JP4569311B2 - 半導体レーザの製造方法 - Google Patents
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まず、図1(a)に示されるように、例えば、第1導電型の半導体基板1上に、第1導電型の半導体膜2、後述する活性層3aを形成するための半導体膜3、第2導電型の半導体膜4及びキャップ膜5を順次積層する。半導体基板1は、例えば、Sn又はS等がドーピングされたn型のInP基板である。この場合、InP基板の主面は(100)面であることが好ましい。
次に、図1(b)に示されるように、例えば、キャップ膜5上に絶縁膜6を形成し、絶縁膜6上に、幅w1の開口7aを有するレジストマスク7を形成する。絶縁膜6は、例えばSiO2からなる。絶縁膜6の厚さは、例えば100nmである。
次に、図1(c)に示されるように、レジストマスク7を用いて、絶縁膜6をドライエッチング又はウェットエッチングすることにより、キャップ膜5上に絶縁マスク6aを形成する。絶縁マスク6aは、レジストマスク7の開口7aの幅w1に対応する幅w1の開口6bを有する。レジストマスク7の開口7aの幅w1と、絶縁マスク6aの開口6bの幅w1は略同じであることが好ましい。絶縁マスク6aを形成した後、レジストマスク7を除去し、必要に応じてアッシング処理を行う。
次に、図2(a)に示されるように、絶縁マスク6aを用いて、キャップ膜5をドライエッチング又はウェットエッチングすることにより、半導体膜4上にキャップ層5aを形成する。キャップ層5aは、半導体膜3から形成される後述の活性層3aの幅w3(図3(b)参照)に対応する幅w1の開口(溝)5dを有する。開口5dは、ライン状であってもよいし、ストライプ状であってもよい。本実施形態において、キャップ層5aの開口5dの幅w1は、絶縁マスク6aの開口6bの幅w1に対応し、例えば略同じであることが好ましい。
次に、図2(b)に示されるように、キャップ層5a及び半導体膜4上に絶縁膜8を形成する。絶縁膜8は、キャップ層5aの開口5dを埋め込むように形成される。絶縁膜8は、例えば厚さ300nmのSiN膜である。
次に、図2(c)に示されるように、例えば、絶縁膜8をエッチングすることにより、開口5dに埋め込まれたマスク8aをキャップ層5a及び半導体膜4上に形成する。開口5dにはマスク8aの一部が埋め込まれている。マスク8aは絶縁材料からなる。マスク8aのパターン形状は、例えば、ライン状であってもよいし、ストライプ状であってもよい。マスク8aは、開口5dの幅w1よりも大きい幅w2を有する。幅w2は、例えば、3.5〜4.0μmであることが好ましい。庇の幅は、例えば、約1.25〜1.5μmであることが好ましい。
次に、図3(a)に示されるように、マスク8aを用いてキャップ層5aをウェットエッチングすることにより、キャップ層5bを形成する。キャップ層5bは、例えば、マスク8aの庇の下に位置するキャップ層5aの一部分である。ウェットエッチングに用いるエッチャントとしては、例えば、上述のリン酸系エッチャント等が挙げられる。リン酸系エッチャントは、GaInAsをエッチングする一方でInPを殆どエッチングしない。よって、リン酸系エッチャントを用いると、半導体膜4がInPからなる場合に半導体膜4が殆どエッチングされず、キャップ層5aがGaInAsからなる場合にキャップ層5aをエッチングできる。
次に、図3(c)に示されるように、メサ部20の両側面20a,20a上に、第2導電型の半導体膜9及び第1導電型の半導体膜10を順に形成する。これにより、メサ部20は半導体膜9及び半導体膜10によって埋め込まれる。半導体膜9は、例えばp型のInP膜であり、半導体膜10は、例えばn型のInP膜である。半導体膜9及び半導体膜10は、例えば、OMVPE法又はMBE法により形成される。OMVPE法では、p型のドーパントとして例えばZn等が用いられ、n型のドーパントとして例えばSi等が用いられる。MBE法では、p型のドーパントとして例えばBe等が用いられ、n型のドーパントとして例えばSi等が用いられる。半導体膜9及び半導体膜10を形成した後、マスク8aを除去する。
次に、図4(a)に示されるように、例えば、第2導電型の半導体層11及び第2導電型のコンタクト層12を順にメサ部20上に形成する。半導体層11は、例えばp型のInPクラッド層である。半導体層12は、例えばp型のGaInAsコンタクト層、又はp型のGaInAsPコンタクト層である。半導体層11及び半導体層12は、例えば、OMVPE法又はMBE法により形成される。半導体層11及び半導体層12にドープされるドーパントとしては、例えば、上述のメサ部埋め込み工程における種々のドーパントが用いられる。
Claims (4)
- 活性層を含むメサ部を有する半導体レーザの製造方法であって、
前記活性層を形成するための半導体膜上に、前記活性層の幅に対応する幅の開口を有するキャップ層を形成するキャップ層形成工程と、
前記開口に埋め込まれ前記開口の前記幅よりも大きい幅を有するマスクを形成するマスク形成工程と、
前記マスクを用いて、前記キャップ層及び前記半導体膜をウェットエッチングすることにより前記メサ部を形成するメサ部形成工程と、
を含む、半導体レーザの製造方法。 - 前記開口はドライエッチングにより形成される、請求項1に記載の半導体レーザの製造方法。
- 前記開口はウェットエッチングにより形成される、請求項1に記載の半導体レーザの製造方法。
- 前記メサ部は、臭素とメタノールとの混合液を用いて形成される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体レーザの製造方法。
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