JP6451484B2 - 熱流束センサの製造方法およびそれに用いる熱流発生装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。図面を参照して、本発明の一実施形態にかかる製造方法によって製造される熱量束センサの構成、および、製造方法のうちの検査工程において用いられる熱流発生装置の構成について説明する
まず、図1〜図4を参照して、本実施形態にかかる熱流束センサの構造について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して熱流束センサ10の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対してヒータプレート206の構成や検査工程の方法を変更したものであり、その他については第2実施形態と同様であるため、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
20 熱流発生装置
200 加熱部
205 放熱測定用ワーク
206 ヒータプレート
210 冷却部
220 冷却ファン
230 リニアガイド
240 シリンダ
250 移送機構
260 支持盤
Claims (7)
- フィルム状の熱流束センサ(10)を用意する工程と、
発熱抵抗体(206b)を有するフィルム状のヒータプレート(206)と、前記ヒータプレートの一面側に配置され、前記ヒータプレートの一面側からの熱漏れを測定する放熱測定用ワーク(205)とを有する加熱部(200)と、前記ヒータプレートの他面側に配置される冷却部(210)とを有する熱流発生装置(20)を用意する工程と、
前記熱流束センサを前記加熱部と前記冷却部との間に挟みつつ、前記ヒータプレートでの発熱および前記冷却部による冷却を行うことで前記熱流束センサを通過する熱流を発生させ、前記放熱測定用ワークにて前記熱漏れが生じていないことを測定することで前記ヒータプレートの温度が環境温度と等しいときを測定し、前記ヒータプレートの温度が前記環境温度と等しいときの前記熱流束センサの出力電圧を測定して、前記ヒータプレートが発生させた熱流量と前記熱流束センサの出力電圧との関係を示す特性を検査する工程と、を含む検査工程を有し、
前記検査工程では、前記放熱測定用ワークで測定される熱漏れに応じて冷却コントローラ(300)にて前記冷却部の吸熱量を制御し、前記ヒータプレートの温度が前記環境温度と等しくなるようにすることを特徴とする熱流束センサの製造方法。 - 前記熱流発生装置を用意する工程では、前記熱流束センサと同じものを前記放熱測定用ワークとして用いることを特徴とする請求項1に記載の熱流束センサの製造方法。
- 前記特性を検査する工程では、前記放熱測定用ワークの出力電圧が前記熱流束センサの出力電圧の誤差範囲のときを前記熱漏れが生じていないと判定することを特徴とする請求項2に記載の熱流束センサの製造方法。
- 前記熱流発生装置を用意する工程では、金属板がパターン加工されて形成された前記発熱抵抗体を熱可塑性樹脂によって構成される樹脂フィルム(206a)によって挟み込んだものを前記ヒータプレートとして用いることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の熱流束センサの製造方法。
- 前記特性を検査する工程では、前記ヒータプレートと前記放熱測定用ワークとの間に弾性平板(204)を挟むことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の熱流束センサの製造方法。
- 前記熱流束センサを用意する工程では、前記熱流束センサとして、複数に区画したそれぞれの領域(B1〜B6)に熱電素子が備えられたものを用意し、
前記熱流発生装置を用意する工程では、前記放熱測定用ワークとして、前記熱流束センサの区画された各領域それぞれの熱漏れを測定できるものを用意し、
前記特性を検査する工程では、前記熱流束センサの区画された各領域それぞれにおいて、前記発熱抵抗体が発生させている熱流量を測定すると共に熱漏れを測定することで前記特性を検査することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の熱流束センサの製造方法。 - 発熱抵抗体(206b)を有し、一面側にフィルム状の熱流束センサ(10)が配置されるフィルム状のヒータプレート(206)と、前記ヒータプレートのうち前記熱流束センサが配置される一面とは反対の面側に配置され、前記ヒータプレートからの熱漏れを測定することで前記ヒータプレートの温度が環境温度と等しいときを測定する放熱測定用ワーク(205)と、を有する加熱部(200)と、
前記熱流束センサが搭載された前記ヒータプレートに対して、前記熱流束センサを挟んで反対側に配置され、前記熱流束センサを冷却する冷却部(210)と、
前記冷却部と前記加熱部の少なくとも一方を移動させる移動機構(230)と、を備え、
前記移動機構によって前記冷却部と前記加熱部の少なくとも一方が移動させられることで、前記冷却部と前記加熱部との間において前記熱流束センサを押圧し、前記放熱測定用ワークで測定される熱漏れに応じて冷却コントローラ(300)にて前記冷却部の吸熱量を制御し、前記ヒータプレートの温度が前記環境温度と等しくなるようにすることを特徴とする熱流発生装置。
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