JP2021022729A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2021022729A5
JP2021022729A5 JP2020112018A JP2020112018A JP2021022729A5 JP 2021022729 A5 JP2021022729 A5 JP 2021022729A5 JP 2020112018 A JP2020112018 A JP 2020112018A JP 2020112018 A JP2020112018 A JP 2020112018A JP 2021022729 A5 JP2021022729 A5 JP 2021022729A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
roller
rollers
transport
presser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020112018A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7324734B2 (ja
JP2021022729A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to KR1020200089545A priority Critical patent/KR102404501B1/ko
Priority to CN202010702618.8A priority patent/CN112309933B/zh
Priority to TW109124725A priority patent/TWI734565B/zh
Publication of JP2021022729A publication Critical patent/JP2021022729A/ja
Publication of JP2021022729A5 publication Critical patent/JP2021022729A5/ja
Priority to JP2023066690A priority patent/JP7434640B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7324734B2 publication Critical patent/JP7324734B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2020112018A 2019-07-25 2020-06-29 基板搬送装置及び基板処理装置 Active JP7324734B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200089545A KR102404501B1 (ko) 2019-07-25 2020-07-20 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치
CN202010702618.8A CN112309933B (zh) 2019-07-25 2020-07-21 基板搬送装置及基板处理装置
TW109124725A TWI734565B (zh) 2019-07-25 2020-07-22 基板搬送裝置及基板處理裝置
JP2023066690A JP7434640B2 (ja) 2019-07-25 2023-04-14 基板搬送装置及び基板処理装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019137160 2019-07-25
JP2019137160 2019-07-25

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023066690A Division JP7434640B2 (ja) 2019-07-25 2023-04-14 基板搬送装置及び基板処理装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2021022729A JP2021022729A (ja) 2021-02-18
JP2021022729A5 true JP2021022729A5 (enExample) 2022-02-28
JP7324734B2 JP7324734B2 (ja) 2023-08-10

Family

ID=74574472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020112018A Active JP7324734B2 (ja) 2019-07-25 2020-06-29 基板搬送装置及び基板処理装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7324734B2 (enExample)
TW (1) TWI734565B (enExample)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7324823B2 (ja) * 2021-01-22 2023-08-10 芝浦メカトロニクス株式会社 基板搬送装置及び基板処理装置
JP7419320B2 (ja) * 2021-09-30 2024-01-22 芝浦メカトロニクス株式会社 基板処理装置
CN117509132B (zh) * 2023-12-18 2025-12-05 青岛新松机器人自动化有限公司 一种载片翘曲后自动矫正推片装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3306954B2 (ja) * 1993-02-15 2002-07-24 松下電器産業株式会社 リフロー装置
JPH08288250A (ja) * 1995-04-19 1996-11-01 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の液切り装置
JP3336349B2 (ja) * 1996-12-16 2002-10-21 株式会社オーシャン 回路基板の表面処理装置
JP4022288B2 (ja) * 1997-09-02 2007-12-12 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP2004345744A (ja) * 2003-05-20 2004-12-09 Hitachi Zosen Corp 空気浮上装置および空気浮上式搬送装置
JP5260370B2 (ja) * 2009-03-19 2013-08-14 住友精密工業株式会社 基板処理装置
CN201478284U (zh) * 2009-08-03 2010-05-19 扬博科技股份有限公司 基板输送装置
WO2011121632A1 (ja) * 2010-03-29 2011-10-06 キヤノンアネルバ株式会社 搬送機構及びこれを用いた真空処理装置と電子デバイスの製造方法
JP2014175497A (ja) * 2013-03-08 2014-09-22 Toshiba Corp 処理装置、および処理方法
JP2016167475A (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
JP2016207847A (ja) * 2015-04-23 2016-12-08 凸版印刷株式会社 基板の搬送方法および搬送装置
CN109641246A (zh) * 2016-08-25 2019-04-16 康宁股份有限公司 用于清洁玻璃基材的方法和设备
CN207903511U (zh) * 2018-02-13 2018-09-25 睿明科技股份有限公司 基板传送设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2021022729A5 (enExample)
CN101971320B (zh) 用来输送扁平的输送物品的、具有至少一个传送带的传送带系统及方法
CN1867805B (zh) 用于对处理过的物品进行干燥的装置和方法
TWI671252B (zh) 滾輪總成及其段差輪以及採用滾輪總成的基板傳輸方法
US9731515B2 (en) Variable humidity drying
CN101330031A (zh) 基片转移装置
TWI734565B (zh) 基板搬送裝置及基板處理裝置
JP7434640B2 (ja) 基板搬送装置及び基板処理装置
TW201834952A (zh) 玻璃板的製造方法及保護薄片的分離裝置
JP2021009233A5 (enExample)
CN108249159A (zh) 浮起搬运装置以及基板处理装置
KR20180044539A (ko) 건조장치
JP2012166552A (ja) 印刷されたかまたはニス引きされたシートに乾燥、パウダ供給またはパウダ吹き付けを行う装置
JP5997203B2 (ja) 枚葉ワークの除塵装置
JP2023064423A5 (enExample)
JP2019038680A5 (enExample)
JP2012251734A (ja) タイルシートの乾燥装置
KR20180051040A (ko) 급기 건조 특성을 가지는 컨베이어 타입 건조기
KR20160005851A (ko) 기판 반송 장치
KR101474129B1 (ko) 롤투롤 인쇄 장치에서의 공기의 분사와 흡입을 이용한 필름 유도 장치
JPH10337848A (ja) 乾燥器
JP2015230936A5 (enExample)
CN108137240A (zh) 感测输送机中的物品
JP7734406B2 (ja) 乾燥装置
CN114864436B (zh) 基板处理装置