JP2000150761A - 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置及びその製造方法Info
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- JP2000150761A JP2000150761A JP10328306A JP32830698A JP2000150761A JP 2000150761 A JP2000150761 A JP 2000150761A JP 10328306 A JP10328306 A JP 10328306A JP 32830698 A JP32830698 A JP 32830698A JP 2000150761 A JP2000150761 A JP 2000150761A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半田付けによる接合の信頼性を向上させて実
装基板への実装強度をより高いものとすることができる
樹脂封止型半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体チップ17を樹脂封止パッケージ
20内に封止すると共に、樹脂封止パッケージ20の下
部周縁部分から複数のアウターリード12を短寸法に延
出させてなるもので、樹脂封止パッケージ20から延出
するアウターリード12の下面および延出方向側面を、
実装基板に表面実装等する時の固着面とする。
装基板への実装強度をより高いものとすることができる
樹脂封止型半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体チップ17を樹脂封止パッケージ
20内に封止すると共に、樹脂封止パッケージ20の下
部周縁部分から複数のアウターリード12を短寸法に延
出させてなるもので、樹脂封止パッケージ20から延出
するアウターリード12の下面および延出方向側面を、
実装基板に表面実装等する時の固着面とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームの
片面側に樹脂封止パッケージを成形し、樹脂封止パッケ
ージから延出するアウターリードを短寸法とした樹脂封
止型半導体装置及びその製造方法に関する。
片面側に樹脂封止パッケージを成形し、樹脂封止パッケ
ージから延出するアウターリードを短寸法とした樹脂封
止型半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術を図9乃至図12を参照して説
明する。図9はリードフレームの片面側に樹脂封止パッ
ケージを形成した状態を示す平面図であり、図10は図
9の要部を拡大して示す図で、図10(a)は平面図、
図10(b)はX−X矢方向視の断面図であり、図11
は平面図であり、図12は実装基板に実装した状態を示
す要部の断面図である。
明する。図9はリードフレームの片面側に樹脂封止パッ
ケージを形成した状態を示す平面図であり、図10は図
9の要部を拡大して示す図で、図10(a)は平面図、
図10(b)はX−X矢方向視の断面図であり、図11
は平面図であり、図12は実装基板に実装した状態を示
す要部の断面図である。
【0003】図9乃至図12において、1は、例えば板
厚が0.125mmの銅(Cu)板でなるリードフレー
ムであり、2は内部に半導体チップが封止されるように
リードフレーム1の片面側に形成された、例えば厚さ寸
法が0.8mm程度で、3mm角〜18mm角程度の寸
法を有する方形状の樹脂封止パッケージであり、3は樹
脂封止パッケージ2の下部周縁部分から側方に複数延出
するアウターリードで、例えば幅寸法が0.18mm〜
0.22mm程度で、ピッチ寸法が0.4mm〜0.6
5mm程度であり、4は樹脂封止時に形成されたアウタ
ーリード間樹脂である。そしてリードフレーム1の片面
側に樹脂封止パッケージ2が成形された後、アウターリ
ード3の長さを所定の短寸法、例えば0.1mm〜0.
3mm程度の寸法となるように切断しリードレス状態と
した、例えばSON(smallout−line n
on−leaded package)、QFN(qu
ad flat non−leaded packag
e)と呼ばれる樹脂封止型半導体装置5が形成される。
また、6は実装基板で、その上面に形成されたパッド7
上に対応するアウターリード3の半田付け8を行い、樹
脂封止型半導体装置5は実装基板6上に表面実装され
る。
厚が0.125mmの銅(Cu)板でなるリードフレー
ムであり、2は内部に半導体チップが封止されるように
リードフレーム1の片面側に形成された、例えば厚さ寸
法が0.8mm程度で、3mm角〜18mm角程度の寸
法を有する方形状の樹脂封止パッケージであり、3は樹
脂封止パッケージ2の下部周縁部分から側方に複数延出
するアウターリードで、例えば幅寸法が0.18mm〜
0.22mm程度で、ピッチ寸法が0.4mm〜0.6
5mm程度であり、4は樹脂封止時に形成されたアウタ
ーリード間樹脂である。そしてリードフレーム1の片面
側に樹脂封止パッケージ2が成形された後、アウターリ
ード3の長さを所定の短寸法、例えば0.1mm〜0.
3mm程度の寸法となるように切断しリードレス状態と
した、例えばSON(smallout−line n
on−leaded package)、QFN(qu
ad flat non−leaded packag
e)と呼ばれる樹脂封止型半導体装置5が形成される。
また、6は実装基板で、その上面に形成されたパッド7
上に対応するアウターリード3の半田付け8を行い、樹
脂封止型半導体装置5は実装基板6上に表面実装され
る。
【0004】そして、こうのような構成の樹脂封止型半
導体装置5は、次のような製造工程を経て形成される。
すなわち、先ず半導体チップ搭載工程で、所定形状に成
形されたリードフレーム1の図示しないダイパッドに半
導体チップを搭載し、半導体チップの電極とインナーリ
ードとを接続する。
導体装置5は、次のような製造工程を経て形成される。
すなわち、先ず半導体チップ搭載工程で、所定形状に成
形されたリードフレーム1の図示しないダイパッドに半
導体チップを搭載し、半導体チップの電極とインナーリ
ードとを接続する。
【0005】その後、図9および図10に示すパッケー
ジ成形工程で、リードフレーム1の片面側に樹脂封止パ
ッケージ2の成形を行い、半導体チップとインナーリー
ドを封止すると共に樹脂封止パッケージ2の下部周縁部
分から側方にアウターリード3が延出するようにする。
これにより隣接するアウターリード3間に形成されたア
ウターリード3の板厚寸法分の空間に封止樹脂が流れ込
み、アウターリード3間がアウターリード間樹脂4で充
たされる。
ジ成形工程で、リードフレーム1の片面側に樹脂封止パ
ッケージ2の成形を行い、半導体チップとインナーリー
ドを封止すると共に樹脂封止パッケージ2の下部周縁部
分から側方にアウターリード3が延出するようにする。
これにより隣接するアウターリード3間に形成されたア
ウターリード3の板厚寸法分の空間に封止樹脂が流れ込
み、アウターリード3間がアウターリード間樹脂4で充
たされる。
【0006】続いて、半田めっき工程に進み、図示しな
いが樹脂封止パッケージ2が形成された状態のリードフ
レーム1への半田めっきを行い、アウターリード3の半
田付け面に半田を着ける。この時、アウターリード間樹
脂4が充たされているために、アウターリード3の側面
3aには半田めっきがなされないままとなる。
いが樹脂封止パッケージ2が形成された状態のリードフ
レーム1への半田めっきを行い、アウターリード3の半
田付け面に半田を着ける。この時、アウターリード間樹
脂4が充たされているために、アウターリード3の側面
3aには半田めっきがなされないままとなる。
【0007】次に、図11に示すリード成形工程で、半
田めっきが施されたアウターリード3を所定の短寸法と
なるように切断し、樹脂封止型半導体装置5をリードフ
レーム1から切り離す。
田めっきが施されたアウターリード3を所定の短寸法と
なるように切断し、樹脂封止型半導体装置5をリードフ
レーム1から切り離す。
【0008】このようにして形成された樹脂封止型半導
体装置5は、実装基板6の予め所要量の半田が着けられ
たパッド7上に対応するアウターリード3の半田めっき
された下面を載せ、所定温度の雰囲気に一定時間保持
し、パッド7にアウターリード3の半田付け8を行い固
着することで、実装基板6上に表面実装される。
体装置5は、実装基板6の予め所要量の半田が着けられ
たパッド7上に対応するアウターリード3の半田めっき
された下面を載せ、所定温度の雰囲気に一定時間保持
し、パッド7にアウターリード3の半田付け8を行い固
着することで、実装基板6上に表面実装される。
【0009】しかしながら上記の従来技術においては、
樹脂封止型半導体装置5のアウターリード3間がアウタ
ーリード間樹脂4で充たされており、このためアウター
リード3の側面3aには半田めっきがなされていない。
その結果、実装基板6上に表面実装された樹脂封止型半
導体装置5は、半田付け8がアウターリード3の下面の
みで行われていることになり、半田付け8による接合の
信頼性が十分であるとはいえず、樹脂封止型半導体装置
5の実装基板6への実装強度をより高いものとすること
が望まれている。
樹脂封止型半導体装置5のアウターリード3間がアウタ
ーリード間樹脂4で充たされており、このためアウター
リード3の側面3aには半田めっきがなされていない。
その結果、実装基板6上に表面実装された樹脂封止型半
導体装置5は、半田付け8がアウターリード3の下面の
みで行われていることになり、半田付け8による接合の
信頼性が十分であるとはいえず、樹脂封止型半導体装置
5の実装基板6への実装強度をより高いものとすること
が望まれている。
【0010】また、アウターリード間樹脂4については
樹脂封止型半導体装置5を取り扱う中でアウターリード
間樹脂4が脱落し、脱落片が工程内にごみとなってしま
ったり、アウターリード間樹脂4で覆われていたアウタ
ーリード3の側面3aが露出し、露出した面が酸化して
しまうなどの問題があり、実装時の取り扱いの面からも
より扱いやすいものとすることが望まれている。
樹脂封止型半導体装置5を取り扱う中でアウターリード
間樹脂4が脱落し、脱落片が工程内にごみとなってしま
ったり、アウターリード間樹脂4で覆われていたアウタ
ーリード3の側面3aが露出し、露出した面が酸化して
しまうなどの問題があり、実装時の取り扱いの面からも
より扱いやすいものとすることが望まれている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記のような状況に鑑
みて本発明はなされたもので、その目的とするところ
は、半田付けによる接合の信頼性を向上させることで実
装基板への実装強度をより高いものとすることができる
と共に、加工工程での取り扱いが容易な樹脂封止型半導
体装置及びその製造方法を提供することにある。
みて本発明はなされたもので、その目的とするところ
は、半田付けによる接合の信頼性を向上させることで実
装基板への実装強度をより高いものとすることができる
と共に、加工工程での取り扱いが容易な樹脂封止型半導
体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の樹脂封止型半導
体装置及びその製造方法は、半導体チップを樹脂封止パ
ッケージ内に封止すると共に、樹脂封止パッケージの下
部周縁部分から複数のアウターリードを短寸法に延出さ
せてなる樹脂封止型半導体装置において、アウターリー
ドの下面および延出方向側面が実装時の固着面としたこ
とを特徴とするものであり、また、所定形状に形成され
たリードフレームに半導体チップを搭載すると共に該半
導体チップを封止するよう片面側に樹脂封止パッケージ
を成形する工程と、成形された樹脂封止パッケージの下
部周縁部分から延出するアウターリードを挟幅に成形す
る工程と、アウターリードを挟幅に成形した後にリード
フレームに半田めっきを施す工程と、半田めっき後にア
ウターリードを樹脂封止パッケージからの延出寸法が短
寸法となるよう切断する工程を備えていることを特徴と
する方法であり、さらに、アウターリードを挟幅に成形
する際に、アウターリード間に充たされたアウターリー
ド間樹脂を同時に切除するようにしたことを特徴とする
方法である。
体装置及びその製造方法は、半導体チップを樹脂封止パ
ッケージ内に封止すると共に、樹脂封止パッケージの下
部周縁部分から複数のアウターリードを短寸法に延出さ
せてなる樹脂封止型半導体装置において、アウターリー
ドの下面および延出方向側面が実装時の固着面としたこ
とを特徴とするものであり、また、所定形状に形成され
たリードフレームに半導体チップを搭載すると共に該半
導体チップを封止するよう片面側に樹脂封止パッケージ
を成形する工程と、成形された樹脂封止パッケージの下
部周縁部分から延出するアウターリードを挟幅に成形す
る工程と、アウターリードを挟幅に成形した後にリード
フレームに半田めっきを施す工程と、半田めっき後にア
ウターリードを樹脂封止パッケージからの延出寸法が短
寸法となるよう切断する工程を備えていることを特徴と
する方法であり、さらに、アウターリードを挟幅に成形
する際に、アウターリード間に充たされたアウターリー
ド間樹脂を同時に切除するようにしたことを特徴とする
方法である。
【0013】
【発明の実施の形態】以下本発明の一実施形態を、図1
乃至図8を参照して説明する。図2は図1の要部を拡大
して示す図で、図2(a)は平面図、図2(b)はY−
Y矢方向視の断面図であり、図3はリードに幅加工を施
した状態を示す平面図であり、図4は図3の要部を拡大
して示す図で、図4(a)は平面図、図4(b)はZ−
Z矢方向視の断面図であり、図5は平面図であり、図6
は図5の要部を拡大して示す平面図であり、図7は下面
側を示す平面図であり、図8は実装基板に実装した状態
を示す要部の断面図である。
乃至図8を参照して説明する。図2は図1の要部を拡大
して示す図で、図2(a)は平面図、図2(b)はY−
Y矢方向視の断面図であり、図3はリードに幅加工を施
した状態を示す平面図であり、図4は図3の要部を拡大
して示す図で、図4(a)は平面図、図4(b)はZ−
Z矢方向視の断面図であり、図5は平面図であり、図6
は図5の要部を拡大して示す平面図であり、図7は下面
側を示す平面図であり、図8は実装基板に実装した状態
を示す要部の断面図である。
【0014】図1乃至図8において、11は、アウター
リード12の長さが所定の短寸法、例えば0.1mm〜
0.3mm程度の寸法に形成してリードレス状態とした
SON(small out−line non−le
aded package)、QFN(quad fl
at non−leaded package)と呼ば
れる樹脂封止型半導体装置である。そして、この樹脂封
止型半導体装置11は、対応するアウターリード12を
実装基板13の上面に形成されたパッド14上に半田付
け15によって固定することによって表面実装される。
リード12の長さが所定の短寸法、例えば0.1mm〜
0.3mm程度の寸法に形成してリードレス状態とした
SON(small out−line non−le
aded package)、QFN(quad fl
at non−leaded package)と呼ば
れる樹脂封止型半導体装置である。そして、この樹脂封
止型半導体装置11は、対応するアウターリード12を
実装基板13の上面に形成されたパッド14上に半田付
け15によって固定することによって表面実装される。
【0015】また樹脂封止型半導体装置11は、長尺の
良導電性材料の金属基板、例えば銅(Cu)板等でなる
板厚が0.125mmのリードフレーム16を用いて形
成されたもので、リードフレーム16には、予め長尺方
向に半導体チップ17を搭載するダイパッド18やアウ
ターリード12、インナーリードのリードおよびスプロ
ケットホール19等を有する所定のパターンが、プレス
加工やフォトエッチング加工等により形成されている。
そしてリードフレーム16には、ダイパッド18に半導
体チップ17を接着固定して搭載した後、リードフレー
ム16の片面側に、例えば厚さ寸法が8mm程度で、3
mm角〜18mm角程度の寸法を有する方形状のエポキ
シ樹脂あるいはシリコン樹脂等でなる樹脂封止パッケー
ジ20が成形され、内部に半導体チップ17が封止され
る。
良導電性材料の金属基板、例えば銅(Cu)板等でなる
板厚が0.125mmのリードフレーム16を用いて形
成されたもので、リードフレーム16には、予め長尺方
向に半導体チップ17を搭載するダイパッド18やアウ
ターリード12、インナーリードのリードおよびスプロ
ケットホール19等を有する所定のパターンが、プレス
加工やフォトエッチング加工等により形成されている。
そしてリードフレーム16には、ダイパッド18に半導
体チップ17を接着固定して搭載した後、リードフレー
ム16の片面側に、例えば厚さ寸法が8mm程度で、3
mm角〜18mm角程度の寸法を有する方形状のエポキ
シ樹脂あるいはシリコン樹脂等でなる樹脂封止パッケー
ジ20が成形され、内部に半導体チップ17が封止され
る。
【0016】このように形成された樹脂封止パッケージ
20からは、その下部周縁部分から例えば幅寸法が0.
18mm〜0.22mm程度、ピッチ寸法が0.4mm
〜0.65mm程度で側方に複数のアウターリード12
が延出したものとなり、樹脂封止直後の状態ではアウタ
ーリード12間全体にアウターリード間樹脂21が、ア
ウターリード12の板厚寸法の厚さに充たされた状態に
なっている。また、樹脂封止パッケージ20の上面には
ダイパッド18の半導体チップ17搭載面の裏側面が露
出し、下面には周縁部分にアウターリード12のダイパ
ッド18側部分の一部が露出したものとなっている。
20からは、その下部周縁部分から例えば幅寸法が0.
18mm〜0.22mm程度、ピッチ寸法が0.4mm
〜0.65mm程度で側方に複数のアウターリード12
が延出したものとなり、樹脂封止直後の状態ではアウタ
ーリード12間全体にアウターリード間樹脂21が、ア
ウターリード12の板厚寸法の厚さに充たされた状態に
なっている。また、樹脂封止パッケージ20の上面には
ダイパッド18の半導体チップ17搭載面の裏側面が露
出し、下面には周縁部分にアウターリード12のダイパ
ッド18側部分の一部が露出したものとなっている。
【0017】アウターリード12は、樹脂封止後に所定
形状、例えば幅を当初は0.26mm〜0.28mm程
度であったものを成形して0.2mm程度のものとし、
その後に半田めっきが施されてから所定寸法に切断され
る。これにより樹脂封止型半導体装置11はリードフレ
ーム16から切り離されて装置が完成する。なお、この
装置が完成した状態でアウターリード間樹脂21は、ア
ウターリード12の樹脂封止パッケージ20から延出す
る根元部分間に加工上避けられない最小限度の範囲で残
される。
形状、例えば幅を当初は0.26mm〜0.28mm程
度であったものを成形して0.2mm程度のものとし、
その後に半田めっきが施されてから所定寸法に切断され
る。これにより樹脂封止型半導体装置11はリードフレ
ーム16から切り離されて装置が完成する。なお、この
装置が完成した状態でアウターリード間樹脂21は、ア
ウターリード12の樹脂封止パッケージ20から延出す
る根元部分間に加工上避けられない最小限度の範囲で残
される。
【0018】そして、こうのような構成の樹脂封止型半
導体装置11は、次のような製造工程を経て形成され
る。すなわち、先ず図示しない半導体チップ搭載工程
で、所定形状に成形されたリードフレーム16のダイパ
ッド18に半導体チップ17を搭載し、半導体チップ1
7の図示しない電極とインナーリードとを接続する。
導体装置11は、次のような製造工程を経て形成され
る。すなわち、先ず図示しない半導体チップ搭載工程
で、所定形状に成形されたリードフレーム16のダイパ
ッド18に半導体チップ17を搭載し、半導体チップ1
7の図示しない電極とインナーリードとを接続する。
【0019】その後、図1および図2に示すパッケージ
成形工程で、リードフレーム16の片面側に樹脂封止パ
ッケージ20の成形を行い、ダイパッド18に搭載され
た半導体チップ17とインナーリードを封止すると共
に、樹脂封止パッケージ20の下部周縁部分から側方に
アウターリード12が延出するようにする。これにより
隣接するアウターリード12間に形成されたアウターリ
ード12の板厚寸法分の空間に封止樹脂が流れ込み、ア
ウターリード12間がアウターリード間樹脂21で充た
される。
成形工程で、リードフレーム16の片面側に樹脂封止パ
ッケージ20の成形を行い、ダイパッド18に搭載され
た半導体チップ17とインナーリードを封止すると共
に、樹脂封止パッケージ20の下部周縁部分から側方に
アウターリード12が延出するようにする。これにより
隣接するアウターリード12間に形成されたアウターリ
ード12の板厚寸法分の空間に封止樹脂が流れ込み、ア
ウターリード12間がアウターリード間樹脂21で充た
される。
【0020】続いて、図3および図4に示すリード幅成
形工程で、アウターリード12を所定幅となるように成
形する。すなわち、例えばピッチ寸法が0.5mmとな
るように配列された幅寸法が0.28mmのアウターリ
ード12の両側部分を略均等に切り落とすようにし、幅
寸法が0.2mmとなるようにする。この時、同時にア
ウターリード12間に充たされているアウターリード間
樹脂21も殆ど全部が切り落とされ、アウターリード1
2の樹脂封止パッケージ20から延出する根元部分間に
加工上避けられない最小限度の範囲で残される。また、
これにより幅寸法が0.22mmのアウターリード間樹
脂21を挟んで隣接していたアウターリード12は、
0.2mmの空間距離をおいて隣接するものとなる。
形工程で、アウターリード12を所定幅となるように成
形する。すなわち、例えばピッチ寸法が0.5mmとな
るように配列された幅寸法が0.28mmのアウターリ
ード12の両側部分を略均等に切り落とすようにし、幅
寸法が0.2mmとなるようにする。この時、同時にア
ウターリード12間に充たされているアウターリード間
樹脂21も殆ど全部が切り落とされ、アウターリード1
2の樹脂封止パッケージ20から延出する根元部分間に
加工上避けられない最小限度の範囲で残される。また、
これにより幅寸法が0.22mmのアウターリード間樹
脂21を挟んで隣接していたアウターリード12は、
0.2mmの空間距離をおいて隣接するものとなる。
【0021】さらに続いて、図示しない半田めっき工程
に進み、狭幅に成形されたアウターリード12への半田
めっきを行い、アウターリード12の半田付け面である
樹脂封止パッケージ20から露出した下面と、延出部分
の側面12aに半田を着ける。
に進み、狭幅に成形されたアウターリード12への半田
めっきを行い、アウターリード12の半田付け面である
樹脂封止パッケージ20から露出した下面と、延出部分
の側面12aに半田を着ける。
【0022】次に、図5乃至図7に示すリード成形工程
で、半田めっきが施されたアウターリード12を所定の
短寸法、例えば0.2mmの長さ寸法となるように切断
し、樹脂封止型半導体装置11をリードフレーム16か
ら切り離す。
で、半田めっきが施されたアウターリード12を所定の
短寸法、例えば0.2mmの長さ寸法となるように切断
し、樹脂封止型半導体装置11をリードフレーム16か
ら切り離す。
【0023】このようにして形成された樹脂封止型半導
体装置11は、実装基板13の予め所要量の半田が着け
られたパッド14上に対応するアウターリード12の半
田めっきされた下面を載せ、所定温度の雰囲気宙に一定
時間保持し、パッド14にアウターリード12の半田付
け15を行い固着することで、実装基板13上に表面実
装される。なお、半田付け15は、アウターリード12
の樹脂封止パッケージ20から露出した下面と延出部分
の延出方向側面12aを固着面とするようにして行われ
る。
体装置11は、実装基板13の予め所要量の半田が着け
られたパッド14上に対応するアウターリード12の半
田めっきされた下面を載せ、所定温度の雰囲気宙に一定
時間保持し、パッド14にアウターリード12の半田付
け15を行い固着することで、実装基板13上に表面実
装される。なお、半田付け15は、アウターリード12
の樹脂封止パッケージ20から露出した下面と延出部分
の延出方向側面12aを固着面とするようにして行われ
る。
【0024】この結果、実装基板13上への表面実装に
際し、樹脂封止型半導体装置11は、半田付け15がア
ウターリード12の下面と樹脂封止パッケージ20から
の延出部分の側面12aにおいて行われていることにな
り、半田付け15による接合の信頼性が十分なものとな
り、樹脂封止型半導体装置11の実装基板13への実装
強度がより高いものとなる。
際し、樹脂封止型半導体装置11は、半田付け15がア
ウターリード12の下面と樹脂封止パッケージ20から
の延出部分の側面12aにおいて行われていることにな
り、半田付け15による接合の信頼性が十分なものとな
り、樹脂封止型半導体装置11の実装基板13への実装
強度がより高いものとなる。
【0025】また、アウターリード間樹脂21について
は、リード幅成形工程でその殆ど全部が切り落とされ、
アウターリード12の樹脂封止パッケージ20から延出
する根元部分間に加工上避けられない最小限度の範囲で
残されるだけとなるので、樹脂封止型半導体装置11を
取り扱う中でアウターリード間樹脂21が脱落する虞が
なくなり、脱落片が工程内にごみとなってしまうことも
ない。またアウターリード12の樹脂封止パッケージ2
0からの延出部分の側面12aは、アウターリード12
を狭幅に成形した後に半田めっきを施してしまうので酸
化してしまうこともなく、実装時の取り扱いの面でより
扱いやすいものとなる。
は、リード幅成形工程でその殆ど全部が切り落とされ、
アウターリード12の樹脂封止パッケージ20から延出
する根元部分間に加工上避けられない最小限度の範囲で
残されるだけとなるので、樹脂封止型半導体装置11を
取り扱う中でアウターリード間樹脂21が脱落する虞が
なくなり、脱落片が工程内にごみとなってしまうことも
ない。またアウターリード12の樹脂封止パッケージ2
0からの延出部分の側面12aは、アウターリード12
を狭幅に成形した後に半田めっきを施してしまうので酸
化してしまうこともなく、実装時の取り扱いの面でより
扱いやすいものとなる。
【0026】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、半田付けによる接合の信頼性が向上し実装基
板への実装強度がより高いものとなると共に、加工工程
などでの取り扱いが容易である等の効果を奏する。
によれば、半田付けによる接合の信頼性が向上し実装基
板への実装強度がより高いものとなると共に、加工工程
などでの取り扱いが容易である等の効果を奏する。
【図1】本発明の一実施形態におけるリードフレームの
片面側に樹脂封止パッケージを形成した状態を示す平面
図である。
片面側に樹脂封止パッケージを形成した状態を示す平面
図である。
【図2】図1の要部を拡大して示す図で、図2(a)は
平面図、図2(b)はY−Y矢方向視の断面図である。
平面図、図2(b)はY−Y矢方向視の断面図である。
【図3】本発明の一実施形態におけるリードに幅加工を
施した状態を示す平面図である。
施した状態を示す平面図である。
【図4】図3の要部を拡大して示す図で、図4(a)は
平面図、図4(b)はZ−Z矢方向視の断面図である。
平面図、図4(b)はZ−Z矢方向視の断面図である。
【図5】本発明の一実施形態を示す平面図である。
【図6】図5の要部を拡大して示す平面図である。
【図7】本発明の一実施形態の下面側を示す平面図であ
る。
る。
【図8】本発明の一実施形態に係る装置を実装基板に実
装した状態を示す要部の断面図である。
装した状態を示す要部の断面図である。
【図9】従来技術におけるリードフレームの片面側に樹
脂封止パッケージを形成した状態を示す平面図である。
脂封止パッケージを形成した状態を示す平面図である。
【図10】図9の要部を拡大して示す図で、図10
(a)は平面図、図10(b)はX−X矢方向視の断面
図である。
(a)は平面図、図10(b)はX−X矢方向視の断面
図である。
【図11】従来技術を示す平面図である。
【図12】従来技術に係る装置を実装基板に実装した状
態を示す要部の断面図である。
態を示す要部の断面図である。
12…アウターリード 12a…側面 17…半導体チップ 20…樹脂封止パッケージ 21…アウターリード間樹脂
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体チップを樹脂封止パッケージ内に
封止すると共に、前記樹脂封止パッケージの下部周縁部
分から複数のアウターリードを短寸法に延出させてなる
樹脂封止型半導体装置において、前記アウターリードの
下面および延出方向側面が実装時の固着面としたことを
特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項2】 所定形状に形成されたリードフレームに
半導体チップを搭載すると共に該半導体チップを封止す
るよう片面側に樹脂封止パッケージを成形する工程と、
成形された前記樹脂封止パッケージの下部周縁部分から
延出するアウターリードを挟幅に成形する工程と、前記
アウターリードを挟幅に成形した後に前記リードフレー
ムに半田めっきを施す工程と、半田めっき後に前記アウ
ターリードを前記樹脂封止パッケージからの延出寸法が
短寸法となるよう切断する工程を備えていることを特徴
とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - 【請求項3】 アウターリードを挟幅に成形する際に、
アウターリード間に充たされたアウターリード間樹脂を
同時に切除するようにしたことを特徴とする請求項2記
載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10328306A JP2000150761A (ja) | 1998-11-18 | 1998-11-18 | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10328306A JP2000150761A (ja) | 1998-11-18 | 1998-11-18 | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000150761A true JP2000150761A (ja) | 2000-05-30 |
Family
ID=18208768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10328306A Pending JP2000150761A (ja) | 1998-11-18 | 1998-11-18 | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000150761A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002110884A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-04-12 | Nitto Denko Corp | リードフレーム積層物 |
US6897093B2 (en) | 2000-08-18 | 2005-05-24 | Renesas Technology Corp. | Method of manufacturing a resin molded or encapsulation for small outline non-leaded (SON) or quad flat non-leaded (QFN) package |
JP2010080975A (ja) * | 2009-12-01 | 2010-04-08 | Nitto Denko Corp | リードフレーム積層物 |
-
1998
- 1998-11-18 JP JP10328306A patent/JP2000150761A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6897093B2 (en) | 2000-08-18 | 2005-05-24 | Renesas Technology Corp. | Method of manufacturing a resin molded or encapsulation for small outline non-leaded (SON) or quad flat non-leaded (QFN) package |
JP2002110884A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-04-12 | Nitto Denko Corp | リードフレーム積層物 |
JP2010080975A (ja) * | 2009-12-01 | 2010-04-08 | Nitto Denko Corp | リードフレーム積層物 |
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