JP2022066237A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 - Google Patents
半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022066237A JP2022066237A JP2022024581A JP2022024581A JP2022066237A JP 2022066237 A JP2022066237 A JP 2022066237A JP 2022024581 A JP2022024581 A JP 2022024581A JP 2022024581 A JP2022024581 A JP 2022024581A JP 2022066237 A JP2022066237 A JP 2022066237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- resin composition
- semiconductor
- curing agent
- semiconductor encapsulation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 title claims abstract description 224
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 title claims abstract description 224
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 162
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 151
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims abstract description 99
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 93
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 58
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 63
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims description 25
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 21
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 13
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 11
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 7
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical group CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 5
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 3
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 claims description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 abstract description 10
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 30
- -1 aliphatic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 28
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 21
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 14
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 14
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 13
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 13
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- CQOZJDNCADWEKH-UHFFFAOYSA-N 2-[3,3-bis(2-hydroxyphenyl)propyl]phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1CCC(C=1C(=CC=CC=1)O)C1=CC=CC=C1O CQOZJDNCADWEKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 6
- 235000013824 polyphenols Nutrition 0.000 description 6
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 5
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 4
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 4
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 4
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WXTMDXOMEHJXQO-UHFFFAOYSA-N 2,5-dihydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=CC=C1O WXTMDXOMEHJXQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical group O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Natural products P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 3
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 3
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- VOJUXHHACRXLTD-UHFFFAOYSA-N 1,4-dihydroxy-2-naphthoic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(O)C(C(=O)O)=CC(O)=C21 VOJUXHHACRXLTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLDQAMYCGOIJDV-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(O)=C1O GLDQAMYCGOIJDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1C QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UIAFKZKHHVMJGS-UHFFFAOYSA-N 2,4-dihydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1O UIAFKZKHHVMJGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 2,5-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(C)C(O)=C1 NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 2,6-Dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1O NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AKEUNCKRJATALU-UHFFFAOYSA-N 2,6-dihydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(O)C=CC=C1O AKEUNCKRJATALU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UYEMGAFJOZZIFP-UHFFFAOYSA-N 3,5-dihydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=CC(O)=C1 UYEMGAFJOZZIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 3,5-xylenol Chemical compound CC1=CC(C)=CC(O)=C1 TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HMNKTRSOROOSPP-UHFFFAOYSA-N 3-Ethylphenol Chemical compound CCC1=CC=CC(O)=C1 HMNKTRSOROOSPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UITKHKNFVCYWNG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxybenzoyl)phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 UITKHKNFVCYWNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CC(C)=CC2C(=O)OC(=O)C12 MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 2
- UMHKOAYRTRADAT-UHFFFAOYSA-N [hydroxy(octoxy)phosphoryl] octyl hydrogen phosphate Chemical compound CCCCCCCCOP(O)(=O)OP(O)(=O)OCCCCCCCC UMHKOAYRTRADAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 150000001343 alkyl silanes Chemical class 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N benzene-1,3,5-tricarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=CC(C(O)=O)=C1 QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 2
- 235000013869 carnauba wax Nutrition 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N decanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCC(O)=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 2
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 2
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 2
- NXPPAOGUKPJVDI-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2-diol Chemical compound C1=CC=CC2=C(O)C(O)=CC=C21 NXPPAOGUKPJVDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002516 radical scavenger Substances 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical group 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- IYMSIPPWHNIMGE-UHFFFAOYSA-N silylurea Chemical compound NC(=O)N[SiH3] IYMSIPPWHNIMGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N sulfanylsilane Chemical compound S[SiH3] TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003826 tablet Substances 0.000 description 2
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 2
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N vinylsilane Chemical compound [SiH3]C=C UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 2
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNETULKMXZVUST-UHFFFAOYSA-N 1-naphthoic acid Chemical compound C1=CC=C2C(C(=O)O)=CC=CC2=C1 LNETULKMXZVUST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIQAWCBKWSQMRQ-UHFFFAOYSA-N 16-methylheptadecanoic acid;2-methylprop-2-enoic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O HIQAWCBKWSQMRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEKHISJGRIEHRE-UHFFFAOYSA-N 16-methylheptadecanoic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IEKHISJGRIEHRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-tetramine Chemical compound NCCNCCNCCN VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940082044 2,3-dihydroxybenzoic acid Drugs 0.000 description 1
- AHDSRXYHVZECER-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-tris[(dimethylamino)methyl]phenol Chemical compound CN(C)CC1=CC(CN(C)C)=C(O)C(CN(C)C)=C1 AHDSRXYHVZECER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUFFULVDNCHOFZ-UHFFFAOYSA-N 2,4-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(C)=C1 KUFFULVDNCHOFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylphenol Chemical compound CCC1=CC=CC=C1O IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKOHCQAVIJDYAF-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O KKOHCQAVIJDYAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNPQMDSMIGLHSR-UHFFFAOYSA-N 2-oxaspiro[3.5]non-5-ene-1,3-dione Chemical compound O=C1OC(=O)C11C=CCCC1 LNPQMDSMIGLHSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 3-[diethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propane-1-thiol Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCS IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCl OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOCGGVRGNIEDSZ-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-hydroxy-3-prop-2-enylphenyl)propan-2-yl]-2-prop-2-enylphenol Chemical compound C=1C=C(O)C(CC=C)=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C(CC=C)=C1 WOCGGVRGNIEDSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRKPGWQEKNEVEU-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(3-triethoxysilylpropyl)pentan-2-imine Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN=C(C)CC(C)C PRKPGWQEKNEVEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTDQQZYCCIDJRK-UHFFFAOYSA-N 4-octylphenol Chemical compound CCCCCCCCC1=CC=C(O)C=C1 NTDQQZYCCIDJRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGDAMJGKFYMEDE-UHFFFAOYSA-N 5-(dimethoxymethylsilyl)pentane-1,3-diamine Chemical compound NCCC(CC[SiH2]C(OC)OC)N VGDAMJGKFYMEDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 239000005632 Capric acid (CAS 334-48-5) Substances 0.000 description 1
- 235000010919 Copernicia prunifera Nutrition 0.000 description 1
- 244000180278 Copernicia prunifera Species 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKOUCJUTMGHNOR-UHFFFAOYSA-N Diphenolic acid Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(CCC(O)=O)(C)C1=CC=C(O)C=C1 VKOUCJUTMGHNOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005639 Lauric acid Substances 0.000 description 1
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 description 1
- FFFPYJTVNSSLBQ-UHFFFAOYSA-N Phenolphthalin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC(O)=CC=1)C1=CC=C(O)C=C1 FFFPYJTVNSSLBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(ethenyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)C=C NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001409 amidines Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004637 bakelite Substances 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229940114055 beta-resorcylic acid Drugs 0.000 description 1
- YXVFYQXJAXKLAK-UHFFFAOYSA-N biphenyl-4-ol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1=CC=CC=C1 YXVFYQXJAXKLAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol AF Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C=C1 ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A dialuminum;hexamagnesium;carbonate;hexadecahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOCC1CO1 WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTDKEJXHILZNPP-UHFFFAOYSA-N dioctyl hydrogen phosphate Chemical compound CCCCCCCCOP(O)(=O)OCCCCCCCC HTDKEJXHILZNPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMQYIPNJVLNWOE-UHFFFAOYSA-N dioctyl hydrogen phosphite Chemical compound CCCCCCCCOP(O)OCCCCCCCC XMQYIPNJVLNWOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTIXMGZYGRZMAW-UHFFFAOYSA-N ditridecyl hydrogen phosphite Chemical compound CCCCCCCCCCCCCOP(O)OCCCCCCCCCCCCC VTIXMGZYGRZMAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHWQYYPUYFYELO-UHFFFAOYSA-N ditridecyl phosphite Chemical compound CCCCCCCCCCCCCOP([O-])OCCCCCCCCCCCCC XHWQYYPUYFYELO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N ethenyl-tris(2-methoxyethoxy)silane Chemical compound COCCO[Si](OCCOC)(OCCOC)C=C WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000004088 foaming agent Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](C)(C)C NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001545 hydrotalcite Drugs 0.000 description 1
- 229910001701 hydrotalcite Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229940018564 m-phenylenediamine Drugs 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Chemical class 0.000 description 1
- 239000002184 metal Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N methylhexahydrophthalic anhydride Chemical compound C1CCCC2C(=O)OC(=O)C21C VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 235000013872 montan acid ester Nutrition 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZPARGTXKUIJLJ-UHFFFAOYSA-N n-[3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl]aniline Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 YZPARGTXKUIJLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005209 naphthoic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N o-toluic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(O)=O ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N para-benzoquinone Natural products O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920005586 poly(adipic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001184 polypeptide Polymers 0.000 description 1
- 239000005077 polysulfide Substances 0.000 description 1
- 229920001021 polysulfide Polymers 0.000 description 1
- 150000008117 polysulfides Polymers 0.000 description 1
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960004029 silicic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N succinic acid Chemical compound OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N tetradecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC[14C](O)=O TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N 0.000 description 1
- AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O thiamine pyrophosphate Chemical compound CC1=C(CCOP(O)(=O)OP(O)(O)=O)SC=[N+]1CC1=CN=C(C)N=C1N AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 150000007970 thio esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000010215 titanium dioxide Nutrition 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N trans-stilbene Chemical compound C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 229940005605 valeric acid Drugs 0.000 description 1
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003755 zirconium compounds Chemical class 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/62—Alcohols or phenols
- C08G59/621—Phenols
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/54—Silicon-containing compounds
- C08K5/544—Silicon-containing compounds containing nitrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/002—Physical properties
- C08K2201/003—Additives being defined by their diameter
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2203/00—Applications
- C08L2203/20—Applications use in electrical or conductive gadgets
- C08L2203/206—Applications use in electrical or conductive gadgets use in coating or encapsulating of electronic parts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/02—Polymer mixtures characterised by other features containing two or more polymers of the same C08L -group
- C08L2205/025—Polymer mixtures characterised by other features containing two or more polymers of the same C08L -group containing two or more polymers of the same hierarchy C08L, and differing only in parameters such as density, comonomer content, molecular weight, structure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/03—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
Description
当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物が、
エポキシ樹脂と、
フェノール樹脂硬化剤と、
を含み、
前記エポキシ樹脂および前記フェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群のFedors法に基づく平均溶解度パラメーターSP1と、
前記エポキシ樹脂および前記フェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群の数平均分子量Mn1との間に、
Mn1≧-127×SP1+2074の関係が成り立つ、半導体封止用エポキシ樹脂組成物が提供される。
前記基板上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子を封止する封止材と、
を有し、
前記封止材が、上記半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置が提供される。
図1は、本実施形態に係る半導体装置100の一例を示す図である。
図1に示すように、本実施形態に係る半導体装置100は、基板10と、上記基板10上に搭載された半導体素子20と、半導体素子20を封止する封止材50と、を有するものである。なお、図1に示す半導体装置100は、半導体素子20と基板10とが半田バンプ30を介して電気的に接続されたものであるが、これに限定されるものではない。
以下においては、半導体封止用エポキシ樹脂組成物を本樹脂組成物ともいう。
本実施形態に係る半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、基板10と、基板10上に搭載される半導体素子20との、少なくとも一方あるいは両方にフラックス残渣300が付着した状態にある構造体において、半導体素子20を封止するために用いることを想定したものであり、エポキシ樹脂と、フェノール樹脂硬化剤と、を含む固形の樹脂組成物である。そして、本樹脂組成物は、次の条件を満たすことを特徴としたものである。具体的には、本樹脂組成物は、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群のFedors法に基づく平均溶解度パラメーターSP1と、上記樹脂群の数平均分子量Mn1との間に、Mn1≧-127×SP1+2074の関係が成り立つことを特徴としたものである。これにより、フラックス残渣300を相溶して封止材50内に取り込むことが可能であり、かつ成形作業性に優れた樹脂組成物とすることができる。
式1:平均溶解度パラメーターSP1=Σ(A(n)×Ca(n))+Σ(B(n)×Cb(n))
(上記式1において、A(n)は、本樹脂組成物中に含まれているn種のエポキシ樹脂それぞれに関するFedors法に基づいて算出された溶解度パラメーターを指す。Ca(n)は、本樹脂組成物中における全エポキシ樹脂と全フェノール樹脂硬化剤の合計含有量に対するn種のエポキシ樹脂それぞれの含有量を指す。B(n)は、本樹脂組成物中に含まれているn種のフェノール樹脂硬化剤それぞれに関するFedors法に基づいて算出された溶解度パラメーターを指す。Cb(n)は、本樹脂組成物中における全エポキシ樹脂と全フェノール樹脂硬化剤の合計含有量に対するn種のフェノール樹脂硬化剤それぞれの含有量を指す。なお、上記nは、1以上の整数である。)
なお、下記式2において、A1は、第1のエポキシ樹脂に関するFedors法に基づいて算出された溶解度パラメーターの値を指す。A2は、第2のエポキシ樹脂に関するFedors法に基づいて算出された溶解度パラメーターの値を指す。B1は、第1の硬化剤に関するFedors法に基づいて算出された溶解度パラメーターの値を指す。B2は、第2の硬化剤に関するFedors法に基づいて算出された溶解度パラメーターの値を指す。Ca1は、樹脂群全量に対する第1のエポキシ樹脂の含有量を指す。Ca2は、樹脂群全量に対する第2のエポキシ樹脂の含有量を指す。Cb1は、樹脂群全量に対する第1の硬化剤の含有量を指す。Cb2は、樹脂群全量に対する第2の硬化剤の含有量を指す。
式2:平均溶解度パラメーターSP1=A1×Ca1+A2×Ca2+B1×Cb1+B2×Cb2
式3:樹脂群の数平均分子量Mn1=Σ(a(n)×Ca(n))+Σ(b(n)×Cb(n))
(上記式3において、a(n)は、本樹脂組成物中に含まれているn種のエポキシ樹脂それぞれに関する数平均分子量の値を指す。Ca(n)は、本樹脂組成物中における全エポキシ樹脂と全フェノール樹脂硬化剤の合計含有量に対するn種のエポキシ樹脂それぞれの含有量を指す。b(n)は、本樹脂組成物中に含まれているn種のフェノール樹脂硬化剤それぞれに関する数平均分子量の値を指す。Cb(n)は、本樹脂組成物中における全エポキシ樹脂と全フェノール樹脂硬化剤の合計含有量に対するn種のフェノール樹脂硬化剤それぞれの含有量を指す。なお、上記nは、1以上の整数である。)
なお、下記式4において、a1は、第1のエポキシ樹脂の数平均分子量を指す。a2は、第2のエポキシ樹脂の数平均分子量を指す。b1は、第1の硬化剤の数平均分子量を指す。b2は、第2の硬化剤の数平均分子量を指す。Ca1は、樹脂群全量に対する第1のエポキシ樹脂の含有量を指す。Ca2は、樹脂群全量に対する第2のエポキシ樹脂の含有量を指す。Cb1は、樹脂群全量に対する第1の硬化剤の含有量を指す。Cb2は、樹脂群全量に対する第2の硬化剤の含有量を指す。
式4:平均溶解度パラメーターSP1=a1×Ca1+a2×Ca2+b1×Cb1+b2×Cb2
また、上述した平均溶解度パラメーターSP1の上限値は、例えば、17.5[(cal/cm3)0.5]以下であることが好ましく、15.0[(cal/cm3)0.5]以下であることがより好ましく、13.5[(cal/cm3)0.5]以下であることが更に好ましい。こうすることで、フラックス残渣300中に含まれている活性種と、エポキシ樹脂やフェノール樹脂硬化剤の分子構造中に含まれている官能基との間に生じる相互作用が促進され、結果として、封止材50のフラックス残渣300に対する相溶性を向上させることができる。具体的には、SP1の値が上記上限値以下となることで、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖同士の相互作用が小さくなり、フラックス残渣300の分子同士の相互作用と同程度となるために、両者の相互作用が強くなり、相溶性が向上すると考えられる。
以上より、上述した平均溶解度パラメーターSP1の値が上記数値範囲内となるように制御した場合には、フラックス残渣300との相溶性により一層優れた封止材50を形成することが可能となる。
なお、上記相互作用とは、具体的には、水素結合、分散力、双極子相互作用などが挙げられる。ここで、上述した活性種を含むフラックス剤200は、例えば、同程度のSP値を持つと考えられる。
また、上述した数平均分子量Mn1の上限値は、例えば、650以下であることが好ましく、550以下であることがより好ましく、520以下であることがさらに好ましい。こうすることで、フラックス残渣300中に含まれている活性種と、エポキシ樹脂やフェノール樹脂硬化剤の分子構造を構成する主鎖との間に生じる相互作用が促進され、結果として、封止材50のフラックス残渣300に対する相溶性を向上させることができる。
具体的には、数平均分子量Mn1が上記上限値以下である場合、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖同士の絡み合いが適切になり、フラックス剤の分子鎖が侵入するのにより好適な物理的性質を発現すると考えられる。以上より、数平均分子量Mn1が上記上限値以下であることにより、フラックス残渣が、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤に対して相互作用しやすくなり、相溶性を向上できると考えられる。
以上より、上述した数平均分子量Mn1の値が上記数値範囲内となるように制御した場合には、フラックス残渣300との相溶性により一層優れた封止材50を形成することが可能となる。
詳細なメカニズムは定かではないが、半導体封止用エポキシ樹脂組成物と、フラックス残渣とを相溶させることができる理由は以下のように推測される。
まず、Mn1の値が大きくなることで、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖の絡み合いが適切に制御されると推測される。これにより、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖が、フラックス残渣300中に含まれている活性種の分子鎖を取り込みやすくなる。
また、SP1の値が大きくなることで、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖と、フラックス残渣300との分子鎖との相互作用を向上できると推測される。従来の半導体封止用エポキシ樹脂組成物では、フラックス残渣300の分子鎖同士の相互作用が、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖と、フラックス残渣300の分子鎖との相互作用より遥かに大きかった。しかしながら、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖と、フラックス残渣300の分子鎖との相互作用を強めることによって、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂硬化剤の分子鎖が、フラックス残渣300中に含まれている分子鎖を取り込みやすくなる。
以上より、Mn1及びSP1が、共に適切な数値範囲となることで、半導体封止用エポキシ樹脂組成物と、フラックス残渣とを相溶させることができると推測される。
なお、SP1及びMn1は、基本的に大きくなるほど、半導体封止用エポキシ樹脂組成物と、フラックス残渣300との相溶性を向上できる。SP1及びMn1の上限値としては、例えば、-127×SP1+2224≧Mn1とすることができる。これは、図3に示すように、Mn1-SP1でプロットした時に、Mn1=-127×SP1+2224の直線上、あるいは、それよりもMn1またはSP1が小さくなることを示す。なお、SP1及びMn1の上限値としては、例えば、-127×SP1+2224≧Mn1としてもよく、-127×SP1+2149≧Mn1としてもよい。
本樹脂組成物は、上述した通り、エポキシ樹脂と、フェノール樹脂硬化剤と、を必須成分として含む固形の樹脂組成物である。このように、本樹脂組成物は、固形状であるが故に、液状の形態にある従来の樹脂組成物を用いる場合と比べて、所望の半導体装置における封止材の製造効率を向上させることができる。そして、本樹脂組成物の形態は、上述した通り、作業性の観点から、粉粒状、顆粒状、タブレット状またはシート状に加工されたものであることが好ましい。
(1)使用するエポキシ樹脂の種類と、使用するフェノール樹脂硬化剤の種類との組み合わせ
(2)使用するエポキシ樹脂自体の配合量比と、使用するフェノール樹脂硬化剤自体の配合量比とのバランス
具体的には、実施例にて後述する。
本実施形態に係るエポキシ樹脂としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を用いることができ、その分子量や分子構造は特に限定されない。本実施形態において、エポキシ樹脂は、たとえばビフェニル型エポキシ樹脂;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、テトラメチルビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;スチルベン型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂等に例示されるトリスフェノール型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂;フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂等のアラルキル型エポキシ樹脂;ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシナフタレンの2量体をグリシジルエーテル化して得られるエポキシ樹脂等のナフトール型エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート等のトリアジン核含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等の有橋環状炭化水素化合物変性フェノール型エポキシ樹脂からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。これらのうち、ビフェニル型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、およびテトラメチルビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ならびにスチルベン型エポキシ樹脂は結晶性を有するものであることが好ましい。
本実施形態においては、成形性や耐熱性等を向上させる観点から、アラルキル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、またはトリスフェノール型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。
また、フラックス残渣との相溶性を向上させる観点から、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂を単独で含む、または、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂及びトリフェノールメタン型エポキシ樹脂を共に含むことが好ましい。
本樹脂組成物中には、上述した通り、フェノール樹脂硬化剤が必須成分として含まれている。これにより、当該樹脂組成物の流動性およびハンドリング性を向上させることができる。かかるフェノール樹脂硬化剤は、一分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造については特に限定されるものではない。このようなフェノール樹脂硬化剤の具体例としては、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、トリスフェノールメタン型フェノールノボラック樹脂、ナフトールノボラック樹脂等のノボラック型樹脂;トリフェノールメタン型フェノール樹脂等の多官能型フェノール樹脂;テルペン変性フェノール樹脂、ホルムアルデヒドで変性したトリフェニルメタン型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂;フェニレン骨格及び/又はビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレン及び/又はビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル樹脂、フェニルアラルキル型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂等のアラルキル型樹脂;ビスフェノールA、ビスフェノールF等のビスフェノール化合物等が挙げられる。これらは1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を併用してもよい。このようなフェノール樹脂硬化剤を配合させることにより、耐燃性、耐湿性、電気特性、硬化性、保存安定性等のバランスを良好なものとすることができる。特に、硬化性の点から、フェノール樹脂硬化剤の水酸基当量は90g/eq以上250g/eq以下であることが好ましい。
さらに、本樹脂組成物全量に対する、樹脂組成物のフェノール樹脂硬化剤の含有量の上限値は、例えば、10.5質量%以下であることが好ましく、10質量%以下であることがより好ましい。こうすることで、硬化特性と耐半田性のバランスに優れた樹脂組成物を得ることができる。また、Mn1及びSP1を適切に制御することができる。
また、充填材の形状としては、本樹脂組成物の溶融粘度の上昇を抑えつつ、充填材の含有量を高める観点から、できるだけ真球状であり、かつ粒度分布がブロードであることが好ましい。
また、粒子の大きさの異なるものを混合することにより充填材の充填量を多くすることができる。
充填材の平均粒径d50の下限値は、例えば、0.01μm以上であることが好ましく、0.1μm以上であることがより好ましく、0.2μm以上であることが更に好ましい。これにより、平均粒径の大きな充填材が詰まることで、充填性が低下することを抑制できる。
また、充填材の平均粒径d50の上限値は、例えば、150μm以下であることが好ましく、100μm以下であることがより好ましく、50μm以下であることが更に好ましい。これにより、充填材の比表面積が大きくなり過ぎて、組成物の粘度が増加しすぎることを抑制できる。したがって、樹脂組成物の流動性が良好な状態となるように制御することができる。
また、本実施形態における充填材は、本樹脂組成物の流動性を向上させつつ、作製する半導体装置の機械的強度を向上させる観点から、平均粒径d50が5μm以下の充填材と、平均粒径d50が10μm以上の充填材とを併用することが好ましい。
なお、無機充填材の平均粒径d50は、たとえばレーザー回折式粒度分布測定装置(HORIBA社製、LA-500)を用いて測定することが可能である。
また、本樹脂組成物全量に対する充填材の含有量の上限値は、例えば、95質量%以下であることが好ましく、93質量%以下であることがより好ましく、90質量%以下であることがさらに好ましい。充填材の含有量を上記上限値以下とすることにより、本樹脂組成物の流動性の低下にともなう成形性の低下等を抑制することが可能となる。
硬化促進剤は、エポキシ樹脂のエポキシ基と、フェノール樹脂硬化剤のフェノール性水酸基との架橋反応を促進させるものであればよく、一般の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に使用するものを用いることができる。かかる硬化促進剤の具体例としては、有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、トリフェニルホスフィン等のホスフィン化合物とキノン化合物との付加物、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物等のリン原子含有化合物;1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン-7、ベンジルジメチルアミン、2-メチルイミダゾール等が例示されるアミジンや3級アミン、さらには前記アミジン、アミンの4級塩等の窒素原子含有化合物等が挙げられる。これらは、1種類を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本樹脂組成物全量に対する硬化促進剤の含有量の上限値は、例えば、1質量%以下であることが好ましく、0.8質量%以下であることがより好ましい。硬化促進剤の含有量を上記上限値以下とすることにより、本樹脂組成物の流動性が低下することを抑制できる。
本実施形態に係るカップリング剤としては、エポキシシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシラン、ビニルシラン等の各種シラン系化合物、チタン系化合物、アルミニウムキレート類、アルミニウム/ジルコニウム系化合物等の公知のカップリング剤を用いることができる。これらを例示すると、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β-メトキシエトキシ)シラン、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、γ-アニリノプロピルトリメトキシシラン、γ-アニリノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-[ビス(β-ヒドロキシエチル)]アミノプロピルトリエトキシシラン、N-β-(アミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-β-(アミノエチル)-γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-β-(アミノエチル)-γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-フェニル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、γ-(β-アミノエチル)アミノプロピルジメトキシメチルシラン、N-(トリメトキシシリルプロピル)エチレンジアミン、N-(ジメトキシメチルシリルイソプロピル)エチレンジアミン、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミンの加水分解物等のシラン系カップリング剤、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、イソプロピルトリ(N-アミノエチル-アミノエチル)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2-ジアリルオキシメチル-1-ブチル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート等のチタネート系カップリング剤が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、エポキシシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシランまたはビニルシランのシラン系化合物がより好ましい。また、充填性や成形性をより効果的に向上させる観点からは、N-フェニルγ-アミノプロピルトリメトキシシランに代表される2級アミノシランを用いることがとくに好ましい。
本樹脂組成物全量に対するカップリング剤の含有量の上限値は、例えば、1.0質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以下であることがより好ましい。
以下、参考形態の例を付記する。
1. 基板と、前記基板上に搭載される半導体素子との、少なくとも一方あるいは両方にフラックス残渣が付着した状態にある構造体において、前記半導体素子を封止するために用いる、固形の半導体封止用エポキシ樹脂組成物であって、
当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物が、
エポキシ樹脂と、
フェノール樹脂硬化剤と、
を含み、
前記エポキシ樹脂および前記フェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群のFedors法に基づく平均溶解度パラメーターSP1と、
前記エポキシ樹脂および前記フェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群の数平均分子量Mn1との間に、
Mn1≧-127×SP1+2074の関係が成り立つ、半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
2. 前記平均溶解度パラメーターSP1が10[(cal/cm3)0.5]以上17.5[(cal/cm3)0.5]以下である、1.に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
3. 前記数平均分子量Mn1が300以上550以下である、1.または2.に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
4. 前記平均溶解度パラメーターSP1と前記数平均分子量Mn1との間に、-127×SP1+2224≧Mn1≧-127×SP1+2074の関係が成り立つ、1.乃至3.のいずれか一つに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
5. 当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物全量に対する前記エポキシ樹脂の含有量が、7質量%以上19質量%以下である、1.乃至4.のいずれか一つに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
6. 当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物全量に対する前記フェノール樹脂硬化剤の含有量が、2.5質量%以上10.5質量%以下である、1.乃至5.のいずれか一つに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
7. 前記エポキシ樹脂が多官能エポキシ樹脂を含む、1.乃至6.のいずれか一つに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
8. カップリング剤をさらに含む、1.乃至7.のいずれか一つに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
9. 前記カップリング剤がN-フェニルγ-アミノプロピルトリメトキシシランである、8.に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
10. 基板と、
前記基板上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子を封止する封止材と、
を有し、
前記封止材が、1.乃至9.のいずれか一つに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置。
実施例1~8および比較例1~8のそれぞれについて、次の方法で、半導体封止用エポキシ樹脂組成物を調製した。
まず、表1に従い配合された各原材料を常温でミキサーを用いて混合した後、70~100℃でロール混練した。次いで、得られた混練物を冷却した後、これを粉砕することにより、粉粒状の樹脂組成物を所望の半導体封止用エポキシ樹脂組成物として得た。表1中における各成分の詳細は後述のとおりである。また、表1中の単位は、質量%である。
また、得られた実施例及び比較例に係る半導体封止用エポキシ樹脂組成物中に含まれているエポキシ樹脂およびフェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群の平均溶解度パラメーターSP1と、該樹脂群の数平均分子量Mn1との関係性は、図3に示すとおりである。
・エポキシ樹脂1:ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬社製、NC-3000、数平均分子量Mn:462)
・エポキシ樹脂2:ビフェニル型エポキシ樹脂(三菱化学社製、YL6677、数平均分子量Mn:248)
・エポキシ樹脂3:トリフェノールメタン型エポキシ樹脂(三菱化学社製、E-1032H60、数平均分子量Mn:419)
・エポキシ樹脂4:ビフェニル型エポキシ樹脂(三菱化学社製、YX4000H、数平均分子量Mn:202)
・エポキシ樹脂5:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製、YL6810、数平均分子量Mn:225)
・エポキシ樹脂6:ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬社製、NC-2000L、数平均分子量Mn:535)
・エポキシ樹脂1の溶解度パラメーター:12.0[(cal/cm3)0.5]
・エポキシ樹脂2の溶解度パラメーター:12.4[(cal/cm3)0.5]
・エポキシ樹脂3の溶解度パラメーター:12.6[(cal/cm3)0.5]
・エポキシ樹脂4の溶解度パラメーター:11.0[(cal/cm3)0.5]
・エポキシ樹脂5の溶解度パラメーター:10.9[(cal/cm3)0.5]
・エポキシ樹脂6の溶解度パラメーター:12.0[(cal/cm3)0.5]
・フェノール樹脂硬化剤1:ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂(日本化薬社製、GPH-65、数平均分子量Mn:454)
・フェノール樹脂硬化剤2:ホルムアルデヒドで変性したトリフェニルメタン型フェノール樹脂(エア・ウォーター社製、HE910-20、数平均分子量Mn:310)
・フェノール樹脂硬化剤3:ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂(明和化成社製、MEH-7851H、数平均分子量Mn:643)
・フェノール樹脂硬化剤4:フェニルアラルキル型フェノール樹脂(三井化学社製、XLC-4L、数平均分子量Mn:488)
・フェノール樹脂硬化剤5:フェノールノボラック樹脂(住友ベークライト社製、PR-HF3、数平均分子量Mn:392)
・フェノール樹脂硬化剤6:トリスフェノールメタン型フェノールノボラック樹脂(明和化成社製、MEH-7500、数平均分子量Mn:299)
・フェノール樹脂硬化剤1の溶解度パラメーター:13.4[(cal/cm3)0.5]
・フェノール樹脂硬化剤2の溶解度パラメーター:16.7[(cal/cm3)0.5]
・フェノール樹脂硬化剤3の溶解度パラメーター:13.4[(cal/cm3)0.5]
・フェノール樹脂硬化剤4の溶解度パラメーター:13.9[(cal/cm3)0.5]
・フェノール樹脂硬化剤5の溶解度パラメーター:16.4[(cal/cm3)0.5]
・フェノール樹脂硬化剤6の溶解度パラメーター:17.0[(cal/cm3)0.5]
・硬化促進剤:トリフェニルホスフィン(北興化学工業社製、TPP)
・無機充填材:球状溶融シリカ(電気化学工業社製、FB-950FC、平均粒径d50:24μm、粒径75μmを超える粗大粒子の含有量:0.5重量%以下)
・着色剤:カーボンブラック(三菱化学社製、MA-600)
・カップリング剤:N-フェニルγ-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学社製、KBM-573)
・離型剤:カルナバワックス(日興ファイン社製、ニッコウカルナバ)
まず、フラックス剤(千住金属工業社製、デルタラックスGTN-68)を、塗布膜の厚みが30μmとなるように、フラックス台上に塗布して、フラックス剤からなる樹脂層をフラックス台上に形成した。次に、バンプサイズ100μm、バンプ間隔200μmの半田バンプが設けられた15mm角(バンプ数:3872個)の半導体素子を準備した。次いで、準備した半導体素子における半田バンプが設けられている側の面を、上述した方法で形成したフラックス剤からなる樹脂層と接触させることにより、半導体素子に設けられた半田バンプにフラックス剤を付着させた。
その後、フラックス剤が半田バンプに付着した状態にある半導体素子を、42アロイ基板上に押し付けることにより、42アロイ基板上にフラックス剤を付着させた。フラックスが付着した42アロイ基板上を300℃で10秒間加熱することにより、42アロイ基板上にフラックス残渣を形成させた。
次に、上述した方法で作製したフラックス残渣が形成された42アロイ基板上に、半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物を成形することにより所望の試験構造体を得た。硬化物の成形は、圧縮成形機を用いて、金型温度175℃、成形圧力8.3MPa、硬化時間2分の条件で行った。
上述した方法で作製した各実施例および各比較例に係る半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて、図2を参照して実施形態において説明した手順で、図1に示す半導体装置を作製した。
まず、フラックス剤(千住金属工業社製、デルタラックスGTN-68)を、塗布膜の厚みが30μmとなるように、フラックス台上に塗布して、フラックス剤からなる樹脂層をフラックス台上に形成した。次に、バンプサイズ100μm、バンプ間隔200μmの半田バンプが設けられた15mm角(バンプ数:3872個)の半導体素子を準備した。次いで、準備した半導体素子における半田バンプが設けられている側の面を、上述した方法で形成したフラックス剤からなる樹脂層と接触させることにより、半導体素子に設けられた半田バンプにフラックス剤を付着させた。
その後、フラックス剤が半田バンプに付着した状態にある半導体素子を、基板上における所望の位置に配置してから、300℃で10秒間加熱することにより、半田バンプを基板に溶融接合させた。また、このとき、基板と、半導体素子との接合界面近傍にフラックス残渣が付着していることを確認した。
次に、上述した方法で作製した半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて、基板上に搭載した半導体素子を封止成形することにより、図1に示す半導体装置を得た。半導体素子の封止成形は、圧縮成形機を用いて、金型温度175℃、成形圧力8.3MPa、硬化時間2分の条件で行った後、得られた2次パッケージを175℃、4時間の条件で後硬化(ポストキュア)することにより実施した。
○:半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物の表面および42アロイ基板の表面にフラックス残渣が存在しておらず、成形前に付着していたフラックス残渣が半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物中に取り込まれたことが確認された。
×:半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物の表面および42アロイ基板の表面にフラックス残渣が存在しており、成形前に付着していたフラックス残渣が半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物中に取り込まれずに残存していることが確認された。
評価結果は下記の通りとした。
○:半導体装置に備わる封止材中にはボイドが存在しておらず、該封止材の成形時に未充填部分を発生させることなく、半導体封止用エポキシ樹脂組成物を所望の領域に完全充填できたことが確認された。
×:半導体装置に備わる封止材中にはボイドが存在しており、該封止材の成形時に未充填部分が発生し、半導体封止用エポキシ樹脂組成物を所望の領域に対して十分に充填できなかったことが確認された。
評価結果は下記の通りとした。
○:半導体装置が備える封止材中には剥離が発生していなかった。
×:半導体装置が備える封止材と、基板および半導体素子との接合界面領域に剥離が発生していた。
20 半導体素子
30 半田バンプ
50 封止材
100 半導体装置
200 フラックス剤
300 フラックス残渣
なお、下記式4において、a1は、第1のエポキシ樹脂の数平均分子量を指す。a2は、第2のエポキシ樹脂の数平均分子量を指す。b1は、第1の硬化剤の数平均分子量を指す。b2は、第2の硬化剤の数平均分子量を指す。Ca1は、樹脂群全量に対する第1のエポキシ樹脂の含有量を指す。Ca2は、樹脂群全量に対する第2のエポキシ樹脂の含有量を指す。Cb1は、樹脂群全量に対する第1の硬化剤の含有量を指す。Cb2は、樹脂群全量に対する第2の硬化剤の含有量を指す。
式4:数平均分子量Mn1=a1×Ca1+a2×Ca2+b1×Cb1+b2×Cb2
Claims (14)
- 基板と、前記基板上に搭載される半導体素子との、少なくとも一方あるいは両方にフラックス残渣が付着した状態にある構造体において、前記半導体素子を封止するために用いる、固形の半導体封止用エポキシ樹脂組成物であって、
当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物が、
エポキシ樹脂と、
フェノール樹脂硬化剤と、
を含み、
前記エポキシ樹脂および前記フェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群のFedors法に基づく平均溶解度パラメーターSP1と、
前記エポキシ樹脂および前記フェノール樹脂硬化剤からなる樹脂群の数平均分子量Mn1との間に、
Mn1≧-127×SP1+2074の関係が成り立つ、半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 - 前記平均溶解度パラメーターSP1が10[(cal/cm3)0.5]以上17.5[(cal/cm3)0.5]以下である、請求項1に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記数平均分子量Mn1が300以上550以下である、請求項1または2に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記平均溶解度パラメーターSP1と前記数平均分子量Mn1との間に、-127×SP1+2224≧Mn1≧-127×SP1+2074の関係が成り立つ、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物全量に対する前記エポキシ樹脂の含有量が、7質量%以上19質量%以下である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物中の前記フェノール樹脂硬化剤の含有量が、当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物全量に対して、2.5質量%以上10.5質量%以下である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記エポキシ樹脂が多官能エポキシ樹脂を含む、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、充填材をさらに含む、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記充填材の平均粒径d50は、0.01μm以上150μm以下である、請求項8に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物中の前記充填材の含有量が、当該半導体封止用エポキシ樹脂組成物全量に対して、35質量%以上95質量%以下である、請求項8または9に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記フラックス残渣は、カルボキシル基またはフェノール性水酸基を含む化合物である、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 当該封止用エポキシ樹脂組成物は、カップリング剤をさらに含む、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記カップリング剤がN-フェニルγ-アミノプロピルトリメトキシシランである、請求項12に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 基板と、
前記基板上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子を封止する封止材と、
を有し、
前記封止材が、請求項1乃至13のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016150431 | 2016-07-29 | ||
JP2016150431 | 2016-07-29 | ||
JP2017112860A JP2018024832A (ja) | 2016-07-29 | 2017-06-07 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017112860A Division JP2018024832A (ja) | 2016-07-29 | 2017-06-07 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022066237A true JP2022066237A (ja) | 2022-04-28 |
Family
ID=61098086
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017112860A Pending JP2018024832A (ja) | 2016-07-29 | 2017-06-07 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2022024581A Pending JP2022066237A (ja) | 2016-07-29 | 2022-02-21 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017112860A Pending JP2018024832A (ja) | 2016-07-29 | 2017-06-07 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2018024832A (ja) |
KR (1) | KR102340215B1 (ja) |
CN (1) | CN107663357B (ja) |
TW (1) | TW201815954A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11158599B2 (en) * | 2018-04-16 | 2021-10-26 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Method for manufacturing electronic device |
KR102408992B1 (ko) * | 2019-09-11 | 2022-06-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 밀봉된 반도체 소자 |
JPWO2021153691A1 (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | ||
WO2021241515A1 (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-02 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | コンパウンド、成型体及び硬化物 |
JPWO2021241513A1 (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-02 | ||
JPWO2021241521A1 (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-02 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07179567A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-18 | Matsushita Electron Corp | 樹脂封止材料及び樹脂封止型電子デバイス |
JP2001270977A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置 |
JP2002275228A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-09-25 | Sumikin Chemical Co Ltd | フェノール系重合体、その製造方法及びそれを用いたエポキシ樹脂用硬化剤 |
JP2002327034A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-11-15 | Sumitomo Chem Co Ltd | レゾルシン・低級アルデヒド樹脂水溶液の製造方法 |
JP2004203910A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Kyocera Chemical Corp | 封止用樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 |
JP2004352954A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2004359855A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2005516090A (ja) * | 2002-01-31 | 2005-06-02 | ナショナル スターチ アンド ケミカル インベストメント ホールディング コーポレーション | 非フローアンダーフィル組成物 |
JP2005154694A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用難燃性エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2006016576A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2008163138A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
WO2011114687A1 (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-22 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体封止用樹脂組成物およびこれを用いた半導体装置 |
JP2012077214A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Namics Corp | エポキシ樹脂組成物及びそれを使用した半導体装置 |
JP2012241151A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Nitto Denko Corp | 電子部品封止用樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
JP2015203066A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | 京セラケミカル株式会社 | 封止用樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
JP2016040383A (ja) * | 2015-12-07 | 2016-03-24 | 日立化成株式会社 | 電子部品封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
JP2016056379A (ja) * | 2016-01-12 | 2016-04-21 | 日立化成株式会社 | 電子部品封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004107583A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び素子を備えた電子部品装置 |
US20050233122A1 (en) * | 2004-04-19 | 2005-10-20 | Mikio Nishimura | Manufacturing method of laminated substrate, and manufacturing apparatus of semiconductor device for module and laminated substrate for use therein |
JP2006335828A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP5277609B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2013-08-28 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2008214433A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2008226926A (ja) | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 液状封止樹脂組成物、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2008274083A (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 液状エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
KR101497736B1 (ko) * | 2007-08-28 | 2015-03-02 | 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 | 다층 프린트 배선판용 절연 수지 조성물, 기재 부착 절연 수지 시트, 다층 프린트 배선판 및 반도체 장치 |
SG172036A1 (en) * | 2008-12-10 | 2011-07-28 | Sumitomo Bakelite Co | Resin composition for encapsulating semiconductor, method for producing semiconductor device and semiconductor device |
JP5762081B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-08-12 | 新光電気工業株式会社 | リードフレーム及び半導体装置 |
CN105377980A (zh) * | 2013-07-11 | 2016-03-02 | 住友电木株式会社 | 半导体装置的制造方法以及半导体装置 |
JP6322966B2 (ja) * | 2013-11-19 | 2018-05-16 | 住友ベークライト株式会社 | 封止用樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP6880567B2 (ja) * | 2016-04-26 | 2021-06-02 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置の製造方法 |
JP6891639B2 (ja) * | 2016-07-14 | 2021-06-18 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体封止用エポキシ樹脂組成物および樹脂セット |
-
2017
- 2017-06-07 JP JP2017112860A patent/JP2018024832A/ja active Pending
- 2017-07-17 TW TW106123748A patent/TW201815954A/zh unknown
- 2017-07-25 KR KR1020170094409A patent/KR102340215B1/ko active IP Right Grant
- 2017-07-31 CN CN201710644708.4A patent/CN107663357B/zh active Active
-
2022
- 2022-02-21 JP JP2022024581A patent/JP2022066237A/ja active Pending
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07179567A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-18 | Matsushita Electron Corp | 樹脂封止材料及び樹脂封止型電子デバイス |
JP2001270977A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置 |
JP2002327034A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-11-15 | Sumitomo Chem Co Ltd | レゾルシン・低級アルデヒド樹脂水溶液の製造方法 |
JP2002275228A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-09-25 | Sumikin Chemical Co Ltd | フェノール系重合体、その製造方法及びそれを用いたエポキシ樹脂用硬化剤 |
JP2005516090A (ja) * | 2002-01-31 | 2005-06-02 | ナショナル スターチ アンド ケミカル インベストメント ホールディング コーポレーション | 非フローアンダーフィル組成物 |
JP2004203910A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Kyocera Chemical Corp | 封止用樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 |
JP2004352954A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2004359855A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2005154694A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用難燃性エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2006016576A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2008163138A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
WO2011114687A1 (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-22 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体封止用樹脂組成物およびこれを用いた半導体装置 |
JP2012077214A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Namics Corp | エポキシ樹脂組成物及びそれを使用した半導体装置 |
JP2012241151A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Nitto Denko Corp | 電子部品封止用樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
JP2015203066A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | 京セラケミカル株式会社 | 封止用樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
JP2016040383A (ja) * | 2015-12-07 | 2016-03-24 | 日立化成株式会社 | 電子部品封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
JP2016056379A (ja) * | 2016-01-12 | 2016-04-21 | 日立化成株式会社 | 電子部品封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107663357B (zh) | 2021-12-31 |
KR102340215B1 (ko) | 2021-12-17 |
KR20180013751A (ko) | 2018-02-07 |
CN107663357A (zh) | 2018-02-06 |
TW201815954A (zh) | 2018-05-01 |
JP2018024832A (ja) | 2018-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2022066237A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
TWI796293B (zh) | 半導體密封用環氧樹脂組成物及半導體裝置之製造方法 | |
JP2002146160A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2017179185A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP7230936B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置の製造方法 | |
JP2009114325A (ja) | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び半導体装置 | |
TW201930455A (zh) | 球柵陣列封裝體密封用的環氧樹脂組成物、環氧樹脂硬化物和電子零件裝置 | |
JP6398167B2 (ja) | 封止用樹脂組成物、半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2021178880A (ja) | 封止用樹脂組成物、ウエハーレベルパッケージ、パネルレベルパッケージおよび電子装置 | |
JP2022003130A (ja) | 封止用樹脂組成物、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
TWI763877B (zh) | 半導體密封用熱硬化性環氧樹脂薄片、半導體裝置及其製造方法 | |
JP2018172545A (ja) | 圧縮成形用固形封止材、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2020152844A (ja) | 封止用樹脂組成物および電子装置 | |
JP4967353B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
WO2018150779A1 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート及び半導体装置並びに半導体装置の製造方法 | |
JP2018039992A (ja) | 樹脂組成物および該樹脂組成物を用いた三次元積層型半導体装置 | |
KR102244206B1 (ko) | 에폭시 수지 조성물 및 전자 장치 | |
JP5167587B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
WO2019131096A1 (ja) | ボールグリッドアレイパッケージ封止用エポキシ樹脂組成物、エポキシ樹脂硬化物及び電子部品装置 | |
KR102264524B1 (ko) | 봉지용 수지 조성물, 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2022098698A (ja) | 樹脂組成物およびパワーモジュール | |
JP2008106182A (ja) | エポキシ樹脂組成物と接着剤 | |
JPWO2005080502A1 (ja) | アンダーフィル用液状エポキシ樹脂組成物および同組成物を用いて封止した半導体装置 | |
JP6750659B2 (ja) | 封止用樹脂組成物、および半導体装置 | |
TWI653252B (zh) | 密封用樹脂組成物、半導體裝置及半導體裝置之製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220322 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230620 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231212 |