JP4569311B2 - 半導体レーザの製造方法 - Google Patents

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本発明は、半導体レーザの製造方法に関する。
活性層を含むメサ部を有する半導体レーザの製造方法として、ウェットエッチングによりメサ部を形成する方法が知られている(例えば特許文献1〜3参照)。
特開平4−137686号公報 特開平3−112185号公報 特開平7−058412号公報
しかしながら、ウェットエッチングによりメサ部を形成する場合、活性層の幅を制御することは通常困難である。活性層の幅がばらつくと半導体レーザのレーザ特性もばらついてしまうので、活性層の幅を高精度に制御する方法が望まれている。
活性層の形成に選択成長を用いない場合、活性層は、通常以下のように形成される。まず、エピタキシャル成長法を用いて積層体を形成する。次に、積層体上に、絶縁体からなるマスクを形成する。続いて、マスクを用いて積層体をウェットエッチング又はドライエッチングすることにより、幅1.0μm以下の活性層を含むメサ部を形成する。このようなメサ部を形成することにより、多モード発振を抑制する等、レーザ特性を安定化させている。
しかしながら、ドライエッチングによりメサ部を形成する場合には活性層にダメージが生じてしまう。また、ウェットエッチングによりメサ部を形成する場合には、通常サイドエッチング量の制御が困難であるので、活性層の幅を制御することが困難となる。ウェットエッチングによりメサ部を形成する場合、活性層よりもサイドエッチングレートが大きい半導体層を活性層とマスクとの間に配置することにより活性層の幅を制御することが考えられる。このような半導体層の材料は、エッチングリード材料と言われる。ところが、このような半導体層のサイドエッチングレートは、例えば、その膜質又は当該半導体層とマスクとの密着性等に依存する。このように、活性層の幅を制御する方法には未だ改善の余地がある。
そこで、本発明は、活性層の幅を高精度に制御できる半導体レーザの製造方法を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明の半導体レーザの製造方法は、活性層を含むメサ部を有する半導体レーザの製造方法であって、(a)活性層を形成するための半導体膜上に、活性層の幅に対応する幅の開口を有するキャップ層を形成するキャップ層形成工程と、(b)開口に埋め込まれ開口の幅よりも大きい幅を有するマスクを形成するマスク形成工程と、(c)マスクを用いて、キャップ層及び半導体膜をウェットエッチングすることによりメサ部を形成するメサ部形成工程とを含む。
本発明の半導体レーザの製造方法では、開口に埋め込まれたマスクを用いてウェットエッチングすることによりメサ部を形成するので、開口の幅を制御することにより活性層の幅を高精度に制御できる。
また、開口はドライエッチングにより形成されることが好ましい。この場合、開口の幅を高精度に制御できる。
また、開口はウェットエッチングにより形成されることが好ましい。この場合、開口を簡便に形成できる。
また、メサ部は、臭素とメタノールとの混合液を用いて形成されることが好ましい。この場合、半導体膜のサイドエッチングレートと、キャップ層のサイドエッチングレートとの比率を調整し易くなる。
本発明の半導体レーザの製造方法によれば、活性層の幅を高精度に制御できる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
図1〜図4は、本実施形態に係る半導体レーザの製造方法の各工程を模式的に示す工程断面図である。半導体レーザは、例えば、下記各工程を順に経ることによって製造される。
(積層工程)
まず、図1(a)に示されるように、例えば、第1導電型の半導体基板1上に、第1導電型の半導体膜2、後述する活性層3aを形成するための半導体膜3、第2導電型の半導体膜4及びキャップ膜5を順次積層する。半導体基板1は、例えば、Sn又はS等がドーピングされたn型のInP基板である。この場合、InP基板の主面は(100)面であることが好ましい。
半導体膜2は、例えばOMVPE法又はMBE法等を用いて半導体基板1上に結晶成長される。半導体膜2は、例えばSi等がドーピングされたn型のInPバッファ層である。このInPバッファ層を形成する際の原料としては、例えば、SiH、Si、PH、トリメチルインジウム(TMI)、トリエチルインジウム(TEI)等を使用することができる。
半導体膜3は、例えば、分離閉じ込めヘテロ構造(SCH:Separate Confinement Heterostructure)層、ウエル層及びバリア層からなる多重量子井戸(MQW)構造を有する。分離閉じ込めヘテロ構造層、ウエル層及びバリア層の組成は、所望のレーザ特性(例えば発振波長等)に応じて適宜調整されることが好ましい。分布帰還型(DFB)レーザを作製する場合は、このMQW構造の上あるいは下に、所望の発振波長で半導体レーザを発振させるような回折格子を作製するとよい。
半導体膜4は、例えばZn又はBe等がドーピングされたp型のInPクラッド層である。キャップ膜5は、第2導電型の半導体膜であり、例えばZn又はBe等がドーピングされたp型のGaInAs層である。
(レジストマスク形成工程)
次に、図1(b)に示されるように、例えば、キャップ膜5上に絶縁膜6を形成し、絶縁膜6上に、幅w1の開口7aを有するレジストマスク7を形成する。絶縁膜6は、例えばSiOからなる。絶縁膜6の厚さは、例えば100nmである。
レジストマスク7の開口7aのパターン形状は、例えば、ライン状であってもよいし、ストライプ状であってもよい。レジストマスク7は、例えば以下のように形成される。まず、厚さ1μmのレジスト膜を絶縁膜6上に塗布する。続いて、レジスト膜に、開口7aのパターン形状に対応するパターンを有するフォトマスクを介して光を照射する。その後、露光されたレジスト膜を現像することによりレジストマスク7を形成する。フォトマスクとしては、例えば、開口7aのパターン形状と同じパターンを有する等倍のフォトマスク、開口7aのパターン形状と相似形のパターンを有するレチクル等を用いることができる。レチクルのパターンの幅は、例えば、ステッパ等の露光装置に依存する縮尺に応じた倍率を幅w1に乗じた値である。
(絶縁マスク形成工程)
次に、図1(c)に示されるように、レジストマスク7を用いて、絶縁膜6をドライエッチング又はウェットエッチングすることにより、キャップ膜5上に絶縁マスク6aを形成する。絶縁マスク6aは、レジストマスク7の開口7aの幅w1に対応する幅w1の開口6bを有する。レジストマスク7の開口7aの幅w1と、絶縁マスク6aの開口6bの幅w1は略同じであることが好ましい。絶縁マスク6aを形成した後、レジストマスク7を除去し、必要に応じてアッシング処理を行う。
(キャップ層形成工程)
次に、図2(a)に示されるように、絶縁マスク6aを用いて、キャップ膜5をドライエッチング又はウェットエッチングすることにより、半導体膜4上にキャップ層5aを形成する。キャップ層5aは、半導体膜3から形成される後述の活性層3aの幅w3(図3(b)参照)に対応する幅w1の開口(溝)5dを有する。開口5dは、ライン状であってもよいし、ストライプ状であってもよい。本実施形態において、キャップ層5aの開口5dの幅w1は、絶縁マスク6aの開口6bの幅w1に対応し、例えば略同じであることが好ましい。
開口5dがドライエッチングにより形成される場合、開口5dの幅w1を高精度に制御することができる。ドライエッチングでは、例えば、塩素ガス(Cl)、水素ガス(H)、メタンガス(CH)等が好適に用いられる。
開口5dがウェットエッチングにより形成される場合、開口5dを簡便に形成することができる。ウェットエッチングでは、例えば、リン酸系エッチャントが好適に用いられる。リン酸系エッチャントを用いると、半導体膜4がInPからなる場合に半導体膜4が殆どエッチングされず、キャップ層5aがGaInAsからなる場合にキャップ層5aをエッチングできる。リン酸系エッチャントの組成比は、リン酸:過酸化水素水:水=5:1:40であることが好ましい。
(絶縁膜形成工程)
次に、図2(b)に示されるように、キャップ層5a及び半導体膜4上に絶縁膜8を形成する。絶縁膜8は、キャップ層5aの開口5dを埋め込むように形成される。絶縁膜8は、例えば厚さ300nmのSiN膜である。
(マスク形成工程)
次に、図2(c)に示されるように、例えば、絶縁膜8をエッチングすることにより、開口5dに埋め込まれたマスク8aをキャップ層5a及び半導体膜4上に形成する。開口5dにはマスク8aの一部が埋め込まれている。マスク8aは絶縁材料からなる。マスク8aのパターン形状は、例えば、ライン状であってもよいし、ストライプ状であってもよい。マスク8aは、開口5dの幅w1よりも大きい幅w2を有する。幅w2は、例えば、3.5〜4.0μmであることが好ましい。庇の幅は、例えば、約1.25〜1.5μmであることが好ましい。
マスク8aは、例えば以下のように形成される。まず、絶縁膜8上に厚さ1.5μmのレジスト膜を形成する。続いて、フォトリソグラフィー法を用いてレジスト膜をパターニングすることにより、幅w2を有するマスク8aを形成する。
(メサ部形成工程)
次に、図3(a)に示されるように、マスク8aを用いてキャップ層5aをウェットエッチングすることにより、キャップ層5bを形成する。キャップ層5bは、例えば、マスク8aの庇の下に位置するキャップ層5aの一部分である。ウェットエッチングに用いるエッチャントとしては、例えば、上述のリン酸系エッチャント等が挙げられる。リン酸系エッチャントは、GaInAsをエッチングする一方でInPを殆どエッチングしない。よって、リン酸系エッチャントを用いると、半導体膜4がInPからなる場合に半導体膜4が殆どエッチングされず、キャップ層5aがGaInAsからなる場合にキャップ層5aをエッチングできる。
次に、図3(b)に示されるように、マスク8aを用いて、キャップ層5b、半導体膜4、半導体膜3、半導体膜2及び半導体基板1をウェットエッチングすることにより、メサ部20を形成する。メサ部20は、半導体膜2がウェットエッチングされた半導体層2a、半導体膜3がウェットエッチングされた活性層3a、及び、半導体膜4がウェットエッチングされた半導体層4aを含む。半導体基板1はウェットエッチングされて半導体基板1aとなる。
ウェットエッチングを行うと、キャップ層5bがサイドエッチングにより徐々にエッチングされる。このとき、半導体膜4、半導体膜3及び半導体膜2は、例えば、キャップ層5bのサイドエッチングレートSR2に応じてサイドエッチングされる。ところが、キャップ層5bが殆ど消失すると、マスク8aがエッチングマスクとなるので、半導体膜4、半導体膜3及び半導体膜2のサイドエッチングレートSR1は低下する。したがって、得られる活性層3aの幅w3の制御性を向上することができる。半導体膜4、半導体膜3及び半導体膜2のサイドエッチングレートSR1とは、例えば、半導体膜4、半導体膜3及び半導体膜2のサイドエッチングレートの平均値である。また、活性層3aの幅w3は、例えば、1μm以下である。活性層3aの幅w3とは、例えば、厚み方向における活性層3aの中間地点における幅である。
なお、マスク8aが結晶方位[011]に沿って延びている場合、マスク8aの庇の下に、結晶方位[011]に沿ってキャップ層5bの一部5cが残存する場合がある。
メサ部20は、臭素とメタノールとの混合液を用いて形成されることが好ましい。この場合、半導体膜2、半導体膜3及び半導体膜4のサイドエッチングレートSR1と、キャップ層5bのサイドエッチングレートSR2との比率を調整し易くなる。さらに、半導体膜2、半導体膜3及び半導体膜4がInP系材料からなり、キャップ層5bがGaInAs系材料からなる場合、サイドエッチングレートSR2はサイドエッチングレートSR1より大きくなる。この場合、サイドエッチングレートSR1は、キャップ層5bが存在しているときには大きく、キャップ層5bが殆ど消失すると小さくなる。よって、キャップ層5bが消失すると半導体膜3がサイドエッチングされ難くなるので、活性層3aの幅w3を更に高精度に制御することができる。また、臭素とメタノールとの混合液を用いると、半導体膜2、半導体膜3及び半導体膜4の深さ方向のエッチングレートDRと、サイドエッチングレートSR1との比率を、例えば、DR:SR1=2:1に調整できる。
(メサ部埋め込み工程)
次に、図3(c)に示されるように、メサ部20の両側面20a,20a上に、第2導電型の半導体膜9及び第1導電型の半導体膜10を順に形成する。これにより、メサ部20は半導体膜9及び半導体膜10によって埋め込まれる。半導体膜9は、例えばp型のInP膜であり、半導体膜10は、例えばn型のInP膜である。半導体膜9及び半導体膜10は、例えば、OMVPE法又はMBE法により形成される。OMVPE法では、p型のドーパントとして例えばZn等が用いられ、n型のドーパントとして例えばSi等が用いられる。MBE法では、p型のドーパントとして例えばBe等が用いられ、n型のドーパントとして例えばSi等が用いられる。半導体膜9及び半導体膜10を形成した後、マスク8aを除去する。
(電極形成工程)
次に、図4(a)に示されるように、例えば、第2導電型の半導体層11及び第2導電型のコンタクト層12を順にメサ部20上に形成する。半導体層11は、例えばp型のInPクラッド層である。半導体層12は、例えばp型のGaInAsコンタクト層、又はp型のGaInAsPコンタクト層である。半導体層11及び半導体層12は、例えば、OMVPE法又はMBE法により形成される。半導体層11及び半導体層12にドープされるドーパントとしては、例えば、上述のメサ部埋め込み工程における種々のドーパントが用いられる。
続いて、半導体基板1a、半導体膜9及び半導体膜10をエッチングすることにより半導体基板1b、半導体膜9a及び半導体膜10aを形成する。このとき、半導体基板1b、半導体膜9a及び半導体膜10aの側面にはトレンチ13が形成されるので、寄生容量を低減できる。
続いて、半導体層12上に電流狭窄層14を形成する。電流狭窄層14は、例えばSiOからなり、開口14aを有している。さらに、電流狭窄層14上に第1の電極15を形成する。電極15は、開口14aに埋め込まれる。電極15は、例えばTi/Pt/Au等を用いて形成される。その後、電極15上に、例えばAuからなるメッキ層16を形成する。
次に、図4(b)に示されるように、例えば、半導体基板1bの裏面1dを削ることにより、厚さ100μm以下の半導体基板1cを形成する。その後、半導体基板1cの裏面1e上に第2の電極17を形成する。電極17は、例えばAuGe/Ni/Au等を用いて形成される。
続いて、必要に応じて、半導体基板1cを300μm以下×250μm以下のサイズのチップに細分化してもよい。このようなチップは、例えば、直径3.8mmのパッケージに実装された後、LCコネクタによって光ファイバと結合可能なようにTOSA(Transmitter Optical Sub-Assembly)タイプのモジュールに実装される。
以上説明したように、本実施形態の半導体レーザの製造方法を用いると、図4(b)に示されるように、活性層3aを含むメサ部20を有する半導体レーザ100が製造される。この半導体レーザの製造方法では、上述のように、キャップ層5aの開口5dに埋め込まれたマスク8aを用いてメサ部20を形成するので、開口5dの幅w1を制御することにより活性層3aの幅w3を高精度に制御できる。半導体レーザ100は、例えば、伝送速度4GHz以上の光通信に好適に用いられる。
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。
例えば、レジストマスク7及び絶縁マスク6aを用いずに、半導体膜4上にキャップ層5aを形成するとしてもよい。
本実施形態に係る半導体レーザの製造方法の各工程を模式的に示す工程断面図である。 本実施形態に係る半導体レーザの製造方法の各工程を模式的に示す工程断面図である。 本実施形態に係る半導体レーザの製造方法の各工程を模式的に示す工程断面図である。 本実施形態に係る半導体レーザの製造方法の各工程を模式的に示す工程断面図である。
符号の説明
3…半導体膜、5a…キャップ層、5d…開口、w1…開口の幅、8a…マスク、w2…マスクの幅、3a…活性層、w3…活性層の幅、20…メサ部、100…半導体レーザ。

Claims (4)

  1. 活性層を含むメサ部を有する半導体レーザの製造方法であって、
    前記活性層を形成するための半導体膜上に、前記活性層の幅に対応する幅の開口を有するキャップ層を形成するキャップ層形成工程と、
    前記開口に埋め込まれ前記開口の前記幅よりも大きい幅を有するマスクを形成するマスク形成工程と、
    前記マスクを用いて、前記キャップ層及び前記半導体膜をウェットエッチングすることにより前記メサ部を形成するメサ部形成工程と、
    を含む、半導体レーザの製造方法。
  2. 前記開口はドライエッチングにより形成される、請求項1に記載の半導体レーザの製造方法。
  3. 前記開口はウェットエッチングにより形成される、請求項1に記載の半導体レーザの製造方法。
  4. 前記メサ部は、臭素とメタノールとの混合液を用いて形成される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体レーザの製造方法。
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