JP2018121069A - 熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置 - Google Patents
熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018121069A JP2018121069A JP2018056013A JP2018056013A JP2018121069A JP 2018121069 A JP2018121069 A JP 2018121069A JP 2018056013 A JP2018056013 A JP 2018056013A JP 2018056013 A JP2018056013 A JP 2018056013A JP 2018121069 A JP2018121069 A JP 2018121069A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interlayer connection
- connection member
- back surface
- base material
- surface protection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 21
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 147
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 44
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 36
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 101
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 96
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 19
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 18
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 13
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 claims description 12
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 25
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 8
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 6
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 6
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 6
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 4
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910002909 Bi-Te Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910016339 Bi—Sb—Te Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 230000005676 thermoelectric effect Effects 0.000 description 3
- 229910017980 Ag—Sn Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- -1 etc. Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229910000809 Alumel Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001006 Constantan Inorganic materials 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001215 Te alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000011490 mineral wool Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1〜図3に示されるように、本実施形態の熱電変換装置1は、絶縁基材10、表面保護部材20、裏面保護部材30が一体化され、この一体化されたものの内部で異種金属である第1、第2層間接続部材40、50が交互に直列に接続されて構成されている。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、貫通孔13が形成されていない積層体80を構成し、この積層体80を窪み部が形成されたプレス板を用いて一体化するものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第1、第2導電性ペースト41、51が充填された絶縁基材10を用意する製造工程を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、絶縁基材10の構成を変更すると共に、第1、第2ビアホール11、12(第1、第2層間接続部材40、50)の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第9実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、表面保護部材20および裏面保護部材30を除去したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第10実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第2層間接続部材50を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第11実施形態について説明する。本実施形態は、第10実施形態に対して、第1、第2ビアホール11、12の配置方法を変更したものであり、その他に関しては第10実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第12実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第1ビアホール11のみを形成すると共に表面保護部材20と裏面保護部材30とを一体化したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第13実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態の熱電変換装置1を用いて電子部品を構成したものであり、熱電変換装置1の詳細は第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 表面
10b 裏面
11 第1ビアホール
12 第2ビアホール
20 表面保護部材
21 表面パターン
30 裏面保護部材
31 裏面パターン
40 第1層間接続部材
41 第1導電性ペースト
50 第2層間接続部材
51 第2導電性ペースト
60 組
80 積層体
Claims (6)
- 複数の表面パターン(21)を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された表面保護部材(20)と、
複数の裏面パターン(31)を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された裏面保護部材(30)と、
厚さ方向に貫通する複数の第1、第2ビアホール(11、12)を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された絶縁基材(10)と、
前記第1ビアホール(11)に充填され、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している金属粒子の合金で形成された第1層間接続部材(40)と、
前記第2ビアホール(12)に充填され、前記合金に対して異種金属で形成された第2層間接続部材(50)と、を備え、
隣接する1つの前記第1ビアホールに充填された前記第1層間接続部材と1つの前記第2ビアホールに充填された前記第2層間接続部材とを組(60)としたとき、前記絶縁基材の表面側に、前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材が前記組毎に前記複数の表面パターンにおける同じ表面パターンに接触する状態で前記表面保護部材が配置されている共に、前記絶縁基材の裏面側に、隣接する組における一方の組の前記第1層間接続部材および他方の組の前記第2層間接続部材が前記複数の裏面パターンにおける同じ前記裏面パターンに接触する状態で前記裏面保護部材が配置されており、
前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材の周囲は、前記絶縁基材で囲まれており、
前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材は、固相焼結された合金であり、
前記表面パターン同士の間、および前記裏面パターン同士の間には、前記熱可塑性樹脂が配置されていることを特徴とする熱電変換装置。 - 複数の表面パターン(21)を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された表面保護部材(20)と、
複数の裏面パターン(31)を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された裏面保護部材(30)と、
厚さ方向に貫通する複数の第1、第2ビアホール(11、12)を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された絶縁基材(10)と、
前記第1ビアホール(11)に充填され、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金で形成された第1層間接続部材(40)と、
前記第2ビアホール(12)に充填され、前記合金に対して異種金属で形成された第2層間接続部材(50)と、を備え、
隣接する1つの前記第1ビアホールに充填された前記第1層間接続部材と1つの前記第2ビアホールに充填された前記第2層間接続部材とを組(60)としたとき、前記絶縁基材の表面側に、前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材が前記組毎に前記複数の表面パターンにおける同じ表面パターンに接触する状態で前記表面保護部材が配置されている共に、前記絶縁基材の裏面側に、隣接する組における一方の組の前記第1層間接続部材および他方の組の前記第2層間接続部材が前記複数の裏面パターンにおける同じ前記裏面パターンに接触する状態で前記裏面保護部材が配置されており、
前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材の周囲は、前記絶縁基材で囲まれており、
前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材は、固相焼結された合金であり、
前記表面パターン同士の間、および前記裏面パターン同士の間には、前記表面保護部材、前記裏面保護部材、前記絶縁基材を構成する少なくとも1つの熱可塑性樹脂が配置されていることを特徴とする熱電変換装置。 - 前記表面パターンは、前記組における前記第1層間接続部材と前記第2層間接続部材との配列方向に沿った長手方向を有し、前記長手方向における一端部は、当該第1層間接続部材と接触する部分を挟んで当該第2層間接続部材と接触する部分と反対側まで延設され、前記長手方向における他端部は、当該第2層間接続部材と接触する部分を挟んで当該第1接続部材と接触する部分と反対側まで延設され、
前記裏面パターンは、前記隣接する組における一方の組の前記第1層間接続部材と他方の組の前記第2層間接続部材との配列方向に沿った長手方向を有し、前記長手方向における一端部は、当該第1層間接続部材と接触する部分を挟んで当該第2層間接続部材と接触する部分と反対側まで延設され、前記長手方向における他端部は、当該第2層間接続部材と接触する部分を挟んで当該第1接続部材と接触する部分と反対側まで延設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換装置。 - 前記表面パターンは、前記長手方向の一端部側における前記第1層間接続部材と接触する部分から延設された部分の長さ、および前記長手方向の他端部側における前記第2層間接続部材と接触する部分から延設された部分の長さが、当該表面パターンの厚さより長くされており、
前記裏面パターンは、前記長手方向の一端部側における前記第1層間接続部材と接触する部分から延設された部分の長さ、および前記長手方向の他端部側における前記第2層間接続部材と接触する部分から延設された部分の長さが、当該表面パターンの厚さより長くされていることを特徴とする請求項3に記載の熱電変換装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の熱電変換装置の製造方法であって、
厚さ方向に貫通する複数の前記第1、第2ビアホールが形成され、前記第1ビアホールに第1導電性ペースト(41)が充填されていると共に前記第2ビアホールに第2導電性ペースト(51)が充填されている前記絶縁基材を用意する工程と、
前記絶縁基材の表面(10a)に所定の前記第1、第2導電性ペーストと接触する前記表面パターンを有する前記表面保護部材を配置すると共に、前記絶縁基材の裏面(10b)に所定の前記第1、第2導電性ペーストと接触する前記裏面パターンを有する前記裏面保護部材を配置して積層体(80)を形成する工程と、
前記積層体を加熱しながら積層方向から加圧し、前記第1、第2導電性ペーストから前記第1、第2層間接続部材を構成すると共に前記第1、第2層間接続部材と前記表面パターンおよび前記裏面パターンとを電気的に接続する一体化工程と、を行い、
前記第1導電性ペーストとして、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、
前記第2導電性ペーストとして、前記合金と異種金属の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、
前記一体化工程では、
前記積層体を一対のプレス板の間に配置すると共に、前記積層体とプレス板との間に緩衝材を配置して行い、
前記表面保護部材における前記絶縁基材と対向する一面(20a)と反対側の他面と、前記裏面保護部材における前記絶縁基材と対向する一面(30a)と反対側の他面との間の距離において、前記第1層間接続部材または前記第2層間接続部材を挟む部分が前記第1層間接続部材または前記第2層間接続部材を挟む部分と異なる部分より長くなり、
さらに、前記表面保護部材における前記他面と前記裏面保護部材における前記他面との間の中間位置において、前記第1層間接続部材内または前記第2層間接続部材内における前記中間位置を第1中間位置とし、前記絶縁基材内における前記中間位置を第2中間位置とすると、前記第1中間位置から前記表面保護部材の他面までの距離が、前記第2中間位置から前記表面保護部材の他面までの距離より長くなり、かつ同じ前記第1中間位置から前記裏面保護部材の他面までの距離が、同じ前記第2中間位置から前記裏面保護部材の他面までの距離より長くなる状態を含むようにすることを特徴とする熱電変換装置の製造方法。 - 前記一体化工程では、約320℃まで加熱しながら加圧することを特徴とする請求項5に記載の熱電変換装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012122824 | 2012-05-30 | ||
JP2012122824 | 2012-05-30 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017024290A Division JP2017085179A (ja) | 2012-05-30 | 2017-02-13 | 熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018121069A true JP2018121069A (ja) | 2018-08-02 |
JP6583461B2 JP6583461B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=49954991
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013151936A Expired - Fee Related JP5376087B1 (ja) | 2012-05-30 | 2013-07-22 | 熱電変換装置の製造方法 |
JP2013151935A Expired - Fee Related JP5376086B1 (ja) | 2012-05-30 | 2013-07-22 | 熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置を備える電子部品の製造方法 |
JP2017024290A Pending JP2017085179A (ja) | 2012-05-30 | 2017-02-13 | 熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置 |
JP2018056013A Expired - Fee Related JP6583461B2 (ja) | 2012-05-30 | 2018-03-23 | 熱電変換装置の製造方法 |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013151936A Expired - Fee Related JP5376087B1 (ja) | 2012-05-30 | 2013-07-22 | 熱電変換装置の製造方法 |
JP2013151935A Expired - Fee Related JP5376086B1 (ja) | 2012-05-30 | 2013-07-22 | 熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置を備える電子部品の製造方法 |
JP2017024290A Pending JP2017085179A (ja) | 2012-05-30 | 2017-02-13 | 熱電変換装置の製造方法、熱電変換装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP5376087B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020190517A (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社デンソー | 荷重測定装置およびその製造方法 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5939085B2 (ja) * | 2012-08-23 | 2016-06-22 | 大日本印刷株式会社 | 温度差発電ユニット |
JP6070506B2 (ja) | 2013-06-04 | 2017-02-01 | 株式会社デンソー | 生体検知器、車両用着座検知器およびシートベルト非着用警告システム |
JP5942960B2 (ja) | 2013-06-04 | 2016-06-29 | 株式会社デンソー | 発熱量制御装置 |
JP6032175B2 (ja) | 2013-10-25 | 2016-11-24 | 株式会社デンソー | 熱電変換装置の製造方法 |
JP6011514B2 (ja) | 2013-10-30 | 2016-10-19 | 株式会社デンソー | 液面高さ検出計 |
JP6481497B2 (ja) * | 2014-06-03 | 2019-03-13 | 株式会社デンソー | 温調制御装置 |
JP6369379B2 (ja) | 2014-06-03 | 2018-08-08 | 株式会社デンソー | 質量流量計および速度計 |
JP6394491B2 (ja) | 2014-06-03 | 2018-09-26 | 株式会社デンソー | 熱電変換素子シートの製造方法、熱電変換装置の製造方法 |
JP6485206B2 (ja) * | 2014-06-03 | 2019-03-20 | 株式会社デンソー | 熱流分布測定装置 |
KR102297283B1 (ko) * | 2014-06-23 | 2021-09-03 | 삼성전기주식회사 | 열전 모듈을 갖는 기판 및 이를 이용한 반도체 패키지 |
KR102276513B1 (ko) * | 2014-11-10 | 2021-07-14 | 삼성전기주식회사 | 열전 모듈을 갖는 기판, 반도체 패키지 및 이들의 제조방법 |
JP6451484B2 (ja) * | 2015-05-11 | 2019-01-16 | 株式会社デンソー | 熱流束センサの製造方法およびそれに用いる熱流発生装置 |
JP6269612B2 (ja) | 2015-08-05 | 2018-01-31 | 株式会社デンソー | 放射熱センサ |
JP6406298B2 (ja) | 2015-10-05 | 2018-10-17 | 株式会社デンソー | 監視装置および異常診断装置 |
JP6358233B2 (ja) | 2015-11-12 | 2018-07-18 | 株式会社デンソー | 組付状態の診断装置 |
JP6358234B2 (ja) | 2015-11-12 | 2018-07-18 | 株式会社デンソー | 稼働状態の診断装置 |
JP6249009B2 (ja) | 2015-11-12 | 2017-12-20 | 株式会社デンソー | 異常診断装置 |
JP6500825B2 (ja) * | 2016-04-08 | 2019-04-17 | 株式会社デンソー | 監視装置 |
JP6274246B2 (ja) | 2016-04-08 | 2018-02-07 | 株式会社デンソー | 監視装置 |
JP6447577B2 (ja) | 2016-05-27 | 2019-01-09 | 株式会社デンソー | 熱電変換装置およびその製造方法 |
JP6822351B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-01-27 | 株式会社デンソー | 熱流束センサの製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000124510A (ja) * | 1998-10-19 | 2000-04-28 | Nissan Motor Co Ltd | 電子冷却モジュール |
US6127619A (en) * | 1998-06-08 | 2000-10-03 | Ormet Corporation | Process for producing high performance thermoelectric modules |
JP2003273511A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-09-26 | Denso Corp | プレス工法およびプレス用部材の作製方法 |
JP2012074662A (ja) * | 2009-12-09 | 2012-04-12 | Sony Corp | 熱電発電装置、熱電発電方法、電気信号検出装置及び電気信号検出方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01179376A (ja) * | 1988-01-05 | 1989-07-17 | Agency Of Ind Science & Technol | 熱電モジュールおよびその製造方法 |
JPH08162680A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Sharp Corp | 熱電変換装置 |
JPH11243169A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-09-07 | Nissan Motor Co Ltd | 電子冷却モジュールおよびその製造方法 |
JPH11257789A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Hitachi Ltd | 熱電冷却装置及びそれを用いた構造物 |
TW405273B (en) * | 1998-04-23 | 2000-09-11 | Toyo Kohan Co Ltd | Manufacturing method of sintered material for thermo-electric converter elements, sintered materials for thermo-electric converter elements, and a thermoelectric converter element made by using the same |
JP3526563B2 (ja) * | 2001-08-21 | 2004-05-17 | 京セラ株式会社 | 熱電素子及びその製造方法及び熱電モジュール |
JP2003174202A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-06-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 熱電装置とこれを用いた光モジュール及びこれらの製造方法 |
JP2003298128A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Shizuoka Prefecture | 熱電変換素子の製造方法 |
JP2003332644A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Komatsu Ltd | 熱電モジュール製造方法および熱電モジュール製造用治具 |
JP2005217353A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Yokohama Teikoki Kk | 熱電半導体素子、熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
JP2006013133A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Toshiba Corp | 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法 |
JP4457795B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2010-04-28 | ヤマハ株式会社 | 熱電モジュールの製造方法 |
JP2009049165A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Murata Mfg Co Ltd | 熱電変換モジュールおよび熱電変換モジュールアセンブリ |
JP2009170438A (ja) * | 2007-10-23 | 2009-07-30 | Ibiden Co Ltd | 熱電変換装置の製造方法 |
FR2925225B1 (fr) * | 2007-12-17 | 2010-06-11 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif generateur d'energie comprenant un convertisseur photovoltaique et un convertisseur thermoelectrique, ce dernier etant inclus au sein du substrat support du convertisseur photovoltaique |
JP2010157645A (ja) * | 2008-12-29 | 2010-07-15 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 熱電発電ユニット |
JP5525173B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2014-06-18 | 株式会社アツミテック | 熱電変換素子の製造方法及び装置 |
-
2013
- 2013-07-22 JP JP2013151936A patent/JP5376087B1/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-07-22 JP JP2013151935A patent/JP5376086B1/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-02-13 JP JP2017024290A patent/JP2017085179A/ja active Pending
-
2018
- 2018-03-23 JP JP2018056013A patent/JP6583461B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6127619A (en) * | 1998-06-08 | 2000-10-03 | Ormet Corporation | Process for producing high performance thermoelectric modules |
JP2000124510A (ja) * | 1998-10-19 | 2000-04-28 | Nissan Motor Co Ltd | 電子冷却モジュール |
JP2003273511A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-09-26 | Denso Corp | プレス工法およびプレス用部材の作製方法 |
JP2012074662A (ja) * | 2009-12-09 | 2012-04-12 | Sony Corp | 熱電発電装置、熱電発電方法、電気信号検出装置及び電気信号検出方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020190517A (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社デンソー | 荷重測定装置およびその製造方法 |
JP7172854B2 (ja) | 2019-05-23 | 2022-11-16 | 株式会社デンソー | 荷重測定装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6583461B2 (ja) | 2019-10-02 |
JP5376086B1 (ja) | 2013-12-25 |
JP2014007409A (ja) | 2014-01-16 |
JP2014007408A (ja) | 2014-01-16 |
JP2017085179A (ja) | 2017-05-18 |
JP5376087B1 (ja) | 2013-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6583461B2 (ja) | 熱電変換装置の製造方法 | |
JP2014007376A (ja) | 熱電変換装置 | |
JP6064861B2 (ja) | 熱電変換装置の製造方法 | |
JP5831468B2 (ja) | 熱電変換装置の製造方法 | |
KR101888113B1 (ko) | 열전 변환 장치의 제조 방법 | |
TWI559582B (zh) | Method for manufacturing thermoelectric conversion device, manufacturing method of electronic device with thermoelectric conversion device | |
JP6183327B2 (ja) | 熱電変換装置 | |
JP2019174127A (ja) | 熱流束センサの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190124 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190409 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190708 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190717 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190819 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6583461 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313114 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |