JP2017508738A - ニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその合成製造方法と応用 - Google Patents

ニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその合成製造方法と応用 Download PDF

Info

Publication number
JP2017508738A
JP2017508738A JP2016553290A JP2016553290A JP2017508738A JP 2017508738 A JP2017508738 A JP 2017508738A JP 2016553290 A JP2016553290 A JP 2016553290A JP 2016553290 A JP2016553290 A JP 2016553290A JP 2017508738 A JP2017508738 A JP 2017508738A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
photopolymerization initiator
nitro
cycloalkyl
hydrogen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016553290A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6301489B2 (ja
Inventor
暁春 銭
暁春 銭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cahngzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co ltd
Cahngzhou Tronly New Electronic Materials Co ltd
Original Assignee
Cahngzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co ltd
Cahngzhou Tronly New Electronic Materials Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cahngzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co ltd, Cahngzhou Tronly New Electronic Materials Co ltd filed Critical Cahngzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co ltd
Publication of JP2017508738A publication Critical patent/JP2017508738A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6301489B2 publication Critical patent/JP6301489B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C251/00Compounds containing nitrogen atoms doubly-bound to a carbon skeleton
    • C07C251/32Oximes
    • C07C251/62Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified
    • C07C251/64Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified by carboxylic acids
    • C07C251/66Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified by carboxylic acids with the esterifying carboxyl groups bound to hydrogen atoms, to acyclic carbon atoms or to carbon atoms of rings other than six-membered aromatic rings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C323/00Thiols, sulfides, hydropolysulfides or polysulfides substituted by halogen, oxygen or nitrogen atoms, or by sulfur atoms not being part of thio groups
    • C07C323/23Thiols, sulfides, hydropolysulfides or polysulfides substituted by halogen, oxygen or nitrogen atoms, or by sulfur atoms not being part of thio groups containing thio groups and nitrogen atoms, not being part of nitro or nitroso groups, bound to the same carbon skeleton
    • C07C323/46Thiols, sulfides, hydropolysulfides or polysulfides substituted by halogen, oxygen or nitrogen atoms, or by sulfur atoms not being part of thio groups containing thio groups and nitrogen atoms, not being part of nitro or nitroso groups, bound to the same carbon skeleton having at least one of the nitrogen atoms, not being part of nitro or nitroso groups, further bound to other hetero atoms
    • C07C323/47Thiols, sulfides, hydropolysulfides or polysulfides substituted by halogen, oxygen or nitrogen atoms, or by sulfur atoms not being part of thio groups containing thio groups and nitrogen atoms, not being part of nitro or nitroso groups, bound to the same carbon skeleton having at least one of the nitrogen atoms, not being part of nitro or nitroso groups, further bound to other hetero atoms to oxygen atoms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D209/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings, condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom
    • C07D209/56Ring systems containing three or more rings
    • C07D209/80[b, c]- or [b, d]-condensed
    • C07D209/82Carbazoles; Hydrogenated carbazoles
    • C07D209/88Carbazoles; Hydrogenated carbazoles with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, e.g. ester or nitrile radicals, directly attached to carbon atoms of the ring system
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D307/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom
    • C07D307/77Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D307/91Dibenzofurans; Hydrogenated dibenzofurans
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D333/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one sulfur atom as the only ring hetero atom
    • C07D333/50Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one sulfur atom as the only ring hetero atom condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D333/76Dibenzothiophenes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00Processes of polymerisation
    • C08F2/46Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • C08F2/48Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
    • C08F2/50Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F265/00Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers of unsaturated monocarboxylic acids or derivatives thereof as defined in group C08F20/00
    • C08F265/04Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers of unsaturated monocarboxylic acids or derivatives thereof as defined in group C08F20/00 on to polymers of esters
    • C08F265/06Polymerisation of acrylate or methacrylate esters on to polymers thereof
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2601/00Systems containing only non-condensed rings
    • C07C2601/06Systems containing only non-condensed rings with a five-membered ring
    • C07C2601/08Systems containing only non-condensed rings with a five-membered ring the ring being saturated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2601/00Systems containing only non-condensed rings
    • C07C2601/12Systems containing only non-condensed rings with a six-membered ring
    • C07C2601/14The ring being saturated

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Indole Compounds (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Furan Compounds (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

本発明は、構造は一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤を開示する。当該光重合開始剤は、貯蔵安定性、感光度、現像性とパターン完全性などの点で応用性能に優れ、単波長のUV−LED光源と良好な適合性を有し、UV−LED照射において既存の光重合開始剤よりも著しく優れた感光性能を示す。【選択図】なし

Description

本発明は、光重合開始剤の技術分野に属し、特にニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその合成製造方法と応用に関する。
カルバゾール、ジフェニルスルフィドなどの基を有し、且つオキシムエステル構造が連結されている化合物を光重合開始剤として応用することは本分野で既に広く知られている。近年、光硬化分野において、設計と合成が新しく、特により良い応用性能を有するオキシムエステル系開始剤の研究も盛んに行われている。例えば、特許文献1〜3などの中国特許文献には、多種のオキシムエステル系光重合開始剤が開示され、これらの製品は、ニーズを満たし、光硬化性組成物の開発を改善するためにある程度優れた感度、保存安定性、等を有する。
しかしながら、実際の応用で、伝統的な光重合開始剤と似ているが、これらの既存のオキシムエステル系光重合開始剤は、適用できる励起光源の選択の面で極めて大きな制限が存在していることが見出された。これらは、通常、スペクトル幅の広い紫外光(UV)の照射で励起されて役割を果たす。現在、光硬化系を励起する(すなわち、前記スペクトル幅の広い紫外光を放射する)光源は主に高圧水銀ランプであり、その放射スペクトルは436nm、405nm、365nm、313nm、302nmに集中し、既存の多数の光重合開始剤は上記の短波長において吸収が良い。しかしながら、このような光源は、エネルギー消耗が大きく、予熱時間が長く、環境にやさしくないなどの明らかな欠点が存在し、応用においてますます多く制限され、だんだんと市場で廃止されている。
UV−LED光源は、光純度が高く、エネルギー消耗が低く、操作が簡単であり、環境にやさしいなどの利点を有し、現在、民用領域で広く応用され、光硬化業界でも徐々に知られてきている。UV水銀ランプ系に比べて、UV−LEDは省エネルギー排出削減、生産効率向上、光硬化技術の応用範囲を広げるなどの面で非常に優れている。UV−LED励起モードは光硬化技術の次の主流発展方向となる可能性が非常に高い。
UV−LED光源自身は発光スペクトルが狭く、現存の光重合開始剤はその励起によって示される応用性能は満足できものではない。したがって、UV−LED光源に相応しい感光性能に優れる光重合開始剤を検討と開発することは特に重要になる。
中国特許出願公開第1514845号明細書 中国特許出願公開第101508744号明細書 中国特許出願公開第101528694号明細書 中国特許出願公告第101565427号明細書 中国特許出願公告第102020727号明細書 中国特許出願公開第102492060号明細書 中国特許出願公開第103130919号明細書 中国特許出願公開第1241562号明細書
既存の光重合開始剤の不足について、本発明の目的は、水銀ランプとUV−LEDランプ光源のいずれにおいても優れた応用性能を示すオキシムエステル系光重合開始剤を提供することにある。化学構造を細心に設計や修飾することで、ニトロ基とビスオキシムエステル構造を含む化合物を設計合成し、当該製品は貯蔵安定性、感光度、現像性とパターン完全性などの面で性能に優れ、特に単波長(例えば395nm)のUV−LED照射で既存の光重合開始剤よりも著しく優れた感光性能を示す。
上記の技術効果を達成するために、本発明が採用する技術態様は以下の通りである。
一般式(I)で表される構造を有するニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤であって、
但し、X、Yは互いに独立に、カルボニル基(−CO−)又は単結合を表す。
Zはなし(すなわち、左右の二つのベンゼン環はA同士だけを通じて連結している)、単結合又はC−Cのアルキレン基である。
AはO、S又はRN−基である。その中で、Rは水素、C−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基又はC−C20のアルキルシクロアルキル基を表す。
は水素、ハロゲン、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基、又はハロゲン、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選択される一つ又は複数の基で置換されてもよいC−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基、又はC−C20のアルキルシクロアルキル基を表す。
、Rは互いに独立に、水素、C−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基、C−C20のアルキルシクロアルキル基、又はC−C20のアリールアルキル基を表す。これらの基における水素は、ハロゲン、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選択される基で置換されていてもよい。
はC−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基、C−C20のアルキルシクロアルキル基、C−C20のヘテロアリール基、又はC−C20のアリール基を表す。これらの基における水素は、ハロゲン、フェニル基、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選択される基で置換されていてもよい。
本発明の好ましい態様として、上記の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤において、Zはなし、単結合、メチレン基、エチレン基又はプロピレン基である。
AはO、S又はRN−基である。その中で、Rは水素、C−C10の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C15のシクロアルキル基、又はC−C15のシクロアルキルアルキル基を表す。
は水素、ハロゲン、ニトロ基、C−C15の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基を表す。
、Rは互いに独立に、水素、C−C15の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C15のシクロアルキル基、C−C15のシクロアルキルアルキル基、C−C15のアルキルシクロアルキル基、又はC−C15のアリールアルキル基を表す。これらの基における水素は、ハロゲン、ニトロ基及びアルコキシ基からなる群より選択される基で置換されていてもよい。
はC−C10の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C10のシクロアルキル基、C−C10のシクロアルキルアルキル基、C−C10のアルキルシクロアルキル基、C−C10ヘテロアリール基、又はC−C10アリール基を表す。
本発明の好ましい態様として、上記のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤は下記の構造から選ばれる。
本発明は、上記の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤の合成製造方法にも関する。ニトロ基ビスオキシム基構造を含む化合物を、対応する酸無水物又はアシルハライド化合物とエステル化反応を行い、目的生成物を得る。具体的な反応は以下の通りである。
式中、Bはハロゲン、例えばF、Cl、Br又はIを表す。
上記の合成製造方法では、反応原料はいずれも既存技術における既知の化合物であり、購入可能又は既知の合成方法により調製される。但し、ニトロ基ビスオキシム基構造を含む化合物
は、例えば特許文献4,5に開示された既知技術により合成できる。本発明に開示の合成製造方法はプロセスが簡単であり、汚染性廃棄物を生じることなく、且つ製品純度が高く、工業化生産に適している。
本発明はさらに上記の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤の光硬化組成物(即ち、感光性組成物)への応用に関する。非限定的に、当該光重合開始剤はカラーレジスト(RGB)、黒色レジスト剤(BM)、空間障害物(Photo−spacer)、ドライフィルム、半導体フォトレジスト及びインクなどの面に応用できる。
以下、具体的に実施例を挙げて本発明をさらに説明するが、本発明の保護範囲に対する制限と解釈すべきではない。
<調製の実施例>
[実施例1]
1−ニトロ−3−(1−オキシムアセテート)プロピル−6−(1−オキシムアセテート−3−シクロヘキシル)プロピル−9−エチル−カルバゾールの合成
250ml四つ口フラスコに、1−ニトロ−3−(1−ケトオキシム)プロピル−6−(1−ケトオキシム−3−シクロヘキシル)プロピル−9−エチル−カルバゾール23.2g、100gジクロロメタン及び5.1gトリエチルアミンを仕込み、室温で5min攪拌し、その後、無水酢酸11.3gを約30minかけて滴下し、引き続き室温で2h攪拌する。その後、5% NaHCO水溶液を加えてpH値を中性まで調整し、分液ろうとで有機層を抽出し、さらに200mL水で2回洗浄し、50g無水MgSOで乾燥し、溶媒を回転蒸発させ、粘稠状液体が得られる。メタノールで再結晶させて白い固体粉末が得られ、濾過し、製品24.7gが得られ、収率90%、純度99%である。
生成物の構造は核磁気共鳴水素スペクトルにより確認され、具体的な同定結果は以下の通りである。
H−NMR(CDCl,500MHz):0.9015−1.0102(3H、t)、1.3918−1.4714 (13H、m)、1.5073−1.5932(3H,t)、2.1022(6H,s)、2.5468−2.7029(4H,m)、3.8210−3.9421(2H,m)、7.0301−7.8127(3H,m)、8.4301−8.6127(2H,s)。
[実施例2]
1,8−ジニトロ−3−(1,2−ジケトン−2−オキシム−O−ベンゾエート−3−シクロブチル)プロピル−6−(1,2−ジケトン−2−オキシム−O−ベンゾエート)プロピル−9−エチル−カルバゾールの合成
250ml四つ口フラスコに、1,8−ジニトロ−3−(1,2−ジケトン−2−オキシム−3−シクロブチル)プロピル−6−(1,2−ジケトン−2−オキシム)プロピル−9−エチル−カルバゾール24.8g、100gジクロロメタン及び5.1gトリエチルアミンを仕込み、室温で5min攪拌し、その後、塩化ベンゾイル14.3gを約30minかけて滴下し、引き続き室温で2h攪拌する。その後、5% NaHCO水溶液を加えてpH値を中性まで調整し、分液ろうとで有機層を抽出し、さらに200mL水で2回洗浄し、50g無水MgSOで乾燥し、溶媒を回転蒸発し、粘稠状液体が得られる。メタノールで再結晶させて白い固体粉末が得られ、濾過して生成物20.9gが得られ、収率87%、純度99%である。
生成物の構造は核磁気共鳴水素スペクトルにより確認され、具体的な同定結果は以下の通りである。
H−NMR(CDCl,500MHz):1.4908−1.5193(3H,t)、1.9037−2.1823(7H,m)、2.5099−2.7629(5H,m)、3.90732−4.0231(2H,m)、7.4309−7.7098(6H,t)、8.1067−8.2319(4H,d)、8.3980−8.6678(4H,s)。
[実施例3−15]
実施例1又は2の方法を参照し、ニトロ基ビスオキシム基構造を含む化合物
及び対応するアシルハライド化合物又は酸無水物から実施例3−15に示される化合物3−15を調製する。
目的生成物の構造及びそのH−NMRデータは表1に示される。
<性能の評価>
例示された光硬化組成物を調製することで、本発明の式(I)で表される光重合開始剤の、貯蔵安定性、感光度、現像性、とパターン完全性などの点を含む各応用性能を評価する。
1. 光硬化組成物の合成
(1)着色されていない光硬化組成物A
アクリレートコポリマー 100
(ベンジルメタクリル酸/メタクリル酸/メタクリル酸ヒドロキシエチル(モル比70/10/20)コポリマー(Mw:10,000))
トリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA) 100
光重合開始剤 2
ブタノン(溶媒) 25
(2)着色した光硬化組成物B
アクリレートコポリマー 100
(ベンジルメタクリル酸/メタクリル酸/メチルメタクリル酸(モル比50/15/30)コポリマー(Mw:15,000))
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 100
光重合開始剤 2
ブタノン(溶媒) 25
染料ブルー15 5
上記の組成物AとBにおいて、光重合開始剤は本発明の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系化合物又はコントラストとしての既存技術で既知の光重合開始剤であり、各成分はいずれも質量部である。
2. 露光現像
(1)水銀ランプ光源において塗膜した後の露光現像
上記の光硬化組成物AとBをそれぞれ遮光の状態で攪拌し、PETテンプレート上にサンプリングしてワイヤバーにより塗膜し、90℃で5min乾燥して溶媒を除去し、膜厚さが約2μmの塗膜を形成する。塗膜が形成されている基板を室温まで冷却し、マスク板を敷き、高圧水銀ランプ1PCS光源で、FWHMフィルタにより長波長輻射を実現する。マスク板の隙間により370〜420nm波長の紫外線で塗膜を露光し、そして25℃で2.5%の炭酸ナトリウム溶液中に20s浸漬して現像し、さらに超純水で洗浄し、風乾させ、220℃で30minハードベークして図形を定着させ、得られた図形を評価する。
(2)UV−LED光源において塗膜した後の露光現像
上記の光硬化組成物AとBをそれぞれ遮光の状態で攪拌し、PETテンプレート上にサンプリングしてワイヤバーにより塗膜し、90℃で5min乾燥して溶媒を除去し、膜厚さが約2μmの塗膜を形成する。塗膜が形成されている基板を室温まで冷却し、マスク板を敷き、LED点光源で照射し(深せん市藍譜里克科技有限公司 仕様:UVEL−ET)、マスク板の隙間により395nm波長で塗膜を露光し、そして25℃で2.5%の炭酸ナトリウム溶液中に20s浸漬して現像し、さらに超純水で洗浄し、風乾させ、220℃で30minハードベークして図形を定着させ、得られた図形を評価する。
3. 光硬化組成物の性能評価
(1)貯蔵安定性
液状の光硬化組成物を室温で自然に一ヶ月貯蔵した後、以下の基準で目視にて物質の沈殿程度を評価する:
A:沈殿が観察されない;
B:やや沈殿が観察される;
C:明らかに沈殿が観察される。
(2)感光度
露光する時、露光ステップにおいて光輻射領域が現像後の残膜率が90%又はそれ以上である最小露光量を露光需要量として評価する。露光需要量が小さいほど、感度が高いことを示す。
(3)現像性とパターン完全性
走査型電子顕微鏡(SEM)で基板パターンを観察し、現像性とパターン完全性を評価する。
現像性を以下の基準により評価する。
○:露光されない部分に残存物が観察されていない;
◎:露光されない部分に少量の残存物が観察されるが、残存物は許容できる;
●:露光されない部分に明らかな残存物が観察される。
パターン完全性を以下の基準により評価する。
◇:パターン欠陥が観察されていない;
□:一部のパターンに若干欠陥が観察される;
◆:明らかに多くのパターン欠陥が観察される。
評価結果は表2−5に示される通りである。
表2−5において、比較化合物1は特許文献6に開示された光重合開始剤1−{4−[4−(2−チオフェンアルデヒド)フェニルチオ]フェニル}−(3−シクロペンチル)−プロパン−1−ケトオキシム−O−アセテートを表し、比較化合物2は特許文献7に開示された光重合開始剤1−[6−(2−チオフェンアルデヒド)−9−エチルカルバゾール−3−イル] −3−シクロペンチル−プロパン−1,2−ジケトン−2−オキシム−O−アセテートを表し、比較化合物3は特許文献2に開示された光重合開始剤1−(6−オルトメチルベンゾイル−9−エチルカルバゾール−3−イル)−(3−シクロペンチルプロパノン)−1−オキシム−アセテートを表し、比較化合物4は特許文献8に開示された光重合開始剤1−(4−フェニルチオ−フェニル)−オクタン−1,2−ジケトン−2−オキシム−O−ベンゾエートを表し、比較化合物5は特許文献1に開示された光重合開始剤1−(6−オルトメチルベンゾイル−9−エチルカルバゾール−3−イル)−(3−エチルケトン)−1−オキシムアセテートを表し、比較化合物6は汎用な光重合開始剤2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−プロパン−1−ケトン(俗称Irgacure907)を表す。
表2−5の結果からわかるように、本発明の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤を含む光硬化組成物は良好な貯蔵安定性を有し、且つ通常な高圧水銀ランプ光源条件においても、UV−LED光源条件においても、これらの光硬化組成物(無色系と顔料系)はいずれも極めて良好な感光度、現像性及びパターン完全性を示し、応用効果に優れている。コントラストとしての6種の既存の光重合開始剤は明らかな不足が存在し、水銀ランプ励起条件においてメリットがないだけではなく、ほぼUV−LED光源に対応できず、重合を引き起こせない又は重合を引き起こす効率が非常に低い。本発明の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤は単波長のUV−LED照射で既存の光重合開始剤よりも著しく優れた感光性能を有する。
上述した通り、本発明に開示の一般式(I)で表されるニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤は応用性能に優れ、UV−LED光源と良好な適合性を有し、光硬化製品の性能を極めて大きく向上できるだけではなく、UV−LED光源の光硬化分野への普及応用にも良好な推進作用を有する。

Claims (9)

  1. 一般式(I)で表される構造を有するニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
    但し、
    X、Yは互いに独立に、カルボニル基(−CO−)又は単結合を表す。
    Zはなし、単結合又はC−Cのアルキレン基である。
    AはO、S又はRN−基である。その中で、Rは水素、C−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基又はC−C20のアルキルシクロアルキル基を表す。
    は水素、ハロゲン、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基、又はハロゲン、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選択される一つ又は複数の基で置換されてもよいC−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基、又はC−C20のアルキルシクロアルキル基を表す。
    、Rは互いに独立に、水素、C−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基、C−C20のアルキルシクロアルキル基、又はC−C20のアリールアルキル基を表す。これらの基における水素は、ハロゲン、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選択される基で置換されていてもよい。
    はC−C20の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C20のシクロアルキル基、C−C20のシクロアルキルアルキル基、C−C20のアルキルシクロアルキル基、C−C20のヘテロアリール基、又はC−C20のアリール基を表す。これらの基における水素は、ハロゲン、フェニル基、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、シアノ基及びアルコキシ基からなる群より選択される基で置換されていてもよい。
  2. Zはなし、単結合、メチレン基、エチレン基又はプロピレン基であることを特徴とする請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
  3. AはO、S又はRN−基であり、その中で、Rは水素、C−C10直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C15のシクロアルキル基又はC−C15のシクロアルキルアルキル基であることを特徴とする請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
  4. は水素、ハロゲン、ニトロ基、又はC−C15の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基を表すことを特徴とする請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
  5. 、Rは互いに独立に、水素、C−C15の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C15のシクロアルキル基、C−C15のシクロアルキルアルキル基、C−C15のアルキルシクロアルキル基、又はC−C15のアリールアルキルを表し、これらの基における水素は、ハロゲン、ニトロ基及びアルコキシ基からなる群より選択される基で置換されていてもよいことを特徴とする請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
  6. はC−C10の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、C−C10のシクロアルキル基、C−C10のシクロアルキルアルキル基、C−C10のアルキルシクロアルキル基、C−C10のヘテロアリール基又はC−C10のアリール基を表すことを特徴とする請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
  7. 前記ニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤は下記の構造から選ばれることを特徴とする請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤。
  8. ニトロ基ビスオキシム基構造を含む化合物を、対応する酸無水物又はアシルハライド化合物とエステル化反応を行い、目的生成物を得るステップを含み、具体的な反応式は以下の通りである請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤の合成製造方法。
    式中、Bはハロゲンを表す。
  9. 請求項1に記載のニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤の光硬化組成物への応用。
JP2016553290A 2014-03-18 2015-03-17 ニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその合成製造方法と応用 Active JP6301489B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410101531.X 2014-03-18
CN201410101531.XA CN103819583B (zh) 2014-03-18 2014-03-18 一种含硝基双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
PCT/CN2015/074368 WO2015139604A1 (zh) 2014-03-18 2015-03-17 一种含硝基双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017508738A true JP2017508738A (ja) 2017-03-30
JP6301489B2 JP6301489B2 (ja) 2018-03-28

Family

ID=50754903

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016553290A Active JP6301489B2 (ja) 2014-03-18 2015-03-17 ニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその合成製造方法と応用

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9630913B2 (ja)
JP (1) JP6301489B2 (ja)
KR (1) KR101798220B1 (ja)
CN (1) CN103819583B (ja)
WO (1) WO2015139604A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017512886A (ja) * 2014-03-18 2017-05-25 常州強力先端電子材料有限公司Cahngzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co.,Ltd. ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその製造方法と応用
CN109957349A (zh) * 2017-12-14 2019-07-02 常州强力电子新材料股份有限公司 各向异性导电膜、用于形成其的组合物及其应用
JP7371554B2 (ja) 2020-03-30 2023-10-31 日油株式会社 ビスオキシムエステル系光重合開始剤、重合性組成物、ならびに硬化物およびその製造方法
WO2024043108A1 (ja) * 2022-08-25 2024-02-29 富士フイルム株式会社 光硬化性組成物、硬化膜の製造方法、膜、固体撮像素子、画像表示装置、及び、ラジカル重合開始剤

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104910053B (zh) * 2014-06-09 2017-09-12 北京英力科技发展有限公司 不对称二肟酯化合物及其制造方法与应用
CN104076606B (zh) * 2014-07-15 2019-12-03 常州强力电子新材料股份有限公司 一种含肟酯类光引发剂的感光性组合物及其应用
KR101824429B1 (ko) * 2015-01-26 2018-02-06 주식회사 삼양사 신규한 디옥심에스테르 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
CN104614940B (zh) * 2015-02-05 2019-04-09 常州强力先端电子材料有限公司 一种感光性树脂组合物及其应用
WO2016126070A1 (ko) * 2015-02-06 2016-08-11 한국화학연구원 신규한 옥심에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
CN107325206B (zh) * 2016-04-12 2018-12-18 常州强力先端电子材料有限公司 一种含硝基咔唑肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
CN107765510B (zh) * 2016-08-16 2020-02-07 常州强力电子新材料股份有限公司 一种9-苯基吖啶大分子类光敏剂及其制备方法和应用
CN109305951A (zh) * 2017-07-26 2019-02-05 湖北固润科技股份有限公司 香豆素肟酯类化合物及其制备和应用
CN110066225B (zh) * 2018-01-23 2022-06-03 常州强力先端电子材料有限公司 双肟酯类光引发剂、制备方法、感光性树脂组合物及应用
KR102335614B1 (ko) * 2018-03-21 2021-12-03 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 화상표시장치
JP7470780B2 (ja) 2020-03-30 2024-04-18 富士フイルム株式会社 組成物、膜及び光センサ
WO2022065006A1 (ja) 2020-09-28 2022-03-31 富士フイルム株式会社 積層体の製造方法、アンテナインパッケージの製造方法、積層体及び組成物
TW202231641A (zh) 2020-12-16 2022-08-16 日商富士軟片股份有限公司 組成物、膜、濾光器、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器
JPWO2022130773A1 (ja) 2020-12-17 2022-06-23
EP4310556A1 (en) 2021-03-19 2024-01-24 FUJIFILM Corporation Film and photosensor
TW202248755A (zh) 2021-03-22 2022-12-16 日商富士軟片股份有限公司 負型感光性樹脂組成物、硬化物、積層體、硬化物的製造方法以及半導體元件
WO2022210175A1 (ja) 2021-03-29 2022-10-06 富士フイルム株式会社 黒色感光性組成物、黒色感光性組成物の製造方法、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、光学素子、固体撮像素子、ヘッドライトユニット
JP7259141B1 (ja) 2021-08-31 2023-04-17 富士フイルム株式会社 硬化物の製造方法、積層体の製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法、並びに、処理液
CN117916279A (zh) 2021-09-29 2024-04-19 富士胶片株式会社 组合物、树脂、膜及光传感器
CN117348340A (zh) * 2022-06-24 2024-01-05 常州强力先端电子材料有限公司 负型感光性树脂组合物、固化膜及其制备方法、el元件和显示装置
CN117510396A (zh) * 2022-07-27 2024-02-06 常州强力电子新材料股份有限公司 肟酯光引发剂、其制备方法及应用
CN115583931B (zh) * 2022-09-28 2024-03-15 湖北固润科技股份有限公司 醚官能化香豆素肟酯类化合物及其制备和应用

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008078678A1 (ja) * 2006-12-27 2008-07-03 Adeka Corporation オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤
JP2010189280A (ja) * 2009-02-16 2010-09-02 Nippon Kagaku Kogyosho:Kk オキシムエステル化合物及びこれらを用いた感光性樹脂組成物
JP2011525480A (ja) * 2008-06-06 2011-09-22 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア オキシムエステル光開始剤
JP2014500852A (ja) * 2010-10-05 2014-01-16 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ベンゾカルバゾール化合物のオキシムエステル誘導体ならびに前記誘導体の光重合性の組成物における光開始剤としての使用
JP2014009325A (ja) * 2012-07-02 2014-01-20 Nippon Kagaku Kogyosho:Kk 新規な光重合開始剤及びこれらを用いた感光性樹脂組成物
JP2014522394A (ja) * 2011-05-25 2014-09-04 アメリカン・ダイ・ソース・インコーポレーテッド オキシムエステル基および/またはアシル基の化合物

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3860170B2 (ja) 2001-06-11 2006-12-20 チバ スペシャルティ ケミカルズ ホールディング インコーポレーテッド 組み合わされた構造を有するオキシムエステルの光開始剤
KR101007440B1 (ko) * 2007-07-18 2011-01-12 주식회사 엘지화학 옥심 에스테르를 포함하는 수지상 광활성 화합물 및 이의제조방법
JP2009179619A (ja) * 2008-02-01 2009-08-13 Toyo Ink Mfg Co Ltd 新規オキシムエステル化合物およびそれを含んでなるラジカル重合開始剤および重合性組成物
JP2009235138A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 Toyo Ink Mfg Co Ltd 光硬化型インクジェットインキ
CN102203136B (zh) * 2008-11-03 2013-11-13 巴斯夫欧洲公司 光敏引发剂混合物
CN101508744B (zh) * 2009-03-11 2011-04-06 常州强力电子新材料有限公司 咔唑肟酯类光引发剂
CN101565472B (zh) * 2009-05-19 2011-05-04 常州强力电子新材料有限公司 酮肟酯类光引发剂
KR101678028B1 (ko) * 2009-06-17 2016-11-21 토요잉크Sc홀딩스주식회사 옥심에스테르 화합물, 라디칼 중합개시제, 중합성 조성물, 네가티브형 레지스트 및 화상 패턴
CN102020727B (zh) * 2010-11-23 2013-01-23 常州强力先端电子材料有限公司 一种高感光度咔唑肟酯类光引发剂、其制备方法及应用
JP5989469B2 (ja) * 2011-09-06 2016-09-07 三洋化成工業株式会社 感光性組成物
CN102492060B (zh) * 2011-11-28 2013-06-26 常州强力先端电子材料有限公司 一种二苯硫醚肟酯类光引发剂、其制备方法及应用
CN103130833B (zh) 2011-11-28 2017-02-08 深圳市有为化学技术有限公司 可溶性肟酯和芳香酮光聚合引发剂
WO2013151739A1 (en) * 2012-04-03 2013-10-10 3M Innovative Properties Company Crosslinkable composition comprising photobase generators
EP2845845B1 (en) * 2012-05-03 2019-07-03 Korea Research Institute of Chemical Technology Novel oximester fluorine compound, and photopolymerization initiator and photoresist composition comprising same
CN102775527B (zh) * 2012-07-05 2014-03-05 常州强力先端电子材料有限公司 一种酮肟酯类光引发剂及其制备方法
CN102778814B (zh) * 2012-07-05 2014-04-23 常州强力先端电子材料有限公司 一种含有酮肟酯类光引发剂的感光性组合物及其应用
CN103130919B (zh) * 2013-02-08 2015-02-25 常州强力先端电子材料有限公司 一种咔唑酮肟酯类高感光度光引发剂

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008078678A1 (ja) * 2006-12-27 2008-07-03 Adeka Corporation オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤
JP2011525480A (ja) * 2008-06-06 2011-09-22 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア オキシムエステル光開始剤
JP2010189280A (ja) * 2009-02-16 2010-09-02 Nippon Kagaku Kogyosho:Kk オキシムエステル化合物及びこれらを用いた感光性樹脂組成物
JP2014500852A (ja) * 2010-10-05 2014-01-16 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ベンゾカルバゾール化合物のオキシムエステル誘導体ならびに前記誘導体の光重合性の組成物における光開始剤としての使用
JP2014522394A (ja) * 2011-05-25 2014-09-04 アメリカン・ダイ・ソース・インコーポレーテッド オキシムエステル基および/またはアシル基の化合物
JP2014009325A (ja) * 2012-07-02 2014-01-20 Nippon Kagaku Kogyosho:Kk 新規な光重合開始剤及びこれらを用いた感光性樹脂組成物

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017512886A (ja) * 2014-03-18 2017-05-25 常州強力先端電子材料有限公司Cahngzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co.,Ltd. ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその製造方法と応用
CN109957349A (zh) * 2017-12-14 2019-07-02 常州强力电子新材料股份有限公司 各向异性导电膜、用于形成其的组合物及其应用
CN109957349B (zh) * 2017-12-14 2022-02-22 常州强力电子新材料股份有限公司 各向异性导电膜、用于形成其的组合物及其应用
JP7371554B2 (ja) 2020-03-30 2023-10-31 日油株式会社 ビスオキシムエステル系光重合開始剤、重合性組成物、ならびに硬化物およびその製造方法
WO2024043108A1 (ja) * 2022-08-25 2024-02-29 富士フイルム株式会社 光硬化性組成物、硬化膜の製造方法、膜、固体撮像素子、画像表示装置、及び、ラジカル重合開始剤

Also Published As

Publication number Publication date
JP6301489B2 (ja) 2018-03-28
KR20160108532A (ko) 2016-09-19
CN103819583B (zh) 2016-05-18
CN103819583A (zh) 2014-05-28
KR101798220B1 (ko) 2017-11-15
WO2015139604A1 (zh) 2015-09-24
US9630913B2 (en) 2017-04-25
US20160376225A1 (en) 2016-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6301489B2 (ja) ニトロ基含有ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその合成製造方法と応用
JP6235171B2 (ja) ビスオキシムエステル系光重合開始剤及びその製造方法と応用
TWI406847B (zh) 肟酯化合物及使用其之感光性樹脂組成物
KR101435652B1 (ko) 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
KR102252495B1 (ko) 플루오레닐아미노케톤 광개시제, 이의 제조 방법 및 이를 함유하는 uv 광경화성 조성물
CN101541837B (zh) 含有含羟基的硫醇化合物的固化性组合物及其固化物
JP2019528331A (ja) フルオレン類光開始剤、その製造方法、それを有する光硬化性組成物、及び光硬化分野におけるフルオレン類光開始剤の使用
WO2018196619A1 (zh) 含有可聚合基团的芴肟酯类光引发剂、制备方法及其应用
KR101883164B1 (ko) 비대칭 디옥심에테르 화합물 및 그 제조 방법과 응용
AT500120A1 (de) Neue alpha-aminoacetophenon-photostarter
JP2016500710A (ja) シクロペンタンジオンオキシムエステルとその応用
JP6816067B2 (ja) 着色感光性樹脂組成物、これを含むカラーフィルタおよびこれを含む表示装置
TWI591050B (zh) 一種芴類多官能度光引發劑及其製備和應用、含芴類光引發劑的感光性樹脂組合物及其應用
KR20180012302A (ko) Uv-led 광경화용 증감제 및 그 제조 방법 및 그 용도
WO2017059772A1 (zh) 一种含芴肟酯类光引发剂、其合成、含有其的感光性树脂组合物及其应用
JP2004149755A (ja) チオール化合物、光重合開始剤組成物および感光性組成物
CN109651534B (zh) 一种多酮肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
CN104066741A (zh) 光活性化合物及包含其的光敏树脂组合物
TW201739735A (zh) 一種含芴酮肟酯類光引發劑
JP6741854B2 (ja) 新規カチオン型光開始剤、並びにその製造方法及び使用
CN104672354A (zh) 一种双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
CN107325206A (zh) 一种含硝基咔唑肟酯类光引发剂及其制备方法和应用
JP2022078550A (ja) 新規な光重合開始剤及びこれらを用いた感光性樹脂組成物
JP6095408B2 (ja) 新規な光重合開始剤及びこれらを用いた感光性樹脂組成物
KR20150015102A (ko) 아미노티옥산톤 유도체

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170803

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170808

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170929

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180215

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180228

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6301489

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250