JP2021500756A - 高アスペクト比構造のスティクションを防ぐためのシステムおよび方法、および/または、高アスペクト比の構造を修復するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 129
- 230000008439 repair process Effects 0.000 title description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 154
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 153
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 102
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 15
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 25
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 22
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 15
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical compound C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002061 nanopillar Substances 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017855 NH 4 F Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 239000003708 ampul Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
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- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
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- B08B3/022—Cleaning travelling work
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
- B08B9/0804—Cleaning containers having tubular shape, e.g. casks, barrels, drums
- B08B9/0813—Cleaning containers having tubular shape, e.g. casks, barrels, drums by the force of jets or sprays
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02299—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
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- H01L21/02299—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment
- H01L21/02312—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
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Abstract
Description
本出願は、2017年10月23日出願の米国仮出願第62/575,705号の利益を主張する。上記出願の全ての開示は、参照として本明細書に援用される。
[適用例1]
基板の表面上に配置された高アスペクト比(HAR)構造を処理するための方法であって、
a)第1のリンス液を用いて前記基板の前記表面をスピン洗浄することと、
b)前記第1のリンス液を前記基板の前記表面から振り落とすことと、
c)前記第1のリンス液が分配された後に、フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導くことと、
を含む、方法。
[適用例2]
適用例1に記載の方法であって、
前記フッ化水素は第1の反応性成分であり、前記ガス混合物は第2の反応性成分をさらに含む、方法。
[適用例3]
適用例2に記載の方法であって、
前記第2の反応性成分は、陽子受容体である、および/または、
前記第2の反応性成分は、OH基を含む
の少なくともいずれかである、方法。
[適用例4]
適用例3に記載の方法であって、
前記第2の反応性成分は、水蒸気、アルコール蒸気、アンモニア、およびアミンからなる群より選択される、方法。
[適用例5]
適用例2に記載の方法であって、
c)は、b)の後に実施される、方法。
[適用例6]
適用例2に記載の方法であって、
c)は、a)の後の60秒以内に実施される、方法。
[適用例7]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、アルコールおよび不活性キャリアガスをさらに含む、方法。
[適用例8]
適用例7に記載の方法であって、
前記不活性キャリアガスは分子状窒素を含み、前記アルコールはイソプロピルアルコールを含む、方法。
[適用例9]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、前記基板の前記表面から1mmから40mmの範囲に位置するノズルによって供給される、方法。
[適用例10]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、1m/sから50m/sの範囲の分配速度でノズルから供給される、方法。
[適用例11]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、1slmから20slmの流量でノズルから供給される、方法。
[適用例12]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物を供給するノズルの開口部の断面積は、3mm 2 から30mm 2 の範囲である、方法。
[適用例13]
適用例1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、20℃から400℃の範囲の温度で実施される、方法。
[適用例14]
適用例1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、50℃から150℃の範囲の温度で実施される、方法。
[適用例15]
適用例1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、前記基板が900hPaから1100hPaの範囲の所定圧力で維持されるときに実施される、方法。
[適用例16]
適用例1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、前記基板が装置の回転チャックに配置された状態で実施される、方法。
[適用例17]
適用例16に記載の方法であって、
前記装置は、さらに、
第1のリンス液源に接続された第1の液体分配器と、
溶剤蒸気を供給するための蒸気供給器と、
前記ガス混合物を前記基板の表面に分配するためにガス源および前記蒸気供給器に接続されたガス分配器と、を備える、方法。
[適用例18]
適用例17に記載の方法であって、
前記ガス分配器は、シャワーヘッドを備える、方法。
[適用例19]
適用例17に記載の方法であって、
前記ガス分配器は、
アームと、
ノズルと、
前記ガス混合物が供給される間に前記アームを前記基板にわたって走査するモータと、
を備える、方法。
[適用例20]
適用例1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、100℃を超える温度で実施され、
前記ガス混合物は、アンモニアをさらに含む、方法。
[適用例21]
適用例1に記載の方法であって、
前記第1のリンス液は、有機水混和性溶剤を含む、方法。
[適用例22]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、0.05体積%から10体積%の範囲のフッ化水素、0.05体積%から10体積%の範囲のアルコール、および80体積%から99.9体積%の範囲の不活性ガスを含む、方法。
[適用例23]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、0.5体積%から5体積%の範囲のフッ化水素、0.5体積%から2.5体積%の範囲のアルコール、および92.5体積%から99体積%の範囲の不活性ガスを含む、方法。
[適用例24]
適用例1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、0.1体積%から5体積%の範囲のフッ化水素、0.1体積%から5体積%の範囲のアルコール、および90体積%から99.8体積%の範囲の不活性ガスを含む、方法。
[適用例25]
基板の表面上に配置された高アスペクト比(HAR)構造を処理するための装置であって、
前記基板を回転させるための回転チャックと、
前記回転チャックが前記基板を回転させている際に、第1のリンス液を用いて前記基板の前記表面を洗浄するための第1のノズルと、
前記第1のリンス液が分配された後に、フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導くための第2のノズルと、
を備える、装置。
[適用例26]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
第1のリンス液源に接続された第1の液体分配器と、
第2の反応性成分を供給するための蒸気供給器と、
前記ガス混合物を前記基板の表面に分配するためにガス源および前記蒸気供給器に接続されたガス分配器と、
を備える、装置。
[適用例27]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記フッ化水素と第2の反応性成分とを混合するための混合マニホルドを備える、装置。
[適用例28]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記回転チャックを取り囲む開放チャンバを備える、装置。
[適用例29]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記回転チャックを取り囲む密閉チャンバを備える、装置。
[適用例30]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
溶剤蒸気を供給するための蒸気供給器を備え、
前記ガス混合物は、前記溶剤蒸気をさらに含む、装置。
[適用例31]
適用例30に記載の装置であって、
前記溶剤蒸気は、水蒸気およびアルコール蒸気からなる群より選択される、装置。
[適用例32]
適用例25に記載の装置であって、
前記第1のリンス液が前記基板から振り落とされた後に、前記第2のノズルは、前記フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導く、装置。
[適用例33]
適用例25に記載の装置であって、
前記第2のノズルは、前記第1のリンス液が分配された後の60秒以内に、前記フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導く、装置。
[適用例34]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記基板を20℃から400℃の範囲の温度まで加熱する加熱器を備える、装置。
[適用例35]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記基板を50℃から150℃の範囲の温度まで加熱する加熱器を備える、装置。
[適用例36]
適用例25に記載の装置であって、
前記基板は、900hPaから1100hPaの範囲の所定圧力で維持される、装置。
[適用例37]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記基板を100℃を超える温度まで加熱する加熱器を備え、
前記ガス混合物は、アンモニアをさらに含む、装置。
[適用例38]
適用例25に記載の装置であって、さらに、
前記回転チャックの回転と、前記第1のノズルからの前記第1のリンス液の分配と、前記第2のノズルからの前記ガス混合物の分配とを制御するコントローラを備える、装置。
[適用例39]
適用例25に記載の装置であって、
前記第2のノズルは、前記基板の前記表面から1mmから40mmの範囲に位置する、装置。
[適用例40]
適用例25に記載の装置であって、
前記ガス混合物は、1m/sから50m/sの範囲の分配速度で前記第2のノズルから供給される、装置。
[適用例41]
適用例25に記載の装置であって、
前記ガス混合物は、1slmから20slmの流量で前記第2のノズルから供給される、装置。
[適用例42]
適用例25に記載の装置であって、
前記第2のノズルの開口部の断面積は、3mm 2 から30mm 2 の範囲である、装置。
Claims (42)
- 基板の表面上に配置された高アスペクト比(HAR)構造を処理するための方法であって、
a)第1のリンス液を用いて前記基板の前記表面をスピン洗浄することと、
b)前記第1のリンス液を前記基板の前記表面から振り落とすことと、
c)前記第1のリンス液が分配された後に、フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導くことと、
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記フッ化水素は第1の反応性成分であり、前記ガス混合物は第2の反応性成分をさらに含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記第2の反応性成分は、陽子受容体である、および/または、
前記第2の反応性成分は、OH基を含む
の少なくともいずれかである、方法。 - 請求項3に記載の方法であって、
前記第2の反応性成分は、水蒸気、アルコール蒸気、アンモニア、およびアミンからなる群より選択される、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
c)は、b)の後に実施される、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
c)は、a)の後の60秒以内に実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、アルコールおよび不活性キャリアガスをさらに含む、方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
前記不活性キャリアガスは分子状窒素を含み、前記アルコールはイソプロピルアルコールを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、前記基板の前記表面から1mmから40mmの範囲に位置するノズルによって供給される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、1m/sから50m/sの範囲の分配速度でノズルから供給される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、1slmから20slmの流量でノズルから供給される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物を供給するノズルの開口部の断面積は、3mm2から30mm2の範囲である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、20℃から400℃の範囲の温度で実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、50℃から150℃の範囲の温度で実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、前記基板が900hPaから1100hPaの範囲の所定圧力で維持されるときに実施される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、前記基板が装置の回転チャックに配置された状態で実施される、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記装置は、さらに、
第1のリンス液源に接続された第1の液体分配器と、
溶剤蒸気を供給するための蒸気供給器と、
前記ガス混合物を前記基板の表面に分配するためにガス源および前記蒸気供給器に接続されたガス分配器と、を備える、方法。 - 請求項17に記載の方法であって、
前記ガス分配器は、シャワーヘッドを備える、方法。 - 請求項17に記載の方法であって、
前記ガス分配器は、
アームと、
ノズルと、
前記ガス混合物が供給される間に前記アームを前記基板にわたって走査するモータと、
を備える、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
a)、b)、およびc)は、100℃を超える温度で実施され、
前記ガス混合物は、アンモニアをさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1のリンス液は、有機水混和性溶剤を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、0.05体積%から10体積%の範囲のフッ化水素、0.05体積%から10体積%の範囲のアルコール、および80体積%から99.9体積%の範囲の不活性ガスを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、0.5体積%から5体積%の範囲のフッ化水素、0.5体積%から2.5体積%の範囲のアルコール、および92.5体積%から99体積%の範囲の不活性ガスを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ガス混合物は、0.1体積%から5体積%の範囲のフッ化水素、0.1体積%から5体積%の範囲のアルコール、および90体積%から99.8体積%の範囲の不活性ガスを含む、方法。 - 基板の表面上に配置された高アスペクト比(HAR)構造を処理するための装置であって、
前記基板を回転させるための回転チャックと、
前記回転チャックが前記基板を回転させている際に、第1のリンス液を用いて前記基板の前記表面を洗浄するための第1のノズルと、
前記第1のリンス液が分配された後に、フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導くための第2のノズルと、
を備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
第1のリンス液源に接続された第1の液体分配器と、
第2の反応性成分を供給するための蒸気供給器と、
前記ガス混合物を前記基板の表面に分配するためにガス源および前記蒸気供給器に接続されたガス分配器と、
を備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記フッ化水素と第2の反応性成分とを混合するための混合マニホルドを備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記回転チャックを取り囲む開放チャンバを備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記回転チャックを取り囲む密閉チャンバを備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
溶剤蒸気を供給するための蒸気供給器を備え、
前記ガス混合物は、前記溶剤蒸気をさらに含む、装置。 - 請求項30に記載の装置であって、
前記溶剤蒸気は、水蒸気およびアルコール蒸気からなる群より選択される、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記第1のリンス液が前記基板から振り落とされた後に、前記第2のノズルは、前記フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導く、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記第2のノズルは、前記第1のリンス液が分配された後の60秒以内に、前記フッ化水素含有ガス混合物を前記基板の前記表面に導く、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記基板を20℃から400℃の範囲の温度まで加熱する加熱器を備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記基板を50℃から150℃の範囲の温度まで加熱する加熱器を備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記基板は、900hPaから1100hPaの範囲の所定圧力で維持される、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記基板を100℃を超える温度まで加熱する加熱器を備え、
前記ガス混合物は、アンモニアをさらに含む、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、さらに、
前記回転チャックの回転と、前記第1のノズルからの前記第1のリンス液の分配と、前記第2のノズルからの前記ガス混合物の分配とを制御するコントローラを備える、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記第2のノズルは、前記基板の前記表面から1mmから40mmの範囲に位置する、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記ガス混合物は、1m/sから50m/sの範囲の分配速度で前記第2のノズルから供給される、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記ガス混合物は、1slmから20slmの流量で前記第2のノズルから供給される、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、
前記第2のノズルの開口部の断面積は、3mm2から30mm2の範囲である、装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762575705P | 2017-10-23 | 2017-10-23 | |
US62/575,705 | 2017-10-23 | ||
PCT/US2018/055436 WO2019083735A1 (en) | 2017-10-23 | 2018-10-11 | SYSTEMS AND METHODS FOR PREVENTING THE STATIC FRICTION OF HIGH-SHAPE RATIO STRUCTURES AND / OR REPAIRING HIGH-SHAPE RATIO STRUCTURES |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021500756A true JP2021500756A (ja) | 2021-01-07 |
JP2021500756A5 JP2021500756A5 (ja) | 2021-11-18 |
JP7412340B2 JP7412340B2 (ja) | 2024-01-12 |
Family
ID=66247965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020542530A Active JP7412340B2 (ja) | 2017-10-23 | 2018-10-11 | 高アスペクト比構造のスティクションを防ぐためのシステムおよび方法、および/または、高アスペクト比の構造を修復するためのシステムおよび方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11854792B2 (ja) |
EP (1) | EP3701561A4 (ja) |
JP (1) | JP7412340B2 (ja) |
KR (1) | KR20200063242A (ja) |
CN (1) | CN111279454A (ja) |
SG (1) | SG11202003653WA (ja) |
TW (1) | TWI767074B (ja) |
WO (1) | WO2019083735A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6875811B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2021-05-26 | 株式会社Screenホールディングス | パターン倒壊回復方法、基板処理方法および基板処理装置 |
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JP6818484B2 (ja) * | 2016-09-26 | 2021-01-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄方法、基板洗浄レシピ作成方法、および基板洗浄レシピ作成装置 |
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JP6938248B2 (ja) * | 2017-07-04 | 2021-09-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
JP6914138B2 (ja) * | 2017-07-26 | 2021-08-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP7116534B2 (ja) * | 2017-09-21 | 2022-08-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
-
2018
- 2018-10-11 EP EP18871205.3A patent/EP3701561A4/en not_active Withdrawn
- 2018-10-11 US US16/757,732 patent/US11854792B2/en active Active
- 2018-10-11 WO PCT/US2018/055436 patent/WO2019083735A1/en unknown
- 2018-10-11 CN CN201880068993.2A patent/CN111279454A/zh active Pending
- 2018-10-11 KR KR1020207014365A patent/KR20200063242A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-10-11 SG SG11202003653WA patent/SG11202003653WA/en unknown
- 2018-10-11 JP JP2020542530A patent/JP7412340B2/ja active Active
- 2018-10-22 TW TW107137123A patent/TWI767074B/zh active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11854792B2 (en) | 2023-12-26 |
WO2019083735A1 (en) | 2019-05-02 |
TW201931432A (zh) | 2019-08-01 |
US20210193456A1 (en) | 2021-06-24 |
KR20200063242A (ko) | 2020-06-04 |
SG11202003653WA (en) | 2020-05-28 |
EP3701561A4 (en) | 2021-07-21 |
EP3701561A1 (en) | 2020-09-02 |
JP7412340B2 (ja) | 2024-01-12 |
TWI767074B (zh) | 2022-06-11 |
CN111279454A (zh) | 2020-06-12 |
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