JP2018533847A - 非発光性再結合を低減するためのledの側壁処理 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (30)
- 第1のドーパント型でドープされた第1のクラッド層、
バリア層、及び
前記第1のクラッド層と前記バリア層との間の活性層、を含む本体と、
前記本体の第1の表面から突出し、前記第1のドーパント型とは反対の第2のドーパント型でドープされた第2のクラッド層を含むピラー構造体と、
前記本体の側壁及び前記本体の前記第1の表面にわたるドーパント濃縮部を含む閉じ込め領域と、を備える発光構造体であって、前記ドーパント濃縮部は、前記第2のドーパント型から形成され、前記本体の前記側壁から前記発光構造体の中心縦軸に向かって、かつ前記本体の前記第1の表面から前記活性層に向かって侵入し、更に前記ドーパント濃縮部は、前記ピラー構造体の側壁を越えて前記本体内で前記発光構造体の中心縦軸に向かって横方向に侵入する、発光構造体。 - 前記ピラー構造体は、前記バリア層の表面から突出し、前記閉じ込め領域のドーパント濃縮部は、前記バリア層の前記表面にわたり、前記ドーパント濃縮部は、前記ピラー構造体の前記側壁を越えて前記バリア層内で前記中心縦軸に向かって横方向に侵入する、請求項1に記載の発光構造体。
- 前記第1のドーパント型は、n型であり、前記第2のドーパント型は、p型であり、前記ドーパント濃縮部は、Mg及びZnからなる群から選択されるドーパントから形成されている、請求項1に記載の発光構造体。
- 前記本体の前記側壁、前記ピラー構造体の前記側壁、及び前記本体とは反対側の前記ピラー構造体の表面上に形成されており、前記本体の前記側壁、前記ピラー構造体の前記側壁、及び前記本体とは反対側の前記ピラー構造体の前記表面にわたる共形のパッシベーション層と、
前記ピラー構造体の前記表面上の前記共形のパッシベーション層内にある開口部と、
前記ピラー構造体の前記表面上であって、かつ前記共形のパッシベーション層の前記開口部内に形成された導電性接触部と、を更に備える、請求項1に記載の発光構造体。 - 前記ドーパント濃縮部は、前記活性層及び前記第1のクラッド層内におけるよりも、前記バリア層内において前記中心縦軸に向かって更に侵入する、請求項1に記載の発光構造体。
- 第1の表面を含む基体を更に備え、前記本体は、前記基体の前記第1の表面から突出し、前記基体の前記第1の表面は、前記本体よりも幅広である、請求項5に記載の発光構造体。
- 前記ドーパント濃縮部は、前記基体の前記第1の表面にわたり、前記基体の前記第1の表面とは反対側の前記基体の第2の表面に向かって侵入する、請求項6に記載の発光構造体。
- 前記基体の前記第2の表面上に第2の導電性接触部を更に備える、請求項7に記載の発光構造体。
- 前記導電性接触部は、ディスプレイ基板上のコンタクトパッドにはんだ材料で接合されている、請求項8に記載の発光構造体。
- 前記ドーパント濃縮部は、前記第1のクラッド層内におけるよりも、前記バリア層及び前記活性層内において前記中心縦軸に向かって更に侵入する、請求項1に記載の発光構造体。
- 第1の表面を含む基体を更に備え、前記本体は、前記基体の前記第1の表面から突出し、前記基体の前記第1の表面は、前記本体よりも幅広である、請求項10に記載の発光構造体。
- 前記ドーパント濃縮部は、前記基体の前記第1の表面にわたり、前記基体の前記第1の表面とは反対側の前記基体の第2の表面に向かって侵入する、請求項11に記載の発光構造体。
- 前記基体の前記第2の表面上に第2の導電性接触部を更に備える、請求項12に記載の発光構造体。
- 前記導電性接触部は、ディスプレイ基板上のコンタクトパッドにはんだ材料で接合されている、請求項13に記載の発光構造体。
- 第1のドーパント型でドープされた第1のクラッド層、
前記第1のドーパント型とは反対の第2のドーパント型でドープされた第2のクラッド層、及び
前記第1のクラッド層と前記第2のクラッド層との間の活性層、を含む本体と、
前記第1のクラッド層、前記活性層、及び前記第2のクラッド層の側壁にわたるドーパント濃縮部を含む閉じ込め領域と、を備える発光構造体であって、前記ドーパント濃縮部は、前記第1のクラッド層、前記活性層、及び前記第2のクラッド層の前記側壁から前記発光構造体の中心縦軸に向かって侵入する、発光構造体。 - 前記第1のドーパント型は、n型であり、前記第2のドーパント型は、p型であり、前記ドーパント濃縮部は、Mg及びZnからなる群から選択されるp型ドーパントから形成されている、請求項15に記載の発光構造体。
- 前記ドーパント濃縮部は、前記活性層とは反対側の前記第1のクラッド層の表面にまで延びない、請求項15に記載の発光構造体。
- 前記第1のクラッド層の前記側壁上にpn接合を更に備える、請求項17に記載の発光構造体。
- 前記第1のクラッド層は、更に、交互に互いの上に繰り返すn−型領域とn+型領域を含む、請求項16に記載の発光構造体。
- 前記n−型領域は、前記n−型領域に重なり合う前記ドーパント濃縮部の部分のp型ドーパント濃度よりも小さいn型ドーパント濃度を有する、請求項19に記載の発光構造体。
- 前記n+型領域は、前記n+型領域に重なり合う前記ドーパント濃縮部の部分のp型ドーパント濃度よりも大きなn型ドーパント濃度を有する、請求項20に記載の発光構造体。
- 第1のドーパント型でドープされた第1のクラッド層、
前記第1のドーパント型とは反対の第2のドーパント型でドープされた接触層、
前記第1のクラッド層と前記接触層との間の活性層、
前記第2のドーパント型でドープされた、前記接触層と前記活性層との間の第2のクラッド層、
前記第1のクラッド層と前記活性層との間の第1のバリア層、及び
前記第2のクラッド層と前記活性層との間の第2のバリア層、を含む本体を備える発光構造体であって、
前記第1のクラッド層及び前記第2のクラッド層の横方向縁部は、前記第1のバリア層、前記活性層、及び前記第2のバリア層の横方向縁部よりも、前記本体の中心縦軸に接近している、発光構造体。 - 前記第1のドーパント型は、n型であり、前記第2のドーパント型は、p型である、請求項22に記載の発光構造体。
- p型ドーパント濃縮部を含む閉じ込め領域を更に備え、前記p型ドーパント濃縮部は、前記n型にドープされた第1のクラッド層、前記第1のバリア層、前記活性層、前記第2のバリア層、前記p型にドープされた第2のクラッド層、及び前記p型にドープされた接触層の前記横方向縁部にわたる、請求項22に記載の発光構造体。
- 前記p型ドーパント濃縮部は、前記第1のバリア層よりも大きく前記活性層の体積を占め、前記p型ドーパント濃縮部は、前記第2のバリア層よりも大きく前記活性層の体積を占める、請求項22に記載の発光構造体。
- 第1のドーパント型でドープされた第1のクラッド層、
前記第1のドーパント型とは反対の第2のドーパント型でドープされた接触層、
前記第1のクラッド層と前記接触層との間の活性層、
前記第2のドーパント型でドープされた、前記接触層と前記活性層との間の第2のクラッド層、及び
前記第1のクラッド層と前記活性層との間のバリア層、を含む本体を備える発光構造体であって、
前記第1のクラッド層及び前記第2のクラッド層の横方向縁部は、前記バリア層及び前記活性層の横方向縁部よりも、前記本体の中心縦軸に接近している、発光構造体。 - 前記第1のドーパント型は、n型であり、前記第2のドーパント型はp型である、請求項26に記載の発光構造体。
- 前記第1のクラッド層、前記バリア層、前記活性層、前記第2のクラッド層、及び前記接触層の前記横方向縁部の直上に再成長層を更に備える、請求項26に記載の発光構造体。
- 前記再成長層は、Te及びFeからなる群から選択されるドーパントでドープされている、請求項28に記載の発光構造体。
- 前記再成長層は、前記接触層と前記活性層との間にあり、かつ前記第2のクラッド層に横方向に隣接する容積を直接充填する、請求項28に記載の発光構造体。
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