JP2022031882A - マスクアセンブリ及び関連する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2015年2月3日出願の米国出願第62/111,380号、2015年2月20日出願の米国出願第62/118,922号、及び2015年12月21日出願の米国出願第62/270,330号の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
Claims (58)
- マスクと、ペリクルフレームにより保持された取り外し可能なEUV透明ペリクルと、を備えたマスクアセンブリを受け取るステップと、
前記ペリクルフレーム及びEUV透明ペリクルを前記マスクから取り外すステップと、
検査ツールを使用して前記マスク上のマスクパターンを検査するステップと、
その後ペリクルフレームにより保持されたEUV透明ペリクルを前記マスクに装着するステップと、
を含む、方法。 - 前記ペリクルフレーム及びEUV透明ペリクルを前記マスクから取り外した後、前記検査ツールの検査ビームに対して実質的に透明な材料から形成された代替ペリクルを保持する代替ペリクルフレームを前記マスクに装着することと、
検査ツールを使用して前記マスク上の前記マスクパターンを検査した後、前記ペリクルフレームにより保持された前記EUV透明ペリクルを前記マスクに装着するために、前記代替ペリクルフレームにより保持された前記代替ペリクルを前記マスクから取り外すことと、
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ペリクルフレームを前記マスクから取り外すことは、装着構造を装着機構から係合解除することを含み、
前記ペリクルフレームを前記マスクに装着することは、前記装着構造を装着機構に係合させることを含む、請求項1又は2に記載の方法。 - 前記装着機構は、前記マスクに結合され、
前記装着構造は、前記ペリクルフレームに結合される、請求項3に記載の方法。 - 前記装着機構は、前記マスク上の前記マスクパターンを検査した後にペリクルフレームにより保持されたEUV透明ペリクルの後の装着に使用できるように、前記装着構造を前記装着機構から係合解除することにより前記ペリクルフレーム及びEUV透明ペリクルを前記マスクから取り外した後にも前記マスクに結合される、請求項3又は4に記載の方法。
- 前記装着構造は、突起を含む装着機構と係合するように構成されたロック部材を含む、請求項3~5のいずれか一項に記載の方法。
- 後で前記マスクに装着される前記EUV透明ペリクル及びペリクルフレームは、前記マスクから取り外されたのと同じ前記EUV透明ペリクル及びペリクルフレームである、請求項1~6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記代替ペリクルは、前記マスク検査ツールにより使用されるEUV以外の放射ビームに対して実質的に透明である、請求項1~7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マスク検査ツールにより使用される前記EUV以外の放射ビームはDUV放射ビームである、請求項8に記載の方法。
- 前記代替ペリクルは、前記マスク検査ツールにより使用される粒子ビームに対して実質的に透明である、請求項2~7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マスク検査ツールにより使用される前記粒子ビームは、電子ビームである、請求項10に記載の方法。
- 前記代替ペリクルは、前記代替ペリクルのためだけに使用され、前記EUV透明ペリクルの装着には使用されない装着構造を使用して前記マスクに装着される、請求項2~11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記代替ペリクルは、前記EUV透明ペリクルの前記装着機構が前記代替ペリクルに接触しないように前記マスクに装着される、請求項12に記載の方法。
- 前記マスクは、前記方法の初めから終わりまでクリーンな環境にある、請求項1~13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記方法は更に、密封されたコンテナ内の前記マスクアセンブリをリソグラフィ装置からペリクル着脱ツールに移送することを含む、請求項1~14のいずれか一項に記載の方法。
- 前記方法は更に、密封されたコンテナ内の前記マスク、前記ペリクルアセンブリ又は前記マスクアセンブリから選択された1つ以上をペリクル着脱ツールからマスク検査ツールに移送することを含む、請求項1~15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マスク検査ツールは、前記マスクアセンブリが同じ環境に留まるように前記ペリクル着脱ツールと一体化される、請求項1~14のいずれか一項に記載の方法。
- 前記方法は更に、前記マスク又は前記ペリクルを洗浄することを含む、請求項1~17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記装着機構は、洗浄中前記マスクに結合されたままである、請求項18に記載の方法。
- 前記装着機構は、洗浄前に前記マスクから取り外される、請求項18に記載の方法。
- 前記密封されたコンテナは、前記ペリクルのたるみを収容するように構成された凹部を有する、請求項15又は16に記載の方法。
- 前記コンテナの前記凹部と前記マスクアセンブリの前記ペリクルの面との間の間隔は、0.5mm~2mmである、請求項21に記載の方法。
- 前記コンテナの前記凹部と前記マスクアセンブリの前記ペリクルの面との間の間隔は、0.5mm~1mmである、請求項22に記載の方法。
- マスクと、前記マスクに取り外し可能に装着できるように構成されたペリクルフレームにより保持されたEUV透明ペリクルと、を備えたマスクアセンブリを受け取るステップと、
前記マスクから前記ペリクルフレーム及びEUV透明ペリクルを取り外すステップと、
前記マスクに取り外し可能に装着できるように構成された代替ペリクルフレームにより保持され、前記EUV透明ペリクルを形成するために使用された材料と異なる、検査ツールの検査ビームに対して実質的に透明な材料から形成された代替ペリクルを、前記マスクに装着するステップと、
前記検査ツールで前記検査ビームを使用して前記マスク上のマスクパターンを検査するステップと、
前記マスクから前記代替ペリクルを取り外すステップと、
その後ペリクルフレームにより保持されたEUV透明ペリクルを前記マスクに装着するステップと、
を含む、方法。 - 前記代替ペリクルフレームは、前記EUV透明ペリクルフレームと異なる位置で前記マスクに装着される、請求項24に記載の方法。
- マスクアセンブリを内部に配置することができる開口と、
前記マスクアセンブリを内部に位置決めする時に前記開口を塞ぐシールと、を備え、
前記ペリクルの外側へのたるみを収容するように構成されたフロアを有する、
マスクアセンブリコンテナ。 - 前記フロアは、前記マスクアセンブリが前記密封されたコンテナに保持される時、ペリクル面から0.5mm~1mm、又はそれ以上離れている、請求項26に記載のマスクアセンブリコンテナ。
- ペリクルフレーム装着構造を受けるように構成された突起を備えたマスクであって、
前記突起の底面は、前記ベースの表面にリセスを画定するリップを有し、
前記突起は、前記リセス内の接着剤により前記マスクに装着される、マスク。 - 前記接着剤の量は、前記リセスの容積未満である、請求項28に記載のマスク。
- 前記接着剤は、前記リセス及び前記マスクが前記接着剤を保持する実質的に密閉された空間を形成するように前記突起を前記マスクに引き寄せる、請求項28又は29に記載のマスク。
- 前記突起は、前記リセス及び前記マスクが接着剤のガス放出のために部分的に開放された空間を形成するように前記リップに開口を有する、請求項28又は29に記載のマスク。
- 前記突起は、前記マスクの基板材料に装着される、請求項28~31のいずれか一項に記載のマスク。
- ペリクルアセンブリを内部に配置することができる開口と、
前記ペリクルアセンブリを内部に位置決めする時に前記開口を塞ぐシールと、を備え、
前記ペリクルの外側へのたるみを収容するように構成されたフロアを有する、
ペリクルアセンブリコンテナ。 - ペリクルフレーム装着構造を受けるように構成された少なくとも3つの突起を備えたマスクであって、
前記突起は、前記マスクに取り外し可能に装着される、マスク。 - 前記突起は、前記マスクの基板材料に装着される、請求項33に記載のマスク。
- ペリクルアセンブリを作製する方法であって、
基板上に膜を形成し、基板材料をエッチング除去して前記膜を露出することにより基板周辺部により支持されたペリクル膜を設けることと、
前記膜に接する前記基板の一部に支持フレームを装着することと、
前記基板の一方の側に第1のカバーを、前記基板の反対側に第2のカバーを設け、これらを共締めして前記ペリクル膜を含む密封された環境を形成することと、
を含む、方法。 - 前記第1のカバーは、前記基板に押し付けられる、請求項36に記載の方法。
- 前記第2のカバーは、前記基板に押し付けられる、請求項36又は37に記載の方法。
- 前記方法は更に、前記第1及び第2のカバーを超えて突出する前記基板の部分を切り取ることを含む、請求項36~38のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板は、シリコンウェーハである、請求項36~39のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2のカバーは、前記支持フレームが前記密封された環境内に位置決めされるように前記支持フレームを覆う、請求項36~40のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1のカバーは、前記ペリクル膜のたるみを収容するように構成されたリセスを含む、請求項36~41のいずれか一項に記載の方法。
- 前記方法は、ペリクル製造場所で実行される、請求項36~42のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項36~43のいずれか一項に記載の方法と、
ペリクル位置決めツールを前記支持フレームに装着し、前記第2のカバーを前記ペリクルアセンブリから取り外し、前記支持フレームをマスクに装着し、前記ペリクル位置決めツールを使用して前記ペリクルアセンブリから前記第1のカバーを取り外す、ことによりマスクアセンブリを形成することと、
を含む、方法。 - 前記ペリクル位置決めツールは、前記支持フレームに設けられた盲穴に受容されるアームを含む、請求項44に記載の方法。
- 前記方法は、マスクショップで実行される、請求項44又は45に記載の方法。
- 前記方法は更に、前記マスクアセンブリをコンテナ内に入れることと、前記コンテナを密封することと、を含む、請求項44~46のいずれか一項に記載の方法。
- 基板境界部から延びるペリクル膜と、
前記基板境界部に装着された支持フレームと、
第1のカバーと、
第2のカバーと、を備え、
前記第1及び第2のカバーは、前記基板境界部の反対側に設けられ、前記ペリクル膜を含む密封された環境を形成する、
ペリクルアセンブリ。 - 前記第2のカバーは、前記支持フレームが前記密封された環境内に位置決めされるように前記支持フレームを覆う、請求項48に記載のペリクルアセンブリ。
- 前記第1及び第2のカバーは、前記基板境界部に押し付けられる、請求項48又は49に記載のペリクルアセンブリ。
- ペリクルフレーム装着構造を受けるように構成された突起を備えたマスクであって、
前記突起のベース面は、溝を有し、これにより接着剤が前記溝と前記マスクとにより囲まれた容積に毛管作用により引き込まれ、
前記突起は、前記接着剤により前記マスクに装着され、
前記溝は、接着剤のガス放出のために部分的に開放された、マスク。 - ペリクルアセンブリ及びマスクを備えたマスクアセンブリのペリクルを監視する方法であって、
前記ペリクルの特性を測定し、ペリクル破損のリスク増大に関連する前記特性の変化を監視することと、
斯かる変化が見られた時に前記ペリクルアセンブリを前記マスクから取り外し、新しいペリクルアセンブリに交換することと、
を含む、方法。 - 前記ペリクルの前記特性は、前記マスクアセンブリが前記リソグラフィ装置内でin situにある時に測定される、請求項52に記載の方法。
- 前記特性は、前記ペリクルの赤外線放射である、及び/又は、前記マスクアセンブリのスキャン動作中の前記ペリクルのたわみである、請求項53に記載の方法。
- 前記方法は、前記マスクアセンブリをマスクアセンブリ検査ツールに移送し、次に、前記マスクアセンブリ検査ツールを使用して前記ペリクルの前記特性を測定することを含む、請求項52~54のいずれか一項に記載の方法。
- 次の1つ以上の測定技術:EUV反射測定、EUV透過測定、偏光解析法、ラマン分光法、X線反射測定、顕微鏡検査、共振測定、走査熱負荷測定、ポンプダウン又は通気時のペリクルのたわみ、を用いて前記ペリクルの1つ以上の特性を測定する、請求項55に記載の方法。
- 前記方法は、前記ペリクルアセンブリを前記マスクから取り外すことと、前記ペリクルアセンブリをペリクルアセンブリ検査ツールに移送することと、それから前記ペリクルアセンブリ検査ツールを使用して前記ペリクルの前記特性を測定することと、を含む、請求項52~56のいずれか一項に記載の方法。
- 次の1つ以上の測定技術:EUV透過測定(マスクから取り外されたペリクルアセンブリ)、EUV反射測定、複屈折測定、偏光解析法、フーリエ変換赤外分光法、ラマン分光法、X線反射測定、顕微鏡検査、共振測定、圧力差によるペリクル変位の測定、ポンプダウン又は通気時のたわみ、走査熱負荷測定、フレーム変形測定、を用いて前記ペリクルの1つ以上の特性を測定する、請求項57に記載の方法。
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