JPH11139559A - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH11139559A JPH11139559A JP30242597A JP30242597A JPH11139559A JP H11139559 A JPH11139559 A JP H11139559A JP 30242597 A JP30242597 A JP 30242597A JP 30242597 A JP30242597 A JP 30242597A JP H11139559 A JPH11139559 A JP H11139559A
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- Japan
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- wafer
- carrier
- plate
- arm
- detector
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアからウェハが突出していても、ウェ
ハがキャリアのスロットと擦れ合ったり、ウェハの搬送
が不確実になったりしないウェハ搬送装置を提供するこ
と。 【解決手段】搬送装置の搬送アームのウェハ下面を支持
するプレートにウェハの周縁部を検出する検出器を設
け、ウェハ下面へのプレート挿入に際してウェハの突出
位置を検出し、この信号に基づいて搬送アームの駆動を
制御することによって、ウェハの突出に係わらず、常に
ウェハとプレートの位置関係を一定にする。
ハがキャリアのスロットと擦れ合ったり、ウェハの搬送
が不確実になったりしないウェハ搬送装置を提供するこ
と。 【解決手段】搬送装置の搬送アームのウェハ下面を支持
するプレートにウェハの周縁部を検出する検出器を設
け、ウェハ下面へのプレート挿入に際してウェハの突出
位置を検出し、この信号に基づいて搬送アームの駆動を
制御することによって、ウェハの突出に係わらず、常に
ウェハとプレートの位置関係を一定にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、半導体ウェハの
搬送装置に関する。
搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】ウェハを
複数収めたキャリアを載置台に載せ、伸縮・回転するア
ームとウェハ下面を支持するプレートを有するウェハ搬
送手段を用いてウェハを所定の装置、例えば、半導体ウ
ェハ欠陥検査装置に移送する動作に際して、図５の如く
ウェハがキャリアから突出していると、ウェハ下面を支
持するプレートがウェハを確実に支持できないとか、搬
送先でのウェハを設置すべき位置がずれてしまい、誤動
作を起こす恐れがある。
複数収めたキャリアを載置台に載せ、伸縮・回転するア
ームとウェハ下面を支持するプレートを有するウェハ搬
送手段を用いてウェハを所定の装置、例えば、半導体ウ
ェハ欠陥検査装置に移送する動作に際して、図５の如く
ウェハがキャリアから突出していると、ウェハ下面を支
持するプレートがウェハを確実に支持できないとか、搬
送先でのウェハを設置すべき位置がずれてしまい、誤動
作を起こす恐れがある。
【０００３】このような場合の対策は従来から様々な方
法が採られていた。例えば、（１）突出を検出したら警
報を発する、あるいは装置を停止する案（特開平４−７
５３６２）、（２）突出を検出したらキャリア内の全て
のウェハを整列させる操作を行う案（特開昭６２−１０
６６４１）、（３）搬送手段のウェハ下面を支持するプ
レートの動作に伴って、突出したウェハを所定の位置ま
で押し込む案（特開平８−３３０３８４）、（４）ウェ
ハが所定の位置になければ、真空によるウェハの吸着が
出来ないことを利用してウェハを支持するプレートの位
置を徐々に変えて吸着できるまで繰り返す案（特開平７
−１４７３１７）、等々である。
法が採られていた。例えば、（１）突出を検出したら警
報を発する、あるいは装置を停止する案（特開平４−７
５３６２）、（２）突出を検出したらキャリア内の全て
のウェハを整列させる操作を行う案（特開昭６２−１０
６６４１）、（３）搬送手段のウェハ下面を支持するプ
レートの動作に伴って、突出したウェハを所定の位置ま
で押し込む案（特開平８−３３０３８４）、（４）ウェ
ハが所定の位置になければ、真空によるウェハの吸着が
出来ないことを利用してウェハを支持するプレートの位
置を徐々に変えて吸着できるまで繰り返す案（特開平７
−１４７３１７）、等々である。
【０００４】しかし、上記（１）は、その後の操作を手
動で行わなくてはならず、（２）（３）は、ウェハとス
ロットが擦れ合う操作を伴い浮遊粒子発生の原因に成り
かねない。（４）は、２つの吸着部がウェハの両端に位
置しなければならず、吸着位置に制限がある、等々の問
題があった。
動で行わなくてはならず、（２）（３）は、ウェハとス
ロットが擦れ合う操作を伴い浮遊粒子発生の原因に成り
かねない。（４）は、２つの吸着部がウェハの両端に位
置しなければならず、吸着位置に制限がある、等々の問
題があった。
【０００５】本発明は、上述した問題点を解決すべくな
されたものであり、ウェハの突出に係わらず、ウェハと
スロット間の擦れ合うことを回避し、かつウェハを確実
に移送する搬送装置を提供することを目的としている。
されたものであり、ウェハの突出に係わらず、ウェハと
スロット間の擦れ合うことを回避し、かつウェハを確実
に移送する搬送装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、ウェハを格納するキャリアと所定の装置との
間で、ウェハの下面を支持する支持手段を用いてウェハ
の搬出入を行うウェハ搬送装置において、ウェハの周縁
部の位置を検出するために前記支持手段に取り付けられ
た位置検出手段、あるいは、ウェハのキャリアからの突
出位置を検出するために前記支持手段に取り付けられた
位置検出手段と、該検出手段が検出した位置情報に基づ
いて、当該支持手段のウェハ支持位置を制御する位置制
御手段とを具備したことを特徴とする。
本発明は、ウェハを格納するキャリアと所定の装置との
間で、ウェハの下面を支持する支持手段を用いてウェハ
の搬出入を行うウェハ搬送装置において、ウェハの周縁
部の位置を検出するために前記支持手段に取り付けられ
た位置検出手段、あるいは、ウェハのキャリアからの突
出位置を検出するために前記支持手段に取り付けられた
位置検出手段と、該検出手段が検出した位置情報に基づ
いて、当該支持手段のウェハ支持位置を制御する位置制
御手段とを具備したことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【０００８】図１は、ウェハ１を搬出入させる複数スロ
ットを有するキャリア２と所定の装置の試料交換室３と
の間で、ウェハの搬出入を行うウェハ搬送装置４の位置
関係を示す図である。ウェハ搬送装置４には、例えば３
つの関節をもつ伸縮・回転可能なアーム５を有し、その
先端アームはウェハ下面を支持するためのプレート６で
ある。プレート６には、所定の直径のウェハを所定の向
き、所定の位置に支持したとき、そのウェハの周縁部を
検出するための検出器７および光源８が埋め込まれてい
る。
ットを有するキャリア２と所定の装置の試料交換室３と
の間で、ウェハの搬出入を行うウェハ搬送装置４の位置
関係を示す図である。ウェハ搬送装置４には、例えば３
つの関節をもつ伸縮・回転可能なアーム５を有し、その
先端アームはウェハ下面を支持するためのプレート６で
ある。プレート６には、所定の直径のウェハを所定の向
き、所定の位置に支持したとき、そのウェハの周縁部を
検出するための検出器７および光源８が埋め込まれてい
る。
【０００９】図２は、その検出器部分の一実施例を示す
拡大図である。図２（ａ）は、ウェハ１とプレート６と
検出器７および光源８との位置関係を示す横面図であ
り、図２（ｂ）はその正面図である。光源８と検出器７
とは、その光の放射方向と検出方向がウェハ１の下面の
法線方向とは一致しない傾いた方向になるようにしてプ
レート６に埋め込み取り付けてある。そして、被検出物
であるウェハ１がプレート６から一定の近距離にあると
きのみ、光源８から放射しウェハ１の下面で反射した反
射光が検出されるように、前記の光の放射方向と検出方
向が設定されている。従って、図２（ｃ）のように、所
望のウェハ１の上方の別のウェハ１１がキャリア２から
突出していても、図２（ｄ）のように光路９が検出器７
から外れるため、ウェハ１１からの反射光は検出しない
ようにできる。
拡大図である。図２（ａ）は、ウェハ１とプレート６と
検出器７および光源８との位置関係を示す横面図であ
り、図２（ｂ）はその正面図である。光源８と検出器７
とは、その光の放射方向と検出方向がウェハ１の下面の
法線方向とは一致しない傾いた方向になるようにしてプ
レート６に埋め込み取り付けてある。そして、被検出物
であるウェハ１がプレート６から一定の近距離にあると
きのみ、光源８から放射しウェハ１の下面で反射した反
射光が検出されるように、前記の光の放射方向と検出方
向が設定されている。従って、図２（ｃ）のように、所
望のウェハ１の上方の別のウェハ１１がキャリア２から
突出していても、図２（ｄ）のように光路９が検出器７
から外れるため、ウェハ１１からの反射光は検出しない
ようにできる。
【００１０】この様に成せば、プレート６がウェハ１の
下面に挿入され、プレート６の検出器７および光源８の
取り付け部位がウェハ１下面の周縁部の真下に差し掛か
った時点で、光源８からの光が検出器７で検出される。
下面に挿入され、プレート６の検出器７および光源８の
取り付け部位がウェハ１下面の周縁部の真下に差し掛か
った時点で、光源８からの光が検出器７で検出される。
【００１１】図３は本発明の構成説明図である。信号処
理回路１２は、検出器７からの信号に基づいて、検出器
７でウェハの周縁部を検出したことを判断し、その結果
に基づき、周縁部検出信号を発生しウェハ搬送手段を総
合的に判断して制御するマイコン等を内蔵した制御回路
１３に送る。該制御回路１３は、周縁部検出信号に基づ
いて指令を駆動電源回路１４に送り、該駆動電源回路１
４を介して、アーム５を駆動するモータ１５を制御す
る。なお、このアームの駆動用モータ１５には任意の位
置で停止できる方式の例えばステッピングモータ、サー
ボモータ、ブレーキ付きモータ等を用いる。また、検出
器７が周縁部を検出する時点と、周縁部検出信号に基づ
いて制御回路１３がアーム５の伸張を停止する時点との
タイミング差、言い換えれば、周縁部を検出してからア
ームの駆動が停止するまでのプレート６の移動距離は、
調整可能に成っている。
理回路１２は、検出器７からの信号に基づいて、検出器
７でウェハの周縁部を検出したことを判断し、その結果
に基づき、周縁部検出信号を発生しウェハ搬送手段を総
合的に判断して制御するマイコン等を内蔵した制御回路
１３に送る。該制御回路１３は、周縁部検出信号に基づ
いて指令を駆動電源回路１４に送り、該駆動電源回路１
４を介して、アーム５を駆動するモータ１５を制御す
る。なお、このアームの駆動用モータ１５には任意の位
置で停止できる方式の例えばステッピングモータ、サー
ボモータ、ブレーキ付きモータ等を用いる。また、検出
器７が周縁部を検出する時点と、周縁部検出信号に基づ
いて制御回路１３がアーム５の伸張を停止する時点との
タイミング差、言い換えれば、周縁部を検出してからア
ームの駆動が停止するまでのプレート６の移動距離は、
調整可能に成っている。
【００１２】このような構成の動作について、まず第１
の発明について次に説明する。
の発明について次に説明する。
【００１３】図４（ａ）の如く、キャリア２からウェハ
１を搬出するために、制御回路１３から指令が出されて
駆動電源回路１４が制御され、該駆動電源回路１４によ
って駆動モータ１５が駆動され、アーム５が伸張して、
プレート６は所望のスロット位置のウェハ１の下面に挿
入される。ウェハ１がキャリア２から突出しているいな
いに係わらず、プレート６に取り付けた検出器７が、ウ
ェハ１の周縁部を検出した時点で、信号処理回路１２は
周縁部を検出したことを認識し、該信号処理回路１２は
周縁部検出信号を制御回路１３に送る。該制御回路１３
は、送られた周縁部検出信号に基づいて駆動電源回路１
４を制御して駆動モータ１５を停止させる。
１を搬出するために、制御回路１３から指令が出されて
駆動電源回路１４が制御され、該駆動電源回路１４によ
って駆動モータ１５が駆動され、アーム５が伸張して、
プレート６は所望のスロット位置のウェハ１の下面に挿
入される。ウェハ１がキャリア２から突出しているいな
いに係わらず、プレート６に取り付けた検出器７が、ウ
ェハ１の周縁部を検出した時点で、信号処理回路１２は
周縁部を検出したことを認識し、該信号処理回路１２は
周縁部検出信号を制御回路１３に送る。該制御回路１３
は、送られた周縁部検出信号に基づいて駆動電源回路１
４を制御して駆動モータ１５を停止させる。
【００１４】この時、もしウェハ１がキャリア２から突
出していれば、周縁部検出信号が通常より早く発生する
ため、アーム５の伸張動作が最大限に達する前に、アー
ム５は伸張動作を停止される（図４（ｃ））。これによ
り、キャリア２から突出したウェハであっても、最適な
支持位置でプレート６が停止される。またウェハ１が突
出することなくキャリア２の所定の位置にあれば、アー
ム５はほぼ最大限に伸張して伸張動作は停止される（図
４（ｂ））。
出していれば、周縁部検出信号が通常より早く発生する
ため、アーム５の伸張動作が最大限に達する前に、アー
ム５は伸張動作を停止される（図４（ｃ））。これによ
り、キャリア２から突出したウェハであっても、最適な
支持位置でプレート６が停止される。またウェハ１が突
出することなくキャリア２の所定の位置にあれば、アー
ム５はほぼ最大限に伸張して伸張動作は停止される（図
４（ｂ））。
【００１５】なお、キャリア２の所定のスロットにウェ
ハ１が存在しない場合は、アーム５が最大限に伸張して
も、検出器７はウェハ１の周縁部を検出しない。従っ
て、信号処理回路１２は周縁部検出信号を発せず、これ
によって、制御回路１３はウェハ１の有無も判断出来
る。
ハ１が存在しない場合は、アーム５が最大限に伸張して
も、検出器７はウェハ１の周縁部を検出しない。従っ
て、信号処理回路１２は周縁部検出信号を発せず、これ
によって、制御回路１３はウェハ１の有無も判断出来
る。
【００１６】続いて、制御回路１３からの次の指令によ
って、アーム５は上方に駆動されプレート６がウェハ１
の下面に当たり、更にウェハ１がプレート６によりスロ
ットから浮上支持された時点で、アーム５の上昇は停止
される。さらに続いて制御回路１３からの次の指令によ
って、プレート６がウェハ１を支持した状態のままで、
アーム５は収縮して、ウェハ１はキャリア２から取り出
される。続いて、また更に、制御回路１３からの次の指
令によって、ア−ム５は１８０度回転され、再びアーム
５が伸張され、ウェハ１は試料交換室３に移送される
（図４（ｄ））。
って、アーム５は上方に駆動されプレート６がウェハ１
の下面に当たり、更にウェハ１がプレート６によりスロ
ットから浮上支持された時点で、アーム５の上昇は停止
される。さらに続いて制御回路１３からの次の指令によ
って、プレート６がウェハ１を支持した状態のままで、
アーム５は収縮して、ウェハ１はキャリア２から取り出
される。続いて、また更に、制御回路１３からの次の指
令によって、ア−ム５は１８０度回転され、再びアーム
５が伸張され、ウェハ１は試料交換室３に移送される
（図４（ｄ））。
【００１７】次に第２の発明の動作について説明する。
【００１８】第２の発明では、ウェハ１がキャリア２か
ら許容範囲を越えて突出した場合のみ周縁部を検出でき
る位置に検出器７及び光源８が設置される。
ら許容範囲を越えて突出した場合のみ周縁部を検出でき
る位置に検出器７及び光源８が設置される。
【００１９】図４（ａ）の如く、キャリア２からウェハ
１を搬出するために、制御回路１３から指令が出されて
駆動電源回路１４が制御され、該駆動電源回路１４によ
って駆動モータ１５が駆動され、アーム５が伸張して、
プレート６は所望のスロット位置のウェハ１の下面に挿
入される。ウェハ１が突出することなくキャリア２の所
定の位置にあれば、周縁部検出信号は発生せず、アーム
５は最大限に伸張して伸張動作は停止する（図４
（ｂ））。
１を搬出するために、制御回路１３から指令が出されて
駆動電源回路１４が制御され、該駆動電源回路１４によ
って駆動モータ１５が駆動され、アーム５が伸張して、
プレート６は所望のスロット位置のウェハ１の下面に挿
入される。ウェハ１が突出することなくキャリア２の所
定の位置にあれば、周縁部検出信号は発生せず、アーム
５は最大限に伸張して伸張動作は停止する（図４
（ｂ））。
【００２０】しかし、もしウェハ１がキャリア２から突
出していると、プレート６に取り付けた検出器７が、ウ
ェハ１の周縁部を検出した時点で、信号処理回路１２は
周縁部を検出したことを認識し、該信号処理回路１２は
周縁部検出信号を制御回路１３に送る。該制御回路１３
は、送られた周縁部検出信号に基づいて駆動電源回路１
４を制御して駆動モータ１５を停止させる。このため、
アーム５の伸張動作が最大限に達する前に、アーム５は
伸張動作を停止する（図４（ｃ））。
出していると、プレート６に取り付けた検出器７が、ウ
ェハ１の周縁部を検出した時点で、信号処理回路１２は
周縁部を検出したことを認識し、該信号処理回路１２は
周縁部検出信号を制御回路１３に送る。該制御回路１３
は、送られた周縁部検出信号に基づいて駆動電源回路１
４を制御して駆動モータ１５を停止させる。このため、
アーム５の伸張動作が最大限に達する前に、アーム５は
伸張動作を停止する（図４（ｃ））。
【００２１】以降の動作は、第１の発明に同じである。
ただし、第２の発明の場合には、前述のタイミング差
は、小さく調整される。
ただし、第２の発明の場合には、前述のタイミング差
は、小さく調整される。
【００２２】以上本発明の実施の形態を説明したが、本
発明は上記形態に限定されるものではない。例えば、図
１においては、試料交換室３、ウェハ搬送装置４、キャ
リア２が一直線状に配置されているが、ウェハ搬送装置
４を中心に試料交換室３とキャリア２とは任意の角度で
配置して良い。また、ウェハ搬送装置４は３つの関節を
有する伸縮・回転可能なアームを有するもので説明した
が、例えば１つの関節のみの直進・回転可能のものでも
勿論良い。更に、プレート６は、単にウェハを支持する
のみの機能で記述しているが、ウェハの吸着機能等を有
しても良い。また更に、検出器７は、光による反射式で
記述しているが、その他の方式、例えば透過式でも良
い。なお更に、第１の発明の場合には、検出器７が周縁
部を検出する時点と、周縁部検出信号に基づいて制御回
路１３がアーム５の伸張を停止する時点とのタイミング
差、言い換えれば、周縁部を検出してからアームの駆動
が停止するまでのプレート６の移動距離は、大きく調整
することも可能である。即ち、検出器７が周縁部を検出
してからアーム５の伸張を停止するまでのプレート６の
移動距離を十分大きく取れるように、予め検出器７と光
源８のプレート６上の取り付け位置を設定すると良い。
こうすれば、このタイミング差を切り換えるだけで、異
なる径のウェハにも対応できる。
発明は上記形態に限定されるものではない。例えば、図
１においては、試料交換室３、ウェハ搬送装置４、キャ
リア２が一直線状に配置されているが、ウェハ搬送装置
４を中心に試料交換室３とキャリア２とは任意の角度で
配置して良い。また、ウェハ搬送装置４は３つの関節を
有する伸縮・回転可能なアームを有するもので説明した
が、例えば１つの関節のみの直進・回転可能のものでも
勿論良い。更に、プレート６は、単にウェハを支持する
のみの機能で記述しているが、ウェハの吸着機能等を有
しても良い。また更に、検出器７は、光による反射式で
記述しているが、その他の方式、例えば透過式でも良
い。なお更に、第１の発明の場合には、検出器７が周縁
部を検出する時点と、周縁部検出信号に基づいて制御回
路１３がアーム５の伸張を停止する時点とのタイミング
差、言い換えれば、周縁部を検出してからアームの駆動
が停止するまでのプレート６の移動距離は、大きく調整
することも可能である。即ち、検出器７が周縁部を検出
してからアーム５の伸張を停止するまでのプレート６の
移動距離を十分大きく取れるように、予め検出器７と光
源８のプレート６上の取り付け位置を設定すると良い。
こうすれば、このタイミング差を切り換えるだけで、異
なる径のウェハにも対応できる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、ウェハを格納するキャリアと所定の装置との間で、
ウェハの下面を支持する支持手段を用いてウェハの搬出
入を行うウェハ搬送装置において、ウェハの周縁部の位
置を検出するために前記支持手段に取り付けられた位置
検出手段、あるいは、ウェハのキャリアからの突出位置
を検出するために前記支持手段に取り付けられた位置検
出手段と、該検出手段が検出した位置情報に基づいて、
当該支持手段のウェハ支持位置を制御する位置制御手段
とを具備したことにより、ウェハの突出に係わらず、ウ
ェハとスロット間で擦れ合うことを回避し、かつウェハ
を確実に移送することが出来る。
は、ウェハを格納するキャリアと所定の装置との間で、
ウェハの下面を支持する支持手段を用いてウェハの搬出
入を行うウェハ搬送装置において、ウェハの周縁部の位
置を検出するために前記支持手段に取り付けられた位置
検出手段、あるいは、ウェハのキャリアからの突出位置
を検出するために前記支持手段に取り付けられた位置検
出手段と、該検出手段が検出した位置情報に基づいて、
当該支持手段のウェハ支持位置を制御する位置制御手段
とを具備したことにより、ウェハの突出に係わらず、ウ
ェハとスロット間で擦れ合うことを回避し、かつウェハ
を確実に移送することが出来る。
【００２４】更に、第１の発明では、上記に加え、キャ
リアの所定のスロットにウェハが存在するかどうかも判
断でき、また更に、異なる径のウェハにも対応できる。
リアの所定のスロットにウェハが存在するかどうかも判
断でき、また更に、異なる径のウェハにも対応できる。
【図１】本発明のウェハ搬送装置の配置の一例を示す説
明図である。
明図である。
【図２】検出器の配置の一例を説明する図である。
【図３】本発明の構成説明図である。
【図４】本発明のウェハ搬送装置の動作を説明する図で
ある。
ある。
【図５】ウェハの突出を説明する図である。
１…ウェハ、２…キャリア、３…試料交換室、４…ウェ
ハ搬送装置、５…アーム、６…プレート、７…検出器、
８…光源、９…光路、１１…目的外のウェハ、１２…信
号処理回路、１３…制御回路、１４…駆動電源回路、１
５…駆動モータ
ハ搬送装置、５…アーム、６…プレート、７…検出器、
８…光源、９…光路、１１…目的外のウェハ、１２…信
号処理回路、１３…制御回路、１４…駆動電源回路、１
５…駆動モータ
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェハを格納するキャリアと所定の装置
との間で、ウェハの下面を支持する支持手段を用いて、
ウェハの搬出入を行うウェハ搬送装置において、ウェハ
の周縁部の位置を検出するために前記支持手段に取り付
けられた位置検出手段と、該検出手段が検出した位置情
報に基づいて、当該支持手段のウェハ支持位置を制御す
る位置制御手段とを具備したことを特徴とするウェハ搬
送装置。 - 【請求項２】 ウェハを格納するキャリアと所定の装置
との間で、ウェハの下面を支持する支持手段を用いて、
ウェハの搬出入を行うウェハ搬送装置において、ウェハ
のキャリアからの突出位置を検出するために前記支持手
段に取り付けられた位置検出手段と、該検出手段が検出
した位置情報に基づいて、当該支持手段のウェハ支持位
置を制御する位置制御手段とを具備したことを特徴とす
るウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30242597A JPH11139559A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30242597A JPH11139559A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | ウェハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11139559A true JPH11139559A (ja) | 1999-05-25 |
Family
ID=17908776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30242597A Withdrawn JPH11139559A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11139559A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG90220A1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-07-23 | Applied Materials Inc | Apparatus and method for robotic alignment of substrates |
| JP2004535681A (ja) * | 2001-07-14 | 2004-11-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 統合マッピングセンサを備えた中心位置決め用両側エッジグリップ・エンドエフェクタ |
| WO2020116510A1 (ja) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及びその運転方法 |
-
1997
- 1997-11-05 JP JP30242597A patent/JPH11139559A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG90220A1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-07-23 | Applied Materials Inc | Apparatus and method for robotic alignment of substrates |
| US6577923B1 (en) | 1999-12-23 | 2003-06-10 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for robotic alignment of substrates |
| JP2004535681A (ja) * | 2001-07-14 | 2004-11-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 統合マッピングセンサを備えた中心位置決め用両側エッジグリップ・エンドエフェクタ |
| WO2020116510A1 (ja) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及びその運転方法 |
| JPWO2020116510A1 (ja) * | 2018-12-07 | 2021-09-02 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及びその運転方法 |
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