CN113228246B - 基板搬运机器人和自动示教方法 - Google Patents

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Abstract

一种基板搬运机器人和自动示教方法，本发明的基板搬运机器人(1)在机械手设置第1和第2传感器(20、30)，使得在俯视视角中射出的检测光的光轴的俯视交点(LC)位于由上述机械手(14)保持基板(S)的情况下的上述基板的规定位置上，控制装置(40)构成为：使臂(12)动作，通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶(52)，在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置。

Description

基板搬运机器人和自动示教方法
技术领域
本公开涉及基板搬运机器人、和将示教位置向基板搬运机器人自动示教的方法。
背景技术
例如，如专利文献1所公开的那样，在将基板的位置向基板搬运机器人自动地示教时，通过设置于机械手的传感器扫描配置于示教位置的治具。
若取得示教位置，则使机械手向该示教位置移动，并在此进行载置基板的作业。为了使基板的载置可靠而要求示教位置的位置精度的提高。
专利文献1：美国专利申请公开第2016/0158935号说明书
发明内容
因此本公开的目的在于提供一种改善示教位置的位置精度的基板搬运机器人和自动示教方法。
本公开的一个方式所涉及的基板搬运机器人具备：臂，至少在水平的两轴方向上具有自由度；机械手，具有与上述臂的前端部连结的基端部、和从上述基端部延伸为二股的第1前端部和第2前端部，并构成为能够在其上表面侧保持基板；第1和第2传感器，分别向上述第1前端部与上述第2前端部之间的空间射出检测光，并配置为在俯视视角中彼此的上述检测光的光轴在该空间内交叉；以及控制装置，控制上述臂和上述机械手的动作，在上述机械手设置上述第1和第2传感器，使得在俯视视角中上述光轴的俯视交点位于由上述机械手保持上述基板的情况下的上述基板的规定位置上，上述控制装置构成为：使上述臂动作，通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶，在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置。
根据本公开，能够改善示教位置的位置精度。
附图说明
图1是表示实施方式所涉及的机器人的示意图。
图2是表示实施方式所涉及的机械手的俯视图。
图3是表示实施方式所涉及的机器人的控制系统的框图。
图4A是表示第1实施方式所涉及的治具的图。
图4B是表示第1实施方式所涉及的治具的图。
图5是表示第1实施方式所涉及的自动示教的顺序的流程图。
图6A是第1实施方式所涉及的自动示教的说明图。
图6B是第1实施方式所涉及的自动示教的说明图。
图6C是第1实施方式所涉及的自动示教的说明图。
图7是表示第2实施方式所涉及的第2传感器的图。
图8A是表示第2实施方式所涉及的治具的图。
图8B是表示第2实施方式所涉及的治具的图。
图9是表示第2实施方式所涉及的自动示教的顺序的流程图。
图10A是第2实施方式所涉及的自动示教的说明图。
图10B是第2实施方式所涉及的自动示教的说明图。
图10C是第2实施方式所涉及的自动示教的说明图。
图10D是第2实施方式所涉及的自动示教的说明图。
具体实施方式
首先，对本公开的形态例进行说明。本公开的一个形态所涉及的基板搬运机器人具备：臂，至少在水平的两轴方向上具有自由度；机械手，具有与上述臂的前端部连结的基端部、和从上述基端部延伸为二股的第1前端部和第2前端部，并构成为能够在其上表面侧保持基板；第1和第2传感器，分别向上述第1前端部与上述第2前端部之间的空间射出检测光，并配置为在俯视视角中彼此的上述检测光的光轴在该空间内交叉；以及控制装置，控制上述臂和上述机械手的动作，在上述机械手设置上述第1和第2传感器，使得在俯视视角中上述光轴的俯视交点位于由上述机械手保持上述基板的情况下的上述基板的规定位置上，上述控制装置构成为：使上述臂动作，通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶，在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置。
根据上述形态，通过使两个系统的检测光交叉而容易设定由机械手保持基板的情况下的基板的位置作为示教位置。因而，能够改善示教位置的位置精度。并且，能够可靠地进行利用了上述示教位置的基板的载置。
也可以构成为，在本公开的一个形态所涉及的基板搬运机器人的基础上，上述第1和第2传感器分别具备在水平方向上射出检测光的发光元件、和接受该检测光的受光元件，上述控制装置构成为：在上述第1传感器的受光元件不能接受检测光且上述第2传感器的受光元件不能接受检测光时，判断为上述靶位于上述光轴的俯视交点。
也可以构成为，在本公开的一个形态所涉及的基板搬运机器人的基础上，上述第1传感器具备在水平方向上射出检测光的发光元件、和接受该检测光的受光元件，上述第2传感器的发光元件和受光元件分开配置于上述第1前端部和上述第2前端部，上述第2传感器的发光元件向具有铅垂向上分量的倾斜方向射出检测光，上述靶具备反射器，该反射器在上述靶位于上述光轴的俯视交点时将上述第2传感器的检测光朝向上述第2传感器的受光元件反射，上述控制装置构成为：在上述第1传感器的受光元件不能接受检测光且上述第2传感器的受光元件接受到检测光时，判断为上述靶位于上述光轴的俯视交点。
也可以构成为：在本公开的一个形态所涉及的基板搬运机器人的基础上，上述基板的上述规定位置是上述基板的中心位置。
本公开的一个形态所涉及的自动示教方法是用于将示教位置向基板搬运机器人自动示教的方法，上述基板搬运机器人具备：臂，至少在水平的两轴方向上具有自由度；机械手，具有与上述臂的前端部连结的基端部、和从上述基端部延伸为二股的第1前端部和第2前端部，并构成为能够在其上表面侧保持基板；第1和第2传感器，分别向上述第1前端部与上述第2前端部之间的空间射出检测光，并配置为在俯视视角中彼此的上述检测光的光轴在该空间内交叉；以及控制装置，控制上述臂和上述机械手的动作，在上述机械手设置上述第1和第2传感器，使得在俯视视角中上述光轴的俯视交点位于由上述机械手保持上述基板的情况下的上述基板的规定位置上，上述方法具备：使上述臂动作并通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶的步骤；和在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置的步骤。根据上述形态，能够获得与本公开的一个形态所涉及的基板搬运机器人相同的效果。
本公开的一个形态所涉及的自动示教方法是用于将示教位置向基板搬运机器人自动示教的方法，其具备：对于上述基板搬运机器人，使上述基板搬运机器人的臂动作，并使上述臂的前端的机械手移动，由此通过配置于上述机械手的第1和第2传感器扫描配置于示教位置的靶的步骤；和在上述靶位于作为由上述第1和第2传感器射出的检测光的光轴在俯视视角中交叉的点的俯视交点时，取得上述示教位置的步骤，在俯视视角中，上述光轴的俯视交点位于由上述机械手保持基板的情况下的上述基板的规定位置上。根据上述形态，能够获得与本公开的一个形态所涉及的基板搬运机器人相同的效果。
也可以构成为：本公开的一个形态所涉及的自动示教方法还具备以下步骤，即，当在具备在水平方向上射出检测光的发光元件和接受该检测光的受光元件的上述第1传感器中上述第1传感器的受光元件不能接受检测光、并且在具备在水平方向上射出检测光的发光元件和接受该检测光的受光元件的上述第2传感器中上述第2传感器的受光元件不能接受检测光时，确定上述靶位于上述光轴的俯视交点。
也可以构成为：本公开的一个形态所涉及的自动示教方法还具备以下步骤，即，当在具备在水平方向上射出检测光的发光元件和接受该检测光的受光元件的上述第1传感器中上述第1传感器的受光元件不能接受检测光、并且在具备向具有铅垂向上分量的倾斜方向射出检测光的发光元件和接受被配置于上述靶的反射器反射的该检测光的受光元件的上述第2传感器中上述第2传感器的受光元件接受到检测光时，确定上述靶位于上述光轴的俯视交点，上述反射器构成为在上述靶位于上述光轴的俯视交点时将上述第2传感器的检测光朝向上述第2传感器的受光元件反射。
也可以构成为：在本公开的一个形态所涉及的自动示教方法的基础上，上述基板的上述规定位置是上述基板的中心位置。
以下，参照附图对实施方式进行说明。在所有的附图中对相同或者对应的构件标注相同的附图标记并省略重复说明。
[第1实施方式]
以下，对第1实施方式进行说明。图1表示机器人1。如图1所示，机器人1能够用于在制造半导体元件的半导体处理设备中搬运基板S。基板S是被称为晶片的半导体元件的材料，形成为圆盘状。在半导体处理设备，为了对基板S实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理、或者平坦化处理之类的各种处理而设置有多个处理装置。
机器人1例如将收纳于盒2的基板S向处理装置搬运。盒2例如是FOUP(正面开口式一体型容器：Front Opening Unify Pod)。此外，图示了单一的盒2，但也可以在半导体处理设备设置有集中地具备多个(例如，2个或者3个)盒2的EFEM(Equipment Front EndModule-设备前端模块)。在该情况下，优选机器人1构成为无需走行装置而能够访问各盒2内。
机器人1具备基台10、臂12、机械手14、第1传感器20、第2传感器30以及控制装置40。
基台10固定于半导体处理设备的适当的位置(例如，水平的地板面)(或者也可以经由走行装置而支承于设备地板面)。以下，作为将基台10恰当地设置于水平的地板面的机构来对方向进行说明。
臂12经由升降轴11与基台10连结。升降轴11能够相对于基台10在上下方向(Z方向)上动作，由此使臂12和机械手14在上下方向上移动。臂12通过连结2个以上的连杆而构成。机械手14与臂12连结。机器人1或者臂12是所谓的水平多关节型，但臂12也可以是至少具有水平的两轴方向(X方向和Y方向)的自由度的臂。在机器人1，多个旋转轴A1、A2、…设定为在多个连结部分别相互平行。任意一个旋转轴A1、A2、…都朝向上下方向。“多个连结部”包括基台10与臂12的连结部、构成臂12的连杆中的邻接的两个连杆彼此的连结部、以及臂12与机械手14的连结部。例如，在本实施方式中，臂12具有第1连杆13a和第2连杆13b两个连杆，在机器人1设定有3个连结部和3个旋转轴。
第1连杆13a的基端部与基台10连结为能够绕着旋转轴A1旋转。第2连杆13b的基端部与第1连杆13a的前端部连结为能够绕着旋转轴A2旋转。机械手14与第2连杆13b的前端部连结为能够绕着旋转轴A3旋转。连杆13a、13b和机械手14能够在水平面(XY平面)内摆动。机械手14能够与臂12的姿势(绕着各旋转轴A1～A3的旋转角)对应地在水平面内沿着任意的轨迹(包括直线和曲线)移动。
图2表示机械手14。如图2所示，机械手14是薄板状。机械手14从臂12的前端部水平地延伸。机械手14构成为能够在其上表面侧保持圆盘状的基板S，由此在机械手14上将基板S保持为大体水平的姿势。用于保持的结构并不特别地限定，能够采用边缘夹持式或者吸引式。在机械手14保持基板S的状态下臂12和机械手14升降和/或摆动，由此机器人1能够在X、Y和/或Z方向上沿着任意的轨迹边将基板S保持为水平姿势边搬运。
在俯视视角中机械手14形成为U字形。机械手14具有单一的基端部15、和从基端部15分为二股状来延伸的第1前端部16a和第2前端部16b。机械手14在俯视视角中相对于中心线C左右对称。以旋转轴A3位于中心线C上的方式将机械手14的基端部15与臂12连结。
第1和第2传感器20、30是光学传感器，分别形成在机械手14的第1前端部16a与第2前端部16b之间的空间传播的第1和第2检测光L1、L2。检测光L1、L2是光束状，在空间内直线形成。第1和第2传感器20、30是透射式。第1传感器20具备第1发光元件21和第1受光元件22，第2传感器30具备第2发光元件31和第2受光元件32。在控制装置40与元件21、22、31、32之间夹有用于光电转换的放大器29。放大器29经由线束与控制装置40连接为能够传递电信号，并经由配设于机械手14的光纤与元件21、22、31、32连接为能够传递光信号。在本实施方式中，在第1和第2传感器20、30中共用单一的放大器29。通过放大器29将从控制装置40输出的电信号转换为光信号，并将该光信号向第1和第2发光元件21、31导入。
在本实施方式中，第1受光元件22配置于从第1发光元件21射出的第1检测光L1的光路上。第2受光元件32也配置于从第2发光元件31射出的第2检测光L2的光路上(将未配置的情况下的一个例子作为第2实施方式来进行说明)。
第1和第2检测光L1、L2至少在俯视视角中相互交叉。其中，在上下方向上，也可以在第1与第2检测光L1、L2之间存在偏移(将存在偏移的情况下的一个例子作为第2实施方式进行说明)。这样，即使实际上第1和第2检测光L1、L2在上下方向偏移，在俯视视角中也存在两个检测光L1、L2的交点，因此为了方便，将该点称为“俯视交点LC”。此外，检测光L1、L2的交点可以是指检测光L1、L2的光轴的交点。在本实施方式中，作为第1和第2检测光L1、L2在上下方向上处于相同位置并实际上交叉的情况进行说明。
俯视交点LC定位于机械手14的中心的位置。此外，俯视交点LC或者机械手14的中心存在于第1前端部16a与第2前端部16b之间的空间内。换言之，俯视交点LC是在由机械手14保持圆盘状的基板S的状态下该被保持的基板S的规定位置所应该配置的位置。作为一个例子，该规定位置是基板S的中心位置。
第2发光元件31和第2受光元件32分开配置于第1前端部16a和第2前端部16b。第2发光元件31和第2受光元件32夹着机械手14的中心在与中心线C正交的方向上对置配置。在本实施方式中，对于从第2发光元件31射出的第2检测光L2而言，若没有遮挡它的部件，则向第2受光元件32入射。
第1检测光L1向相对于中心线C倾斜的方向传播，由此在俯视视角中与如上述那样形成的第2检测光L2交叉。在本实施方式中，在第1发光元件21与第1受光元件22之间的光路上夹有反射器23。作为该情况下的一个例子，第1发光元件21在比第2发光元件31和第2受光元件32(或者机械手14的中心)靠前端侧的位置安装于第1前端部16a。从第1发光元件21射出的第1检测光L1在与中心线C正交的方向上前进。反射器23在与中心线C正交的方向上与第1发光元件21对置配置，并安装于第2前端部16b。第1受光元件22与第1发光元件21相同地安装于第1前端部16a，而与第1发光元件21相反地配置于比机械手14的中心靠基端侧的位置。被反射器23反射的第1检测光L1在俯视视角中通过机械手14的中心并向第1受光元件22入射。通过该配置，与以往相同，在机械手14的整体上的前端彼此之间形成在与中心线C正交的方向上前进的检测光，进而能够在机械手14的中心形成两个检测光L1、L2的俯视交点LC。
图3表示机器人1的控制系统。如图3所示，控制装置40控制臂12和机械手14的动作。控制装置40例如是具备微型控制器等计算机装置的机器人控制器，并不局限于单一的装置，也可以由多个装置构成。
控制装置40具备存储部41、运算部42以及伺服控制部43。存储部41存储控制装置40的基本程序、机器人1的动作程序、以及在动作程序的执行中取得的数据等信息。
运算部42执行用于机器人控制的运算处理，并生成机器人1的控制指令。伺服控制部43构成为基于由运算部42生成的控制指令来控制机器人1的驱动装置46。该驱动装置46例如包括使升降轴11升降的升降致动器47a(例如，驱动滚珠丝杠的电气马达)、和与旋转轴A1～A3分别对应的多个旋转致动器48a、48b、48c(例如，电气马达)。驱动装置46根据来自控制装置40的控制指令使机械手14移动。在以下的说明中，臂12和机械手14的姿势或者位置的变化通过由控制装置40执行的控制来实现。
存储于存储部41的动作程序不仅包括用于在半导体处理设备中实际运用机器人1来自动地进行基板S的搬运作业的作业程序，也包括用于为了进行该作业而将示教位置向自身自动地示教的程序。示教位置是设置于盒2或者处理装置的基板载置用的工作台。
在该自动示教时，使用治具50。如图4A和图4B所示，治具50具有圆盘部51、和从圆盘部51的中心立设的靶52。圆盘部51的形状是模仿由机械手14搬运的基板S的形状。靶52形成为从圆盘部51的表面垂直地延伸的圆柱状，有时称为“销”。如上述那样，示教位置典型地是工作台，因此与基板S相同地在欲取得示教位置的工作台载置圆盘部51。然后，通过示教作业人员适当地向控制装置40输入执行自动示教程序，从而自动示教开始。
参照图5，对自动示教的动作进行说明。首先，使机械手14移动至示教位置附近的示教开始位置(S1，参照图6A)。在该示教开始位置，机械手14定位于圆盘部51的上方并且比靶52的上端靠下方的位置。接下来，以靶52进入于第1前端部16a与第2前端部16b之间的空间内的方式使机械手14移动(S2，参照图6B)，通过第1和第2传感器20、30的检测光L1、L2扫描靶(S3，参照图6B)，在靶52位于检测光L1、L2的俯视交点LC时取得示教位置(S4，参照图6C)。
并不特别地限定扫描时的机械手14的动作方向。作为一个例子，首先，使机械手14在中心线C的方向上移动。这样，第1检测光L1被靶52遮挡而第1受光元件22不能受光，并从放大器29向控制装置40发送表示该情况的电信号(ON信号)。若靶52位于中心线C上，则保持原样使机械手14前进，由此靶52到达至俯视交点(机械手14的中心)。这样，第1检测光L1和第2检测光L2都被靶52遮挡而第1受光元件22和第2受光元件32都不能受光。若靶52从中心线C向与中心线C正交的方向偏移，则第1检测光L1与第2检测光L2的一个被遮挡。在靶52向纸面上侧偏移的情况下，第1检测光L1被遮挡。通过从最初被遮挡的位置到再次被遮挡的位置的距离、与从最初被遮挡的位置到机械手14的中心的距离的关系，可知向纸面上侧偏移了多少。因此，基于该偏移量，使机械手14向纸面上侧移动同时也向中心线C方向进一步移动，由此能够将靶52定位于俯视交点的位置。相反，在靶52向纸面下侧偏移的情况下，第2检测光L2被遮挡。在该情况下，通过使机械手14向纸面下侧移动，能够将靶52定位于俯视交点的位置。
如图5所示，最后，使机械手14向上方移动(S5)。在检测光L1、L2越过靶52的上端并位于上方时，第1受光元件22和第2受光元件32都能够接受对应的检测光，从放大器29向控制装置40输出表示该主旨的电信号(OFF信号)。基于此时的机械手14的上下位置，也取得关于上下方向的示教位置。
这样，在本实施方式中，两道检测光L1、L2形成为通过由机械手14保持基板S的情况下的基板S的规定位置，并取得该检测光L1、L2的俯视交点作为示教位置。直接取得基板的规定位置作为示教位置，因此在实际上将基板S从作为示教位置的工作台载置于机械手14时，能够可靠地进行载置。特别是在本实施方式中，将该规定位置设为基板的中心位置。另外，机械手14的中心与基板保持时的基板的中心位置一致。因此，直接取得机械手14的中心或者基板中心作为示教位置，因此是有益的。
[第2实施方式]
以下，对第2实施方式进行说明。元件21、22、31、32的俯视配置、伴随于此的俯视视角中的检测光L1、L2的光路与第1实施方式(参照图2)相同。但是，如图7所示，第2发光元件31向具有铅垂向上分量的倾斜方向射出第2检测光L2。若未将基板S载置于机械手14，则第2检测光L2通过第2前端部16b的上方，第2受光元件32不能接受第2检测光L2(参照虚线箭头)。在将基板S载置于机械手14的情况下，第2检测光L2在基板S的下表面反射。由此，第2受光元件32接受第2检测光L2(参照双点划线箭头)。即，第2传感器30在基板搬运作业中发挥作为检测是否在机械手14存在基板S的传感器的作用。此外，在将基板S载置于机械手14的情况下，第2发光元件31及第2受光元件32与基板S的下表面的间隙G大体是恒定值。另外，第2发光元件31和第2受光元件32关于中心线C对称地配置，并在上下方向上配置于相同的位置。因此，第2检测光L2在基板S的下表面的中心反射，并向第2受光元件32入射。
如图8A和图8B所示，为了能够使用这样的第2传感器30来与上述相同地进行自动示教，在治具50的靶52的规定部位(作为一个例子，为上端部)设置有透光窗53和反射器54。
在本实施方式中的自动示教时，在示教程序的执行之前，也在欲取得示教位置的工作台设置治具50。其后，使机械手14在治具50的附近动作，但以向与该动作中的机械手14的中心线C正交的方向敞开透光窗53的方式预先设置治具50。
参照图9对自动示教的动作进行说明。若自动示教开始，则首先，使机械手14移动至示教位置附近的示教开始位置(S21，参照图10A)。接下来，以靶52进入至第1前端部16a与第2前端部16b之间的空间内的方式使机械手14移动，并在第1检测光L1被靶52遮挡的位置停止移动(S22，参照图10B)。使机械手14向上方移动至第1检测光L1从靶52向上方脱离(S23，参照图10C)。由此，能够特定机械手14相对于治具50的上下方向的位置关系。接下来，使机械手14下降，使第2发光元件31位于从治具50的反射器54之下规定距离的位置(S24，参照图10C)。该规定距离的值是相当于上述间隙G的值。即，若从第2发光元件31射出的第2检测光L2通过透光窗53并到达至反射器54，则使机械手14下降至第2受光元件32能够接受第2检测光L2的位置。
然后，通过第1和第2传感器20、30的检测光L1、L2扫描靶(S25)，在靶52位于检测光L1、L2的俯视交点时取得示教位置(S26，参照图10D)。在靶52位于俯视交点时，第1检测光L1被靶52遮挡，因此第1受光元件22不能接受第1检测光L1，关于第1传感器20，从放大器29向控制装置40输出ON信号。第2检测光L2通过反射器54反射(参照图8B)。因此，第2受光元件32接受第2检测光L2，关于第2传感器30，从放大器29向控制装置40输出OFF信号。
这样，在本实施方式中，第2发光元件31向具有铅垂向上的分量的倾斜方向射出第2检测光L2，因此第2传感器30能够发挥作为检测机械手14上的基板S的有无的传感器的作用。与基板S的下表面相同，在靶52设置有反射第2检测光L2的反射器54，因此也能够如上述那样执行利用了立设于治具50的靶52的自动示教。而且，与第1实施方式相同，直接取得机械手14的中心作为示教位置，因此能够可靠地进行基板S的载置。
至此对实施方式进行了说明，但上述结构能够在本公开的主旨的范围内适当地追加、变更和/或删除。
在上述实施方式中使第1和第2传感器20、30为透射式的光学传感器，但也可以由反射式构成。
在上述实施方式中，将俯视交点设定于机械手14的中心、或者基板保持时的基板的中心位置，但也可以设定于基板保持时的基板中心以外的基板的规定位置。
另外，本公开的技术也可以是用于将示教位置向上述那样的基板搬运机器人自动示教的自动示教方法和控制方法。这样的自动示教方法和控制方法也可以通过CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、LSI(Large Scale Integration：大规模集成电路)等电路、IC卡或者单体的模块等实现。另外，本公开的技术可以是用于执行上述自动示教方法和控制方法的程序，也可以是记录有上述程序的非暂时性的计算机可读取的记录介质。另外，不言而喻，上述程序能够经由网络等传送介质流通。

Claims (8)

1.一种基板搬运机器人，其中，
所述基板搬运机器人具备：
臂，至少在水平的两轴方向上具有自由度；
机械手，具有与所述臂的前端部连结的基端部、和从所述基端部延伸为二股的第1前端部和第2前端部，并构成为能够在机械手的上表面侧保持基板；
第1和第2传感器，分别向所述第1前端部与所述第2前端部之间的空间射出检测光，并配置为在俯视视角中彼此的所述检测光的光轴在该空间内交叉；以及
控制装置，控制所述臂和所述机械手的动作，
在所述机械手设置所述第1和第2传感器，使得在俯视视角中所述光轴的俯视交点位于由所述机械手保持所述基板的情况下的所述基板的规定位置上，
所述控制装置构成为：
使所述臂动作，通过所述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶，使所述机械手移动直至所述光轴的俯视交点在俯视视角中位于所述靶，
在俯视视角中所述靶位于所述光轴的俯视交点时取得所述示教位置。
2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
所述第1和第2传感器分别具备在水平方向上射出检测光的发光元件、和接受该检测光的受光元件，
所述控制装置构成为：在所述第1传感器的受光元件不能接受检测光且所述第2传感器的受光元件不能接受检测光时，判断为所述靶位于所述光轴的俯视交点。
3.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，
所述第1传感器具备在水平方向上射出检测光的发光元件、和接受该检测光的受光元件，所述第2传感器的发光元件和受光元件分开配置于所述第1前端部和所述第2前端部，所述第2传感器的发光元件向具有铅垂向上分量的倾斜方向射出检测光，
所述靶具备反射器，该反射器在所述靶位于所述光轴的俯视交点时将所述第2传感器的检测光朝向所述第2传感器的受光元件反射，
所述控制装置构成为：在所述第1传感器的受光元件不能接受检测光且所述第2传感器的受光元件接受到检测光时，判断为所述靶位于所述光轴的俯视交点。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板搬运机器人，其中，
所述基板的所述规定位置是所述基板的中心位置。
5.一种自动示教方法，是用于将示教位置向基板搬运机器人自动示教的方法，其中，
所述自动示教方法具备：
对于所述基板搬运机器人，使所述基板搬运机器人的臂动作，并使所述臂的前端的机械手移动，由此通过配置于所述机械手的第1和第2传感器扫描配置于示教位置的靶的步骤；和
使所述机械手移动直至所述靶在俯视视角中位于作为由所述第1和第2传感器射出的检测光的光轴在俯视视角中交叉的点的俯视交点，在俯视视角中所述靶位于所述光轴的俯视交点时，取得所述示教位置的步骤，
在俯视视角中，所述光轴的俯视交点位于由所述机械手保持基板的情况下的所述基板的规定位置上。
6.根据权利要求5所述的自动示教方法，其中，
还具备以下步骤，即，当在具备在水平方向上射出检测光的发光元件和接受该检测光的受光元件的所述第1传感器中所述第1传感器的受光元件不能接受检测光、并且在具备在水平方向上射出检测光的发光元件和接受该检测光的受光元件的所述第2传感器中所述第2传感器的受光元件不能接受检测光时，确定所述靶位于所述光轴的俯视交点。
7.根据权利要求5所述的自动示教方法，其中，
还具备以下步骤，即，当在具备在水平方向上射出检测光的发光元件和接受该检测光的受光元件的所述第1传感器中所述第1传感器的受光元件不能接受检测光、并且在具备向具有铅垂向上分量的倾斜方向射出检测光的发光元件和接受被配置于所述靶的反射器反射的该检测光的受光元件的所述第2传感器中所述第2传感器的受光元件接受到检测光时，确定所述靶位于所述光轴的俯视交点，
所述反射器构成为：在所述靶位于所述光轴的俯视交点时将所述第2传感器的检测光朝向所述第2传感器的受光元件反射。
8.根据权利要求5～7中任一项所述的自动示教方法，其中，
所述基板的所述规定位置是所述基板的中心位置。
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