渡しには無線で誘導される自動
搬送台車が使用されている。そして、この自動搬送台車
は工場内の曲折する通路を円滑に走行するために方向変
換機能をもたせる必要があった。このためこれら従動輪
には、路面に対し垂直な旋回軸をもつとともに旋回軸か
ら進行方向の逆側に車輪が取付けられるキャスタが用い
られていた。このキャスタは進行方向に対し車輪が車体
の進行に伴ない逆側に旋回し駆動輪の走行方向に倣って
追従し車体を円滑に走行させる機能をもっていた。
【0003】しかしながら、車体の進行方向を変えると
きキャスタの車輪が路面に対し垂直に旋回するので、そ
の結果、車体を大きく揺れさせ、積載した脆弱な半導体
ウェーハの周囲に欠けなどを生じさせる恐れがあった。
また、車体の重量がかかったキャスタの車輪が旋回する
ときに路面と擦れるので、路面に貼付けた車体誘導用の
テープや位置検出用マークを損傷させるという欠点もあ
った。
【0004】図4は従来の自動搬送台車の一例を示す側
面図である。このキャスタによる横揺れや誘導用テープ
の損傷を防止する手段をもつ自動搬送台車の一例として
特開平4一310403号公報に開示されている。この
自動搬送台車は、図4に示すように、車体25の底部の
中央に駆動輪27を配置し、進行方向に対し車体25の
前後に軸受26に嵌め込まれた旋回軸28をもつキャス
タである複数の従動輪23を備えている。また、従動輪
23の回転軸および旋回軸28に対し垂直方向にスライ
ドできる直動ガイド24とこれを摺動させる直動レール
22を設けている。
【0005】この直動レール22を設けることによっ
て、車体25の方向変換のときに生ずる従動輪23の横
方向の移動をこの直動ガイドの移動で吸収している。す
なわち、旋回軸28で支えられる車体部25を直動ガイ
ド24を介して直動レール22上を移動させることによ
って、従動輪23の横移動を抑制していることを特徴と
するものであった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た自動搬送台車では、曲る角度の小さい方向変換のとき
は車体の揺れおよび従動輪の横移動が解消されるもの
の、90度に方向変換するように大きく曲る場合は、車
体の速度により直動ガイドが直動レールのストッパに当
る衝撃が大きく、かえってこの衝撃により車体を振動さ
せ半導体ウェーハに欠けを生じさせる。また、この車体
自体を直線摺動させる機構をもつことは、摺動面に摩耗
をもたらし機械的がたが発生し振動を助長するものであ
る。
【0007】さらに、周知のように前後の従動輪の間隔
が大きいと、台車が曲がる際に進行方向に対し前側の従
動輪と後側の従動輪との軌道のずれが大きくなる。その
結果、前側の従動輪は軌道に沿って走行するものの、後
側の外側の従動輪は内側に大きく寄り軌道を横切り誘導
テープを損傷させるという問題を含んでいる。
【0008】従って、本発明の目的は、方向変換する際
に生ずる車体の横振れを無くし前後従動輪のずれをより
少なくし円滑に方向変換できる自動搬送台車を提供する
ことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、上部に
荷受台を中央部の下部に一つの駆動輪を具備する車体本
体部と、進行方向に対し該車体本体部の前後に回転自在
ピンを介して前記車体本体部と連結する一対のホイール
ベースと、これらホイールベースの下部の両側に旋回軸
を介して取付けられる一対の従動輪と、進行方向に対す
それぞれの前記従動輪の向きを独立に変えるために
記旋回軸を回転させるかじ取り機構と、前記従動輪を路
面より浮かせる持上げ機構と、前記ホイールベースと前
記車体本体部との間に振動吸収用のばねとを備える自動
搬送台車である。また、前記ホイールベースと前記車体
本体部とが旋回しないように係止する止め機構を備える
ことが望ましい。さらに、前記車体本体部と前後の前記
ホイールベースとを前記駆動輪の真上の位置に一本の前
記回転自在ピンにより連結することが望ましい。
【0010】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
【0011】図1(a)および(b)は本発明の自動搬
送台車の一実施例を示す部分破断平面図および部分破断
側面図である。この自動搬送台車は、図1に示すよう
に、上部に荷受台8を下部に駆動輪2を具備する車体本
体部7と、進行方向に対し車体本体部7の前後に回転自
在ピン9を介して連結され車体本体部7に対し旋回し得
るホイールベース6a,6bと、このホイールベース6
a,6bの下部に旋回軸1を介して取付けられる従動輪
1aと、進行方向に対する駆動輪1aの向きを旋回軸1
を回転させて変える車輪角度変更機構3と、駆動輪1を
路面より浮かせる持上げ機構4とを備えている。
【0012】また、車体の進行方向に対して前側のホイ
ールベース6a,6bは車体本体部7に固定されるよう
に止め機構10を設けることが望ましい。これは直線走
路で車体が前進する際に前側のホイールベース6a,6
bが蛇行しないようにするためである。この固定操作は
車体本体部7の穴にソレノイド10aを動作させてダウ
ェルピン10bを挿入し固定することである。逆に自動
搬送台車が大きく曲るときには、後側のホイールベース
6a,6bのダウェルピン10bを外し旋回できるよう
にし、このホイールベースが旋回することで従動輪1a
の横すべりを吸収することである。
【0013】さらに、路面の凹凸から生ずる振動を吸収
するために、車体本体部7とホイールベース6aと6b
との間に振動を吸収するためのダンパ、例えば、回転自
在ピン9を通してコイルばね21などを設けると良い。
【0014】この自動搬送台車において、走行方向を変
換する場合は、前進あるいは後退にかかわらず進行方向
に対し前側の従動輪1aの向きを変えることによって行
なわれる。この従動輪1aの向きを変える車輪角度変更
機構3は総べてのキャスタの旋回軸1に取付けられてい
る。この図面で示す車輪角度変更機構3は、旋回軸1の
軸受15の下方に同軸に取付けられるリングギヤ16
と、ソレノイド19で揺動されるアーム18と、このア
ーム18の先端に取付けられるモータ20の軸にはめ込
まれるピニオン17とで構成されている。
【0015】そして、直線走行時には、ピニオン17は
退避させ、旋回軸1は軸受15により自在に回転できる
ようになっている。また、方向変換の際は、持上げ機構
4で従動輪1aを路面より浮せ、ピニオン17をリング
ギヤ16に噛ませ、モータ20より旋回軸1を回転させ
角度検出器5でリングギヤ16の山数をカウントして従
動輪1aの傾き角度を設定する。そして、再び、持上げ
機構4により従動輪1aを下して走行を開始する。
【0016】この自動搬送台車のかじ取り機構である車
輪角度変更機構3は、自動車のかじ取り方式と同じよう
に曲る方向の内側の従動輪のかじ取り角が外側の従動輪
のかじ取り角より大きくし走行方向の前側の従動輪の横
すべりが無くなるようにしている。この方式は自動車工
学ではアッカーマン(Ackermann)方式と呼ば
れている。この方式を実現させるために、従動輪1aの
向きがそれぞれ独立して変えられるように各従動輪1a
に車輪角度変更機構3を設けている。
【0017】もし、自動車のかじ取り機構と同じように
前後の従動輪1aの2つの向きを異なるかじ取り角を一
つのモータで変えるには、車軸と連結するタイロッドと
アームを組合せたリンク機構を用い、ステアリングホイ
ールの代りにモータとクラッチを取付ければ、内側の従
動輪1aと外側の従動輪とは異なる角度に設定できる。
このかじ取り機構は前後に二つあれば済むこという利点
がある。
【0018】従動輪1aを路面より浮かせる持上げ機構
4は、下端にパッド11を取付ける送りねじ13と、送
りねじ13を回転させるモータ14と、パッド11を案
内するガイド12とで構成され、前後のホイールベース
6a,6bに独立して設けられている。そして、紙面の
右側に進行して方向変換する場合は、ホイールベース6
b側の持上げ機構10のパッド11を路面に押し付ける
ことにより振動吸収用のコイルばね21を縮ませ従動輪
1aを路面よりdだけ上げる。
【0019】図2は図1の自動搬送台車の方向変換にお
ける駆動輪および前側の従動輪の軌跡を示す模式図であ
る。次に、この自動搬送台車が図2の90度曲る軌道を
通過する場合を想定し方向変換動作を説明する。まず、
予じめ走行方向に対し後側のホイールベースが旋回し得
るように止め機構10のダウェルピン10bをホイール
ベースから抜いておく、そして、駆動輪2の回転により
軌道を走行し紙面の左側から右側に車体本体部7が移動
し、車体本体部7とホイールベースとを連結する回転自
在ピン9が曲り開始点P1に到達したら、自動搬送台車
を停止させ持上げ機構4で従動輪1aを路面より浮かせ
る。
【0020】次に、P2点での内側の従動輪1aと外側
の従動輪1aの向き角度(かじ取り角)をすべりを起さ
ない角度αとβに設定する。このときのαとβは次式を
満足するものである。
【0021】KL=cotβ−cotα ここで、Kは進行方向の前側における従動輪1aの間
隔、Lは前側の従動輪1aと後側の従動輪1aとの間隔
を示す。そして、従動輪1aの向きの設定が完了した
ら、持上げ機構4で従動輪1aを下し路面と接触させ走
行を開始する。
【0022】このことにより回転自在ピン9は軌道上を
移動し、従動輪1aは図に示す円弧を描きながら横すべ
りを起すこと無く移動する。次に、従動輪1aが方向変
換完了する位置P3に達したら、図1の車輪角度変更機
構3のピニオン17をリングギヤ16より外し旋回軸1
を自由に回転できる状態にする。そして、自動搬送台車
の直線走行に移るに伴ない従動輪1aは傾きが駆動輪2
の推力により自動的に修正され軌道と平行の向きにな
る。必要に応じて後側のホイールベース6a,6bをダ
ウェルピン10bを挿入し車体本体部7に固定する。
【0023】図3は図1の自動搬送台車の方向変換にお
ける駆動輪および後側の従動輪の軌跡を示す模式図であ
る。一方、後側の従動輪1aは駆動輪2がP0点に達し
軌道を走行するに伴なってホイールベース6aの旋回し
始める。この状況は、図3に示すように、駆動輪2の走
行によって回転自在ピン9がどのような軌跡を描くかを
注目すれば従動輪1aの動きが理解できる。
【0024】まず、回転自在ピン9の位置と駆動輪2と
の距離は一定で固定であるから、駆動輪2がP0からP
4の軌道を走行するとき、回転自在ピン9はaからdの
軌跡を描く、すなわち、駆動輪2が曲り始める点P0か
ら後方にsだけ離れた位置から軌道の回転中心を中心と
した円を描くことになる。もし、駆動輪2の位置と回転
自在ピン9の位置が一致すれば、回転自在ピン9の軌跡
は軌道と一致することになり、それに伴ない従動輪1a
の軌跡は駆動輪2の軌跡と同心円となり最も理想的な状
態になる。これを実現するためには、前後のホイールベ
ース6a,6bと車体本体部7とを一本の回転自在ピン
で連結し、この回転自在ピンの下に位置を一致させ駆動
輪を配置させることである。
【0025】次に、回転自在ピン9と駆動輪がsだけ距
離が離れているものとして説明を続ける。まず、駆動輪
2がP1点に達すると、回転自在ピン9はa点に到達す
る。このとき回転自在ピン9のホイールベース6aを牽
引する方向は回転自在ピンの軌跡上のa点における接線
方向と一致するから、従動輪1aの向きもこの接線と平
行になる。そして、回転自在ピン9が駆動輪2が回転が
完了した点からsだけオーバーランした点で従動輪1a
は軌道と平行状態になる。
【0026】ここで、もし、従来例と同じように従動輪
をもつホイールベースと車体本体部が一体のものである
か後側のホイールベース6aをダウェルピン10bで固
定した状態であれば、内側の従動輪は大きく内側に寄り
外側の従動輪は軌道を横切ることになる。また、従動輪
間の中心O1は軌道より大きく外れ、結局従動輪に横す
べりを生じさせることになる。
【0027】以上本発明は図面を参照して説明したが、
車輪角度変更機構、持上げ機構および止め機構は図に示
した機構に限定されるものではない。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、駆動輪を
備える車体本体部の走行方向の前後に従動輪を具備する
車輪車体部を回転自在ピンで連結し、進行方向の前側の
従動輪を路面より浮かせる機構と、浮いた従動輪のかじ
取り角度を変える機構とを設け、方向変換の際に前側の
内輪と外輪との差が生じないように二つの従動輪のかじ
取り角度を異なる角度に設定し、後側の車輪車体部を回
転自在ピンを介して旋回し得るようにすることによっ
て、従動輪の横すべりやそれによる車体の横ぶれを無く
し円滑に方向変換できるという効果が得られた。
【0029】また、前側の車輪車体部と車体本体部は旋
回しないように固定することによって蛇行しないで直線
走路を走行でき、後側の車輪車体部が車体本体部に対し
自在に旋回し得るようにし従動輪の旋回自在作用と相乗
させ、方向変換の際に生ずる従動輪と軌道のずれが小さ
くなることによって、従来、発生していた従動輪の横切
りによる誘導テープの損傷の問題を解消することができ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の自動搬送台車の一実施例を示す部分破
断平面図および部分破断側面図である。
【図2】図1の自動搬送台車の方向変換における駆動輪
および前側の従動輪の軌跡を示す模式図である。
【図3】図1の自動搬送台車の方向変換における駆動輪
および後側の従動輪の軌跡を示す模式図である。
【図4】従来の自動搬送台車の一例を示す側面図であ
る。
【符号の説明】
1,28 旋回軸 1a,23 従動輪 2 駆動輪 3 車輪角角度変更機構 4 持上げ機構 5 角度検出器 6a,6b ホイールベース 7 車体本体部 8 荷受台 9 回転自在ピン 10 止め機構 10a,19 ソレノイド 10b ダウェルピン 11 パッド 12 ガイド 13 送りねじ 14,20 モータ 15,26 軸受 16 リングギア 17 ピニオン 18 アーム 21 コイルばね 22 直動レール 24 直動ガイド 25 車体
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B61B 13/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上部に荷受台を中央部の下部に一つの
    動輪を具備する車体本体部と、進行方向に対し該車体本
    体部の前後に回転自在ピンを介して前記車体本体部と
    結する一対のホイールベースと、これらホイールベース
    の下部の両側に旋回軸を介して取付けられる一対の従動
    輪と、進行方向に対するそれぞれの前記従動輪の向きを
    独立に変えるために前記旋回軸を回転させるかじ取り機
    構と、前記従動輪を路面より浮かせる持上げ機構と、
    記ホイールベースと前記車体本体部との間に振動吸収用
    のばねとを備えることを特徴とする自動搬送台車。
  2. 【請求項2】 前記ホイールベースと前記車体本体部と
    が旋回しないように係止する止め機構を備えることを特
    徴とする請求項1記載の自動搬送台車。
  3. 【請求項3】 前記車体本体部と前後の前記ホイールベ
    ースとを前記駆動輪の真上の位置に一本の前記回転自在
    ピンにより連結することを特徴とする請求項1もしくは
    請求項2記載の自動搬送台車。
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