JP2018129378A - 半導体装置および半導体装置の製造方法、ならびに、半導体ウエハ構造物 - Google Patents
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Abstract
Description
このような問題を回避すべく、トレンチの側壁からボディ領域の表層部にn型不純物を注入して、ゲート絶縁膜を挟んでゲート電極に対向するソース領域を形成することも考えられる。
本発明は、トレンチにゲート電極が埋め込まれた構造において、チャネル長が小さくなるのを抑制できる半導体装置および半導体装置の製造方法、ならびに、半導体ウエハ構造物を提供することを一つの目的とする。
したがって、第2導電型領域の表層部の深い位置に第1導電型不純物が注入されるのを、側壁絶縁層によって抑制できる。これにより、第2導電型領域の底部および第1導電型領域の底部の間の距離が短くなるのを抑制できるから、第2導電型領域に形成されるチャネルのチャネル長が小さくなるのを抑制できる。その結果、リーク電流の増加や閾値電圧の低下等といった電気的特性の設計値に対する変動を抑制できる構造の半導体装置や半導体ウエハ構造物を製造できる。
ここで、側壁絶縁層を含まない構造の半導体ウエハ構造物において、第2装置形成領域のゲート電極の上面が第1装置形成領域のゲート電極の上面よりも下方に形成された場合について考える。この場合、半導体ウエハの主面に対するn型不純物の注入可能面積は、第1装置形成領域よりも第2装置形成領域の方が大きくなる。これは、半導体ウエハの主面およびゲート電極の上面の間の距離が、第1装置形成領域よりも第2装置形成領域の方が大きいためである。
したがって、第1装置形成領域の第2導電型領域に形成されるチャネルのチャネル長と、第2装置形成領域の第2導電型領域に形成されるチャネルのチャネル長との間にバラツキが生じるのを抑制できる。その結果、第1装置形成領域から取得可能な第1半導体装置の電気的特性と、第2装置形成領域から取得可能な第2半導体装置の電気的特性との間でバラツキが生じるのを抑制できる。よって、歩留りを向上できる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置1を示す模式的な平面図である。
図1を参照して、半導体装置1は、半導体層2を含む。半導体層2は、第1主面3と、第1主面3の反対側に位置する第2主面4と、第1主面3および第2主面4を接続する側面5とを含む。半導体層2は、第1主面3の法線方向から見た平面視(以下、単に「平面視」という。)において、四角形状のチップ状に形成されている。
POWER−MIS領域6は、たとえば平面視において半導体層2の第1主面3のうちの20%以上80%以下(本実施形態では70%程度)の領域を占めている。CMIS領域7および保護回路領域8は、POWER−MIS領域6外の領域に選択的に設定されている。POWER−MIS領域6、CMIS領域7および保護回路領域8の各平面視面積や各平面視形状は任意であり、図1に示される形態に限定されるものではない。
保護回路領域8は、電流センサ回路、温度センサ回路、OCD(Over Charge Current Detection:過電流保護)回路、TSD(Thermal Shut Down:過熱保護)回路、UVLO(Under Voltage Lock Out:低電圧誤動作抑制)回路等を含んでいてもよい。
半導体層2の第1主面3の上には、表面電極9が形成されている。表面電極9は、チタン、ニッケル、金、銀、銅、銅を含む合金、アルミニウムまたはアルミニウムを含む合金の少なくとも一種を含んでいてもよい。表面電極9は、アルミニウム−銅合金(Al−Cu合金)を含んでいてもよいし、アルミニウム−シリコン−銅合金(Al−Si−Cu合金)を含んでいてもよい。
次に、POWER−MIS領域6の具体的な構造について説明する。図2は、図1に示すII-II線に沿う断面図である。図3は、図2に示すトレンチゲート構造27の拡大図である。
図2を参照して、半導体層2は、シリコン製のn+型半導体基板21と、n+型半導体基板21の主面の上に形成されたシリコン製のn−型エピタキシャル層22とを含む。n−型エピタキシャル層22によって半導体層2の第1主面3が形成されており、n+型半導体基板21によって半導体層2の第2主面4が形成されている。
より具体的には、トレンチゲート構造27は、ゲートトレンチ28の底部において下側絶縁膜29(下側絶縁層)を挟んで埋め込まれた埋め込み電極30を含む。また、トレンチゲート構造27は、ゲートトレンチ28の上部においてゲート絶縁膜31(ゲート絶縁層)を挟んで埋め込み電極30の上に形成されたゲート電極32を含む。また、トレンチゲート構造27は、埋め込み電極30およびゲート電極32の間に形成された中間絶縁膜33(中間絶縁層)を含む。
ゲートトレンチ28は、開口面積が、底壁35の面積よりも大きい断面視テーパ状に形成されていてもよい。半導体層2において、半導体層2の第1主面3およびゲートトレンチ28の側壁34の間の角度θの絶対値は、90°以上95°以下(本実施形態では91°程度)であってもよい。
埋め込み電極30の凸部37の両サイドには、中間絶縁膜33、下側絶縁膜29およびゲート絶縁膜31によって区画された溝が形成されている。これにより、ゲートトレンチ28の開口側には、断面視逆凹状の上側凹部39が区画されている。
埋め込み電極30およびゲート電極32は、埋め込み性の優れたポリシリコンを含んでいてもよい。一つの形態において、埋め込み電極30およびゲート電極32には、ゲート電圧が印加されていてもよい。この構造では、半導体層2のオン抵抗を低下させることができるから、消費電力の増加を抑制できる。
下側絶縁膜29、ゲート絶縁膜31、中間絶縁膜33および表面絶縁膜38は、SiO2,AlO,TaO,TiO,AlN,AlSiN,TiN,SiN,NiO,WO,BN,CrNまたはSiONのうちの少なくとも1種の絶縁材料を含んでいてもよい。下側絶縁膜29、ゲート絶縁膜31、中間絶縁膜33および表面絶縁膜38の代表的な絶縁材料としては、SiO2およびSiNを例示できる。
中間絶縁膜33の厚さT3は、ゲート絶縁膜31の厚さT2とほぼ等しくてもよい。中間絶縁膜33の厚さT3は、ゲート絶縁膜31の厚さT2よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。
p型ボディ領域45は、半導体層2の第1主面3の表層部においてゲートトレンチ28の側壁34に沿って形成されている。p型ボディ領域45は、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート電極32と対向している。p型ボディ領域45は、断面視において、互いに隣り合うトレンチゲート構造27によって共有されている。
第2部分49は、第1部分48と一体的に形成されている。第2部分49は、半導体層2の第1主面3に沿って第1部分48からゲートトレンチ28とは反対側に延びている。半導体層2の厚さ方向に関して、n+型ソース領域46の第1部分48の底部は、n+型ソース領域46の第2部分49の底部よりも下方に位置している。
p+型コンタクト領域47は、図2に示されるように、ゲートトレンチ28の側壁34から間隔を空けて形成されており、かつ、ゲートトレンチ28の側壁に接していない。p型ボディ領域45の表層部の図示しない領域において、ゲートトレンチ28の側壁34に接するp+型コンタクト領域47が形成されていてもよい。
p+型コンタクト領域47が存在する部分において、トレンチゲート構造27の側方には、半導体層2の第1主面3から第2主面4に向かって、p+型コンタクト領域47、p型ボディ領域45およびn−型エピタキシャル層22が順に形成されている。
図2および図3を参照して、ゲートトレンチ28の開口側において、ゲート電極32の上面40およびゲートトレンチ28の側壁34によって区画された凹所41には、側壁絶縁膜51(側壁絶縁層)が形成されている。図2および図3では、明瞭化のため、クロスハッチングによって側壁絶縁膜51が示されている。
p+型コンタクト領域47が存在しない部分では、側壁絶縁膜51は、ゲート絶縁膜31を挟んでn+型ソース領域46と対向している。半導体層2の厚さ方向に関して、側壁絶縁膜51の全域は、n+型ソース領域46の第1部分48と対向している。
図3の断面において、ゲートトレンチ28の幅Wに対する側壁絶縁膜51の厚さT4の比T4/Wは、凹所41の深さDに応じて変動するものであるが、たとえば0.01以上0.2以下である。
側壁絶縁膜51は、SiO2,AlO,TaO,TiO,AlN,AlSiN,TiN,SiN,NiO,WO,BN,CrNまたはSiONのうちの少なくとも1種の絶縁材料を含んでいてもよい。側壁絶縁膜51の代表的な絶縁材料としては、SiO2およびSiNを例示できる。
図2を参照して、半導体層2の第1主面3の上には、層間絶縁層53が形成されている。層間絶縁層53は、半導体層2の上からゲートトレンチ28の凹所41に入り込んでいる。より具体的には、層間絶縁層53は、凹所41内において上面絶縁膜52および側壁絶縁膜51によって区画された凹所に入り込んだアンカー部を含む。
層間絶縁層53には、n+型ソース領域46およびp+型コンタクト領域47を露出させるコンタクト孔54が形成されている。前述のソースパッド電極11は、層間絶縁層53の上からコンタクト孔54に入り込んでいる。ソースパッド電極11は、コンタクト孔54内において、n+型ソース領域46およびp+型コンタクト領域47と電気的に接続されている。
次に、CMIS領域7の具体的な構造について説明する。図4は、図1に示すIV-IV線に沿う断面図である。
図4を参照して、CMIS領域7は、素子分離構造61と、素子分離構造61によって互いに電気的に分離されたn−MIS領域62およびp−MIS領域63とを含む。
素子分離トレンチ64は、側壁67および底壁68を含む。素子分離トレンチ64は、開口面積が、底壁68の面積よりも大きい断面視テーパ状に形成されていてもよい。半導体層2において、半導体層2の第1主面3および素子分離トレンチ64の側壁67の間の角度θの絶対値は、90°以上95°以下(本実施形態では91°程度)であってもよい。
素子分離絶縁膜65は、素子分離トレンチ64の側壁67および底壁68に沿って形成されている。素子分離絶縁膜65は、素子分離トレンチ64内において凹状の空間を区画している。
素子分離電極66は、素子分離絶縁膜65によって区画された凹状の空間に埋め込まれている。素子分離電極66の上面は、たとえば半導体層2の第1主面3よりも上方に形成されている。素子分離電極66の上面は、ゲート電極32の上面40よりも上方に形成されている。素子分離電極66には、基準電圧(たとえばソース電圧)が印加されていてもよい。
n−MIS領域62において半導体層2の第1主面3の表層部には、p型ウェル領域70が形成されている。p型ウェル領域70は、本実施形態では、素子分離トレンチ64の深さとほぼ等しい深さで形成されている。素子分離トレンチ64の深さよりも浅いまたは深いp型ウェル領域70が形成されていてもよい。
n−MIS領域62において半導体層2の第1主面3の上には、n−MISゲート絶縁膜73を挟んでn−MISゲート電極74が形成されている。n−MISゲート絶縁膜73は、本実施形態では、前述の表面絶縁膜38を利用して形成されている。表面絶縁膜38の厚さよりも大きい、または、小さい厚さを有するn−MISゲート絶縁膜73が形成されていてもよい。
p型ウェル領域70の表層部において、n+型ソース領域71およびn+型ドレイン領域72の間の領域が、n−MIS領域62のチャネル75である。
p型ウェル領域79の表層部には、n型ウェル領域80が形成されている。n型ウェル領域80は、半導体層2においてp型ウェル領域79よりも浅い領域に形成されている。したがって、n型ウェル領域80は、p型ウェル領域79の底部に対して半導体層2の第1主面3側に間隔を空けて形成されている。
p−MIS領域63において半導体層2の第1主面3の上には、p−MISゲート絶縁膜83を挟んでp−MISゲート電極84が形成されている。p−MISゲート絶縁膜83は、本実施形態では、前述の表面絶縁膜38を利用して形成されている。表面絶縁膜38の厚さよりも大きい、または、小さい厚さを有するp−MISゲート絶縁膜83が形成されていてもよい。
n型ウェル領域80の表層部において、p+型ソース領域81およびp+型ドレイン領域82の間の領域がp−MIS領域63のチャネル85である。
次に、半導体装置1の製造方法について説明する。図5A〜図5Oは、図1に示す半導体装置1の製造方法を示す断面図である。図5A(a)〜図5O(a)はPOWER−MIS領域6の一部の領域を示している。図5A(b)〜図5O(b)はCMIS領域7のn−MIS領域62を示している。
半導体ウエハ92は、シリコン製のn+型半導体基板21と、n+型半導体基板21の上に形成されたシリコン製のn−型エピタキシャル層22とを含む。n−型エピタキシャル層22は、n+型半導体基板21の主面からシリコンをエピタキシャル成長させることによって形成されている。
次に、図5B(a),(b)を参照して、半導体ウエハ92の第1主面93の上にマスク95が形成される。マスク95は、ゲートトレンチ28および素子分離トレンチ64を形成すべき領域に開口96を選択的に有している。
次に、図5C(a),(b)を参照して、たとえばCVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長)法によって、絶縁膜97が形成される。絶縁膜97は、半導体ウエハ92の第1主面93に加えて、ゲートトレンチ28の内壁面および素子分離トレンチ64の内壁面に沿って形成される。
この工程では、絶縁膜97の厚さよりも小さい厚さを有するライナー酸化膜が形成されてもよい。ライナー酸化膜は、100Å以上2000Å以下(より具体的には1500Å程度)の厚さを有していてもよい。
第1ポリシリコン膜98は、n型不純物が注入されたドープドポリシリコンであってもよい。第1ポリシリコン膜98は、ポリシリコン膜の成膜と同時に、当該ポリシリコン膜にn型不純物を注入することによって形成されてもよい。
より具体的には、POWER−MIS領域6では、第1ポリシリコン膜98は、その上面がゲートトレンチ28の深さ方向途中部に達するまで除去される。これにより、ゲートトレンチ28内に埋め込み電極30が形成される。
次に、図5F(a),(b)を参照して、たとえばエッチバックによって、絶縁膜97の不要な部分が選択的に除去される。絶縁膜97のエッチバック工程は、薬液を用いたウェットエッチングによって絶縁膜97の不要な部分を選択的に除去する工程を含んでいてもよい。
一方、CMIS領域7では、絶縁膜97において半導体ウエハ92の第1主面93を被覆する部分が選択的に除去される。これにより、素子分離トレンチ64に素子分離絶縁膜65が形成される。
また、POWER−MIS領域6では、下側絶縁膜29から露出するゲートトレンチ28の側壁34にSiO2を含むゲート絶縁膜31が形成される。さらに、下側絶縁膜29から露出する埋め込み電極30の上端部にSiO2を含む中間絶縁膜33が形成される。
次に、図5H(a),(b)を参照して、たとえばCVD法によって、半導体ウエハ92の第1主面93の上に第2ポリシリコン膜100(導電体層)が形成される。第2ポリシリコン膜100は、ゲートトレンチ28を埋めて半導体ウエハ92の第1主面93を被覆するように形成される。
次に、図5I(a),(b)を参照して、たとえばエッチバックによって、第2ポリシリコン膜100の不要な部分が選択的に除去される。第2ポリシリコン膜100のエッチバック工程は、RIE(Reactive Ion Etching)法等のドライエッチング工程を含んでいてもよい。
これにより、ゲートトレンチ28に、半導体ウエハ92の第1主面93よりも下方に上面40が位置するゲート電極32が形成される。第2ポリシリコン膜100のエッチバックの後、ゲート電極32の上面40に、自然酸化膜等からなる上面絶縁膜52が形成されてもよい。
次に、図5J(a),(b)を参照して、半導体ウエハ92の第1主面93の表層部にp型不純物が注入される。より具体的には、まず、半導体ウエハ92の第1主面93の上に、イオン注入マスク101が形成される。イオン注入マスク101は、POWER−MIS領域6のp型ボディ領域45を形成すべき領域を選択的に露出させる開口(図示せず)を有している。
これにより、p型不純物は、半導体ウエハ92の第1主面93およびゲートトレンチ28の側壁34から、当該半導体ウエハ92の第1主面93の表層部に注入される。p型不純物が注入された後、イオン注入マスク101が除去される。その後、熱処理工程を経て、p型ボディ領域45が形成される。
これにより、n−MIS領域62において、p型ウェル領域70が半導体ウエハ92の第1主面93の表層部に形成される。また、これにより、p−MIS領域63において、p型ウェル領域79およびn型ウェル領域80が半導体ウエハ92の第1主面93の表層部に形成される。
第3ポリシリコン膜102は、n型不純物が注入されたドープドポリシリコンであってもよい。第3ポリシリコン膜102は、ポリシリコン膜の成膜と同時に、当該ポリシリコン膜にn型不純物を注入することによって形成されてもよい。
次に、たとえばCVD法によって、絶縁膜103(絶縁層)が、半導体ウエハ92の第1主面93を被覆するように形成される。ここでは、絶縁膜103がSiO2である例について説明する。
次に、図5L(a),(b)を参照して、たとえばエッチバックにより、絶縁膜103において、半導体ウエハ92の第1主面93に沿う領域が選択的に除去される。絶縁膜103のエッチバックは、ドライエッチングによって行われてもよい。
一方、CMIS領域7のn−MIS領域62において、絶縁膜103の一部は、n−MISゲート電極74の側壁に付着した状態で残存する。これにより、n−MISゲート電極74の側壁を被覆する第1サイドウォール76が、n−MISゲート電極74に対して自己整合的に形成される。
次に、図5M(a),(b)を参照して、半導体ウエハ92の第1主面93の表層部にn型不純物が注入される。より具体的には、まず、半導体ウエハ92の第1主面93の上に、イオン注入マスク104が形成される。
次に、イオン注入マスク104を介する斜めイオン注入法により、半導体ウエハ92の第1主面93の表層部にn型不純物が注入される。n型不純物の注入角度の絶対値は、半導体ウエハ92の第1主面93の法線を0°と定義すると、たとえば5°以上35°以下である。
CMIS領域7のn−MIS領域62では、第1サイドウォール76に沿ってp型ウェル領域70の表層部にn型不純物が注入される。
CMIS領域7のn+型ソース領域71およびn+型ドレイン領域72は、POWER−MIS領域6のn+型ソース領域46とは、異なる工程を経て形成されてもよい。したがって、n+型ソース領域71およびn+型ドレイン領域72は、n+型ソース領域46のn型不純物濃度および深さとは異なるn型不純物濃度および深さで形成されてもよい。
イオン注入マスク106は、POWER−MIS領域6のp+型コンタクト領域47およびCMIS領域7(p−MIS領域63)のp+型ソース領域81を形成すべき領域を選択的に露出させる開口107を有している。
POWER−MIS領域6では、p型ボディ領域45の表層部にp型不純物が選択的に注入される。POWER−MIS領域6において、p型不純物の一部は、側壁絶縁膜51およびゲート絶縁膜31を介してp型ボディ領域45の表層部に注入されてもよい。これにより、ゲートトレンチ28の側壁34に沿うp+型コンタクト領域47を形成できる。
p型不純物が注入された後、イオン注入マスク106が除去される。その後、熱処理工程を経て、p+型コンタクト領域47、p+型ソース領域81およびp+型ドレイン領域82が形成される。
次に、たとえばマスク(図示せず)を介するエッチングにより、層間絶縁層53の不要な部分が選択的に除去される。これにより、POWER−MIS領域6に、n+型ソース領域46およびp+型コンタクト領域47を露出させるコンタクト孔54が形成される。
以上の工程を経て製造された半導体ウエハ構造物の一例が、図6に示されている。図6は、図1に示す半導体装置1の製造途中に製造される半導体ウエハ構造物111を示す模式的な平面図である。
複数の装置形成領域112は、ダイシングライン113によって互いに区画されている。ダイシングライン113は、第1方向に沿って延びる第1ラインと、第2方向に沿って延びる第2ラインとを含む平面視格子状に設定されている。
図7は、図6に示す半導体ウエハ構造物111の第1装置形成領域112Aに形成されるトレンチゲート構造27の断面図である。図8は、図6に示す半導体ウエハ構造物111の第2装置形成領域112Bに形成されるトレンチゲート構造27の断面図である。
第1装置形成領域112Aの凹所41の深さDは、たとえば1000Å以上3000Å以下(1000Å≦D≦3000Å以下)である。第2装置形成領域112Bの凹所41の深さDは、たとえば3000Åを超えて6000Å以下(3000Å<D≦6000Å)である。
つまり、本実施形態では、ドライエッチング時のガスやイオンに曝される時間が、半導体ウエハ92の中央部よりも半導体ウエハ92の周縁部の方が長い。そのため、第2装置形成領域112B側の第2ポリシリコン膜100の除去量が、第1装置形成領域112A側の第2ポリシリコン膜100の除去量よりも増加する。
図7および図8を再度参照して、第2装置形成領域112Bに形成されたp型ボディ領域45の底部は、第1装置形成領域112Aに形成されたp型ボディ領域45の底部よりも下方に位置している。これは、p型ボディ領域45の形成工程(図5J(a),(b)参照)において、斜めイオン注入法によって、ゲートトレンチ28の側壁34から半導体ウエハ92の第1主面93の表層部にp型不純物が注入されたためである。
図9では、凹所41の深さDを2000Å,3000Å,4000Åおよび5000Åに設定したときのチャネル50のチャネル長を調べた結果がそれぞれ示されている。チャネル50のチャネル長の設計値は、0.65μmに設定されている。
その結果、第1装置形成領域112Aから取得可能な半導体装置1の電気的特性と、第2装置形成領域112Bから取得可能な半導体装置1の電気的特性との間でバラツキが生じてしまう。
図10では、凹所41の深さDを2000Å,3000Å,4000Åおよび5000Åにしたときのチャネル50のチャネル長を調べた結果がそれぞれ示されている。チャネル50のチャネル長の設計値は、0.65μmに設定されている。
これは、n+型ソース領域46を形成する工程(図5M(a),(b)参照)において、側壁絶縁膜51を介してp型ボディ領域45の表層部にn型不純物が注入されたためである。この工程では、側壁絶縁膜51によって、n型不純物がp型ボディ領域45の表層部の深い位置に注入されることが抑制される。
本実施形態では、第2装置形成領域112Bに加えて、第1装置形成領域112Aにおいても側壁絶縁膜51を形成している。これにより、第1装置形成領域112Aにおいても、p型ボディ領域45の表層部の深い位置にn型不純物が注入されることを抑制できる。よって、第1装置形成領域112Aおよび第2装置形成領域112Bの間でチャネル50のチャネル長にばらつきが生じるのをより一層抑制できる。
その結果、リーク電流の増加や閾値電圧の低下等といった電気的特性の設計値に対する変動を抑制できる構造の半導体装置1や半導体ウエハ構造物111を製造できる。
その結果、第1装置形成領域112Aから取得可能な半導体装置1(第1半導体装置)の電気的特性と、第2装置形成領域112Bから取得可能な半導体装置1(第2半導体装置)の電気的特性との間でバラツキが生じるのを抑制できる。よって、歩留りを向上できる。
したがって、第1サイドウォール76および第2サイドウォール86を形成する工程を既に実施している場合には、工数を増加させることなく、側壁絶縁膜51を形成することができる。これにより、側壁絶縁膜51の追加に伴うコストの増加を抑制できる。
図11は、図2に対応する部分の断面図であって、本発明の第2実施形態に係る半導体装置121を示す図である。図11において、前述の第1実施形態において述べた構成と同様の構成については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る半導体装置121は、前述のPOWER−MIS領域6に代えてPOWER−IGBT領域126を含む構造を有している点において、前述の第1実施形態に係る半導体装置1とは異なる構造を有している。POWER−IGBT領域126は、トレンチゲート型のIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)を含む。
これにより、p+型半導体基板21は、p+型コレクタ領域124として形成されている。また、n−型エピタキシャル層22は、n−型コレクタドリフト領域125として形成されている。コレクタ電極123の電極材料としては、表面電極9の電極材料と同様のものを適用できる。
本実施形態に係る半導体装置121によっても、前述の第1実施形態において述べた作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
図12は、図2に対応する部分の断面図であって、本発明の第3実施形態に係る半導体装置131を示す図である。図12において、前述の第1実施形態において述べた構成と同様の構成については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る半導体装置131は、トレンチゲート構造27が下側絶縁膜29および埋め込み電極30を含まない点において、前述の第1実施形態に係る半導体装置1とは異なる構造を有している。
本実施形態に係る半導体装置131によっても、前述の第1実施形態において述べた作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
前述の各実施形態では、半導体ウエハ構造物111において、第1装置形成領域112Aおよび第2装置形成領域112Bの双方に側壁絶縁膜51が形成された例について説明した。しかし、凹所41の深さDが比較的大きい第2装置形成領域112Bだけに側壁絶縁膜51を形成してもよい。
しかし、製造方法によっては、半導体ウエハ92の第1主面93の周縁部に設定された第2装置形成領域112Bの凹所41の深さDが、半導体ウエハ92の第1主面93の中央部に設定された第1装置形成領域112Aの凹所41の深さDよりも小さくなる場合がある点を補足しておく。
前述の第2実施形態では、CMIS領域7および保護回路領域8を含まず、POWER−IGBT領域126だけが形成された構造が採用されてもよい。
前述の各実施形態において、各半導体部分の導電型が反転された構造が採用されてもよい。つまり、p型の部分がn型とされ、n型の部分がp型とされてもよい。
この場合、第1実施形態および第3実施形態では、半導体層2の第2主面4に対するn型不純物の注入によってn+型ドレイン領域24が形成される。そして、n−型半導体基板の一部の領域がn−型ドレインドリフト領域25となる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 半導体層
3 半導体層の第1主面
4 半導体層の第2主面
28 ゲートトレンチ(トレンチ)
29 下側絶縁膜(下側絶縁層)
30 埋め込み電極
31 ゲート絶縁膜(ゲート絶縁層)
32 ゲート電極
33 中間絶縁膜(中間絶縁層)
34 ゲートトレンチの側壁
35 ゲートトレンチの底壁
40 ゲート電極の上面
41 凹所
45 p型ボディ領域(第2導電型領域)
46 n+型ソース領域(第1導電型領域)
50 チャネル
51 側壁絶縁膜(側壁絶縁層)
92 半導体ウエハ
93 半導体ウエハの第1主面
94 半導体ウエハの第2主面
100 第2ポリシリコン膜(導電体層)
103 絶縁膜(絶縁層)
111 半導体ウエハ構造物
112A 第1装置形成領域
112B 第2装置形成領域
121 半導体装置
128 n+型エミッタ領域(第1導電型領域)
131 半導体装置
Claims (19)
- トレンチが形成された主面を有する第1導電型の半導体層と、
前記トレンチの側壁に沿って形成されたゲート絶縁層を挟んで前記トレンチに埋め込まれ、前記半導体層の前記主面よりも下方に位置する上面を有するゲート電極と、
前記半導体層の前記主面の表層部に形成され、前記ゲート絶縁層を挟んで前記ゲート電極と対向する第2導電型領域と、
前記第2導電型領域の表層部に形成され、前記ゲート絶縁層を挟んで前記ゲート電極と対向する第1導電型領域と、
前記トレンチの前記側壁および前記ゲート電極の前記上面によって区画された凹所において前記トレンチの前記側壁を被覆する側壁絶縁層とを含む、半導体装置。 - 前記側壁絶縁層は、前記凹所において、前記ゲート絶縁層を挟んで前記トレンチの前記側壁を被覆している、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記側壁絶縁層は、前記凹所において、前記トレンチの前記側壁に加えて、前記ゲート電極の前記上面を被覆している、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記側壁絶縁層は、前記凹所において、前記ゲート電極の前記上面および前記トレンチの前記側壁によって形成されるエッジ部に沿って形成されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記側壁絶縁層は、前記トレンチの前記側壁から前記ゲート電極の前記上面に向けて張り出し、かつ、前記凹所の内側に向かう湾曲面を有している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記側壁絶縁層は、前記ゲート絶縁層と同一の絶縁材料を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記側壁絶縁層は、前記ゲート絶縁層とは異なる絶縁材料を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記トレンチの前記ゲート電極よりも下方の領域に下側絶縁層を挟んで埋め込まれた埋め込み電極と、
前記ゲート電極および前記埋め込み電極の間に形成された中間絶縁層とをさらに含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 第1導電型の半導体ウエハの主面にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの側壁に沿ってゲート絶縁層を形成する工程と、
前記半導体ウエハの前記主面よりも下方に上面が位置するように、前記トレンチにゲート電極を埋め込む工程と、
前記トレンチの側方において、前記半導体ウエハの前記主面の表層部に第2導電型不純物を注入し、前記トレンチの前記側壁に沿う第2導電型領域を形成する工程と、
前記トレンチの前記側壁および前記ゲート電極の前記上面によって区画された凹所において、前記トレンチの前記側壁を覆う側壁絶縁層を形成する工程と、
前記側壁絶縁層を介して前記第2導電型領域の表層部に第1導電型不純物を注入して、前記第2導電型領域の表層部に前記トレンチの前記側壁に沿う第1導電型領域を形成する工程とを含む、半導体装置の製造方法。 - 前記第1導電型領域を形成する工程は、斜めイオン注入法によって、前記側壁絶縁層を介して前記第2導電型領域の表層部に前記第1導電型不純物を注入する工程を含む、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2導電型領域を形成する工程は、斜めイオン注入法によって、前記トレンチの前記側壁から前記半導体ウエハの前記主面の前記表層部に前記第2導電型不純物を注入する工程を含む、請求項9または10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記側壁絶縁層を形成する工程は、
前記半導体ウエハの前記主面に加えて、前記トレンチの前記側壁および前記ゲート電極の前記上面によって区画された前記凹所の内壁に沿う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層において前記トレンチの前記側壁を被覆する部分が残存するように、前記絶縁層の不要な部分を選択的に除去する工程とを含む、請求項9〜11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート電極を形成する工程は、
前記トレンチを埋めて前記半導体ウエハの前記主面を被覆する導電体層を形成する工程と、
前記導電体層の上面が前記半導体ウエハの前記主面よりも下方に位置するまで、前記導電体層の不要な部分を選択的に除去する工程とを含む、請求項9〜12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 第1半導体装置が形成される第1装置形成領域および第2半導体装置が形成される第2装置形成領域が設定され、かつ、前記第1装置形成領域および前記第2装置形成領域のそれぞれの領域においてトレンチが形成された主面を有する第1導電型の半導体ウエハを含み、
前記第1装置形成領域および前記第2装置形成領域は、
前記トレンチの側壁に沿って形成されたゲート絶縁層を挟んで前記トレンチに埋め込まれ、前記半導体ウエハの前記主面よりも下方に位置する上面を有するゲート電極と、
前記半導体ウエハの前記主面の表層部に形成され、前記ゲート絶縁層を挟んで前記ゲート電極と対向する第2導電型領域と、
前記第2導電型領域の表層部に形成され、前記ゲート絶縁層を挟んで前記ゲート電極と対向する第1導電型領域と、をそれぞれ含み、
前記第2装置形成領域に形成された前記ゲート電極の前記上面は、前記第1装置形成領域に形成された前記ゲート電極の前記上面よりも下方に位置しており、
前記第2装置形成領域は、前記トレンチの前記側壁および前記ゲート電極の前記上面によって区画された凹所において前記トレンチの前記側壁を被覆する側壁絶縁層を含む、半導体ウエハ構造物。 - 前記第2装置形成領域に加えて前記第1装置形成領域も、前記側壁絶縁層を含む、請求項14に記載の半導体ウエハ構造物。
- 前記第2装置形成領域に形成された前記第2導電型領域の底部は、前記第1装置形成領域に形成された前記第2導電型領域の底部よりも下方に位置している、請求項14または15に記載の半導体ウエハ構造物。
- 前記第1装置形成領域は、前記半導体ウエハの前記主面の中央部に設定されており、
前記第2装置形成領域は、前記半導体ウエハの前記主面の周縁部に設定されている、請求項14〜16のいずれか一項に記載の半導体ウエハ構造物。 - 前記第1装置形成領域および前記第2装置形成領域のそれぞれにおいて、前記第2導電型領域は、前記ゲート絶縁層を挟んで前記ゲート電極と対向する領域に形成されるチャネルを含み、
前記第1装置形成領域に形成された前記チャネルの前記半導体ウエハの厚さ方向に沿う第1チャネル長、および、前記第2装置形成領域に形成された前記チャネルの前記半導体ウエハの厚さ方向に沿う第2チャネル長の間の差の絶対値が、前記第1チャネル長および前記第2チャネル長の平均値の0%以上10%以下である、請求項14〜17のいずれか一項に記載の半導体ウエハ構造物。 - 前記第1装置形成領域および前記第2装置形成領域のそれぞれにおいて、前記第2導電型領域は、前記ゲート絶縁層を挟んで前記ゲート電極と対向する領域に形成されるチャネルを含み、
前記第1装置形成領域に形成された前記チャネルの前記半導体ウエハの厚さ方向に沿う第1チャネル長と、前記第2装置形成領域に形成された前記チャネルの前記半導体ウエハの厚さ方向に沿う第2チャネル長との間の差の絶対値が、0μm以上0.1μm以下である、請求項14〜17のいずれか一項に記載の半導体ウエハ構造物。
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