JP2020506433A - パターン配置補正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 基板上のパターン配置を補正する方法であって、
基板の3つの基準点を検出することと、
3つのダイ位置点の複数のセットであって、各セットがダイの配向を示し、前記3つのダイ位置点の複数のセットが、第1のダイに関連付けられた第1のセットと第2のダイに関連付けられた第2のセットを含む、3つのダイ位置点の複数のセットを、検出することと、
前記基板上の前記第1のダイと前記第2のダイの配向についてローカル変換を計算することと、
前記3つのダイ位置点の複数のセットから、同じセットのメンバーではない3つの配向点を選択することと、
前記点のセットから選択された前記3つの配向点から前記基板の第1のグローバル変換を計算することと、
前記基板の前記第1のグローバル変換と前記ローカル変換を保存することと、
を含む方法。 - リソグラフィツールに前記基板を配置することと、
前記3つの基準点を検出することと、
前記3つの基準点から第2のグローバル変換を計算することと、
前記第2のグローバル変換を前記ローカル変換と組み合わせて、前記基板の有効な変換を計算することと、
スキャン中にデジタルマスクの補正として前記有効な変換を適用することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記有効な変換を適用して、ダイごとのデジタルマスク位置合わせ補正を生成することにより、前記ダイの配向を補正することと、
前記ダイに再配線リソグラフィ層をプリントすることと、
をさらに含む、請求項2に記載の方法。 - モデルベースのパターン配置補正とともに、前記ダイごとのデジタルマスクを位置合わせすることと、
前記基板の反りと前記ダイの配向を補正することと、
をさらに含む、請求項3に記載の方法。 - 前記基板の前記第1のグローバル変換を計算することが、
(a)前記基板のx/y回転の値を測定することと、
(b)前記基板の拡大の値を測定することと、
(c)前記基板上の前記ダイの配向の値を測定することと、
(d)(a)、(b)、および(c)で測定された前記値からグローバル変換を計算することと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記測定することが、限られた数のダイで実行される、請求項5に記載の方法。
- 前記点のセットから3つの点を選択することが、
3つのアライメントマークを選択すること
を含む、請求項1に記載の方法。 - プロセッサ、および
メモリ
を備えるシステムであって、前記メモリが、基板上のパターン配置を補正するための動作を実行するように構成されたアプリケーションプログラムを含み、前記動作が、
基板の3つの基準点を検出することと、
3つのダイ位置点の複数のセットであって、各セットがダイの配向を示し、前記3つのダイ位置点の複数のセットが、第1のダイに関連付けられた第1のセットと第2のダイに関連付けられた第2のセットを含む、3つのダイ位置点の複数のセットを、検出することと、
前記基板上の前記第1のダイと前記第2のダイの配向についてローカル変換を計算することと、
前記3つのダイ位置点の複数のセットから、同じセットのメンバーではない3つの配向点を選択することと、
前記点のセットから選択された前記3つの配向点から前記基板の第1のグローバル変換を計算することと、
前記基板の前記第1のグローバル変換と前記ローカル変換を保存することと、
を含む、システム。 - リソグラフィツールに前記基板を配置することと、
前記3つの基準点を検出することと、
前記3つの基準点から第2のグローバル変換を計算することと、
前記第2のグローバル変換を前記ローカル変換と組み合わせて、前記基板の有効な変換を計算することと、
スキャン中にデジタルマスクの補正として前記有効な変換を適用することと、
をさらに含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記有効な変換を適用して、ダイごとのデジタルマスク位置合わせ補正を生成することにより、前記ダイの配向を補正することと、
前記ダイに再配線リソグラフィ層をプリントすることと、
をさらに含む、請求項9に記載のシステム。 - モデルベースのパターン配置補正とともに、前記ダイごとのデジタルマスクを位置合わせすることと、
前記基板の反りと前記ダイの配向を補正することと、
をさらに含む、請求項10に記載のシステム。 - 前記基板の前記第1のグローバル変換を計算することが、
(a)前記基板のx/y回転の値を測定することと、
(b)前記基板の拡大の値を測定することと、
(c)前記基板上の前記ダイの配向の値を測定することと、
(d)(a)、(b)、および(c)で測定された前記値からグローバル変換を計算することと、
を含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記点のセットから3つの点を選択することが、
3つのアライメントマークを選択すること
を含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記測定することが、限られた数のダイで実行される、請求項13に記載のシステム。
- 前記点のセットから3つの点を選択することが、
3つのアライメントマークを選択すること
を含む、請求項8に記載のシステム。
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