JP2022091855A - 基板搬送装置及びその運転方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この運転方法は、
(A)載置台に載置された前記基板を準備する工程、
(B)載置台に載置された前記基板の前記主面までの距離を検知する工程
及び
(C)前記基板を前記ハンドで保持する工程
を含む。
(D)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を前記ハンドで保持するか否かを判定する工程
を、更に含む。
(E)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を保持する位置を判定する工程
を、更に含む。
図1は、本実施の形態1に係る基板搬送装置及びそれを備えるロボットシステムの概略構成を模式的に示す側面図である。図2は、図1に示すロボットシステムの概略構成を模式的に示す上面図である。
次に、本実施の形態1に係る基板搬送装置101の動作及びその作用効果について、図1~図6を参照しながら説明する。
次に、本実施の形態1に係る基板搬送装置101の変形例について、図7及び図8を参照しながら説明する。
本実施の形態2に係る基板搬送装置は、実施の形態1に係る基板搬送装置において、水平方向に光を投光する第2投光部と、第2投光部から投光された光を受光する第2受光部と、を有する、マッピング装置がハンドの先端部に設けられていて、制御装置は、第2受光部が第2投光部から投光された光を検知しなかった位置情報を基板の位置情報として、マッピング装置から取得し、マッピング装置から取得した基板の位置情報を基に、ハンドが、基板の下面から予め設定されている第1距離下方に位置するように、マニピュレータを動作させるように構成されている。
図9は、本実施の形態2に係る基板搬送装置、及びそれを備えるロボットシステムの概略構成を模式的に示す上面図である。なお、図9においては、基板搬送装置における前後方向を図における前後方向として表している。
図10及び図11に示すように、ロボットシステム200は、基板搬送装置201と、載置台としての容器112とを備えている。このロボットシステム200では、この容器112に基板1が収納されることで、載置台に基板1が載置されている。容器112としては、例えば、FOUP(Front Opening Unified Pod)であってもよく、石英ボートであってもよい。
図18には、本発明に係る更に他の基板搬送装置221のハンド222が示されている。この基板搬送装置221は、ハンド120に代えてハンド222を備える他は、基板搬送装置201と同様の構成を備えている。ここでは、基板搬送装置201と異なる構成について、主に説明がされる。基板搬送装置201と同様の構成について、その説明が省略される。また、基板搬送装置201と同様の構成について、同様の符号を付して説明がされる。
1A・・・主面
20、120、212、222・・・ハンド
21・・・本体部
21A・・・指部
21B・・・指部
22・・・爪部
30・・・マニピュレータ
31・・・第1接続部
32・・・第1アーム
33・・・第2接続部
34・・・第2アーム
35・・・第3接続部
40・・・昇降部材
41・・・直動アクチュエータ
50・・・筐体
60、160(160Aから160F)・・・基板検出器
61・・・第1投光部
62・・・第1受光部
70・・・制御装置
80・・・マッピング装置
81・・・第2投光部
82・・・第2受光部
100、200・・・ロボットシステム
101、201、211、221・・・・・・基板搬送装置
102、112・・・容器
Claims (33)
- 基板が載置された載置台から前記基板を保持して搬送する基板搬送装置であって、
前記基板を保持するハンドと、前記ハンドが取り付けられたマニピュレータと、前記ハンドに配置されており、前記載置台に載置された前記基板の主面までの距離を検知する第1基板検出器とを備える、基板搬送装置。 - 前記第1基板検出器が静電容量センサである、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記第1基板検出器が、前記ハンドの先端部に配置されている、請求項1又は2に記載の基板搬送装置。
- 前記ハンドに前後方向において前記第1基板検出器と異なる位置に配置されて前記基板の前記主面までの距離を検知する第2基板検出器を、更に備える、請求項1から3のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 複数の基板が収納されている容器から前記基板を保持して搬送する、基板搬送装置であって、
前記基板搬送装置は、前記基板を保持するハンドと、マニピュレータと、制御装置と、を備え、
前記ハンドの先端部には、前記基板の主面に向けて、光を投光する第1投光部と、前記基板の主面で反射した光を受光する第1受光部と、を有する基板検出器が設けられていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光したか否かにより、前記基板の位置ずれが生じているか否かを判定するように構成されている、基板搬送装置。 - 水平方向に光を投光する第2投光部と、前記第2投光部から投光された光を受光する第2受光部と、を有する、マッピング装置が前記ハンドの先端部に設けられていて、
前記制御装置は、前記第2受光部が前記第2投光部から投光された光を検知しなかった位置情報を前記基板の位置情報として、前記マッピング装置から取得し、前記マッピング装置から取得した前記基板の位置情報を基に、前記ハンドが、前記基板の下面から予め設定されている第1距離下方に位置するように、前記マニピュレータを動作させるように構成されている、請求項5に記載の基板搬送装置。 - 前記基板検出器は、前記基板が正常に収納されている状態で、前記第1投光部が前記基板の主面に向けて光を投光すると、前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光するように構成されていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しない場合には、前記基板の位置ずれが生じていると判定するように構成されている、請求項5又は6に記載の基板搬送装置。 - 前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光した場合には、前記基板の位置ずれが生じていないと判定するように構成されている、請求項7に記載の基板搬送装置。
- 前記基板検出器は、前記基板が正常に収納されている状態で、前記第1投光部が前記基板の主面に向けて光を投光すると、前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しないように構成されていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光した場合には、前記基板の位置ずれが生じていると判定するように構成されている、請求項5から8のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しない場合には、前記基板の位置ずれが生じていないと判定するように構成されている、請求項9に記載の基板搬送装置。
- 前記基板検出器は、前記基板の主面が、前記第1距離よりも小さい距離である第2距離に位置するときに、前記第1受光部が前記基板の主面で反射した光を受光するように構成されていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光した場合には、前記基板の位置ずれが生じていると判定するように構成されている、請求項6から8のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しない場合には、前記基板の位置ずれが生じていないと判定するように構成されている、請求項11に記載の基板搬送装置。
- 前記基板検出器は、前記第1投光部が、上方に向けて光を投光するように構成されている、請求項5から12のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記基板検出器は、前記第1投光部が、下方に向けて光を投光するように構成されている、請求項5から13のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記基板の位置ずれが生じていると判定した場合には、前記マニピュレータの動作を停止するように構成されている、請求項5から14のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記基板の位置ずれが生じていると判定した場合には、前記ハンドが前記容器から退避するように前記マニピュレータを動作させるように構成されている、請求項5から15のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 基板を保持するハンドと、前記ハンドが取り付けられたマニピュレータと、前記ハンドに配置されて前記基板の主面までの距離を検知する第1基板検出器とを備えている基板搬送装置の、運転方法であって、
(A)載置台に載置された前記基板を準備する工程、
(B)載置台に載置された前記基板の前記主面までの距離を検知する工程
及び
(C)前記基板を前記ハンドで保持する工程
を含む、運転方法。 - 前記工程(B)において、前記基板の前記主面までの距離を3箇所以上で検知し、
(D)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を前記ハンドで保持するか否かを判定する工程
を、更に含む、請求項17に記載の運転方法。 - 前記工程(B)において、前記基板の前記主面までの距離を3箇所以上で検知し、
(E)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を保持する位置を判定する工程
を、更に含む、請求項17又は18に記載の運転方法。 - 前記工程(B)において、前記第1基板検出器から求められた距離が所定の下限値より小さいときに、前記基板の前記主面までの距離が所定の下限値以上離れる様に、前記ハンドの移動経路を変更させる、請求項17から19のいずれかに記載の運転方法。
- 前記第1基板検出器が静電容量センサであり、
前記工程(B)において、前記基板の静電容量が所定の範囲内か否かを判定する、請求項17から20のいずれかに記載の運転方法。 - 複数の基板が収納されている容器から前記基板を保持して搬送する、基板搬送装置の運転方法であって、
前記基板搬送装置は、前記基板を保持するハンドと、マニピュレータと、制御装置と、を備え、
前記ハンドの先端部には、前記基板の主面に向けて、光を投光する第1投光部と、前記基板の主面で反射した光を受光する第1受光部と、を有する基板検出器が設けられていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光したか否かにより、前記基板の位置ずれが生じているか否かを判定するように構成されている、基板搬送装置の運転方法。 - 水平方向に光を投光する第2投光部と、前記第2投光部から投光された光を受光する第2受光部と、を有する、マッピング装置が前記ハンドの先端部に設けられていて、
前記制御装置は、前記第2受光部が前記第2投光部から投光された光を検知しなかった位置情報を前記基板の位置情報として、前記マッピング装置から取得し、前記マッピング装置から取得した前記基板の位置情報を基に、前記ハンドが、前記基板の下面から予め設定されている第1距離下方に位置するように、前記マニピュレータを動作させるように構成されている、請求項22に記載の基板搬送装置の運転方法。 - 前記基板検出器は、前記基板が正常に収納されている状態で、前記第1投光部が前記基板の主面に向けて光を投光すると、前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光するように構成されていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しない場合には、前記基板の位置ずれが生じていると判定するように構成されている、請求項22又は23に記載の基板搬送装置の運転方法。 - 前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光した場合には、前記基板の位置ずれが生じていないと判定するように構成されている、請求項24に記載の基板搬送装置の運転方法。
- 前記基板検出器は、前記基板が正常に収納されている状態で、前記第1投光部が前記基板の主面に向けて光を投光すると、前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しないように構成されていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光した場合には、前記基板の位置ずれが生じていると判定するように構成されている、請求項22から25のいずれかに記載の基板搬送装置の運転方法。 - 前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しない場合には、前記基板の位置ずれが生じていないと判定するように構成されている、請求項26に記載の基板搬送装置の運転方法。
- 前記基板検出器は、前記基板の主面が、前記第1距離よりも小さい距離である第2距離に位置するときに、前記第1受光部が前記基板の主面で反射した光を受光するように構成されていて、
前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光した場合には、前記基板の位置ずれが生じていると判定するように構成されている、請求項23から25のいずれかに記載の基板搬送装置の運転方法。 - 前記制御装置は、前記ハンドを前記容器内に進入させるように、前記マニピュレータを動作させているときに、前記基板検出器の前記第1投光部に前記基板の主面に向けて光を投光させ、前記基板検出器の前記第1受光部が、前記基板の主面で反射した光を受光しない場合には、前記基板の位置ずれが生じていないと判定するように構成されている、請求項28に記載の基板搬送装置の運転方法。
- 前記基板検出器は、前記第1投光部が、上方に向けて光を投光するように構成されている、請求項22から29のいずれかに記載の基板搬送装置の運転方法。
- 前記基板検出器は、前記第1投光部が、下方に向けて光を投光するように構成されている、請求項22から30のいずれかに記載の基板搬送装置の運転方法。
- 前記制御装置は、前記基板の位置ずれが生じていると判定した場合には、前記マニピュレータの動作を停止するように構成されている、請求項22から31のいずれかに記載の基板搬送装置の運転方法。
- 前記制御装置は、前記基板の位置ずれが生じていると判定した場合には、前記ハンドが前記容器から退避するように前記マニピュレータを動作させるように構成されている、請求項22から32のいずれかに記載の基板搬送装置の運転方法。
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