JP6832654B2 - 検査システムの調整方法およびそれに用いる補助エレメント - Google Patents
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Description
<検査システムの構成>
図1は本発明の調整方法が適用される検査システムの一例の概略構成を示す平面図、図2はその側面図である。検査システム100は、被検査体である半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)Wの電気的検査を行うものであり、複数(本例では5台)のプローブ装置(検査モジュール)10と、搬送ユニット(搬送モジュール)20とを有している。
(1)搬送ユニット20に接続され、搬送ユニット20に対してプローブ装置10と同様のソフトウエア上の制御信号の授受を行うことができる、ソフトウエハ上の仮想的なプローブ装置であるプローブ装置シミュレータ、
(2)プローブ装置10に接続され、プローブ装置10に対して搬送ユニット20と同様のソフトウエア上の制御信号の授受を行うことができる、ソフトウエア上の仮想的な搬送ユニットである搬送ユニットシミュレータ、
(3)プローブ装置10に接続され、搬送ユニット20からプローブ装置10に送られる電気信号と同様の電気信号をプローブ装置10に与えることができる仮想搬送ユニット治具、
(4)搬送ユニット20に接続され、プローブ装置10から搬送ユニット20に送られる電気信号と同様の電気信号を搬送ユニット20に与えることができる仮想プローブ装置治具、
が用いられる。
a)ステージイニシャル動作
b)シャッターの開・閉動作
c)ステージ上のウエハのアライメント動作
d)ステージのX,Y,Z,θフルストローク駆動
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内において種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、検査モジュールとしての特定の構造のプローブ装置と、搬送モジュールとしての特定の構造の搬送ユニットを組み立てて構成する検査システムを例にとって説明したが、プローブ装置と搬送システム(搬送モジュール)の構造は上記実施形態のものに限らず、また、プローブ装置の代わりに他の検査モジュールを用いてもよい。
11;筐体
12;ヘッドプレート
14;ステージ
20;搬送ユニット(搬送モジュール)
21;搬入出ステージ
22;プリアライメント部
31;受け渡し部
32;駆動機構
40,50;制御部
41;プローブ装置PC
42;プローブ装置コントローラ
51;ローダーPC
52;ローダーコントローラ
55;ハブ(HUB)
60;プローブ装置シミュレータ(補助エレメント)
70;搬送ユニットシミュレータ(補助エレメント)
80;仮想搬送ユニット治具(補助エレメント)
90;仮想プローブ装置治具(補助エレメント)
100;検査システム
W;半導体ウエハ(被搬送体)
Claims (13)
- 被検査体を検査する複数の検査モジュールと、前記複数の検査モジュールに被検査体を搬送する搬送モジュールとを組み立てて構成され、被検査体を前記搬送モジュールにより前記各検査モジュールに搬送して複数の被検査体について順次検査を行う検査システムにおいて、前記検査システムを出荷する前に所定の調整を行う検査システムの調整方法であって、
前記検査モジュールと前記搬送モジュールを組み立てて前記検査システムを構成してから調整を行う必要がある調整項目について、
前記検査モジュールの所定の機能、または前記搬送モジュールの所定の機能を有する補助エレメントを、前記搬送モジュールまたは前記検査モジュールに接続することにより、前記搬送モジュールを単体で、または前記複数の検査モジュールを単体ごと、もしくは前記複数の検査モジュールをシステムとして調整することを特徴とする検査システムの調整方法。 - 前記補助エレメントは、前記検査モジュールに接続され、前記検査モジュールに対して前記搬送モジュールと同様の制御信号の授受を行うことができる、ソフトウエア上の仮想的な搬送モジュールである搬送モジュールシミュレータを有することを特徴とする請求項1に記載の検査システムの調整方法。
- 前記補助エレメントは、前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールに対して前記検査モジュールと同様の制御信号の授受を行うことができる、ソフトウエア上の仮想的な検査モジュールである検査モジュールシミュレータを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査システムの調整方法。
- 前記検査モジュールシミュレータにより、前記搬送モジュールの調整を行う際に、前記検査モジュールシミュレータからの制御信号に基づいて前記搬送モジュールにより被検査体の搬送を行って前記搬送モジュールの調整を行う際に、前記検査モジュールの被検査体のステージを模擬した被検査体の仮置き治具を用いることを特徴とする請求項3に記載の検査システムの調整方法。
- 前記補助エレメントは、前記検査モジュールに接続され、前記検査モジュールに対して前記搬送モジュールから送られる電気信号と同様の電気信号を送ることができる仮想搬送モジュール治具を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査システムの調整方法。
- 前記補助エレメントは、前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールに対して前記検査モジュールから送られる電気信号と同様の電気信号を送ることができる仮想検査モジュール治具を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査システムの調整方法。
- 前記検査モジュール単体で所定の動作を仮想的に行わせる検査モジュール調整自己診断ソフトウエアを用い、前記所定の動作の調整を行うことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の検査システムの調整方法。
- 前記検査モジュールの位置決めブロックを所定間隔に合わせた位置出し治具を前記検査システムのフレームに取り付けることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の検査システムの調整方法。
- 被検査体を検査する複数の検査モジュールと、前記複数の検査モジュールに被検査体を搬送する搬送モジュールとを組み立てて構成され、被検査体を前記搬送モジュールにより前記各検査モジュールに搬送して複数の被検査体について順次検査を行う検査システムにおいて、前記検査システムを出荷する前に所定の調整を行う際に用いられる補助エレメントであって、
前記補助エレメントは、前記検査モジュールの所定の機能、または前記搬送モジュールの所定の機能を有し、前記搬送モジュールまたは前記検査モジュールに接続され、
前記検査モジュールと前記搬送モジュールを組み立てて前記検査システムを構成してから調整を行う必要がある調整項目について、前記搬送モジュールを単体で、または前記複数の検査モジュールを単体ごと、もしくは前記複数の検査モジュールをシステムとして調整可能とすることを特徴とする補助エレメント。 - 前記検査モジュールに接続され、前記検査モジュールに対して前記搬送モジュールと同様の制御信号の授受を行うことができる、ソフトウエア上の仮想的な搬送モジュールである搬送モジュールシミュレータを有することを特徴とする請求項9に記載の補助エレメント。
- 前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールに対して前記検査モジュールと同様の制御信号の授受を行うことができる、ソフトウエア上の仮想的な検査モジュールである検査モジュールシミュレータを有することを特徴とする請求項9または請求項10に記載の補助エレメント。
- 前記検査モジュールに接続され、前記検査モジュールに対して前記搬送モジュールから送られる電気信号と同様の電気信号を送ることができる仮想搬送モジュール治具を有することを特徴とする請求項9から請求項11のいずれか1項に記載の補助エレメント。
- 前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールに対して前記検査モジュールから送られる電気信号と同様の電気信号を送ることができる仮想検査モジュール治具を有することを特徴とする請求項9から請求項12のいずれか1項に記載の補助エレメント。
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