JP2018092976A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018092976A5 JP2018092976A5 JP2016232726A JP2016232726A JP2018092976A5 JP 2018092976 A5 JP2018092976 A5 JP 2018092976A5 JP 2016232726 A JP2016232726 A JP 2016232726A JP 2016232726 A JP2016232726 A JP 2016232726A JP 2018092976 A5 JP2018092976 A5 JP 2018092976A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging device
- charge holding
- photoelectric conversion
- top view
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Description
本発明の一実施形態によれば、基板と、入射光により生じた電荷の蓄積を行う光電変換部と、前記光電変換部から転送された前記電荷を保持する電荷保持部と、前記電荷保持部から転送された前記電荷を受ける入力ノードを含む増幅部と、を各々が有する複数の画素が前記基板に二次元状に配された画素アレイと、少なくとも前記電荷保持部を覆うように配された遮光部と、を有し、前記複数の画素は、前記基板に対し垂直な方向からの上面視において、第１の方向と、前記第１の方向と交差する第２の方向とに並び、前記上面視において、１つの前記画素に含まれる前記光電変換部及び前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第２の方向に並び、前記遮光部は前記第２の方向に並ぶ複数の前記電荷保持部の間の領域を覆うように、前記第２の方向に沿って前記複数の前記電荷保持部に渡って延在する部分を含み、前記画素の各々は、前記基板に設けられた電極と前記基板の上方に形成された配線層とを接続する複数のコンタクトを更に有し、前記上面視において、前記第１の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、前記複数のコンタクトは、前記第１の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部の間の領域に形成され、前記遮光部は、前記複数の画素の各々において前記光電変換部と前記複数のコンタクトの間に在る部分を含むことを特徴とする撮像装置が提供される。
Claims (19)
- 基板と、
入射光により生じた電荷の蓄積を行う光電変換部と、前記光電変換部から転送された前記電荷を保持する電荷保持部と、前記電荷保持部から転送された前記電荷を受ける入力ノードを含む増幅部と、を各々が有する複数の画素が前記基板に二次元状に配された画素アレイと、
少なくとも前記電荷保持部を覆うように配された遮光部と、
を有し、
前記複数の画素は、前記基板に対し垂直な方向からの上面視において、第１の方向と、前記第１の方向と交差する第２の方向とに並び、
前記上面視において、１つの前記画素に含まれる前記光電変換部及び前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、
前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第２の方向に並び、
前記遮光部は前記第２の方向に並ぶ複数の前記電荷保持部の間の領域を覆うように、前記第２の方向に沿って前記複数の前記電荷保持部に渡って延在する部分を含み、
前記画素の各々は、前記基板に設けられた電極と前記基板の上方に形成された配線層とを接続する複数のコンタクトを更に有し、
前記上面視において、前記第１の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、
前記複数のコンタクトは、前記第１の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部の間の領域に形成され、
前記遮光部は、前記複数の画素の各々において前記光電変換部と前記複数のコンタクトの間に在る部分を含む
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記配線層は、前記電荷保持部を覆うように配されている
ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。 - 前記遮光部は、前記上面視において、前記光電変換部が形成された領域に形成された第１の開口部と、前記複数のコンタクトが形成された領域に形成された第２の開口部とを有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。 - １つの前記画素に含まれる前記複数のコンタクトが、１つの前記第２の開口部に集約されている
ことを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。 - 前記上面視において、前記第１の開口部と前記第２の開口部が前記第２の方向に並ぶ
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の撮像装置。 - 前記画素アレイには、前記光電変換部と前記電荷保持部とを電気的に分離する素子分離領域が配されており、
前記素子分離領域は、前記電荷保持部に入射する光を制限する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記素子分離領域は、ＰＮ接合分離を形成する不純物拡散領域である
ことを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。 - 前記画素アレイは長辺及び短辺を有する長方形をなしており、
前記第２の方向は前記長辺と平行な方向である
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記画素の各々は、複数の前記電荷保持部を有し、
前記上面視において、前記複数の前記電荷保持部は前記第２の方向に並ぶように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記画素の各々は、複数の前記電荷保持部を有し、
前記上面視において、前記複数の前記電荷保持部は、前記光電変換部を間に挟んで前記第１の方向に並ぶように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ複数の前記画素の前記光電変換部が前記第２の方向に並び、
前記第２の方向に並ぶ前記複数の前記光電変換部の間の領域には、前記光電変換部で生じた前記電荷を電気信号として読み出すための読み出し回路部が配されている
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部の間の領域には、前記第２の開口部が配されない
ことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記遮光部は、前記第２の方向に沿った１つの列を成す複数の前記電荷保持部を覆うように、前記画素アレイの一方の端から他方の端まで連続している
ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記複数の画素は、ゲート電極を有し前記光電変換部から前記電荷保持部に電荷を移動させるトランジスタを含み、
前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部のうち隣接する２つの電荷保持部間の隔たりが前記トランジスタのゲート電極幅よりも小さい
ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記上面視において、前記増幅部の入力ノードを構成するフローティングディフュージョン部と前記光電変換部は前記第２の方向に並ぶ
ことを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記フローティングディフュージョン部は、前記第２の開口部に向かって延在する部分を有する
ことを特徴とする請求項１５に記載の撮像装置。 - 前記遮光部の前記電荷保持部を覆う部分は、前記基板に設けられたトランジスタのゲート電極を覆う部分よりも、前記上面視において低い位置にある
ことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置の前記画素から出力される信号を処理する信号処理部とを有する
ことを特徴とする撮像システム。 - 移動体であって、
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置からの信号に基づく視差画像から、対象物までの距離情報を取得する距離情報取得手段と、
前記距離情報に基づいて前記移動体を制御する移動体制御手段とを有する
ことを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016232726A JP2018092976A (ja) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 撮像装置 |
| US15/791,909 US10483307B2 (en) | 2016-11-30 | 2017-10-24 | Imaging device |
| CN201711200024.1A CN108122937B (zh) | 2016-11-30 | 2017-11-27 | 成像器件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016232726A JP2018092976A (ja) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018092976A JP2018092976A (ja) | 2018-06-14 |
| JP2018092976A5 true JP2018092976A5 (ja) | 2019-12-26 |
Family
ID=62190457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016232726A Pending JP2018092976A (ja) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 撮像装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10483307B2 (ja) |
| JP (1) | JP2018092976A (ja) |
| CN (1) | CN108122937B (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4759590B2 (ja) | 2008-05-09 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム |
| US10818715B2 (en) | 2017-06-26 | 2020-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid state imaging device and manufacturing method thereof |
| JP6987562B2 (ja) | 2017-07-28 | 2022-01-05 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子 |
| JP7091080B2 (ja) | 2018-02-05 | 2022-06-27 | キヤノン株式会社 | 装置、システム、および移動体 |
| JP7108421B2 (ja) | 2018-02-15 | 2022-07-28 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
| JP7161317B2 (ja) | 2018-06-14 | 2022-10-26 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム及び移動体 |
| EP3608688B1 (en) * | 2018-08-09 | 2021-01-27 | OMRON Corporation | Distance measuring device |
| JP7356214B2 (ja) | 2018-09-04 | 2023-10-04 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、その製造方法及びカメラ |
| JP6929266B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2021-09-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換システム、移動体 |
| JP7292868B2 (ja) | 2018-12-18 | 2023-06-19 | キヤノン株式会社 | 検出器 |
| JP2020115516A (ja) * | 2019-01-17 | 2020-07-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
| KR20220115929A (ko) | 2019-12-17 | 2022-08-19 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 촬상 소자, 촬상 소자의 구동 방법 및 전자 기기 |
| JP2022025594A (ja) | 2020-07-29 | 2022-02-10 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
| JP2022052529A (ja) | 2020-09-23 | 2022-04-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像装置、半導体装置及び光電変換システム |
| JP2022119066A (ja) | 2021-02-03 | 2022-08-16 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システムおよび移動体 |
Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5110535B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-12-26 | 国立大学法人静岡大学 | 半導体測距素子及び固体撮像装置 |
| JP5132102B2 (ja) | 2006-08-01 | 2013-01-30 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および光電変換装置を用いた撮像システム |
| JP4818018B2 (ja) | 2006-08-01 | 2011-11-16 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム |
| JP5127536B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-01-23 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の駆動方法及び撮像システム |
| JP5213501B2 (ja) | 2008-04-09 | 2013-06-19 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP4494492B2 (ja) | 2008-04-09 | 2010-06-30 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法 |
| JP5328224B2 (ja) * | 2008-05-01 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP4759590B2 (ja) | 2008-05-09 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム |
| JP2009278241A (ja) | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Canon Inc | 固体撮像装置の駆動方法および固体撮像装置 |
| JP5279352B2 (ja) | 2008-06-06 | 2013-09-04 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP2010268080A (ja) | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
| WO2011043432A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | 国立大学法人静岡大学 | 半導体素子及び固体撮像装置 |
| JP2011204878A (ja) | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Sony Corp | 固体撮像デバイスおよび電子機器 |
| JP5456652B2 (ja) * | 2010-12-06 | 2014-04-02 | 本田技研工業株式会社 | 固体撮像装置、撮像方法及び２足歩行ロボット |
| JP2013093553A (ja) | 2011-10-04 | 2013-05-16 | Canon Inc | 光電変換装置及びその製造方法、並びに光電変換システム |
| JP5967944B2 (ja) | 2012-01-18 | 2016-08-10 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
| JP6053505B2 (ja) | 2012-01-18 | 2016-12-27 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP2014049727A (ja) | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
| JP2014165270A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Sony Corp | イメージセンサおよび電子機器 |
| JP6141160B2 (ja) * | 2013-09-25 | 2017-06-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子およびその動作方法、並びに電子機器およびその動作方法 |
| JP6261361B2 (ja) | 2014-02-04 | 2018-01-17 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
| JP6595750B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2019-10-23 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び撮像システム |
| JP6274567B2 (ja) | 2014-03-14 | 2018-02-07 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び撮像システム |
| JP6541347B2 (ja) | 2014-03-27 | 2019-07-10 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
| JP6417197B2 (ja) | 2014-11-27 | 2018-10-31 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| CN110649050B (zh) * | 2014-12-18 | 2022-11-18 | 索尼公司 | 固态图像传感器、成像装置和电子设备 |
| US9768213B2 (en) | 2015-06-03 | 2017-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor and camera |
| US10205894B2 (en) | 2015-09-11 | 2019-02-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Imaging device and imaging system |
| JP6570384B2 (ja) | 2015-09-11 | 2019-09-04 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
| JP6541523B2 (ja) | 2015-09-11 | 2019-07-10 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、撮像システム、および、撮像装置の制御方法 |
| JP6744748B2 (ja) | 2016-04-06 | 2020-08-19 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
-
2016
- 2016-11-30 JP JP2016232726A patent/JP2018092976A/ja active Pending
-
2017
- 2017-10-24 US US15/791,909 patent/US10483307B2/en active Active
- 2017-11-27 CN CN201711200024.1A patent/CN108122937B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2018092976A5 (ja) | ||
| US10483307B2 (en) | Imaging device | |
| JP2017195330A5 (ja) | ||
| US10199408B2 (en) | Imaging device including first and second pixels | |
| JP2010067774A5 (ja) | ||
| JP2013149740A5 (ja) | ||
| JP2016138935A5 (ja) | ||
| JP2012019057A5 (ja) | ||
| JP2017084892A5 (ja) | ||
| JP2013080797A5 (ja) | ||
| JP2015188049A5 (ja) | ||
| JP2015177429A5 (ja) | ||
| JP2009135319A5 (ja) | ||
| JP2013179575A5 (ja) | ||
| JP2017157803A5 (ja) | ||
| JP2011091367A5 (ja) | ||
| JP2019145619A5 (ja) | ||
| JP2016033982A5 (ja) | ||
| JP2017103428A5 (ja) | ||
| JP2012015274A5 (ja) | ||
| JP2006310650A5 (ja) | ||
| US10381388B2 (en) | Solid-state imaging device and imaging system | |
| JP2014207390A5 (ja) | ||
| US8803598B2 (en) | Solid-state imaging device | |
| JP2018125347A5 (ja) |