JP4650273B2 - 基板搬送装置、および基板位置検出方法 - Google Patents
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このような構成により、通常動作では、プレートに基板を載置してカセットから取り出した後に、基板を載置したプレートを基準位置(例えば、旋回可能位置)までを戻すところを、いったん基準位置から離れた(例えば、手前)の決まった位置でプレートを停止し、その時点で基板有無確認センサのON/OFF状態を読み取ることにより、基板の位置ずれ量を検出する。
これにより、基板(例えば、ウェハ等)の位置ずれ量を検出するための専用のセンサを新たに設置することが不要となり、もとから設備された基板有無確認センサを使用し、基板搬送装置の制御ソフトウェアおよび制御動作を変更するだけで、基板の位置ずれ量の検出が可能となる。
このような構成により、通常動作では、プレートに基板を載置してカセットから取り出した後に、基板を載置したプレートを基準位置(例えば、旋回可能位置)までを戻すところを、基準位置に漸近する複数の離れた位置でプレートを一時停止し、各一時停止位置で基板有無確認センサのON/OFF状態を読み取ることにより、基板の位置ずれ量を検出する。
これにより、基板(例えば、ウェハ等)の位置ずれ量を検出するための専用のセンサを新たに設置することが不要となり、もとから設備された基板有無確認センサを使用して、基板の位置ずれの程度を概略ながら数値的に検出することが可能になる。
このような手順により、通常動作では、プレートに基板を載置してカセットから取り出した後に、基板を載置したプレートを基準位置(例えば、旋回可能位置)までを戻すところを、いったん基準位置の手前の決まった位置でプレートを停止し、その時点で基板有無確認センサのON/OFF状態を読み取ることにより、基板の位置ずれ量を検出する。
これにより、基板(例えば、ウェハ等)の位置ずれ量を検出するための専用のセンサを新たに設置することが不要となり、もとから設備された基板有無確認センサを使用し、基板搬送装置の制御ソフトウェアおよび制御動作を変更するだけで、基板の位置ずれ量の検出が可能となる。
図1は、本発明の基板位置検出方法が適用される基板搬送装置(ウェハ移載ロボット)の一例を示す図である。図1(A)は、基板搬送アーム(リンク機構)3が縮み位置(旋回能位置)へ戻った状態における基板搬送装置の上面図を示している。なお、図1に示す基板搬送装置の構造自体は、ごく普通に使用されているものであり、本発明では、基板(ウェハ等)2の位置検出方法に特徴があるものである。
次に、本発明の基板位置検出方法について説明する。本発明の基板位置検出方法においては、図1及び図2に示す構成において、プレート4に基板2を載置した後は、通常動作では、基板搬送アーム3を駆動してプレート4を旋回可能な縮み位置(基準位置)に戻すところを、いったん縮み位置の手前の決まった位置でプレート4を停止し、その時点で基板有無確認センサ5のON/OFF状態を読み取ることにより、基板2の位置ずれ量を検出するものである。
2…基板(ウェハ等)
3…基板搬送アーム
4…基板支持プレート
5…基板有無確認センサ
10…ロボットコントローラ
11…デジタル入力ユニット
12…アーム制御部
13…プレート一時停止処理部
14…基板有無検出処理部
15…基板位置ずれ判定処理部
Claims (3)
- 基板搬送アームと該基板搬送アームに取り付けられたプレートとを有し、カセット内に収容された基板を前記プレート上に載置して取り出し、前記プレートを所定の基準位置まで移動することにより、該プレートに載置された基板を所定の基板保持位置まで搬送する手段を有すると共に、前記プレートを前記基準位置まで移動した際に、該プレート上の基板が前記所定の基板保持位置に搬送されたことを検知するための基板有無確認センサを1つ有する基板搬送装置であって、
前記プレートにより前記基板を搬送する際に、該プレートを前記所定の基準位置から、前記所定の基板保持位置に対する前記プレートに載置された基板のずれの許容値だけ手前に設定された停止位置で一時停止するプレート一時停止手段と、
前記プレート一時停止手段によりプレートを一時停止した際に、前記基板有無確認センサによりプレート上の基板の有無を検知する基板有無検出手段と、
前記基板有無検出手段により前記基板が検知された場合に、前記プレート上に載置された基板が前記所定の基板保持位置からずれた位置にあると判定する基板位置ずれ判定手段と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 基板搬送アームと該基板搬送アームに取り付けられたプレートとを有し、カセット内に収容された基板を前記プレート上に載置して取り出し、前記プレートを所定の基準位置まで移動することにより、該プレートに載置された基板を所定の基板保持位置まで搬送する手段を有すると共に、前記プレートを前記基準位置まで移動した際に、該プレート上の基板が前記所定の基板保持位置に搬送されたことを検知するための基板有無確認センサを有する基板搬送装置であって、
前記プレートを前記基準位置に移動する際に、該プレートを前記基準位置に対して漸近する複数の離れた位置で一時停止するプレート一時停止手段と、
前記プレート一時停止手段によりプレートを各停止位置において一時停止した際に、停止位置ごとに前記基板有無確認センサによりプレート上の基板の有無を検知する基板有無検出手段と、
前記基板有無検出手段により前記基板が検知された場合に、前記プレート上に載置された基板が前記所定の基板保持位置からずれた位置にあると判定する基板位置ずれ判定手段と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 基板搬送アームと該基板搬送アームに取り付けられたプレートとを有し、カセット内に収容された基板を前記プレート上に載置して取り出し、前記プレートを所定の基準位置まで移動することにより、該プレートに載置された基板を所定の基板保持位置まで搬送する手段を有すると共に、前記プレートを前記基準位置まで移動した際に、該プレート上の基板が前記所定の基板保持位置に搬送されたことを検知するための基板有無確認センサを1つ有する基板搬送装置における基板位置検出方法であって、
前記基板搬送装置内の制御部により、
前記プレートにより前記基板を搬送する際に、該プレートを前記所定の基準位置から、前記所定の基板保持位置に対する前記プレートに載置された基板のずれの許容値だけ手前に設定された停止位置で一時停止するプレート一時停止手順と、
前記プレート一時停止手順によりプレートを一時停止した際に、前記基板有無確認センサによりプレート上の基板の有無を検知する基板有無検出手順と、
前記基板有無検出手順により前記基板が検知された場合に、前記プレート上に載置された基板が前記所定の基板保持位置からずれた位置にあると判定する基板位置ずれ判定手順と
が行われることを特徴とする基板位置検出方法。
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