JP6495587B2 - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Landscapes
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Description
(実施例)
XB=650μm
XL=380μm
XU=360μm
YB=1.0mm
(好適範囲)
300μm≦XB≦1000μm
60μm≦XL≦710μm
40μm≦XU≦690μm
0.5mm≦YB≦2.0mm
なお、各トンネル障壁層は、トンネル効果という作用効果を奏する。
(実施例1)
(比較例)
(実験1)角度θ=90°、発光量=0%
(実験2)角度θ=85°、発光量=0%
(実験3)角度θ=80°、発光量=50%
(実験4)角度θ=75°、発光量=100%
(実験5)角度θ=70°、発光量=100%
(実験6)角度θ=65°、発光量=100%
(実験7)角度θ=60°、発光量=100%
(実験8)角度θ=55°、発光量=100%
(実験9)角度θ=50°、発光量=100%
(実験10)角度θ=45°、発光量=100%
(実験11)角度θ=40°、発光量=100%
(実験12)角度θ=35°、発光量=100%
(実験13)角度θ=30°、発光量=100%
Claims (3)
- クラッド層を挟んで積層された複数の活性層を有する半導体レーザ素子において、
最上部の前記活性層におけるレーザ共振方向及び前記活性層の厚み方向の双方に垂直な方向を幅方向とした場合、それぞれの前記活性層は、前記幅方向の両端に位置する一対の側面を備えており、
複数の前記活性層の光出力を合成した場合において水平方向の遠視野像を単峰化するよう、最上部の前記活性層における前記側面の法線と、前記厚み方向との成す角度は、75°以下であり、最下部の前記活性層における前記側面の法線と、前記厚み方向との成す角度は、30°以上に設定される、
ことを特徴とする半導体レーザ素子。 - 個々の前記活性層における前記側面の法線と、前記厚み方向との成す角度は、個々の前記活性層ごとに異なっており、最上部から数えてn番目の前記活性層の前記角度をθnとし、n+1番目の前記活性層の前記角度をθ(n+1)とした場合、
全ての前記活性層は、θn>θ(n+1)を満たす、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - それぞれの前記活性層の幅は、50μm以上700μm以下である、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ素子。
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