JP2671005B2 - ディスペンサー装置 - Google Patents

ディスペンサー装置

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JP2671005B2
JP2671005B2 JP63089115A JP8911588A JP2671005B2 JP 2671005 B2 JP2671005 B2 JP 2671005B2 JP 63089115 A JP63089115 A JP 63089115A JP 8911588 A JP8911588 A JP 8911588A JP 2671005 B2 JP2671005 B2 JP 2671005B2
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信人 山崎
滋 福家
彰宏 平柳
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株式会社 新川
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    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1034Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves specially designed for conducting intermittent application of small quantities, e.g. drops, of coating material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/02Burettes; Pipettes
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    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L2224/743Apparatus for manufacturing layer connectors

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は基板等の試料にペーストを滴下するディスペ
ンサー装置に関する。
[従来の技術] 例えば、光導体装置の製造工程におけるダイボンデイ
ングにおいては、試料上にダイをダイボンダーでボンデ
イングする前に、ディスペンサー装置で試料上にペース
トが滴下される。
かかるディスペンサー装置においては、ペーストの粘
度、吐出量によりノズルと試料との隙間及びペースト滴
下後のノズル上昇スピードを変える必要がある。即ち、
ノズルと試料との隙間が適切でないと、滴下されたペー
ストの広がり状態が悪くなると共に、ノズルの周辺にペ
ーストが付着して好ましくない。またノズル上昇スピー
ドが適切でないと、ペーストの糸引きがうまく切れな
く、吐出されたペーストの形状が悪くなる。
従来のディスペンサー装置は、モータの回転をギヤ機
構を介してカム軸に伝達し、カム軸に固定されたカムに
よってノズル付のシリンジを上下動させている。
そこで、ノズルと試料の隙間調整は、シリンジを保持
したシリンジホルダーに設けられたねじ等のストッパを
上下動させ、作業者の目測で合せている。またノズル上
昇スピードの変更は、カム交換又はギヤ交換によって行
っている。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来技術は、ノズルと試料との隙間調整を手動で
行うので、正確ではなく、また多大の調整時間を要す
る。またノズル上昇スピードの変更は、カム交換又はギ
ヤ交換によって行うので、作業能率が悪く、また糸引き
を切る最適なスピードに容易に調整することが困難であ
った。
本発明の目的は、ノズルと試料との隙間調整及びノズ
ル上昇スピードの変更を適正な値に容易に行うことがで
きるディスペンサー装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記目的は、ノズルを備えたシリンジと、このシリン
ジを上下駆動するDCモータと、このDCモータの回転停止
位置及び回転スピードをコントロールするコントローラ
と、前記DCモータの回転停止位置及び回転スピードの設
定プログラムを前記コントローラに入力するディジタル
スイッチとからなり、前記設定プログラムによって、前
記ノズルの下降時の試料との隙間を一定に保つようにシ
リンジの下降位置をコントロールし、また上昇時の糸引
きが生じないようにシリンジの上昇スピードをコントロ
ールすることにより達成される。
[作用] DCモータの回転によってノズルは上下動させられる。
即ち、DCモータの回転停止位置によってノズルの下降位
置は決るので、ディジタルスイッチによってコントロー
ラに設定されている回転停止位置の設定プログラムを変
更することにより、ノズルと試料との隙間を適正な値に
変更できる。
またディジタルスイッチによってコントローラに設定
されている回転スピードの設定プログラムを変更するこ
とにより、ノズル上昇スピードを糸引きが生じない適正
な値に変更できる。
このように、ノズルと試料との隙間の調整及びノズル
上昇スピードの変更は、ディジタルスイッチによる設定
プログラムのみで対応できるので、作業性が良いと共
に、ペーストの糸引き状態も調整できる。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図及び第2図により説
明する。試料1が載置された試料台2の上方には下端に
ノズル3を有するシリンジ4が配設されており、シリン
ジ4には図示しないエアー供給源よりペースト滴下時に
エアー5が供給される。前記シリンジ4はシリンジホル
ダー6に取付けられており、シリンジホルダー6は枠体
7に垂直に設けられたガイド8に上下動自在に設けられ
ている。また枠体7には垂直に配設されたねじ9が回転
自在に設けられており、このねじ9に前記シリンジホル
ダー6は螺合されている。前記ねじ9にはプーリ10が固
定され、枠体7に固定されたDCモータ11の出力軸に固定
されたプーリ12と前記プーリ10にはベルト13が掛け渡さ
れている。前記DCモータ11はコントローラ14によって回
転停止位置と回転スピードがコントロールされるように
なっている。前記コントローラ14の回転停止位置及び回
転スピードの設定値は、ディジタルスイッチ15によって
設定される。
次に作用について説明する。DCモータ11の回転は、プ
ーリ12、ベルト13、プーリ10を介してねじ9に伝達され
る。ねじ9が回転すると、シリンジホルダー6と共にシ
リンジ4及びノズル3が上下動する。即ち、第1図の状
態よりDCモータ11が一定量回転してノズル3が第2図の
ように下降して試料1とノズル3の下端とが隙間aにな
って停止すると、エアー5が供給されてシリンジ4内の
ペースト16が試料1上に一定量滴下される。ペースト滴
下後、DCモータ11は前記と逆方向に回転し、ノズル3は
上昇させられる。
このように、ノズル3の下降位置、即ち下降時のノズ
ル3の試料1の隙間aは、下降時のDCモータ11の回転停
止位置によって決り、このDCモータ11の回転停止位置は
コントローラ14に設定された回転停止位置プログラムに
よって決るので、ディジタルスイッチ15で回転停止位置
の設定値を変更することにより容易に調整できる。また
ノズル3の上昇スピードも同様にコントローラ14に設定
されている回転スピードプログラムをディジタルスイッ
チ15で変更することにより、ペースト16の糸引き状態の
調節するためのDCモータ11の回転スピードを容易に調整
できる。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ノ
ズルと試料との隙間調整を適正な値に、またノズル上昇
スピードの変更を糸引きが生じないを適正な値に容易に
行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す正面図、第2図はペー
スト滴下状態の正面図である。 1:試料、3:ノズル、 4:シリンジ、6:シリンジホルダー、 9:ねじ、11:DCモータ、 13:ベルト、14:コントローラ、 15:ディジタルスイッチ。
フロントページの続き (72)発明者 平柳 彰宏 東京都武蔵村山市伊奈平2丁目51番地の 1 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 昭60−21533(JP,A) 特開 昭58−6085(JP,A) 特開 昭57−71281(JP,A) 特開 昭58−223456(JP,A) 実開 昭61−118677(JP,U)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ノズルを備えたシリンジと、このシリンジ
    を上下駆動するDCモータと、このDCモータの回転停止位
    置及び回転スピードをコントロールするコントローラ
    と、前記DCモータの回転停止位置及び回転スピードの設
    定プログラムを前記コントローラに入力するディジタル
    スイッチとからなり、前記設定プログラムによって、前
    記ノズルの下降時の試料との隙間を一定に保つようにシ
    リンジの下降位置をコントロールし、また上昇時の糸引
    きが生じないようにシリンジの上昇スピードをコントロ
    ールすることを特徴とするディスペンサー装置。
JP63089115A 1988-04-13 1988-04-13 ディスペンサー装置 Expired - Lifetime JP2671005B2 (ja)

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