JP4213154B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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請求項1に記載したように、 平坦面と、前記平坦面の一部に形成されたメサストライプとよりなる成長開始面上に、前記メサストライプが前記平坦面に対して形成する初期形状に対応した段差形状を有するようにInP埋込層を結晶成長する結晶成長工程と、
前記InP埋込層に対して塩酸と酢酸と過酸化水素水を含むエッチャントを使ったウェットエッチングを行い、前記InP埋込層の段差形状を平坦化する平坦化工程と、
を含み、
前記平坦化工程では前記ウェットエッチングを、<100>方向および<011>方向へのエッチング速度が、<0−11>方向へのエッチング速度よりも小さくなるように、前記エッチャントにおいて塩酸と酢酸と過酸化水素水を、塩酸に比べて酢酸が10倍以下の濃度になるように、また塩酸に比べて過酸化水素水が30%以下の濃度になるように設定して実行することを特徴とする半導体装置の製造方法により、または
請求項2に記載したように、
前記平坦化工程は、前記InP埋込層が前記平坦化工程の結果、(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかよりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項3に記載したように、
前記平坦化工程は、前記InP埋込層が前記平坦化工程の結果、前記平坦化工程前に比べて(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかにより近づいた面よりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項4に記載したように、
前記結晶成長工程は、基板上において前記InP埋込層が、前記成長開始面の最も高い位置よりも低い位置に表面を有するように実行され、前記平坦化工程は、前記InP埋込層が前記平坦化工程の後、前記基板表面から測って前記平坦化工程前における前記InP埋込層の最も低い位置に対応した高さの平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項5に記載したように、
前記成長工程は、前記成長開始面の最も高い位置と同等か、それ以上に高いInP層表面を有するように実行され、前記平坦化工程は、前記InP層が前記平坦化工程の後、前記基板表面から測って前記成長開始面の最も高い位置に対応した高さの平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項6に記載したように、
前記成長開始面は、前記メサストライプ上に選択成長マスクを有し、前記InP埋込層を成長する工程は、前記InP埋込層の段差形状が、前記選択成長マスクの縁に対応して形成されるように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項7に記載したように、
前記InP埋込層を成長する工程は、前記InP埋込層の段差形状が、前記成長開始面上において前記メサストライプの側面に沿ってスロープ領域を形成するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項8に記載したように、
前記InP埋込層を成長する工程は、前記InP埋込層の段差形状が、前記InP層が前記成長開始面上において前記メサストライプを覆い形成されるように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項9に記載したように、
平坦な成長開始面上に、選択成長マスクを介してInP層を結晶成長し、前記InP層により前記平坦な成長開始面上に、段差形状を形成する工程と、
前記結晶成長したInP層を、塩酸と酢酸と過酸化水素水を含むエッチャントによりウェットエッチングし、前記InP層による段差形状を平坦化する工程と、
を含み、
前記平坦化工程では前記ウェットエッチングを、<100>方向および<011>方向へのエッチング速度が、<0−11>方向へのエッチング速度よりも小さくなるように、前記エッチャントにおいて塩酸と酢酸と過酸化水素水を、塩酸に比べて酢酸が10倍以下の濃度になるように、また塩酸に比べて過酸化水素水が30%以下の濃度になるように設定して実行されることを特徴とする半導体装置の製造方法により、または
請求項10に記載したように、
前記平坦化工程は、前記InP層が前記平坦化工程の結果、(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかよりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項11に記載したように、
前記平坦化工程は、前記InP層が前記平坦化工程の結果、前記平坦化工程前に比べて(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかにより近づいた面よりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項12に記載したように、
前記エッチャントは、さらに水からなる追加剤を含むことを特徴とする請求項1〜11のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項13に記載したように、
メサストライプを形成された平坦面を覆って、前記メサストライプに対応した斜面形状を有するようにInP層を結晶成長する結晶成長工程と、
前記InP層に対して、前記メサストライプ上に形成された誘電体パターンをマスクに、塩酸と酢酸と過酸化水素水を含むエッチャントによるエッチングを行い、前記誘電体パターン下の領域を除き、前記InP層の表面を平坦化する工程と、
を含み、
前記平坦化工程では、前記ウェットエッチングを、<100>方向および<011>方向へのエッチング速度が、<0−11>方向へのエッチング速度よりも小さくなるように、前記エッチャントにおいて塩酸と酢酸と過酸化水素水を、塩酸に対して酢酸が10倍以下の濃度になるように、また塩酸に比べて過酸化水素水が30%以下の濃度になるように設定して実行することを特徴とする半導体装置の製造方法により、または
請求項14に記載したように、
前記選択エッチングマスクは前記メサストライプ表面に設けられたものであることを特徴とする請求項13記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項15に記載したように、
前記選択エッチングマスクは、絶縁材料およびInPを除く化合物半導体よりなる群から選ばれることを特徴とする請求項13または14記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項16に記載したように、
前記選択エッチングマスクは、酸化シリコン,窒化シリコン,InGaAs,InGaAsP,AlGaInP,AlGaAs,GaInNAsのいずれかよりなることを特徴とする請求項15記載の半導体装置の製造方法により、または
請求項17に記載したように、
前記エッチャントは、さらに水からなる追加剤を含むことを特徴とする請求項13〜16のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法により、解決する。
[作用]
本発明はInP結晶成長で表面に生じる段差形状を、ウェットエッチングにより平坦化することで上記問題を解決する。本発明は、特にエッチャントとして塩酸と酢酸を含む混合液を使用する。
A.選択成長マスクの縁に形成される段差形状の平坦化
図10(A),(B)は、n型InP基板51上に形成されたSiO2パターン52を選択成長マスクとしてInP層53を成長し、かかるInP層53を塩酸と酢酸とを含むエッチャントにより平坦化する場合を示す。
B.成長前の段差を反映した段差形状に対する平坦化
図13(A),(B)は、段差形状を有する構造上にInP層を成長した場合に、かかるInP層表面に生じる凹凸の平坦化工程を示す。
C.マスクを越えない成長層表面に生じた段差形状の平坦化
図14(A),(B)は、凸部を形成された基板上に選択成長マスクを使って埋込InP層を結晶成長する際に、前記凸部に隣接して前記埋込InP層の表面に形成されるスロープ面を本発明のウェットエッチングにより平坦化する場合を示す。かかるスロープ面は、前記埋込InP層が前記選択成長マスクの高さよりも低い位置に形成される場合に発生する。
D.エッチングマスクとなる半導体層を含む段差形状の平坦化
先にも説明したように、InGaAsPあるいはInウェットエッチングはAsを含む半導体は、本発明の塩酸および酢酸を含むエッチャントを使ったウェットエッチングにおけるエッチング速度がInPに比べて非常に遅い。従って、本発明のエッチャントを使ってInP層を平坦化する場合に、かかるInGaAsPあるいはInGaAs半導体膜をエッチングマスクとして使うことも可能である。
以下、図17(A)〜図18(E)を参照しながら、本発明の第1実施例によるBH構造を有するレーザダイオードの製造工程を説明する。
[実施例2]
次に、本発明の第2実施例によるBH構造を有するレーザダイオードの製造工程を、図19(A)〜(C)を参照しながら説明する。ただし、図19(A)〜(C)中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例3]
次に、本発明の第3実施例によるpn埋込構造を有するレーザダイオードの製造方法を、図20(A)〜図21(F)を参照しながら説明する。
[実施例4]
次に本発明の第4実施例によるpn埋込構造を有するレーザダイオードの製造方法を、図22(A)〜図23(G)を参照しながら説明する。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例5]
次に、本発明の第5実施例によるpn埋込構造を有するレーザダイオードの製造方法を、図24(A)〜図26(G)を参照しながら説明する。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例6]
次に本発明の第6実施例によるpn埋込構造を有するレーザダイオードの製造方法を図27(A)〜(C)および図28(D)を参照しながら説明する。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例7]
次に本発明の第7実施例によるリッジ構造を有するレーザダイオードの製造方法を、図29(A)〜図30(E)を参照しながら説明する。
[実施例8]
次に本発明の第8実施例によるリッジ構造を有するレーザダイオードの製造方法を、図31(A)〜図32(F)を参照しながら説明する。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例9]
次に、本発明の第9実施例による分岐を有する光導波路の製造方法を、図33(A)〜図34(E)を参照しながら説明する。
[実施例10]
次に、本発明の第10実施例による分岐点を有しBH埋込構造を有する光導波路の製造工程を、図35(A)〜(C)を参照しながら説明する。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例11]
次に、本発明の第11実施例による、活性層の選択成長工程を含む半導体装置の製造方法を、図36(A)〜36(C)を参照しながら説明する。
[実施例12]
次に、活性層の選択成長工程を含む本発明の第12実施例による半導体装置の製造工程を、図37(A)〜図38(E)を参照しながら説明する。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[実施例13]
次に本発明の第13実施例による多層光導波路の製造方法を、図39(A)〜図41(G)を参照しながら説明する。ただし図39(A)〜41(G)中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
11,21,31,41,51,61,71,81 InP基板
12 多層量子井戸活性層
13 InPクラッド層
14 InGaAsコンタクト層
15,22,33,42,52,72,82 SiO2マスク
16A,16B,23,32A,32B,43A,43B,53A,53B,73A,73B InP埋込層
16a,16b 盛り上がり部
17,18 電極
17a 電極途切れ
23A オーバーハング部
23B,32a,32b 空洞
24,34,53,62,83 InP再成長層
31M,41M,51M,61M,71M,81M メサ構造
101,111,121 InP基板
101M,111M,123M メサストライプ
102,112,122 多重量子井戸層
103,113,123 InPクラッド層
104,114,124 InGaAsコンタクト層
105,115,125 SiO2マスク
106,1061,1062,1161,1162 InP埋込層
106a,106b 盛り上がり
107,108 電極
117,117A,117B,126 n型InP層
118,118A,118B,127 p型InP層
119 InPクラッド層
120,124 InGaAsコンタクト層
123M リッジストライプ
201 InP基板
201M メサストライプ
202 多重量子井戸層
203 InPクラッド層
204 InGaAs層
205 SiO2マスク
206,226,231 InP埋込層
207 InP再成長層
211,221 InP基板
221M 第1層光導波路パターン
212,225,230 SiO2膜
213,215,223,227,229 InPクラッド層
214,222,228 多重量子井戸層
224 GaInAs層
Claims (17)
- 平坦面と、前記平坦面の一部に形成されたメサストライプとよりなる成長開始面上に、前記メサストライプが前記平坦面に対して形成する初期形状に対応した段差形状を有するようにInP埋込層を結晶成長する結晶成長工程と、
前記InP埋込層に対して塩酸と酢酸と過酸化水素水を含むエッチャントを使ったウェットエッチングを行い、前記InP埋込層の段差形状を平坦化する平坦化工程と、
を含み、
前記平坦化工程では前記ウェットエッチングを、<100>方向および<011>方向へのエッチング速度が、<0−11>方向へのエッチング速度よりも小さくなるように、前記エッチャントにおいて塩酸と酢酸と過酸化水素水を、塩酸に比べて酢酸が10倍以下の濃度になるように、また塩酸に比べて過酸化水素水が30%以下の濃度になるように設定して実行されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記平坦化工程は、前記InP埋込層が前記平坦化工程の結果、(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかよりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記平坦化工程は、前記InP埋込層が前記平坦化工程の結果、前記平坦化工程前に比べて(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかにより近づいた面よりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記結晶成長工程は、基板上において前記InP埋込層が、前記成長開始面の最も高い位置よりも低い位置に表面を有するように実行され、前記平坦化工程は、前記InP埋込層が前記平坦化工程の後、前記基板表面から測って前記平坦化工程前における前記InP埋込層の最も低い位置に対応した高さの平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記成長工程は、前記成長開始面の最も高い位置と同等か、それ以上に高いInP層表面を有するように実行され、前記平坦化工程は、前記InP層が前記平坦化工程の後、前記基板表面から測って前記成長開始面の最も高い位置に対応した高さの平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記成長開始面は、前記メサストライプ上に選択成長マスクを有し、前記InP埋込層を成長する工程は、前記InP埋込層の段差形状が、前記選択成長マスクの縁に対応して形成されるように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記InP埋込層を成長する工程は、前記InP埋込層の段差形状が、前記成長開始面上において前記メサストライプの側面に沿ってスロープ領域を形成するように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記InP埋込層を成長する工程は、前記InP埋込層の段差形状が、前記InP層が前記成長開始面上において前記メサストライプを覆い形成されるように実行されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 平坦な成長開始面上に、選択成長マスクを介してInP層を結晶成長し、前記InP層により前記平坦な成長開始面上に、段差形状を形成する工程と、
前記結晶成長したInP層を、塩酸と酢酸と過酸化水素水を含むエッチャントによりウェットエッチングし、前記InP層による段差形状を平坦化する工程と、
を含み、
前記平坦化工程では、前記ウェットエッチングを、<100>方向および<011>方向へのエッチング速度が、<0−11>方向へのエッチング速度よりも小さくなるように、前記エッチャントにおいて塩酸と酢酸と過酸化水素水を、塩酸に比べて酢酸が10倍以下の濃度になるように、また塩酸に比べて過酸化水素水が30%以下の濃度になるように設定して実行することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記平坦化工程は、前記InP層が前記平坦化工程の結果、(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかよりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 前記平坦化工程は、前記InP層が前記平坦化工程の結果、前記平坦化工程前に比べて(100)面および(011)面および(0−1−1)面のいずれかにより近づいた面よりなる平坦化面を有するように実行されることを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチャントは、さらに水からなる追加剤を含むことを特徴とする請求項1〜11のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
- メサストライプを形成された平坦面を覆って、前記メサストライプに対応した斜面形状を有するようにInP層を結晶成長する結晶成長工程と、
前記InP層に対して、前記メサストライプ上に形成された誘電体パターンをマスクに、塩酸と酢酸と過酸化水素水を含むエッチャントによるエッチングを行い、前記誘電体パターン下の領域を除き、前記InP層の表面を平坦化する工程と、
を含み、
前記平坦化工程では前記ウェットエッチングを、<100>方向および<011>方向へのエッチング速度が、<0−11>方向へのエッチング速度よりも小さくなるように、前記エッチャントにおいて塩酸と酢酸と過酸化水素水を、塩酸に対して酢酸が10倍以下の濃度になるように、また、また塩酸に比べて過酸化水素水が30%以下の濃度になるように設定して実行することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記選択エッチングマスクは前記メサストライプ表面に設けられたものであることを特徴とする請求項13記載の半導体装置の製造方法。
- 前記選択エッチングマスクは、絶縁材料およびInPを除く化合物半導体よりなる群から選ばれることを特徴とする請求項13または14記載の半導体装置の製造方法。
- 前記選択エッチングマスクは、酸化シリコン,窒化シリコン,InGaAs,InGaAsP,AlGaInP,AlGaAs,GaInNAsのいずれかよりなることを特徴とする請求項15記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチャントは、さらに水からなる追加剤を含むことを特徴とする請求項13〜16のうち、いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
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