JP2602182B2 - 半導体パッケージおよびその製造方法 - Google Patents

半導体パッケージおよびその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケージおよ
びその製造方法に関するものであり、詳しくは、リード
フレームパッドとリードフレームのインナーリードを直
接ソルダリングする半導体パッケージおよびその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体パッケージは、図７に示す
ように、リードフレームパッド１上に半導体チップ１０
を接着剤２で付着して固定させ、前記半導体チップ１０
とリードフレーム２０のインナーリード３を金属ワイヤ
５で電気的に接続連結するようになっている。また、こ
のように構成された従来の半導体パッケージは、半導体
チップ１０とリードフレーム２０のインナーリード３お
よび金属ワイヤ５を包含する一定面積、つまり長方形の
本体が、封止樹脂６で密封されてなる。そして、前記長
方形の本体を構成する封止樹脂６の左右両側には、それ
ぞれリードフレーム２０のアウターリード４が所定形態
に一定長さだけ突出されている。すなわち、前記アウタ
ーリード４は、半導体パッケージの内側に折曲されてい
る。
【０００３】一方、前記のように構成された従来の半導
体パッケージは、次のような工程を遂行して製造され
る。
【０００４】まず、従来の半導体の製造方法は、半導体
チップ１０をリードフレームパッド１上に接着剤２で付
着して固定するダイボンディング工程と、前記半導体チ
ップ１０とリードフレーム２０のインナーリード３を金
属ワイヤ５で電気的に連結するワイヤボンディング工程
と、ワイヤボンディングされた半導体チップ１０とリー
ドフレームパッド１とインナーリード３と金属ワイヤ５
を封じて塞ぐ封止樹脂体６を形成させるモールディング
工程と、前記リードフレーム２０のアウターリード４を
支持しているダムバー（図示せず）を切断して各々の独
立パッケージに分離するとともに封止樹脂体６の両側に
突出されたアウターリード４を所定形態に折曲形成する
トリミングおよびフォーミング（trimming/forming）工
程とを、順次遂行して半導体パッケージを製造すること
になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように製造される
従来の半導体パッケージは、半導体チップとリードフレ
ームのインナーリードを金属ワイヤでワイヤボンディン
グして電気的に結線するので、パッケージの小型化およ
び薄型化が難しいという欠点があった。また、このよう
に結線されたワイヤでは、寄生インダクタンスと抵抗が
発生するので、これにより半導体パッケージの電気的特
性が低下するという問題点が発生した。
【０００６】したがって、本発明の目的は、ワイヤボン
ディングを使用せずに、リードフレームパッドとリード
フレームのインナーリードを直接ソルダリングして、パ
ッケージを小型化および薄型化させた、半導体パッケー
ジおよびその製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明による半
導体パッケージは、リードフレームの所定部位に設置さ
れたパッドの一方側にはインナーリードが、他方側には
補助リードがそれぞれ設置され、インナーリードと補助
リードの連結部には少なくとも１つ以上のインナーリー
ドホールが設置され、インナーリードホールの上部には
インナーリードホールに連通されるようにソルダレジス
タフィルム上にソルダレジスタホールが少なくとも１つ
以上設置されることを特徴としている。
【０００８】請求項２の発明による半導体パッケージ
は、請求項１の発明において、インナーリードホールは
円形に形成されることを特徴としている。
【０００９】請求項３の発明による半導体パッケージ
は、請求項１の発明において、インナーリードホールは
四角形に形成されることを特徴としている。
【００１０】請求項４の発明による半導体パッケージ
は、請求項１の発明において、インナーリードホールは
半円形に形成されることを特徴としている。
【００１１】請求項５の発明による半導体パッケージ
は、請求項１の発明において、ソルダレジスタホールは
インナーリードホールより大きく形成されることを特徴
としている。
【００１２】請求項６の発明による半導体パッケージの
製造方法は、リードフレーム上にソルダレジスタフィル
ムを付着する段階と、リードフレームのインナーリード
がパッドと直接接触し得るようにリードパターンを形成
しエッチングする段階と、パッドとインナーリードをソ
ルダリングする段階と、リードフレームをエポキシモー
ルドコンパウンドでモールディングする段階と、リード
フレームのサイドレールを切断し、パッケージの固有形
態に切断するトリミングおよびフォーミング段階と、所
定の鍍金被膜を得るためのたとえば錫めっき等のめっき
段階とから構成されることを特徴としている。
【００１３】請求項７の発明による半導体パッケージの
製造方法は、請求項６の発明において、ソルダリング段
階で、ソルダレジスタホールおよびインナーリードホー
ルにソルダを注入した後、熱気を吹き入れることにより
不必要なソルダを除去することを特徴としている。
【００１４】
【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を詳細に説明する。
【００１５】図１は、本発明の一実施例による半導体パ
ッケージの平面図で、リードフレーム４０の上部の所定
部位には、薄いソルダレジスタフィルム３０が接着剤
（図示せず）により付着されている。そして、前記リー
ドフレーム４０は、その所定部位に一定間隔をおいて複
数のインナーリード１３が設置され、前記インナーリー
ド１３は補助リード１２と相互連結される。ここで、補
助リード１２は、インナーリードに連結された部分で、
便宜上区分したものである。
【００１６】一方、前記インナーリード１３と補助リー
ド１２間の連結部２６には、円形のインナーリードホー
ル２５が形成される。ここで、ただ１つのインナーリー
ドホール２５を形成したが、場合によっては複数を形成
することもできる。そして、このようにインナーリード
ホール２５を形成した理由は、ソルダリング面積を拡大
するとともに、不良率を減少させるためである。
【００１７】さらに、前記インナーリードホール２５
は、図２（Ａ）に示すように円形に形成することもでき
るし、図２（Ｂ）に示すように矩形のインナーリードホ
ール２５ａを形成することもできるし、図２（Ｃ）に示
すように半円形のインナーリードホール２５ｂを形成す
ることもできる。
【００１８】次に、図３（Ａ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ′
線について切取った断面図であり、図３（Ｂ）は図２
（Ａ）のＣ−Ｃ′線について切取った断面図である。図
３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、チップパッド
１１の上部には、補助リード１２およびインナーリード
１３がそれぞれ付着される。ここで、前記補助リード１
２とインナーリード１３間には、インナーリードホール
２５が形成される。また、前記インナーリード１３およ
び補助リード１２の上部には、ソルダレジスタフィルム
３０が付着されている。前記ソルダレジスタフィルム３
０の所定部位、つまり前記インナーリードホール２５に
対向する部分には、前記インナーリードホール２５より
少し大きいソルダレジスタホール３５を形成することに
なる。
【００１９】一方、図３（Ｂ）は、図２（Ａ）のＣ−
Ｃ′線について切取った断面図であり、図３（Ａ）とは
異なりチップパッド１１上の両側にインナーリード１３
が設置され、前記インナーリード１３とインナーリード
１３間にはインナーリードホール２５が形成されてい
る。また、ソルダレジスタフィルム３０の所定部位、つ
まり前記インナーリードホール２５に対向する部分に
は、前述したものと同様に、前記インナーリードホール
２５より少し大きいソルダレジスタホール３５が形成さ
れる。ここで、図３（Ａ）に示すソルダレジスタホール
３５は、図３（Ｂ）に示すソルダレジスタホール３５に
比べて大きく示されているが、これはただ切断方向差に
よるもので、前記ソルダレジスタホール３５の大きさ
は、これに限定されるものではなく、使用者がその大き
さを任意に選択できるものである。
【００２０】一方、本発明の一実施例による半導体パッ
ケージの製造方法は、リードフレーム４０にソルダレジ
スタフィルム３０を付着するか、リードフレーム４０に
ソルダレジスタフィルム３０が付着されたリードフレー
ム４０を用意した後、前記リードフレーム４０のインナ
ーリード１３が、図３（Ｂ）に示すように、チップパッ
ド１１と直接接触し得るように、リードパターン（図示
せず）を形成してエッチングすることになる。このよう
に、リードパターンが形成されると、フォト現像工程を
遂行し、この際、ソルダレジスタフィルム３０上に、図
２（Ａ）〜図２（Ｃ）に示すような種々のインナーリー
ドホール２５，２５ａ，２５ｂより少し大きく（つま
り、使用者の要求に適合するように）矩形のソルダレジ
スタホール３５を食刻により形成する。
【００２１】このようにソルダレジスタホール３５が形
成されてから、ソーイング（sawing）工程により個々に
分離された半導体チップ１００（図４（Ａ）参照）を、
図３（Ａ）または図３（Ｂ）に示すチップパッド１１に
付着する。そして、ソルダレジスタフィルム３０上に形
成されたソルダレジスタホール３５は、図１および図３
（Ａ），（Ｂ）に示すように、チップパッド１１と補助
リード１２とインナーリード１３が取囲んでいるインナ
ーリードホール２５に連通され、前記インナーリードホ
ール２５より少し大きく形成される。したがって、前記
ソルダレジスタホール３５およびインナーリードホール
２５には、ソルダクリーム（solder cream）を少量塗布
してから所定の熱を加えると、図４（Ａ）に示すよう
に、ソルダ４５が溶融される。図４（Ａ）のようにソル
ダ４５が溶融されると、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）に
示すような工程を遂行する。
【００２２】次に、図４（Ａ）〜図４（Ｃ）に示す工程
を詳細に説明する。図４（Ａ）はソルダ４５が溶融され
た後の状態を示す断面図であり、半導体チップ１００が
付着されたチップパッド１１上にソルダ４５がソルダレ
ジスタフィルム３０の高さより高く覆われているものを
示す。このような状態で、図４（Ｂ）に示すように、一
定方向（矢印方向）に熱気を供給すると、ソルダレジス
タフィルム３０上の不必要なソルダが一方側に押されて
除去され、図４（Ｃ）のような状態になる。すなわち、
ソルダレジスタフィルム２０のソルダレジスタホール３
５（図３（Ａ）参照）間に、所定量だけのソルダ４５の
みが残存する。
【００２３】このようなソルダリング工程が完了される
と、本発明の一実施例による半導体パッケージは、外部
の物理的衝撃または化学的変化に対する保護のために、
エポキシモールディングコンパウンド（epoxy molding
compound）で成形される。すなわち、図６に示すよう
に、半導体チップ１００、補助リード１２およびインナ
ーリード１３で取囲まれた部分にエポキシモールディン
グコンパウンドで封止体を形成する。なお、図６は、図
５（Ｂ）のＥ−Ｅ′線について切取った図面である。こ
のようにモールディング作業が終了すると、半導体パッ
ケージを一定時間硬化させた後、図５（Ａ）および図５
（Ｂ）と図６のようなトリミングおよびフォーミング工
程を遂行して、半導体パッケージを製作する。
【００２４】前記切断工程とトリミングおよびフォーミ
ング工程を、図５（Ａ）および図５（Ｂ）と図７に基づ
いて説明すると次のようである。
【００２５】図５（Ａ）は、本発明の一実施例による半
導体パッケージのトリミング工程を示す断面図である。
図５（Ａ）において、Ｄ−Ｄ′線に沿って半導体パッケ
ージを切断し、各サイドレール４８およびダムバ４９を
除去すると、半導体パッケージは図５（Ｂ）のようにな
る。このようにトリミングされた半導体パッケージは、
図５（Ｂ）に示すように、ソルダレジスタフィルム３０
の外側に複数のアウターリード１４のみが突出されてい
るので、使用者が前記アウターリード１４を望むパッケ
ージの固有形態に折曲して、図６に示すような完成され
たパッケージを製造する。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体パ
ッケージは、半導体チップとインナーリードをワイヤボ
ンディングする工程を遂行しないので、半導体パッケー
ジの小型化および薄型化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による半導体パッケージの平
面図である。
【図２】本発明の一実施例によるインナーリードホール
の多様な形態を示す平面図である。
【図３】（Ａ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ′線について切取
った断面図であり、（Ｂ）は図２（Ａ）のＣ−Ｃ′線に
ついて切取った断面図である。
【図４】本発明の一実施例によるソルダリング工程を段
階別に示す図である。
【図５】半導体パッケージのトリミング工程を示す図で
あって、（Ａ）はダムバのトリミング前段階を示す平面
図であり、（Ｂ）は切断後の単位パッケージを示す平面
図である。
【図６】図５（Ｂ）において、トリミングおよびフォー
ミング工程後、Ｅ−Ｅ′線について切取った半導体パッ
ケージの断面図である。
【図７】従来の半導体パッケージの概略断面図である。
【符号の説明】
１，１１ パッド ２ 接着剤 ３，１３ インナーリード ４，１４ アウターリード ５ ワイヤ １０，１００ 半導体チップ １２ 補助リード ２０，４０ リードフレーム ３０ ソルダレジスタフィルム ４５ ソルダ ５０ 金属フレーム

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 リードフレームの所定部位に設置された
    パッドの一方側にはインナーリードが、他方側には補助
    リードがそれぞれ設置され、 前記インナーリードと前記補助リードの連結部には少な
    くとも１つ以上のインナーリードホールが設置され、 前記インナーリードホールの上部には前記インナーリー
    ドホールに連通されるようにソルダレジスタフィルム上
    にソルダレジスタホールが少なくとも１つ以上設置され
    ることを特徴とする、半導体パッケージ。
  2. 【請求項２】 前記インナーリードホールは、円形に形
    成されることを特徴とする、請求項１記載の半導体パッ
    ケージ。
  3. 【請求項３】 前記インナーリードホールは、四角形に
    形成されることを特徴とする、請求項１記載の半導体パ
    ッケージ。
  4. 【請求項４】 前記インナーリードホールは、半円形に
    形成されることを特徴とする、請求項１記載の半導体パ
    ッケージ。
  5. 【請求項５】 前記ソルダレジスタホールは、前記イン
    ナーリードホールより大きく形成されることを特徴とす
    る、請求項１記載の半導体パッケージ。
  6. 【請求項６】 リードフレーム上にソルダレジスタフィ
    ルムを付着する段階と、 前記リードフレームのインナーリードがパッドと直接接
    触し得るようにリードパターンを形成しエッチングする
    段階と、 前記パッドとインナーリードをソルダリングする段階
    と、 前記リードフレームをエポキシモールドコンパウンドで
    モールディングする段階と、 前記リードフレームのサイドレールを切断し、パッケー
    ジの固有形態に切断するトリミングおよびフォーミング
    段階と、 所定の鍍金被膜を得るためのめっき段階とから構成され
    ることを特徴とする、半導体パッケージの製造方法。
  7. 【請求項７】 前記ソルダリング段階で、ソルダレジス
    タホールおよびインナーリードホールにソルダを注入し
    た後、熱気を吹き入れることにより不必要なソルダを除
    去することを特徴とする、請求項６記載の半導体パッケ
    ージの製造方法。
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