JPH03177256A - インナーリードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置 - Google Patents
インナーリードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置Info
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- JPH03177256A JPH03177256A JP1315365A JP31536589A JPH03177256A JP H03177256 A JPH03177256 A JP H03177256A JP 1315365 A JP1315365 A JP 1315365A JP 31536589 A JP31536589 A JP 31536589A JP H03177256 A JPH03177256 A JP H03177256A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インナーリードボンディング装置におけるキ
ャリアテープ送り装置に関する。
ャリアテープ送り装置に関する。
［従来の技術］
インナーリードボンディング装置は、供給リールに巻か
れたキャリアテープを収納リールに巻取るとともに、供
給リールと収納リールとの間に配置されるスプロケット
歯車にキャリアテープのスプロケット孔を係合せしめて
該スプロケット歯車の回転によりキャリアテープを送給
し、供給リールと収納リールとの間のボンディング領域
にて該キャリアテープのインナーリードに半導体チップ
をボンデインクするように構成されている。
れたキャリアテープを収納リールに巻取るとともに、供
給リールと収納リールとの間に配置されるスプロケット
歯車にキャリアテープのスプロケット孔を係合せしめて
該スプロケット歯車の回転によりキャリアテープを送給
し、供給リールと収納リールとの間のボンディング領域
にて該キャリアテープのインナーリードに半導体チップ
をボンデインクするように構成されている。
この時、インナーリードボンディング装置は、供給リー
ルと、スプロケット歯車及びボンディング領域との間に
設けられるダンサローラにキャリアテープな巻き回し、
前記スプロケット歯車の回転に伴うキャリアテープの送
給時に上下動するダンサローラの位置検出装置を設けて
いる。そして、この検出装置によりダンサローラの上下
方向位置を検出し、この検出結果により供給リールの駆
動モータをオン／オンすることにより、キャリアテープ
の供給量を制御する。これにより、ダンサローラを上限
位置と下限位置との間に保ち、キャリアテープに常に一
定の張力を付与することにて、キャリアテープのスプロ
ケット孔をスプロケット歯車の歯の一方の面に押付ける
ことによりスプロケット歯車によるキャリアテープの送
り精度を確保することとしている。
ルと、スプロケット歯車及びボンディング領域との間に
設けられるダンサローラにキャリアテープな巻き回し、
前記スプロケット歯車の回転に伴うキャリアテープの送
給時に上下動するダンサローラの位置検出装置を設けて
いる。そして、この検出装置によりダンサローラの上下
方向位置を検出し、この検出結果により供給リールの駆
動モータをオン／オンすることにより、キャリアテープ
の供給量を制御する。これにより、ダンサローラを上限
位置と下限位置との間に保ち、キャリアテープに常に一
定の張力を付与することにて、キャリアテープのスプロ
ケット孔をスプロケット歯車の歯の一方の面に押付ける
ことによりスプロケット歯車によるキャリアテープの送
り精度を確保することとしている。
［発明が解決しようとする課題］
ところで、従来技術にあっては、供給リールの駆動モー
タとして、レバーシブルモータを用いている。このレバ
ーシブルモータは、第５図に示す如く、立ち上がり速度
が速い、このため、ダンサローラが上限位置に達したタ
イくングで、供給リールの駆動モータが駆動開始すると
、瞬間的に多量のキャリアテープが供給リールから送り
出されることになる。
タとして、レバーシブルモータを用いている。このレバ
ーシブルモータは、第５図に示す如く、立ち上がり速度
が速い、このため、ダンサローラが上限位置に達したタ
イくングで、供給リールの駆動モータが駆動開始すると
、瞬間的に多量のキャリアテープが供給リールから送り
出されることになる。
ところが、ダンサローラは重力の作用のみにより落下し
てキャリアテープの送り出しに追従するものであるため
、上述の如く余りに６速いキャリアテープの送り出し速
度にダンサローラは追従できない、そして、ダンサロー
ラは送り出し停止後のキャリアテープ上に衝撃的に落下
し、キャリアテープに比較的大きな衝撃荷重を及ぼす、
この結果、キャリアテープに振動を生じるため、ボンデ
ィング品質に悪影響を及ぼしたり、振動がおさまるまで
ボンディングを休止しなければならず、生産性を阻害す
るという不都合がある。
てキャリアテープの送り出しに追従するものであるため
、上述の如く余りに６速いキャリアテープの送り出し速
度にダンサローラは追従できない、そして、ダンサロー
ラは送り出し停止後のキャリアテープ上に衝撃的に落下
し、キャリアテープに比較的大きな衝撃荷重を及ぼす、
この結果、キャリアテープに振動を生じるため、ボンデ
ィング品質に悪影響を及ぼしたり、振動がおさまるまで
ボンディングを休止しなければならず、生産性を阻害す
るという不都合がある。
本発明は、供給リールのキャリアテープ送り出し速度に
ダンサローラが追従できるようにし、ボンデインクの品
質と生産性を向上することを目的とする。
ダンサローラが追従できるようにし、ボンデインクの品
質と生産性を向上することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明は、供給リールに巻かれたキャリアテープを収納
リールに巻取るとともに、供給リールと収納リールとの
間に配置されるスプロケット歯車にキャリアテープのス
プロケット孔を係合せしめて該スプロケット歯車の回転
によりキャリアテープを送給し、供給リールと収納リー
ルとの間のボンディング領域にて該キャリアテープのイ
ンナーリードに半導体チップをボンディングするに際し
、供給リールと、スプロケット歯車及びボンディング領
域との間に設けられるダンサローラにキャリアテープな
巻き回し、前記スプロケット歯車の回転に伴うキャリア
テープの送給時に上下動するダンサローラの位置検出装
置を設け、該検出装置の検出結果を得る制御装置により
供給リールの駆動モータを駆動制御することによりキャ
リアテープの供給量を制御することにて、ダンサローラ
を上限位置と下限位置との間に保つ状態下でキャリアテ
ープに一定の張力を付与するように構成したインナーリ
ードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置
において、前記供給リールの駆動モータとして、回転速
度可変モータを用いるようにしたものである。
リールに巻取るとともに、供給リールと収納リールとの
間に配置されるスプロケット歯車にキャリアテープのス
プロケット孔を係合せしめて該スプロケット歯車の回転
によりキャリアテープを送給し、供給リールと収納リー
ルとの間のボンディング領域にて該キャリアテープのイ
ンナーリードに半導体チップをボンディングするに際し
、供給リールと、スプロケット歯車及びボンディング領
域との間に設けられるダンサローラにキャリアテープな
巻き回し、前記スプロケット歯車の回転に伴うキャリア
テープの送給時に上下動するダンサローラの位置検出装
置を設け、該検出装置の検出結果を得る制御装置により
供給リールの駆動モータを駆動制御することによりキャ
リアテープの供給量を制御することにて、ダンサローラ
を上限位置と下限位置との間に保つ状態下でキャリアテ
ープに一定の張力を付与するように構成したインナーリ
ードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置
において、前記供給リールの駆動モータとして、回転速
度可変モータを用いるようにしたものである。
［作用］
本発明によれば、供給リールの駆動モータとして回転速
度可変モータを用いたから、該駆動モータの立ち上がり
速度を調整することにより、供給リールのキャリアテー
プ送り出し速度を、ダンサローラが追従できる程度に遅
くすることができる。尚、ダンサローラの落下速度は、
ダンサローラ自体の重量と該ダンサローラに必要に応じ
て付帯せしめられる重りの重量とに作用する重力に基づ
いて定まる。
度可変モータを用いたから、該駆動モータの立ち上がり
速度を調整することにより、供給リールのキャリアテー
プ送り出し速度を、ダンサローラが追従できる程度に遅
くすることができる。尚、ダンサローラの落下速度は、
ダンサローラ自体の重量と該ダンサローラに必要に応じ
て付帯せしめられる重りの重量とに作用する重力に基づ
いて定まる。
これにより、スプロケット歯車の回転によるキャリアテ
ープの送給時に、ダンサローラが上限位置に達したこと
を検出装置が検出したタイくングで、制御装置が供給リ
ールの駆動モータを駆動開始すると、供給リールからの
キャリアテープ送り出し速度にダンサローラが確実に追
従して、キャリアテープに大きな衝撃荷重を及ぼすこと
なく、キャリアテープに常に一定の張力を付与する。そ
して、キャリアテープのスプロケット孔をスプロケット
歯車の歯の一方の面に押付けることにより、スプロケッ
ト歯車によるキャリアテープの送り精度を確保できる。
ープの送給時に、ダンサローラが上限位置に達したこと
を検出装置が検出したタイくングで、制御装置が供給リ
ールの駆動モータを駆動開始すると、供給リールからの
キャリアテープ送り出し速度にダンサローラが確実に追
従して、キャリアテープに大きな衝撃荷重を及ぼすこと
なく、キャリアテープに常に一定の張力を付与する。そ
して、キャリアテープのスプロケット孔をスプロケット
歯車の歯の一方の面に押付けることにより、スプロケッ
ト歯車によるキャリアテープの送り精度を確保できる。
従って、本発明によれば、ダンサローラがキャリアテー
プに及ぼす衝撃荷重をなくする結果、キャリアテープに
振動を生じることなく該キャリアテープを安定供給でき
、ボンディング品質に悪影響を及ぼしたり、振動がおさ
まるまでボンディングを休止して生産性を阻害する等の
不都合がない。
プに及ぼす衝撃荷重をなくする結果、キャリアテープに
振動を生じることなく該キャリアテープを安定供給でき
、ボンディング品質に悪影響を及ぼしたり、振動がおさ
まるまでボンディングを休止して生産性を阻害する等の
不都合がない。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例に係るインナーリードボンデ
ィング装置を模式的に示す正面図、第２図は第１図の平
面図、第３図は供給リール駆動モータの制御系統を示す
ブロック図、第４図はテープの全体形状を模式的に示す
平面図、第５図はモータの立ち上がり速度特性を示す線
図である。
ィング装置を模式的に示す正面図、第２図は第１図の平
面図、第３図は供給リール駆動モータの制御系統を示す
ブロック図、第４図はテープの全体形状を模式的に示す
平面図、第５図はモータの立ち上がり速度特性を示す線
図である。
インナーリードボンディング装置１０に供されるテープ
１は、第４図に示す如く、キャリアテープＩＡの部分と
、キャリアテープＩＡの両端部に連なるダく−テープ１
Ｂの部分とからなる。キャリアテープ１Ａには、エツチ
ング等によりリードパターン２が形成されており、ボン
ディング装置１０は、該キャリアテープ１Ａのデバイス
ホール３の内側に張り出すインナーリード４と半導体チ
ップ５の電極部とを接続する。インナーリード４は、例
えば銅、金、錫等にて形成される。
１は、第４図に示す如く、キャリアテープＩＡの部分と
、キャリアテープＩＡの両端部に連なるダく−テープ１
Ｂの部分とからなる。キャリアテープ１Ａには、エツチ
ング等によりリードパターン２が形成されており、ボン
ディング装置１０は、該キャリアテープ１Ａのデバイス
ホール３の内側に張り出すインナーリード４と半導体チ
ップ５の電極部とを接続する。インナーリード４は、例
えば銅、金、錫等にて形成される。
ボンディング装置１０は、第１図、第２図に示す如く、
上記テープ１が巻かれた供給リール１１、この供給リー
ル１１に巻かれたテープ１を巻取る収納リール１２とを
有する。
上記テープ１が巻かれた供給リール１１、この供給リー
ル１１に巻かれたテープ１を巻取る収納リール１２とを
有する。
ボンディング装置１０は、上記供給リール１１と収納リ
ール１２との間にボンディング領域を設け、ここにボン
ディングヘッド１３を配置している。ボンディングヘッ
ド１３はツール１４を備え、ツール１４の先端はキャリ
アテープＩＡの上面に対向する。このキャリアテープＩ
Ａの下面側には載置部１７が配置されている。この載置
部１７は、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテーブル１６に搭
載されている。この載置部１７には半導体チップ５が載
置される。
ール１２との間にボンディング領域を設け、ここにボン
ディングヘッド１３を配置している。ボンディングヘッ
ド１３はツール１４を備え、ツール１４の先端はキャリ
アテープＩＡの上面に対向する。このキャリアテープＩ
Ａの下面側には載置部１７が配置されている。この載置
部１７は、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテーブル１６に搭
載されている。この載置部１７には半導体チップ５が載
置される。
半導体チップ５はウェハ１８を等間隔に分割して形成さ
れ、ウェハはチップ用ＸＹテーブル１９上に保持される
。半導体チップ５は移送レバー２０に吸着されて前述の
載置部１７に移載される。ＸＹテーブル１６の駆動によ
り、上記移載された半導体チップ５がキャリアテープ１
Ａの下方に位置すると、前述のボンディングヘッド１３
のツール１４が下降してキャリアテープＩＡのインナー
リード４を半導体チップ５の電極部に押付け、ボンディ
ングする。
れ、ウェハはチップ用ＸＹテーブル１９上に保持される
。半導体チップ５は移送レバー２０に吸着されて前述の
載置部１７に移載される。ＸＹテーブル１６の駆動によ
り、上記移載された半導体チップ５がキャリアテープ１
Ａの下方に位置すると、前述のボンディングヘッド１３
のツール１４が下降してキャリアテープＩＡのインナー
リード４を半導体チップ５の電極部に押付け、ボンディ
ングする。
ここで、ボンディング位置の両側には、テープ供給側ス
プロケット歯車２２とテープ収納側スプロケット歯車２
３とが配設されており、パルスモータ等からなるテープ
送りモータ２１にてスプロケット歯車２３が回転駆動さ
れる０両スプロケット歯車２２．２３はテープ１に設け
たスプロケット孔６に係合しており、制御装置２４が制
御する長さたけスプロケット歯車２３により該テープ１
を間欠的に送給する（第３図参照）、第３図の２５はテ
ープ送すモータ用ドライバ回路である。
プロケット歯車２２とテープ収納側スプロケット歯車２
３とが配設されており、パルスモータ等からなるテープ
送りモータ２１にてスプロケット歯車２３が回転駆動さ
れる０両スプロケット歯車２２．２３はテープ１に設け
たスプロケット孔６に係合しており、制御装置２４が制
御する長さたけスプロケット歯車２３により該テープ１
を間欠的に送給する（第３図参照）、第３図の２５はテ
ープ送すモータ用ドライバ回路である。
更に、ボンディング装置１０は、第１図に示す如く、供
給リール１１とスプロケット歯車２３との間に設けられ
るダンサローラ３１にキャリアテープＩＡを巻き回すと
ともに、収納リール１２とスプロケット歯車２３との間
に設けられる段差ローラ１３１にキャリアテープＩＡを
巻き回し、荊記スプロケット歯車２２．２３の回転に伴
うキャリアテープ１Ａの送給時に上下動する、ダンサロ
ーラ３１のための上限検出センサ３２Ａと下限検出セン
サ３２Ｂとを設けるとともに、ダンサローラ１３１のた
めの上限検出センサ１３２Ａと下限検出センサ１３２Ｂ
とを設けている。ダンサローラ３１．１３１は重り３３
．１３３を付帯して備える。又、センサ３２Ａ、３２Ｂ
、１３２Ａ、１３２Ｂは例えば反射型光センサにて構成
される。
給リール１１とスプロケット歯車２３との間に設けられ
るダンサローラ３１にキャリアテープＩＡを巻き回すと
ともに、収納リール１２とスプロケット歯車２３との間
に設けられる段差ローラ１３１にキャリアテープＩＡを
巻き回し、荊記スプロケット歯車２２．２３の回転に伴
うキャリアテープ１Ａの送給時に上下動する、ダンサロ
ーラ３１のための上限検出センサ３２Ａと下限検出セン
サ３２Ｂとを設けるとともに、ダンサローラ１３１のた
めの上限検出センサ１３２Ａと下限検出センサ１３２Ｂ
とを設けている。ダンサローラ３１．１３１は重り３３
．１３３を付帯して備える。又、センサ３２Ａ、３２Ｂ
、１３２Ａ、１３２Ｂは例えば反射型光センサにて構成
される。
そして、ボンディング装置１０は、センサ３２Ａ、３２
Ｂの検出結果を得る制御装置！２４により供給リール１
１の駆動モータ３４を駆動制御することにより供給ワー
ル１１からのキャリアテープＩＡの送り出し量を制御す
ることにて、ダンサローラ３１を、上限検出センサ３２
Ａが設けられている上限位置と、下限検出センサ３２Ｂ
か設けられている下限位置との間に保つ、又、ボンディ
ング装″ｌ１１０は、センサ１３２Ａ、１３２Ｂの検出
結果を得る制御装置２４により収納リール１２の駆動モ
ータ１３４を駆動制御することにより、収納リール１２
へのキャリアテープＩＡの巻き取り量を制御することに
て、ダンサローラ１３１を、上限検出センサ１３２Ａが
設けられている上限位置と、下限検出センサ１３２Ｂが
設けられている下限位置との間に保つ、これにより、キ
ャリアテープＩＡには、ダンサローラ３１と重り３３に
作用する重力が該キャリアテープ１Ａに付与する第１図
において左方向の張力と、ダンサローラ１３１と重り１
３３に作用する重力が該キャリアテープＩＡに付与する
第１図において右方向の張力との差の張力が作用するこ
とになり、結果として、キャリアテープＩＡのスプロケ
ット孔６をスプロケット歯車２２．２３の歯の一方の面
に押付けることによりスプロケット歯車２２．２３によ
るキャリアテープＩＡの送り精度を確保するものである
。第３図の３５は供給リール駆動モータ用ドライバ回路
、１３５は収納リール駆動モータ用ドライバ回路である
。
Ｂの検出結果を得る制御装置！２４により供給リール１
１の駆動モータ３４を駆動制御することにより供給ワー
ル１１からのキャリアテープＩＡの送り出し量を制御す
ることにて、ダンサローラ３１を、上限検出センサ３２
Ａが設けられている上限位置と、下限検出センサ３２Ｂ
か設けられている下限位置との間に保つ、又、ボンディ
ング装″ｌ１１０は、センサ１３２Ａ、１３２Ｂの検出
結果を得る制御装置２４により収納リール１２の駆動モ
ータ１３４を駆動制御することにより、収納リール１２
へのキャリアテープＩＡの巻き取り量を制御することに
て、ダンサローラ１３１を、上限検出センサ１３２Ａが
設けられている上限位置と、下限検出センサ１３２Ｂが
設けられている下限位置との間に保つ、これにより、キ
ャリアテープＩＡには、ダンサローラ３１と重り３３に
作用する重力が該キャリアテープ１Ａに付与する第１図
において左方向の張力と、ダンサローラ１３１と重り１
３３に作用する重力が該キャリアテープＩＡに付与する
第１図において右方向の張力との差の張力が作用するこ
とになり、結果として、キャリアテープＩＡのスプロケ
ット孔６をスプロケット歯車２２．２３の歯の一方の面
に押付けることによりスプロケット歯車２２．２３によ
るキャリアテープＩＡの送り精度を確保するものである
。第３図の３５は供給リール駆動モータ用ドライバ回路
、１３５は収納リール駆動モータ用ドライバ回路である
。
然るに、ボンディング装置ｉ１０にあっては、供給リー
ル１１の駆動モータ３４として回転速度可変モータを用
いるものである。制御装置２４は駆動モータ３４のため
の速度調整部３６を備えており、オペレータによる速度
調整部３６の調整操作により駆動モータ３４の立ち上が
り速度を自在に調整可能とする（第５図参照）。
ル１１の駆動モータ３４として回転速度可変モータを用
いるものである。制御装置２４は駆動モータ３４のため
の速度調整部３６を備えており、オペレータによる速度
調整部３６の調整操作により駆動モータ３４の立ち上が
り速度を自在に調整可能とする（第５図参照）。
尚、回転速度可変モータとしては、ステッピングモータ
、サーボモータ等を採用できる。
、サーボモータ等を採用できる。
次に、上記実施例の作用について説明する。
上記実施例によれば、供給リール１１の駆動モータ３４
として回転速度可変モータを用いたから、該駆動モータ
３４の立ち上がり速度を調整することにより、供給リー
ル１１のキャリアテープ送り出し速度を、ダンサローラ
３１が追従できる程度に遅くすることができる。尚、ダ
ンサローラ３１の落下速度は、ダンサローラ３１自体の
重量と重り３３の重量とに作用する重力に基づいて定ま
る。
として回転速度可変モータを用いたから、該駆動モータ
３４の立ち上がり速度を調整することにより、供給リー
ル１１のキャリアテープ送り出し速度を、ダンサローラ
３１が追従できる程度に遅くすることができる。尚、ダ
ンサローラ３１の落下速度は、ダンサローラ３１自体の
重量と重り３３の重量とに作用する重力に基づいて定ま
る。
これにより、スプロケット歯車２２．２３の回転による
キャリアテープ１Ａの送給時に、ダンサローラ３１が上
限位置に達したことを検出装置３２Ａが検出したタイミ
ングで、制御袋！！２４が供給リール１１の駆動モータ
３４を駆動開始すると、供給リール１１からのキャリア
テープ送り出し速度にダンサローラ３１が確実に追従し
て、キャリアテープ１Ａに大きな衝撃荷重を及ぼすこと
なく、キャリアテープＩＡに常に一定の張力を付与する
。そして、キャリアテープＩＡのスプロケット孔６をス
プロケット歯車２２．２３の歯の一方の面に押付けるこ
とにより、スプロケット歯車２２．２３によるキャリア
テープＩＡの送り精度を確保できる。
キャリアテープ１Ａの送給時に、ダンサローラ３１が上
限位置に達したことを検出装置３２Ａが検出したタイミ
ングで、制御袋！！２４が供給リール１１の駆動モータ
３４を駆動開始すると、供給リール１１からのキャリア
テープ送り出し速度にダンサローラ３１が確実に追従し
て、キャリアテープ１Ａに大きな衝撃荷重を及ぼすこと
なく、キャリアテープＩＡに常に一定の張力を付与する
。そして、キャリアテープＩＡのスプロケット孔６をス
プロケット歯車２２．２３の歯の一方の面に押付けるこ
とにより、スプロケット歯車２２．２３によるキャリア
テープＩＡの送り精度を確保できる。
従って、上記実施例よれば、ダンサローラ３１がキャリ
アテープ１Ａに及ぼす衝撃荷重をなくする結果、キャリ
アテープＩＡに振動を生じることなく該キャリアテープ
１Ａを安定供給でき、ボンディング品質に悪影響を及ぼ
したり、振動がおさまるまでボンディングを休止して生
産性を阻害する等の不都合がない。
アテープ１Ａに及ぼす衝撃荷重をなくする結果、キャリ
アテープＩＡに振動を生じることなく該キャリアテープ
１Ａを安定供給でき、ボンディング品質に悪影響を及ぼ
したり、振動がおさまるまでボンディングを休止して生
産性を阻害する等の不都合がない。
尚、上記実施例において、駆動モータ３４の立ち上がり
速度を速度調整部３６において調整操作後は、キャリア
テープ１Ａの供給毎に駆動モータ３４を同じ立ち上がり
速度で駆動するようにした。然しなから、供給リール１
１に巻かれたキャリアテープ１の現在の径を監視し、径
に応じて駆動モータ３４の立ち上がり速度を、ダンサロ
ーラ３１が追従可能な範囲で変化させるように、速度調
整部３６が駆動モータ３４の速度制御を行なうものであ
っても良い。
速度を速度調整部３６において調整操作後は、キャリア
テープ１Ａの供給毎に駆動モータ３４を同じ立ち上がり
速度で駆動するようにした。然しなから、供給リール１
１に巻かれたキャリアテープ１の現在の径を監視し、径
に応じて駆動モータ３４の立ち上がり速度を、ダンサロ
ーラ３１が追従可能な範囲で変化させるように、速度調
整部３６が駆動モータ３４の速度制御を行なうものであ
っても良い。
［発明の効果］
以上のように本発明によれば、供給リールのキャリアテ
ープ送り出し速度にダンサローラが追従できるようにし
、ボンディングの品質と生産性を向上することができる
。
ープ送り出し速度にダンサローラが追従できるようにし
、ボンディングの品質と生産性を向上することができる
。
第１図は本発明の一実施例に係るインナーリードボンデ
ィング装置を模式的に示す正面図、第２図は第１図の平
面図、第３図は供給リール駆動モータの制御系統を示す
ブロック図、第４図はテープの全体形状を模式的に示す
平面図、第５図はモータの立ち上がり速度特性を示す線
図である。 ＩＡ・・・キャリアテープ、 ６・・・スプロケット孔、 １０・・・インナーリードボンデインク装置、１１・・
・供給リール、 １２・・・収納リール、 １３・・・ボンデインクヘッド、 ２２．２３・・・スプロケット歯車、 ２４・・・制御装置、 ３１・・・ダンサローラ、 ３２Ａ、３２Ｂ・・・検出センサ、 ３４・・・駆動モータ、 ３６・・・速度調整部。
ィング装置を模式的に示す正面図、第２図は第１図の平
面図、第３図は供給リール駆動モータの制御系統を示す
ブロック図、第４図はテープの全体形状を模式的に示す
平面図、第５図はモータの立ち上がり速度特性を示す線
図である。 ＩＡ・・・キャリアテープ、 ６・・・スプロケット孔、 １０・・・インナーリードボンデインク装置、１１・・
・供給リール、 １２・・・収納リール、 １３・・・ボンデインクヘッド、 ２２．２３・・・スプロケット歯車、 ２４・・・制御装置、 ３１・・・ダンサローラ、 ３２Ａ、３２Ｂ・・・検出センサ、 ３４・・・駆動モータ、 ３６・・・速度調整部。
Claims (1)
- （１）供給リールに巻かれたキャリアテープを収納リー
ルに巻取るとともに、供給リールと収納リールとの間に
配置されるスプロケット歯車にキャリアテープのスプロ
ケット孔を係合せしめて該スプロケット歯車の回転によ
りキャリアテープを送給し、供給リールと収納リールと
の間のボンディング領域にて該キャリアテープのインナ
ーリードに半導体チップをボンディングするに際し、供
給リールと、スプロケット歯車及びボンディング領域と
の間に設けられるダンサローラにキャリアテープを巻き
回し、前記スプロケット歯車の回転に伴うキャリアテー
プの送給時に上下動するダンサローラの位置検出装置を
設け、該検出装置の検出結果を得る制御装置により供給
リールの駆動モータを駆動制御することによりキャリア
テープの供給量を制御することにて、ダンサローラを上
限位置と下限位置との間に保つ状態下でキャリアテープ
に一定の張力を付与するように構成したインナーリード
ボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置にお
いて、前記供給リールの駆動モータとして、回転速度可
変モータを用いることを特徴とするインナーリードボン
ディング装置におけるキャリアテープ送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1315365A JPH03177256A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | インナーリードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1315365A JPH03177256A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | インナーリードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03177256A true JPH03177256A (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=18064536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1315365A Pending JPH03177256A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | インナーリードボンディング装置におけるキャリアテープ送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03177256A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999015449A1 (de) * | 1997-09-23 | 1999-04-01 | Robert Bosch Gmbh | Bandzugantrieb in einer thermoformvorrichtung zur herstellung einer blister-folie |
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| CN110844202A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 吴辉辉 | 一种铝箔杯包装设备 |
-
1989
- 1989-12-06 JP JP1315365A patent/JPH03177256A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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