JP2023050321A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 回転軸
12 ローラ
20 補助ローラユニット
21 補助ローラ
21a 補助ローラ軸
21b 外ローラ体
22 支持ブロック
24a、24b 半リングブロック
25 液切り部
26a、26b ボルト
30 光センサ
40 補助ローラ
41 ローラ本体
42 液切り部
Claims (5)
- 液体で処理された基板を搬送ローラによって搬送しながら処理する基板処理装置であって、
前記基板を搬送する搬送ローラと、
前記基板の導入口と前記搬送ローラとの間に設けられ、前記基板を前記搬送ローラに導く補助ローラと、
前記基板の搬送路に光ビームを照射して、前記基板を検出する検出器と、
を有し、
前記補助ローラは、搬送される前記基板の表面に接して前記基板の液分を除去する液切り部を備え、
前記検出器は、前記補助ローラの前記基板の搬送方向下流側で、前記基板の前記液切り部によって液分が除去される部分に前記光ビームを照射するように設けられたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記補助ローラの液切り部は、前記基板の表面に接して液分を吸収する吸液部材を備える、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記補助ローラの液切り部は、前記補助ローラの回転により基板の表面の液分を掃うブラシを備える、請求項1記載の基板処理装置。
- 導入口と搬出口との間に搬送ローラが設けられ、前記導入口から導入される基板を前記搬送ローラによって前記導入口と前記搬出口との間で往復動させながら液体により処理して、前記搬出口から搬出させる基板処理装置であって、
前記導入口と前記搬送ローラとの間に設けられ、前記基板の搬送路に光ビームを照射して前記基板を検出する第1検出器と、
前記搬出口と前記搬送ローラとの間に設けられ、前記基板の搬送路に光ビームを照射して前記基板を検出する第2検出器と、
前記導入口と前記搬送ローラとの間において、前記基板の搬送方向において前記第1検出器を挟むように配置された複数の補助ローラで構成される第1補助ローラユニットと、
前記搬出口と前記搬送ローラとの間において、前記基板の搬送方向において前記第2検出器を挟むように配置された複数の補助ローラで構成される第2補助ローラユニットと、を備え、
前記第1補助ローラユニットおよび前記第2補助ローラユニットのそれぞれを構成する補助ローラは、搬送される前記基板の表面に接して前記基板の液分を除去する液切り部を備え、
前記第1検出器は、前記基板の前記第1補助ローラユニットを構成する前記補助ローラの前記液切り部によって液分が除去される部分に前記光ビームを照射するように設けられ、
前記第2検出器は、前記基板の前記第2補助ローラユニットを構成する前記補助ローラの前記液切り部によって液分が除去される部分に前記光ビームを照射するように設けられたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記補助ローラは、半円状の2つの部材を接合させることで構成される請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の基板処理装置。
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