PL221135B1 - Struktura lasera półprzewodnikowego - Google Patents
Struktura lasera półprzewodnikowegoInfo
- Publication number
- PL221135B1 PL221135B1 PL399454A PL39945412A PL221135B1 PL 221135 B1 PL221135 B1 PL 221135B1 PL 399454 A PL399454 A PL 399454A PL 39945412 A PL39945412 A PL 39945412A PL 221135 B1 PL221135 B1 PL 221135B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- layer
- zno
- active area
- layers
- waveguide
- Prior art date
Links
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
Description
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest struktura lasera półprzewodnikowego na podłożu z Al2O3, SiC, Si lub z innych związków pochodnych, w której azotki grupy III (lub ich związki pochodne) tworzą warstwę falowodową, natomiast obszar aktywny wykonany jest z warstw tlenkowych ZnO. Struktura według wynalazku charakteryzuje się podwyższonym współczynnikiem Γ określającym zawartość promieniowania w obszarze czynnym.
Znane struktury laserów tego typu są najczęściej wytwarzane metodami epitaksjalnymi, na podłożach z azotków grupy III układu okresowego. Zwłaszcza tlenek cynku jest materiałem atrakcyjnym z punktu widzenia zastosowania przemysłowego, ponieważ jest to materiał tani, ogólnie dostępny, zaliczany jednocześnie do półprzewodników szeroko-przerwowych. Stabilną strukturą sieci krystalicznej kryształów ZnO, w temperaturze pokojowej, jest struktura wurcytu. Atutami tego materiału jest szeroka przerwa energetyczna, (wynosząca w temperaturze pokojowej 3,37 eV) oraz wysoka energia wiązania ekscytonu równa 60 meV w kryształach objętościowych. Cechy te powodują, że ZnO jest świetnym materiałem do zastosowań w optoelektronice.
Podstawowym problemem na jaki napotyka rozwój optoelektroniki opartej na tlenku cynku są trudności z otrzymaniem ZnO o typie przewodnictwa p. Jest to związane z niską energią tworzenia defektów kompensujących przewodnictwo typu p, takich jak Zni oraz Vo oraz z często występującym silnym domieszkowaniem wodorem. Wpływ na problemy z uzyskaniem p - typu przewodnictwa ma również niska rozpuszczalność domieszek akceptorowych. Potencjalne akceptory w ZnO to lit, sód, miedź, srebro oraz niektóre pierwiastki z kolumny V układu okresowego jak azot, fosfor czy arsen. Na podstawie licznych publikacji (na przykład zbiorcza praca Ózgϋr'a Journal of Applied Physics 98, 041301 (2005)) można odnotować ogromny postęp w uzyskiwaniu ZnO typu p, zwłaszcza przez domieszkowanie azotem i antymonem. Jednakże, problem uważa się nadal za nierozwiązany.
Pewnym wyjściem wydaje się być użycie innego półprzewodnika jako warstwy o typie przewodnictwa p, jak na przykład azotku galu. To rozwiązanie opisane jest w patencie “Light emitting diode and laser having n-type ZnO layer and p-type semiconductor layer” (US006806503B2). W przypadku struktury laserowej, w której obszar aktywny (obszar z którego zachodzi emisja światła) znajduje się w warstwie tlenków (ZnO/ZnMgO), użycie azotków jako warstwy typu p jest niekorzystne ze względu na dużą różnicę współczynników załamania, pomiędzy warstwą aktywną a podłożem.
Lasery półprzewodnikowe (diody laserowe) mają postać złącza p-n, w którym generacja światła jest wywołana przez prąd elektryczny przepływający przez złącze. Ponieważ diody laserowe charakteryzują się małymi rozmiarami, to mogą być łatwo sterowane prądem i umożliwiają uzyskanie promieniowania od podczerwieni do bliskiego nadfioletu. Diody takie są wielowarstwowymi strukturami półprzewodnikowymi, w których z jednej strony występuje materiał typu n (nadmiar elektronów w paśmie przewodnictwa) a z drugiej strony materiał typu p (nadmiar dziur w paśmie walencyjnym). Przy dostatecznie dużym prądzie (powyżej prądu progowego) następuje inwersja obsadzeń i wywołana tym akcja laserowa. W znanej diodzie, wykonanej w układzie ZnO/ZnMgO na warstwie azotków grupy III różnica współczynników załamania jest niekorzystna, co uniemożliwia powstanie światłowodu i powoduje, że światło propaguje wewnątrz warstw azotkowych, a nie wewnątrz warstwy ZnO/ZnMgO. Lasery z obszarem czynnym wykonanym z materiałów tlenkowych mogłyby potencjalnie konkurować z laserami, w których obszar czynny tworzą warstwy azotkowe. Pierwszym elementem przewagi laserów z tlenkowymi obszarami czynnymi jest energia wiązania ekscytonu, która w objętościowym ZnO wynosi 60 meV (dla GaN wartość ta wynosi 25 meV). W studniach kwantowych wartość ta wzrasta w przybliżeniu o dwa i pół razy. Drugim atutem struktur ZnO/ZnMgO jest znacznie wyższe wzmocnienie. Jak wykazały obliczenia opublikowane przez Park'a, Jpn. J. Appl. Phys., 44. L1403 (2005), wartość wzmocnienia jest trzykrotnie wyższa dla struktury ZnO/Zn0,8Mg0,2O niż w analogicznej strukturze GaN/Ga0.8Al0.2O. Jest to związane z niższą wartością wbudowanych pól elektrycznych w strukturach ZnO/ZnMgO, a więc - w konsekwencji - mniejszą przestrzenną separacją dziur i elektronów i wyższą wartością optycznych elementów macierzowych.
Dotychczasowe prace dotyczące emisji laserowej z tlenku cynku można podzielić na trzy grupy.
Do pierwszej można zaliczyć prace dotyczące akcji laserowej otrzymane na kryształach objętościowych i warstwach epitaksjalnych (publikacje: ϋ. Ózgϋr et al. Appl. Phys. Lett. 84, 3223 (2004). D. M Bagnall, et al. Appl. Phys. Lett. 70, 2230 (1997). Y. Chen et al. Appl. Phys. Lett. 78, 1469 (2001) oraz np. patent nr US 35055613 dotyczący konstrukcji lasera na objętościowych kryształach ZnO pompowanych wiązką elektronów).
PL 221 135 B1
Do drugiej grupy można zaliczyć prace wykonane na różnego typu strukturach kwantowych, pompowanych optycznie (publikacja Jian Cui, et al Appl. Phys. Lett. 89, 051108 (2006) oraz zgłoszenie patentowe US 20100080256A1 High performance ZnO based laser diodes.
Do trzeciej grupy należy zaliczyć doniesienie dotyczące struktur laserowych pompowanych elektrycznie Sheng Chu. et al. Appl. Phys. Lett. 93, 181106 (2008). Wykorzystując metodę MBL z plazmą wzbudzoną techniką ECR, na krzemowym podłożu osadzono warstwę ZnO o typie przewodnictwa p (domieszkując ZnO antymonem). Na tej warstwie osadzono następnie warstwy obszaru aktywnego.
Celem niniejszego wynalazku jest opracowanie struktury laserowej, o podwyższonej wartości współczynnika Γ opisującego procentową zawartość promieniowania w obszarze aktywnym.
Struktura lasera według wynalazku posiada podłoże z Al2O3, SiC lub Si, lub ze związków pochodnych. Obszar aktywny wykonany z warstw tlenkowych ZnO, trzyskładnikowych lub czteroskładnikowych warstw pochodnych względem ZnO, w postaci warstw epitaksjalnych tworzących studnie kwantowe lub warstw zawierających kropki kwantowe lub nanodruty oraz falowód.
W strukturze tej falowód jest przestrzennie odseparowany od obszaru aktywnego i znajduje się pomiędzy podłożem, a obszarem aktywnym w odległości mniejszej niż 500 nm od pierwszej studni kwantowej lub od warstwy zawierającej kropki kwantowe lub nanodruty obszaru czynnego. Grubość warstwy falowodowej wynosi od 2 do 200 nm. Korzystnie jest jeżeli warstwą falowodową jest warstwa GaN lub InGaN, AlGaN, InAIN, InAlGaN o grubości większej niż 20 nm.
Wartość współczynnika określającego zawartość promieniowania w obszarze czynnym Γ w przykładowej strukturze wynosi 4%, a to umożliwia wzbudzenie modu optycznego.
Wynalazek zostanie bliżej objaśniony na przykładzie wykonania pokazanym na rysunku. Fig. 1 rysunku prezentuje przekrój struktury, Fig. 2 - profil współczynnika załamania w tej strukturze oraz mod optyczny, Fig. 3 - zależność procentowego współczynnika zawartości promieniowania w warstwie aktywnej od grubości warstwy falowodowej.
Przykładowa struktura lasera posiada szafirowe (AI2O3) podłoże 1, na którym znajduje się odseparowany przestrzennie falowód 2 w postaci warstwy azotku ganu (GaN). Na warstwie falowodowej znajdują się warstwy obszaru czynnego ze studniami kwantowymi ZnO oddzielonymi warstwami barierowymi Zn0.8Mg0.2O 3. W przykładowej strukturze zastosowano warstwę falowodową 2 z GaN o grubości 60 nm umieszczoną w odległości 10 nm pod pierwszą studnią kwantową obszaru aktywnego, która zawiera studnie kwantowe ZnO. Na warstwach obszaru czynnego znajduje się warstwa o przewodnictwie typu n 4 tlenku cynku (ZnO) o grubości 500 nm.
Podkreślić należy, że warstwa falowodowa musi mieć odpowiednią grubość gdyż zastosowanie warstwy zbyt cienkiej albo jej brak uniemożliwi generację prowadzonego modu optycznego. Dzięki umieszczeniu w odpowiedniej odległości od obszaru aktywnego 3 struktury warstwy falowodowej 2 o dobranej odpowiednio grubości, uzyskano zawartość promieniowania w obszarze czynnym określaną wartością współczynnika Γ=4,5%, co w stosunku do znanych rozwiązań jest znacznym osiągnięciem (Fig. 3).
Claims (2)
- Zastrzeżenia patentowe1. Struktura lasera półprzewodnikowego posiadająca podłoże AI2O3, SiC, Si lub z innych związków pochodnych, falowód oraz obszar aktywny wykonany z warstw tlenkowych ZnO, trzyskładnikowych lub czteroskładnikowych warstw pochodnych względem ZnO, w postaci warstw epitaksjalnych tworzących studnie kwantowe lub warstw zawierających kropki kwantowe lub nanodruty, znamienna tym, że falowód (2) jest przestrzennie odseparowany od obszaru aktywnego (3) struktury i osadzony jest pomiędzy obszarem aktywnym (3) a podłożem (1) w odległości mniejszej niż 500 nm pod pierwszą studnią kwantową lub pod warstwą zawierającą kropki kwantowe lub nanodrutv obszaru czynnego (3), przy czym grubość warstwy (2) wynosi od 2 do 200 nm.
- 2. Struktura według zastrz. 1, znamienna tym, że falowód jest warstwą GaN, lub warstwą InGaN, AlGaN, InAlN lub InAlGaN, o grubości większej niż 20 nm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PL399454A PL221135B1 (pl) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | Struktura lasera półprzewodnikowego |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PL399454A PL221135B1 (pl) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | Struktura lasera półprzewodnikowego |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
PL399454A1 PL399454A1 (pl) | 2013-12-09 |
PL221135B1 true PL221135B1 (pl) | 2016-02-29 |
Family
ID=49684227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PL399454A PL221135B1 (pl) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | Struktura lasera półprzewodnikowego |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
PL (1) | PL221135B1 (pl) |
-
2012
- 2012-06-06 PL PL399454A patent/PL221135B1/pl unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL399454A1 (pl) | 2013-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6184586B2 (ja) | 活性ゾーンを有する半導体積層体を円柱状構造上に備えた発光アセンブリ | |
US8314415B2 (en) | Radiation-emitting semiconductor body | |
US7960727B2 (en) | Zinc oxide based compound semiconductor device | |
US8148731B2 (en) | Films and structures for metal oxide semiconductor light emitting devices and methods | |
WO2014203856A1 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
US8633468B2 (en) | Light emitting device with dislocation bending structure | |
US20070126021A1 (en) | Metal oxide semiconductor film structures and methods | |
US11201261B2 (en) | Deep ultraviolet light emitting element and method of manufacturing the same | |
US20140225059A1 (en) | LED with Improved Injection Efficiency | |
JP2017517151A (ja) | n型超格子及びp型超格子を備える電子デバイス | |
WO2004075307A2 (en) | Group iii nitride contact structures for light emitting devices | |
JP6155478B2 (ja) | 電荷キャリアの分布が改善された光活性デバイス及びその形成方法 | |
JP2011187591A (ja) | 窒化物半導体紫外線発光素子 | |
US20060255351A1 (en) | Metal oxide semiconductor films, structures and methods | |
US20120201264A1 (en) | Light emitting device with varying barriers | |
US8598605B2 (en) | Semiconductor light-emitting device | |
US20080258131A1 (en) | Light Emitting Diode | |
Turski et al. | Nitride LEDs and lasers with buried tunnel junctions | |
US7671378B2 (en) | Photonic devices formed on substrates and their fabrication methods | |
US7786550B2 (en) | P-type semiconductor and semiconductor hetero material and manufacturing methods thereof | |
PL221156B1 (pl) | Struktura lasera półprzewodnikowego | |
PL221135B1 (pl) | Struktura lasera półprzewodnikowego | |
JP2015170792A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法ならびに半導体素子 | |
JP6192722B2 (ja) | オプトエレクトロニクス半導体ボディ及びオプトエレクトロニクス半導体チップ | |
CN109273570B (zh) | 一种基于kbbf族晶体的深紫外二极管器件 |