JP2017213520A5 - - Google Patents
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Claims (18)
- 液体材料を貯留する貯留容器と、
貯留容器を加圧する圧縮気体供給源と、
吐出流路を有するノズルと、
往復動作するバルブロッドと、
バルブロッドを駆動するアクチュエータと、
吐出流路と連通する連通孔を有する弁座と、
アクチュエータを制御してバルブロッドの下端で連通孔を開閉する吐出制御装置と、
を備え、負圧空間内で使用される液体材料吐出装置であって、
前記バルブロッドの下端に配置された樹脂膜、または、弁座の上面に配置され、前記連通孔と連通する貫通孔を有する樹脂膜を備え、
前記弁座が、機械的に固定される平らな上面を有するバルブシート部材により構成され、交換可能であること、
前記樹脂膜が、機械的に固定されており、交換可能であることを特徴とする液体材料吐出装置。 - 前記バルブシート部材が前記バルブロッドの押圧により変形が生じない材質により構成されることを特徴とする請求項１に記載の液体材料吐出装置。
- 前記樹脂膜が、１０〜１０００μｍの厚みを有することを特徴とする請求項１または２に記載の液体材料吐出装置。
- 前記バルブロッドの下端または前記バルブシート部材の上面が、前記樹脂膜と面接触することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
- 前記バルブロッドの下端が平面であり、前記バルブシート部材の上面が平面であることを特徴とする請求項４に記載の液体材料吐出装置。
- 前記樹脂膜が、エンジニアリングプラスチックにより構成されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
- 前記バルブロッドの下端および前記バルブシート部材が、金属により構成されることを特徴とする請求項６に記載の液体材料吐出装置。
- 前記ノズルが、前記貯留容器の下端部が挿着される凹部を有するノズル取付部材により構成されており、ノズル取付部材の凹部に取り付けられたバルブシート部材が前記貯留容器の先端により機械的に固定されており、
前記バルブロッドの下端が円柱状であり、キャップ状または凹状の前記樹脂膜で覆われていることを特徴とする請求項７に記載の液体材料吐出装置。 - 前記ノズルが、前記貯留容器の下端部が挿着される凹部を有するノズル取付部材により構成されており、ノズル取付部材の凹部に取り付けられたバルブシート部材と前記貯留容器の先端とにより前記樹脂膜が機械的に固定されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
- 前記樹脂膜の厚さが、前記バルブシート部材の厚さの１／１０以下であることを特徴とする請求項８に記載の液体材料吐出装置。
- 前記吐出制御装置が、前記アクチュエータによるバルブロッドの上昇時の加速時間Ａｕを２〜３００［ｍｓ」の範囲で制御することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
- 前記吐出制御装置が、前記アクチュエータによるバルブロッドの上昇時の目標速度Ｖ１を０．２〜３０［ｍｍ／ｓ］の範囲で制御すること、および／または、前記アクチュエータによるバルブロッドの下降時の加速時間Ａｄを２〜３００［ｍｓ」の範囲で制御することを特徴とする請求項１１に記載の液体材料吐出装置。
- 前記バルブロッドがスライド部材を介してアクチュエータと接続されており、
前記スライド部材が所定の位置にあることを検出するセンサ機構を備え、前記スライド部材の位置を検出することにより前記バルブロッドの下端が前記弁座に当接する位置にあることを検知する位置検知機構を備えることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の液体材料吐出装置。 - 前記バルブロッドと接続され、スライド部材に離間可能に当接して配置されるロッド連動部材と、
ロッド連動部材とスライド部材とを離間可能に当接させる付勢力を与える弾性部材と、を備え、
前記バルブロッドが前記弁座に当接した後、前記アクチュエータにより前記バルブロッドをさらに進出させる力を作用させると前記スライド部材が前記ロッド連動部材と離間して下方に移動し、当該スライド部材の移動をセンサ機構が検知することにより前記バルブロッドの下端が前記弁座に当接する位置にあることを検知することを特徴とする請求項１３に記載の液体材料吐出装置。 - 請求項１ないし１４のいずれかに記載の液体材料吐出装置と、
ワークが設置されるワークテーブルと、
前記液体材料吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に移動する相対駆動装置と、
前記液体材料吐出装置、前記ワークテーブルと、前記相対駆動装置とが配置される負圧空間を構成するカバーと、
前記カバー内を負圧にする減圧装置と、
前記相対駆動装置を制御する駆動制御装置と、を備える塗布装置。 - 前記減圧装置が、真空ポンプであることを特徴とする請求項１５に記載の塗布装置。
- 請求項１４または１５に記載の塗布装置を用いた塗布方法であって、前記減圧装置により前記カバー内を負圧とした状態で前記ワークと前記液体材料吐出装置とを相対移動しながら、ワーク上に液体材料を塗布する塗布方法。
- 前記カバー内が実質的に真空であることを特徴とする請求項１７に記載の塗布方法。
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