JP2020150260A - オプトエレクトロニクス部品 - Google Patents
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Abstract
Description
2 層状構造
3 第1の側面
4 第2の側面
5 第3の側面
6 第4の側面
7 上面
8 リッジ構造
9 活性領域
10 レーザ・モード
11 第1の凹部
12 第2の凹部
13 第1の底面
14 第2の底面
15 ブレーキング方向
16 第3の凹部
17 第3の底面
18 壁面
19 角度
20 端部
21 上部
22 下部
23 第1の壁面
24 第2の底面
25 第2の壁面
26 第4の凹部
27 第5の凹部
28 長さ
31 第7の凹部
32 第7の底面
33 第7の壁面
34 別の第7の壁面
35 距離
36 キャリア
37 中心面
40 転位
41 第2の転位
42 第3の転位
44 不動態化層
45 壁面
46 第1の別の壁面
47 第2の別の壁面
48 第3の別の壁面
49 深さ
50 別の第6の壁面
51 別の第6の壁面
52 第1の分離線
53 第2の分離線
54 ウェハ
Claims (19)
- 電磁放射を生じさせるための活性領域(9)を備えた層状構造(2)を備えるオプトエレクトロニクス部品であって、
前記活性領域(9)は、平面内に配置され、
前記層状構造(2)は、上面(7)と4つの側面(3、4、5、6)とを備え、
第1および第3の側面(1、3)は互いに対向して配置され、第2および第4の側面(4、5)は互いに対向して配置され、
前記層状構造(2)の前記上面(7)上にストリップ型のリッジ構造(8)が配置され、
前記リッジ構造(8)は、前記第1の側面(3)と前記第3の側面(5)との間に延び、
前記第1の側面(3)は、電磁放射のための放射面を構成し、
前記リッジ構造(8)に沿って横方向に前記層状構造(2)の前記上面(7)内に第1の凹部(11)が導入され、
前記第1の凹部(11)内に、前記第2の側面(4、50、51)まで延びる第2の凹部(12)が導入されており、
少なくとも1つの第3の凹部(16)が、前記リッジ構造(8)に沿って横方向に前記第1の凹部(11)の底面(13)内に導入されている、
オプトエレクトロニクス部品。 - 前記第1の凹部(11)は、前記第1の側面(3)内に、および/または前記第3の側面(5)内に導入され、
前記第2の凹部(12)は、前記第1の側面(3)内に、および/または前記第3の側面(5)内に導入されている、
請求項1に記載の部品。 - 前記第3の凹部(16)は、前記第1の側面(3)内に、および/または前記第3の側面(5)内に導入されている、
請求項1に記載の部品。 - 前記第3の凹部(16)は、実質的に前記第2の側面(4)に平行に配置され、前記第3の凹部(16)が、前記第1の側面(3)から距離を置いて、および前記第3の側面(5)から距離を置いて配置されている、
請求項1に記載の部品。 - 前記第1の凹部(11)は、前記第2の側面(4)の長手方向に沿って延び、前記第1の側面(3)から距離を置いて、および前記第3の側面(5)から距離を置いて配置されている、
請求項1および4のいずれか一項に記載の部品。 - 前記第1の凹部(11)は、前記第2の側面(4)の長手方向側の1%から99%の範囲にわたって、特に、前記第2の側面(4)の長手方向側の50%から95%の範囲にわたって延びている、
請求項5に記載の部品。 - 前記第2の凹部(12)は、前記第2の側面(4)の長手方向に沿って延び、前記第2の凹部(12)が、前記第1の側面(3)から距離を置いて、および前記第3の側面(5)から距離を置いて配置されている、
請求項1および4〜6のいずれか一項に記載の部品。 - 前記第1の凹部(11)は、前記第2の側面(4)に沿って前記オプトエレクトロニクス部品の全長にわたって前記第1の側面(3)から前記第3の側面(5)まで延び、
前記第1の凹部(11)は、前記第2の側面(4)まで延び、
前記第2の凹部(12)は、前記第1の凹部(11)の第1の底面(13)内に導入され、
前記第2の凹部(12)は、前記第2の側面(4)に沿って延び、前記第2の凹部(12)が、前記第1の側面(3)から距離を置いて、および前記第3の側面(5)から距離を置いて構成され、前記第2の凹部(12)が前記第2の側面(4)内に入る、
請求項1に記載の部品。 - 前記第1の凹部(11)は、前記第2の側面(4)に沿って前記オプトエレクトロニクス部品の全長にわたって前記第1の側面(3)から前記第3の側面(5)まで延び、前記第1の凹部(11)の領域において、前記第2の側面(4)が、横方向に凹んだ壁面(50、51)を備え、
前記第2の凹部(12)は、横方向に前記第1の凹部(11)内に、および前記第2の側面(4)の前記凹んだ壁面(50、51)内に導入され、前記第2の凹部(12)が、前記層状構造(2)の前記上面(7)内に導入され、前記第2の凹部(12)が、前記第2の側面(4、50、51)に沿って延び、前記第2の凹部(12)が、前記第1の側面(3)から距離を置いて、および前記第3の側面(5)から距離を置いて構成される、
請求項1に記載の部品。 - 別の凹部(31)が、前記第1の側面(3)内に、および前記層状構造(2)の前記上面(7)内に導入され、
前記別の凹部(31)は、前記リッジ構造(8)と、前記凹んだ壁面(51)との間に配置されている、
請求項9に記載の部品。 - 前記別の凹部(31)は、底面(32)を備え、
前記底面(32)は、前記上面(7)と、前記第2の凹部(12)の第2の底面(14)のレベルとの間に配置されている、
請求項10に記載の部品。 - 第2の別の凹部(31)は、前記第3の側面(5)内に、および前記層状構造(2)の前記上面(7)内に導入され、前記別の凹部(31)が、前記リッジ構造(8)と、前記凹んだ壁面(50)との間に配置されている、
請求項10または11に記載の部品。 - 前記第2の別の凹部(31)は、底面(32)を備え、
前記底面(32)は、前記層状構造(2)の前記上面(7)と、前記第2の凹部(12)の第2の底面(14)のレベルとの間に配置されている、
請求項12に記載の部品。 - 前記第2の凹部(12)の第2の底面が、前記第1の凹部(11)の第1の底面(13)と同じレベルで配置されている、
請求項8〜13のいずれか一項に記載の部品。 - 前記第2の凹部(12)は、第2の側面(4)の長手方向側の1%から99%の範囲にわたって延びている、
請求項7〜14のいずれか一項に記載の部品。 - 前記第2の凹部(12)は、前記第1の凹部(11)の底面(13)に対して前記第3の凹部(16)よりも大きい深さ(48)を備える、
請求項4〜7のいずれか一項に記載の部品。 - 前記第2の凹部(12)は、前記上面(7)に対して、0.5μmから50μmの間の範囲の、特に1μmから10μmの間の範囲の深さ(48)を備える、
請求項1〜16のいずれか一項に記載の部品。 - 前記第2の凹部(12)は、前記上面(7)に対して2μmから6μmの間の範囲の深さ(48)を備える、
請求項17に記載の部品。 - 前記第2の側面(4)および前記第4の側面(6)が、両側に、中心面(37)に対して特に鏡面対称に構成され、および/または、前記リッジ構造(8)に対して互いに対向する側に配置された前記上面(7)が、前記中心面(37)に対して特に鏡面対称に構成されている、
請求項1〜18のいずれか一項に記載の部品。
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