JP5821100B2 - フォトリソグラフィマスクによって処理されるウェーハ上の誤差を補正する方法及び装置 - Google Patents
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Description
ここで、括弧内の項は、上述したように試験マスクA及びBの試験印刷から決定される。
Claims (11)
- 少なくとも1つのフォトリソグラフィマスクによって処理されるウェーハ上の少なくとも1つの誤差を補正する方法であって、
a.ウェーハ処理サイトにおいてウェーハ上の前記少なくとも1つのオーバーレイ誤差を測定する段階と、
b.線形変換をすることによって前記少なくとも1つのフォトリソグラフィマスクの前記少なくとも1つのオーバーレイ誤差の広域オーバーレイ誤差を修正する段階と、
c.前記少なくとも1つのフォトリソグラフィマスク内に少なくとも1つの局所的持続性修正配列を導入することによって前記少なくとも1つのフォトリソグラフィマスクの前記少なくとも1つのオーバーレイ誤差の局所オーバーレイ誤差を修正する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも1つの誤差を測定する段階は、チップの有効区域内(ダイ内)の該少なくとも1つの誤差を測定する段階を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの誤差をダイ内測定する段階は、ウェーハ上の少なくとも1つの2次元構造及び/又は少なくとも1つの3次元構造のシフトを測定する段階、及び/又は画像ベース又はモデルベースの計測法を用いた少なくとも1つの2次元構造及び/又は少なくとも1つの3次元構造の楕円率を測定する段階を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオーバーレイ誤差を補正する段階は、前記少なくとも1つの第1のフォトリソグラフィマスク内に少なくとも1つの第1の局所的持続性修正配列を導入する段階、及び/又は前記少なくとも1つの第2のフォトリソグラフィマスク内に少なくとも1つの第2の局所的持続性修正配列を導入する段階を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオーバーレイ誤差は、多重パターン化リソグラフィ工程における前記第1のフォトリソグラフィマスクの少なくとも1つの臨界寸法均一性誤差及び/又は前記第2のフォトリソグラフィマスクの少なくとも1つのパターン配置誤差を含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記ウェーハ上の前記少なくとも1つの誤差を測定する段階は、
a.試験パターンを有する試験マスクを生成する段階と、
b.前記ウェーハ上に前記試験マスクの前記試験パターンを印刷してエッチングする段階と、
c.前記ウェーハの前記試験パターン上にフォトリソグラフィマスクパターンを印刷してエッチングする段階と、
d.前記少なくとも1つの誤差を前記フォトリソグラフィマスクの少なくとも1つのパターン要素と前記試験マスクの少なくとも1つのそれぞれの前記試験パターン要素との差として決定する段階と、
を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法。 - 前記試験マスクを印刷及びエッチングする段階、及び前記フォトリソグラフィマスクを印刷及びエッチングする段階は、単一パターン化又は多重パターン化リソグラフィ工程を含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記単一又は多重パターン化リソグラフィ工程に使用される前記フォトリソグラフィマスクのパターン要素に対する前記試験マスクの複数の試験パターン要素のシフトからオーバーレイ誤差を決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の方法。
- 自己整列二重パターン化工程に使用される前記ウェーハ上の犠牲層に前記少なくとも1つの局所的持続性修正配列を導入する段階を更に含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも1つのフォトリソグラフィマスクによって処理されるウェーハ上の少なくとも1つの誤差を補正するための装置であって、
a.ウェーハ処理サイト及び/又はマスク工場に位置付けられ、かつウェーハ上の前記少なくとも1つの誤差を測定するようになった少なくとも1つの計測システムと、
b.前記少なくとも1つの誤差に基づいて少なくとも1つの誤差補正手段に対するパラメータを計算するようになった少なくとも1つの計算手段と、
c.超短光パルスを印加することによって前記フォトリソグラフィマスク内に少なくとも1つの局所的持続性修正配列を導入するようになった前記少なくとも1つの誤差を補正する手段と、
を含み、
前記装置は、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の方法を実行するようになっていることを特徴とする装置。 - 前記少なくとも1つの計測システムは、超高精度台、少なくとも1つのレーザ源及び/又は他の光源、及び紫外波長範囲で作動する少なくとも1つの電荷結合デバイスカメラ及び/又は走査電子顕微鏡及び/又は散乱計及び/又は画像ベース又はモデルベースの計測システムを含むことを特徴とする請求項10に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201061424422P | 2010-12-17 | 2010-12-17 | |
US61/424,422 | 2010-12-17 | ||
PCT/EP2011/071654 WO2012080008A2 (en) | 2010-12-17 | 2011-12-02 | Method and apparatus for correcting errors on a wafer processed by a photolithographic mask |
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JP2014504376A JP2014504376A (ja) | 2014-02-20 |
JP5821100B2 true JP5821100B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=45315753
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013543632A Active JP5821100B2 (ja) | 2010-12-17 | 2011-12-02 | フォトリソグラフィマスクによって処理されるウェーハ上の誤差を補正する方法及び装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9436080B2 (ja) |
JP (1) | JP5821100B2 (ja) |
KR (2) | KR101983525B1 (ja) |
WO (1) | WO2012080008A2 (ja) |
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2011
- 2011-12-02 KR KR1020187021871A patent/KR101983525B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-02 KR KR1020137017957A patent/KR101885394B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-02 JP JP2013543632A patent/JP5821100B2/ja active Active
- 2011-12-02 US US13/994,556 patent/US9436080B2/en active Active
- 2011-12-02 US US13/310,071 patent/US20120154773A1/en not_active Abandoned
- 2011-12-02 WO PCT/EP2011/071654 patent/WO2012080008A2/en active Application Filing
-
2016
- 2016-08-05 US US15/229,234 patent/US10061192B2/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US11599018B2 (en) | 2018-12-03 | 2023-03-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle and method for producing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120154773A1 (en) | 2012-06-21 |
WO2012080008A3 (en) | 2012-08-09 |
JP2014504376A (ja) | 2014-02-20 |
US20160342080A1 (en) | 2016-11-24 |
KR20130132907A (ko) | 2013-12-05 |
US20140036243A1 (en) | 2014-02-06 |
KR101885394B1 (ko) | 2018-08-03 |
US10061192B2 (en) | 2018-08-28 |
WO2012080008A2 (en) | 2012-06-21 |
KR20180088527A (ko) | 2018-08-03 |
KR101983525B1 (ko) | 2019-05-28 |
US9436080B2 (en) | 2016-09-06 |
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