JP7240414B2 - 基板搬送装置及びその運転方法 - Google Patents
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Description
この運転方法は、
(A)載置台に載置された前記基板を準備する工程、
(B)載置台に載置された前記基板の前記主面までの距離を検知する工程
及び
(C)前記基板を前記ハンドで保持する工程
を含む。
(D)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を前記ハンドで保持するか否かを判定する工程
を、更に含む。
(E)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を保持する位置を判定する工程
を、更に含む。
図1は、本実施の形態1に係る基板搬送装置及びそれを備えるロボットシステムの概略構成を模式的に示す側面図である。図2は、図1に示すロボットシステムの概略構成を模式的に示す上面図である。
次に、本実施の形態1に係る基板搬送装置101の動作及びその作用効果について、図1~図6を参照しながら説明する。
次に、本実施の形態1に係る基板搬送装置101の変形例について、図7及び図8を参照しながら説明する。
本実施の形態2に係る基板搬送装置は、実施の形態1に係る基板搬送装置において、水平方向に光を投光する第2投光部と、第2投光部から投光された光を受光する第2受光部と、を有する、マッピング装置がハンドの先端部に設けられていて、制御装置は、第2受光部が第2投光部から投光された光を検知しなかった位置情報を基板の位置情報として、マッピング装置から取得し、マッピング装置から取得した基板の位置情報を基に、ハンドが、基板の下面から予め設定されている第1距離下方に位置するように、マニピュレータを動作させるように構成されている。
図9は、本実施の形態2に係る基板搬送装置、及びそれを備えるロボットシステムの概略構成を模式的に示す上面図である。なお、図9においては、基板搬送装置における前後方向を図における前後方向として表している。
図10及び図11に示すように、ロボットシステム200は、基板搬送装置201と、載置台としての容器112とを備えている。このロボットシステム200では、この容器112に基板1が収納されることで、載置台に基板1が載置されている。容器112としては、例えば、FOUP(Front Opening Unified Pod)であってもよく、石英ボートであってもよい。
図18には、本発明に係る更に他の基板搬送装置221のハンド222が示されている。この基板搬送装置221は、ハンド120に代えてハンド222を備える他は、基板搬送装置201と同様の構成を備えている。ここでは、基板搬送装置201と異なる構成について、主に説明がされる。基板搬送装置201と同様の構成について、その説明が省略される。また、基板搬送装置201と同様の構成について、同様の符号を付して説明がされる。
1A・・・主面
20、120、212、222・・・ハンド
21・・・本体部
21A・・・指部
21B・・・指部
22・・・爪部
30・・・マニピュレータ
31・・・第1接続部
32・・・第1アーム
33・・・第2接続部
34・・・第2アーム
35・・・第3接続部
40・・・昇降部材
41・・・直動アクチュエータ
50・・・筐体
60、160(160Aから160F)・・・基板検出器
61・・・第1投光部
62・・・第1受光部
70・・・制御装置
80・・・マッピング装置
81・・・第2投光部
82・・・第2受光部
100、200・・・ロボットシステム
101、201、211、221・・・・・・基板搬送装置
102、112・・・容器
Claims (17)
- 基板が載置された載置台から前記基板を保持して搬送する基板搬送装置であって、
前記基板を保持するハンドと、前記ハンドが取り付けられたマニピュレータと、前記ハンドに配置されており、前記載置台に載置された前記基板の主面までの距離を検知する第1基板検出器と、制御装置とを備え、
前記第1基板検出器が静電容量センサであり、
前記第1基板検出器を前記基板の主面に対向させて前記ハンドが移動しつつ、前記第1基板検出器が前記主面までの距離を静電容量として検知し、前記制御装置が前記静電容量の変化から前記距離の変化を求め、
前記制御装置が、前記距離の変化に基づいて前記基板の傾斜及び反りの少なくともいずれかを判定する、基板搬送装置。 - 前記制御装置が、前記距離の変化に基づいて前記基板の傾斜を判定し、前記距離が所定の範囲以内のときに前記基板を保持することを決定する、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置が、前記距離の変化に基づいて前記基板の反りを判定し、前記距離が所定の範囲以内のときに前記基板を保持することを決定する、請求項1又は2に記載の基板搬送装置。
- 前記ハンドが吸着パッドを有し、
前記制御装置が、前記基板の傾斜又は反りに基づき前記吸着パッドを前記基板に吸着させる位置に前記ハンドを位置させる、請求項2又は3に記載の基板搬送装置。 - 前記ハンドが吸着パッドを有し、
前記吸着パッドが前記基板を吸着した状態で、前記第1基板検出器が前記基板の主面までの距離を検知する、請求項1から4のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 前記第1基板検出器が検知する静電容量が予め定められた所定の範囲内か否かを判定することで、前記基板の帯電異常を検知する、請求項1から5のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記第1基板検出器が、前記ハンドの先端部に配置されている、請求項1から6のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記ハンドに前後方向において前記第1基板検出器と異なる位置に配置されて前記基板の前記主面までの距離を検知する第2基板検出器を、更に備える、請求項1から7のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 基板を保持するハンドと、前記ハンドが取り付けられたマニピュレータと、前記ハンドに配置されて前記基板の主面までの距離を検知する第1基板検出器とを備えている基板搬送装置の、運転方法であって、
前記第1基板検出器が静電容量センサであり、
(A)載置台に載置された前記基板を準備する工程、
(B)載置台に載置された前記基板の前記主面までの距離を検知する工程
及び
(C)前記基板を前記ハンドで保持する工程
を含み、
前記工程(B)において、前記第1基板検出器を前記基板の主面に対向させて前記ハンドが移動しつつ、前記第1基板検出器が前記主面までの距離を静電容量として検知し、前記静電容量の変化から前記距離の変化を求め、
前記制御装置が、前記距離の変化に基づいて前記基板の傾斜及び反りの少なくともいずれかを判定する、運転方法。 - 前記工程(B)において、前記距離の変化に基づいて前記基板の傾斜を判定し、
前記行程(C)において、前記距離が所定の範囲以内のときに前記基板を保持することを決定する、請求項9に記載の運転方法。 - 前記工程(B)において、前記距離の変化に基づいて前記基板の反りを判定し、
前記行程(C)において、前記距離が所定の範囲以内のときに前記基板を保持することを決定する、請求項9又は10に記載の運転方法。 - 前記ハンドが吸着パッドを有し、
前記工程(C)において、前記基板の傾斜又は反りに基づき前記吸着パッドを前記基板に吸着させる位置に前記ハンドを位置させ、前記吸着パッドを前記基板に吸着させる、請求項10又は11に記載の運転方法。 - 前記ハンドが吸着パッドを有し、
前記工程(C)において、前記吸着パッドが前記基板を吸着した状態で、前記第1基板検出器が前記基板の主面までの距離を検知する、請求項9から12のいずれかに記載の運転方法。 - 前記工程(B)において、前記第1基板検出器が検知する静電容量が予め定められた所定の範囲内か否かを判定することで、前記基板の帯電異常を検知する、請求項9から13のいずれかに記載の運転方法。
- 前記工程(B)において、前記基板の前記主面までの距離を3箇所以上で検知し、
(D)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を前記ハンドで保持するか否かを判定する工程
を、更に含む、請求項9から14のいずれかに記載の運転方法。 - 前記工程(B)において、前記基板の前記主面までの距離を3箇所以上で検知し、
(E)3箇所以上で検知した前記基板の前記主面までの距離に基づいて前記基板を保持する位置を判定する工程
を、更に含む、請求項9から15のいずれかに記載の運転方法。 - 前記工程(B)において、前記第1基板検出器から求められた距離が所定の下限値より小さいときに、前記基板の前記主面までの距離が所定の下限値以上離れる様に、前記ハンドの移動経路を変更させる、請求項9から16のいずれかに記載の運転方法。
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