CN109219485B - 液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液体材料吐出装置及方法，其可改善在负压环境下配置吐出装置时所产生的因关闭不良所导致的液体的泄漏的问题。一种液体材料吐出装置，具备：贮存容器；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具有吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的前端对连通孔进行开闭；所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，具备被配置在上述阀杆的下端的树脂膜、或者被配置在阀座的上表面且具有与上述连通孔连通的贯通孔的树脂膜。

Description

液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法
技术领域
本发明涉及一种在负压环境下吐出液体材料的装置及方法。本说明书中的“负压环境”包含真空环境。
背景技术
在对安装有半导体部件等的基板涂布液状的树脂(液体材料)的工序(例如，封装(potting)或底部填充(underfill)等)中，若液体材料中存在有气泡，则带来吐出量不均匀、涂布形状或涂布位置不一定(描绘线散乱)、气泡与吐出同时地被排出并使液体材料飞溅的、多余的液体附着于喷嘴的吐出口周边等、各种不良影响。
作为用于消除这些气泡的不良影响的方法，具有将液体材料放置于真空环境下进行脱气等的方法。进行脱气的最普通的方法是在进行作业之前，将用于实际作业的贮存有液体材料的容器(注射器)直接放入其它的密闭容器之中，通过对密闭容器内进行真空抽吸而进行液体材料的脱气的方法。此外，作为其他的方法，提出了一种涂布装置，其将进行涂布的空间本身作为密闭空间，且通过对内部进行真空吸引而进行液体材料的脱气。
例如，专利文献1是如下涂布装置：在具备收纳液体材料并自吐出口吐出液体材料的收纳吐出部，且对涂布对象物涂布液体材料的液体材料涂布装置中，具备：涂布空间，其至少包围收纳吐出部及涂布对象物；及排气系统，其将涂布空间设为负压状态，将涂布空间设为负压状态而自收纳吐出部对涂布对象物吐出液体材料。
此外，专利文献2是如下涂布装置：是将供给液状树脂的被涂布品配置于真空室内，且在真空下自供给液状树脂的分配器朝被涂布品的规定位置供给液状树脂的真空涂布装置，由容纳且支撑被涂布品的第1容器部分、及安装分配器的喷嘴的第2容器部分构成容纳被涂布品的真空腔室，且将第1容器部分及第2容器部分设为不破坏真空腔室的气密状态且在X-Y平面内相对地可动，且在真空腔室的外部设置X-Y驱动部，该X-Y驱动部使第1及第2容器部分的至少一者在X-Y平面内移动且使被涂布品与喷嘴的相对的平面位置为可变。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-211874号公报
专利文献2：日本特开2007-111862号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在负压空间内配置吐出装置而进行涂布作业的情况下，由于是对吐出装置的吐出口一直作用负压力的状态，因此为了进行精度良好的吐出，采用使阀体(阀杆)抵接、分离于具备与吐出口连通的开口的阀座而进行吐出口的开闭的、所谓针阀式的关闭机构。
在针阀式的关闭机构中，存在若阀体及阀座的抵接部分的加工精度(平面度或孔的真圆度等)差或因长时间的使用而产生磨损，则在关闭时液体会自吐出口流出等的问题。特别是在阀体及阀座均为金属制的情况下，由于因关闭时的变形量较小而产生阀体及阀座的无法抵接的部分，因此液体自吐出口泄漏成为大的问题。
因此，本发明的目的在于，提供一种液体材料吐出装置及方法，其可改善在负压环境下配置吐出装置时所产生的因关闭不良而导致的液体的泄漏的问题。
解决问题的技术手段
为了提高就座时的关闭性(密封性)，也可考虑将阀座以弹性体(例如橡胶)构成。然而，已知由弹性体所构成的阀座由于在阀杆抵接时会过度变形，因此产生变形会影响到吐出流路侧，在下降时变形量的液体多余地被排出，在上升时液体填补变形恢复量而使排出延迟这样的不良状况。该多余的液体的排出或液体的排出的延迟成为使吐出精度变差的原因。
除此之外，已知因热所导致的阀座的变形(主要为膨胀)或应力、应变的产生也对吐出精度造成影响。
在由较橡胶硬的塑料制作构成阀座的阀座构件并组装到吐出装置时，就座时的关闭性不足，从而确认了来自吐出口的液体的泄漏。可推测其原因在于，相对于阀杆的力所作用的方向若存在厚度则难以产生变形，关闭性下降。另一方面，可推测若使阀杆的按压力变强，则阀座构件的变形量变大，产生与由上述的橡胶构成的情况相同的问题，或者阀杆或阀座构件的寿命变短。
发明人进行反复试验，其结果，为了以最小限度的变形量来提高关闭性而到达采用树脂膜的结构，并完成了本发明。即，本发明由如下的技术手段所构成。
本发明的液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具有吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的下端对连通孔进行开闭；所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，具备被配置在上述阀杆的下端的树脂膜、或被配置在阀座的上表面且具有与上述连通孔连通的贯通孔的树脂膜。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述树脂膜由相较于上述阀杆的下端及上述阀座为低弹性模量的树脂所构成。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述树脂膜具有10～1000μm的厚度。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述阀杆的下端或上述阀座的上表面与上述树脂膜面接触，在该情况下，优选为上述阀杆的下端为平面，且上述阀座的上表面为平面。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述树脂膜的拉伸强度为50MPa以上，在该情况下，优选为上述树脂膜由工程塑料所构成，且/或，上述阀杆的下端及上述阀座由金属所构成。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述阀座由被机械性地固定的阀座构件所构成。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述吐出控制装置通过将利用上述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au控制在2～300[ms]的范围内来防止伴随着阀杆的上升的气泡的产生，在该情况下，优选为上述吐出控制装置将利用上述致动器的阀杆的上升时的目标速度V1控制在0.2～30[mm/s]的范围内，且/或将利用上述致动器的阀杆的下降时的加速时间Ad控制在2～300[ms]的范围内。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述吐出控制装置将利用上述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au及下降时的加速时间Ad设定为相同。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述致动器将可通过上述吐出控制装置来控制上述阀杆的前进位置的马达作为驱动源，在该情况下，优选为上述致动器将选自步进马达、伺服马达及线性马达中的一马达作为驱动源。
在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可为：具备对上述阀杆的下端位于关闭上述阀座的位置进行检测的位置检测机构，在该情况下，优选为上述位置检测机构构成为具备：滑动构件，其与上述致动器相连接；滑块，其与滑动构件相连接；传感器机构，其对滑动构件位于规定的位置进行检测；杆连动构件，其与上述阀杆相连接，可分离地抵接并配置于滑动构件；及弹性构件，其赋予使杆连动构件与滑动构件可分离地抵接的作用力；在上述阀杆抵接于上述阀座后，若通过上述致动器作用使上述阀杆进一步前进的力，则上述滑动构件与上述杆连动构件分离而朝下方移动，通过传感器机构检测该滑动构件的移动，从而对上述滑杆的下端位于关闭上述阀座的位置进行检测。
本发明的涂布装置，其特征在于，具备：上述的液体材料吐出装置；工作台，其设置工件；相对驱动装置，其使上述液体材料吐出装置与上述工作台相对地移动；罩，其构成配置上述液体材料吐出装置、上述工作台、及上述相对驱动装置的负压空间；减压装置，其使上述罩内为负压；以及驱动控制装置，其控制相对驱动装置。
在上述的涂布装置中，其特征也可为：上述减压装置为真空泵。
本发明的涂布方法，其特征在于，是使用上述的涂布装置的涂布方法，在通过上述减压装置使上述罩内成为负压的状态下一边使上述工件与上述液体材料吐出装置相对移动，一边在工件上涂布液体材料。
在上述的涂布方法中，其特征也可为：上述罩内实质上为真空。
发明的效果
根据本发明，经由树脂膜使阀杆抵接于阀座，由此可解决负压环境下的阀关闭时的自吐出口的液体泄漏的问题。
另外，在阀关闭时，由于实质上仅使树脂膜变形来提高关闭性，因此可使对吐出精度的不良影响成为最小限度。
附图说明
图1是第一实施方式所涉及的吐出装置的部分剖面正面图。
图2是图1的C-C箭头视图。
图3是图1的A部放大图。
图4是说明第一实施方式所涉及的吐出装置的阀杆上升时的动作的说明图。
图5是说明第一实施方式所涉及的吐出装置的阀杆下降时的动作的说明图。
图6是说明第一实施方式所涉及的吐出装置的阀杆接触检测时的动作的说明图。
图7是说明阀杆上升时的加减速时间的曲线图(概略图)。
图8是第一实施方式所涉及的涂布装置的概略立体图。
图9是第二实施方式所涉及的吐出装置的部分剖面正面图的阀座构件附近放大图。
具体实施方式
以下，对用于实施本发明的方式进行说明。
<<第一实施方式>>
本发明的第一实施方式所涉及的吐出装置1是通过利用阀杆21的上升动作将阀座构件6的连通孔7及树脂膜301的贯通孔302开放来吐出液体材料，并通过利用阀杆21的下降动作进行关闭来停止吐出的类型的吐出装置，且在负压空间内被搭载于涂布装置101来使用。该吐出装置1利用吐出控制装置33控制电动的致动器28的动作来调整阀杆21的速度或加速度，由此可防止气泡的产生。另外，具备对阀杆21与树脂膜301的进行抵接的位置进行检测的位置检测机构34，即使在阀杆21或阀座构件6产生磨损的情况下，也可可靠地关闭阀座构件6的连通孔7及树脂膜301的贯通孔302。
以下，首先对吐出装置1的结构进行说明，其次对其动作进行说明。
<结构>
图1中显示第一实施方式所涉及的吐出装置的部分剖面正面图。
图2中显示图1中的C-C箭头视图。图3中显示图1中的A部放大图。再者，有时将图2中的致动器侧(右侧)称为“背面”，将隔着中心轴线的其相反侧(左侧)称为“正面”，将位于背面与正面之间的左右的面称为“侧面”。
吐出装置1构成为具备：贮存容器(注射器)2、喷嘴3、喷嘴安装构件5、阀座(valveseat)构件6、树脂膜301、主体下部构件10、位置检测机构34及树脂膜301。
第一实施方式所使用的贮存容器2为在上端部具有凸缘部9且在下端部具有内筒8的一般的树脂制注射器，但也可使用金属制(例如不锈钢制)的注射器。在贮存容器2插通有阀杆21，内筒8的内部空间构成杆前端部插通孔。在内筒8安装有喷嘴安装构件5、阀座构件6、树脂膜301及喷嘴3。
喷嘴3为管状的构件，内部空间构成吐出流路4。通过喷嘴安装构件5被螺合于注射器2的下端，使注射器2与喷嘴3的吐出流路4经由阀座构件6及树脂膜301而被连通。
喷嘴安装构件5是圆筒状的金属构件，在底面设置有供喷嘴3嵌插的贯通孔。
阀座构件6是上表面构成阀座的圆盘状的构件，被安装于喷嘴安装构件5的凹部，以被夹在喷嘴安装构件5与位于注射器2的下端的内筒8之间的方式被机械性地固定。阀座构件6具有连通注射器2与喷嘴3的吐出流路4的、例如φ0.05～0.3mm的连通孔7。阀座构件6优选为由通过阀杆21的按压实质上不产生变形的材质所构成，例如由金属所构成。
树脂膜301为圆盘状的薄膜，被设置于阀座构件6与阀杆21之间，以被夹在阀座构件6与位于注射器2的下端的内筒8之间的方式被固定。树脂膜301的细节在后面叙述。
主体下部构件10是具备朝下方突出的插入部12、朝上方突出的突出部207、上下延伸的第2轴衬插通孔213的板状构件，在一侧面连接有气体供给接头19。另外，在主体下部构件10的下表面设置有钩状的凸缘支撑构件11，保持注射器2的上端的凸缘部9。另外，插入部12以与注射器2的内径大致相同直径的圆柱形状，嵌入到注射器2的内部。
再者，为了安全性确保及防尘等，主体下部构件10的上侧优选为以未图示的罩来覆盖。
阀杆21是具有自阀座构件6附近延伸至致动器28附近的长度的直线状的构件，且被插通于第1轴衬208、第2轴衬209、杆连动构件221、第1固定构件222、第2固定构件223及弹性构件224。阀杆21的下端部较注射器的内筒8为窄幅(即，小径)，内筒8的内壁与阀杆21的侧周面之间被液体材料所充满。在本实施方式中，设为由阀杆21的上部为大径的圆柱构件、下部为小径的圆柱构件所构成的带台阶的结构，但也可遍及阀杆21的全长而由相同直径的棒状构件所构成。阀杆21优选为由在朝向阀座构件6及树脂膜301的就座时实质上不产生变形的材质所构成，例如由金属所构成。
第1轴衬208及第2轴衬209是滑接并支撑于阀杆21的外周的筒状的构件，作为防止阀杆21的抖动的导引构件而发挥功能。即，通过第1轴衬208及第2轴衬209的导引，使阀杆21的直进性良好，防止阀杆21的下端与阀座构件6的接触位置的偏移的发生。由此，使阀杆21的前端、阀座构件6的连通孔7、及树脂膜301的贯通孔302的各中心正好一致，防止液体泄漏的发生。
第2轴衬插通孔213在主体下部构件10的中心，自突出部207的上表面贯通至下端的插入部12的下表面而被设置。第2轴衬插通孔213的直径与第2轴衬209实质为相同直径，但下端侧的一部分成为较第2轴衬209为小径(且较阀杆21的直径为大径)，由在这里所形成的阶差部分支撑第2轴衬209。在第2轴衬插通孔213的上端侧设置有用于固定第2轴衬209的第2轴衬压紧件211。
在插入部12的内部设置有连通注射器2内与压缩气体流路18的未图示的连通孔，压缩气体自该连通孔朝向注射器2内被供给。在插入部12的外表面的下端附近，设置有防止压缩气体朝向外部漏出的密封构件214。
在主体下部构件10的上方，以内包下述的位置检测机构34的方式设置在内部具有空间且实质上呈长方体形状的外框201。
在外框201的下部设置有嵌入孔202，主体下部构件10上表面的突出部207嵌入而被固定。
在外框201的上部，设置有用于配设可直线移动地支撑阀杆21的第1轴衬208的延长部204，在延长部204的内侧，设置有与外框201的内部空间连通的第1轴衬插通孔212。该第1轴衬插通孔212也与上述的第2轴衬插通孔213相同地，由大径部分与小径部分所构成，以阶差部分支撑第1轴衬208。在第1轴衬插通孔212的上端部，设置有用于固定第1轴衬208的第1轴衬压紧件210。在外框201的上部的延长部204的背面侧，设置有用于插通致动器杆31及致动器支撑构件215的开口部206。
外框201的一侧面(在图1中以朝向为左侧面，但并不限定于此，也可为右侧面)被开放，并在该被开放的侧面设置有构成开口部203的大小的安装板44。在安装板44的内表面固定设置有传感器43。第一实施方式的传感器43为光传感器，但也可使用例如光纤传感器、光电传感器、接近传感器(高频振动型、静电电容型)等其他种类的传感器。
在与传感器43相对的内框218的外侧面，设置有检测板45。在本实施方式中，由传感器43、安装板44及检测板45构成位置检测机构34。也可与本实施方式不同，在内框218的外侧面配置传感器43，并在与其相对的安装板44设置检测板45。关于检测动作的细节，在后面叙述。
外框201的正面侧的大致全部的部分进行开口，可通过该开口来进行维护或调整的作业(参照图2)。
外框201的背面部205设置为较主体下部构件10更向背面侧突出(参照图2)。在背面部205的正面侧(内侧)设置有板状的致动器支撑构件215。致动器支撑构件215自滑块216的下端附近延伸至延长部204的上方，并在外框201的上方支撑致动器28。在致动器支撑构件215，在正面侧配设有可在滑轨217之上移动的滑块216。滑块216与致动器杆31及内框218相连结。
作为致动器28，可使用例如步进马达、伺服马达、线性马达。使用这些马达来作为致动器28是为了控制由致动器28所驱动的阀杆21的动作的速度或加速度。在本实施方式中，以带旋转变压器(resolver)的步进马达来构成致动器28，控制阀杆21的动作的速度及加速度。在致动器28的上端部，连接有用于与控制致动器28的动作的吐出控制装置33进行通信的控制配线32。
内框218较外框201小一圈，形成为在内部具有空间的大致长方体形状。内框218连结于滑块216，作为与滑块216成为一体进行移动的滑动构件而发挥功能。
与外框201同样地，内框218的正面侧的大致全部的部分进行开口。
在内框218的上部设置有第1贯通孔219，在内框218的下部设置有第2贯通孔220，阀杆21在各贯通孔(219、220)内延伸。第1贯通孔219的直径以阀杆21可非接触地上下移动的方式成为较阀杆21的直径为大径。在第2贯通孔220插通有较第2贯通孔220为小径的第2固定构件223。
在内框218的内部空间配置有杆连动构件221，在杆连动构件221的贯通孔固定插装有阀杆21。若滑块216上下移动，则被连结于滑块216的内框218连动，阀杆21也经由杆连动构件221上下移动。
杆连动构件221的向阀杆21的固定通过第1固定构件222及第2固定构件223自上下夹入杆连动构件221而进行。更详细而言，在阀杆21的安装有各固定构件(222、223)的部分的外周面形成有螺纹，可与被形成于各固定构件(222、223)的内周面的螺纹螺合。因此，通过调整各固定构件(222、223)的位置，可将杆连动构件221固定在所期望的位置。杆连动构件221的位置在阀杆21的下端与阀座构件6接触时(上述的抵接位置)，以杆连动构件221的底面与内框218的内底面(下部上表面)接触的方式调整位置即可(图1或图2的状态)。
再者，杆连动构件221的固定方法并不限定于此，也可将杆连动构件221分为两个部件，并自前后夹入而加以固定。
在杆连动构件221与内框218的顶面之间，配设有供阀杆21及第1固定构件222插通的弹性构件224。弹性构件224的一端抵接于内框218的顶面，另一端抵接于杆连动构件221的上表面，并经由杆连动构件221而对阀杆21朝向下方施力。在杆连动构件221的上表面设置有与弹性构件224实质上相同直径的凹部，以使弹性构件224的端部不偏移的方式加以支撑。也可与本实施方式不同，在与弹性构件224的上端抵接的内框218的顶面，设置与弹性构件224实质上相同直径的凹部。本实施方式的弹性构件224是压缩线圈弹簧，具有与为了使阀杆21、杆连动构件221、第1固定构件222及第2固定构件223移动所需要的力同等的斥力(压缩力)Pii。
在第一实施方式中，由于在与阀杆21的中心轴线225相同的中心轴线上配设第1轴衬208、弹性构件224、杆连动构件221、第2轴衬209、阀座构件6及喷嘴3，因此转矩负载不会施加于阀杆21。因此，阀杆21的直进性提升，阀杆21的下端的抖动变少，阀杆21与阀座构件6及树脂膜301的接触位置的偏移变小。即，阀杆21的前端可可靠地关闭阀座构件6的连通孔7及树脂膜301的贯通孔302。
另外，将可直线移动地支撑阀杆21的轴衬(208、209)不仅配置于阀杆21的中央部(第2轴衬209)，也配置于阀杆21的端部(第1轴衬208)，由此也有助于使阀杆21的直进性提升，减少阀杆21的下端的抖动，并减小阀杆21与阀座构件6及树脂膜301的接触位置的偏移。
另外，存在即使通过将自第1轴衬208至第2轴衬209之间的距离、与自第2轴衬209至阀关闭点(阀杆21的端部与阀座构件6的接触点)之间的距离设为大致相同距离，也能够进一步抑制阀杆21的下端的抖动的情况。
图3是图1的第一实施方式所涉及的吐出装置的A部放大图。一边参照图3，一边对树脂膜301进行详细叙述。
圆盘状的树脂膜301配置于阀座构件6与阀杆21之间，以被夹在阀座构件6与位于注射器2的下端的内筒8之间的方式被固定。如本实施方式那样被机械性地固定的情况下，作为消耗品的阀座构件6或树脂膜301的更换是容易的。
在树脂膜301的中心设置有俯视时与阀座构件6的连通孔7相同形状(在本实施方式中为相同直径)的贯通孔302。贮存容器2与吐出流路4经由阀座构件6的连通孔7及树脂膜301的贯通孔302而被连通。
树脂膜301的厚度、换言之、阀杆21的移动方向的尺寸以产生适当的变形的方式构成为薄壁。更具体而言，公开有将树脂膜301的厚度设为例如10～1000μm，优选为50～100μm。从另一观点出发，公开有将树脂膜301的厚度设为例如阀座构件6的厚度的1/10以下，优选为1/100以下。通过将树脂膜301设为薄壁，相对于阀杆21的按压力容易变形，但可将变形量抑制为较小。此处，树脂膜301的变形的容易程度相对于液体材料的泄漏是有效的，变形量较小相对于吐出精度的提高是有效的。
树脂膜301优选为由机械强度及耐热性优异的工程塑料所构成。所谓工程塑料，是指机械强度(例如50～200MPa)及耐热性高的塑料的总称，具有金属与现有类型的塑料的中间的性质。例如，可列举如下材料为例：聚酰胺(PA)、聚碳酸酯(PC)、聚缩醛(POM)、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、变性聚苯醚(m-PPE)、玻璃纤维强化聚对苯二甲酸乙二醇酯(GF-PET)、氟树脂(FR)、聚苯硫醚(PPS)、液晶聚合物(LCP)、聚芳酯(PAR)、聚砜(PSF)、聚醚砜(PES)、聚醚醚酮(PEEK)、聚酰亚胺(PI)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚酰胺酰亚胺(PAI)、超高分子量聚乙烯(UHPE)、间规聚苯乙烯(SPS)等。它们根据所使用的液体材料的物性、或其他必要的性质(机械强度及耐热性、抗磨损性等)而加以适当选择即可。在本实施方式中，特别使用了聚酰亚胺。
树脂膜301的与阀杆21接触的一侧(上表面)成为平面。另一方面，阀杆21的下端也为平面，较树脂膜301的贯通孔302为大径，因此阀杆21的下端与树脂膜301面接触。阀杆21的下端不需要设为平面(例如也可设为球面)，但优选为不以边缘与贯通孔302的缘部接触，构成为与贯通孔302的缘部进行面接触，由此提高关闭性。
阀杆21的下端面只要构成为可堵塞树脂膜301的贯通孔302的大小就足够了，但若列举一个例子，则公开了成为直径而设为贯通孔302的1.5～20倍、或3～15倍。由于通过设为使阀杆21的下端以面来接触的结构，从而可以较小的力来接触较大的区域，因此可将变形量抑制为较小且施加关闭所需要的按压力。
根据以上所说明的本实施方式的吐出装置1，由于将树脂膜301以机械强度及耐热性优异的工程塑料构成为薄壁，并设为以面与阀杆21接触，由此可一边将变形量抑制为较小一边得到充分的紧贴性(关闭性)，因此可防止阀关闭时的液体材料的自吐出口的泄漏，可提高吐出精度。特别是对于吐出装置1位于真空气氛中时的自吐出口的泄漏防止来说，是非常有效的。
再者，只要喷嘴安装构件5的底部的厚度(强度)足够，则即使不设置阀座构件6而在喷嘴安装构件5的内底面上设置树脂膜301来构成阀座，也可发挥相同的效果。
<动作>
一边参照图4、图5及图6，一边对第一实施方式所涉及的吐出装置1的动作进行说明。
(上升动作)
首先，一边参照图4，一边对阀杆21的下端自与树脂膜301接触的位置上升的动作进行说明。若使致动器28工作而使致动器杆31收缩，则被连接的滑块216上升(符号226)。若滑块216上升，则被固定于滑块216的内框218成为一体而上升(符号227)。若内框218上升，则内框218的内底面使杆连动构件221上升(符号228)，由此使杆连动构件221所保持的阀杆21上升(符号229)。若阀杆21的下端自树脂膜301分离，则通过吐出流路4的液体材料自吐出口流出。
(第1下降动作)
接着，一边参照图5，一边对阀杆21的下端下降至与树脂膜301接触为止的下降动作进行说明。若使致动器28工作而使致动器杆31朝下方伸长，则滑块216下降(符号230)。若滑块216下降，则被固定于滑块216的内框218成为一体而下降(符号231)，经由弹性构件224使杆连动构件221下降(符号232)。此时，由于将作为弹性构件224的压缩弹簧的强度Pii设为与使阀杆21、杆连动构件221、第1固定构件222及第2固定构件223移动所需要的力同等，因此弹簧224实质上不会收缩(因此，在第1下降动作的期间，杆连动构件221的底面处于与内框218的内底面抵接状态。)。
若杆连动构件221下降，则阀杆21也下降(符号233)，阀杆21的下端与树脂膜301接触。由此，吐出流路4与贮存容器2的连通被遮断，液体材料自吐出口的流出停止。
(第2下降动作)
其次，一边参照图6，一边对用于将阀杆21的位置设为安全关闭位置的下降动作进行说明。若在阀杆21的下端与树脂膜301接触之后，致动器杆31也朝下方持续伸长，则滑块216进一步下降(符号234)，被固定于滑块216的内框218也成为一体而下降(符号235)。若内框218下降，则被设置于内框218的检测板45自传感器43分离。若传感器43检测到该情况，则将检测信号发送至吐出控制装置33。吐出控制装置33将该检测板45自传感器43分离的位置作为初始检测位置(或抵接位置)进行存储。
如上所述，若滑块216在阀杆21的下端与树脂膜301接触的状态下下降，则弹性构件224收缩，将杆连动构件221朝向下方施力的力作为其斥力而进行作用(符号236)。该力成为将阀杆21压附至树脂膜301的力(符号237)，使致动器杆31位于自初始检测位置进一步下降仅规定的距离(例如1mm)的安全关闭位置。由此，可可靠地进行利用阀杆21的树脂膜301的关闭。
再者，在本实施方式中，采用自检测板45从传感器43分离的初始检测位置进一步下降的形式，但也可设为如下形式：调整检测板45的位置，使阀杆21的下端与树脂膜301接触，进一步下降而在弹簧42伸长一定的长度的位置检测板45自传感器43分离。另外，位置检测机构34也可构成为不设置传感器43。例如，也可通过安装于致动器28所使用的马达的编码器等来检测出马达轴的旋转角度或移动量，并利用从这里求得的阀杆21的进退位置来进行阀杆21的接触位置检测。
(加速时间的控制)
在本实施方式中，在利用致动器28的阀杆21的上升动作中，通过控制上升速度及加速度(在本实施方式中为加减速时间)，可抑制在阀杆21的下端附近所引起的液体压力的降低与伴随于此的气泡的产生。
图7是说明阀杆上升时的加减速时间的曲线图(概略图)，纵轴V表示速度，横轴t表示时间。在t为零时，阀杆21位于初始检测位置(抵接位置)，上方移动速度V为零。在该图中，A为加速时间，B为减速时间。若用于达到目标速度V1的上升时加速时间Au较一定的值小，则产生气泡发生的问题。在通过使用底部填充材料的吐出实验进行确认后，若以将目标速度V1设为例如0.2～30[mm/s](优选为0.5～20[mm/s])，并将上升时加速时间Au设为例如2～300[ms](优选为5～200[ms])的条件来进行吐出，则可不产生气泡地进行吐出。再者，在现有装置中，以目标速度V1为上述数值的约10倍大，加速时间A为上述数值的约1/10小这样的条件进行吐出。
上升时减速时间Bu设定与上升时加速时间Au相同的数值，或设定作为加速时间容许的范围(例如2～300[ms])的数值。
阀杆21的下降动作中的下降时加速时间Ad及下降时减速时间Bd设定与上升时加速时间Au及上升时减速时间Bu相同的数值，或设定作为加速时间容许的范围(例如2～300[ms])的数值。如现有装置那样，使下降动作急剧成为招致无法控制的吐出量的增加的原因，从而不优选。
(吐出动作)
包含上述的上升动作及下降动作的液体材料的吐出动作如下所述。
首先，压缩气体自压缩气体源经由压缩气体供给管20而被供给至气体供给接头19，并经由压缩气体流路18及未图示的连通孔而对被贮存于注射器2之中的液体材料进行加压。然后，若致动器28自吐出控制装置33接到吐出开始的信号，则以所控制的速度与加减速时间使阀杆21上升，由此使液体材料自吐出口被吐出。在经过对应于所期望的吐出量的时间后，致动器28自吐出控制装置33接到吐出结束的信号，使阀杆21下降，以阀杆21的下端对树脂膜301的贯通孔302(及阀座构件6的连通孔7)进行关闭(第1下降动作)。以上为基本的1次量的吐出动作。供给的压缩气体的压力、阀杆21的上升距离、阀开放时间等根据所使用的液体材料的物性或状态(粘度、温度等)来适当设定。另外，喷嘴3的直径或长度、阀座构件6的连通孔7及树脂膜301的贯通孔302的直径等也可根据条件进行变更。
如以上所述，在利用阀杆21的上下移动对与被安装在注射器2的端部的喷嘴3的吐出流路4连通的树脂膜301的贯通孔302(及阀座构件6的连通孔7)进行开闭，由此吐出液体材料的本实施方式的吐出装置1中，使用可对阀杆21的上下移动调整速度或加速度(加减速时间)的电动致动器28来进行其控制，由此可防止因阀杆21的上升时的压力降低而在内筒8内(杆前端部插通孔内)产生气泡。由此，可解决因液体材料中的气泡使吐出的液体材料飞溅或使描绘线散乱等的技术问题。
另外，由于为利用现有的注射器，而可简单地装卸阀杆21的结构，因此可容易地进行洗净或组装等的维护。
另外，由于具备利用压缩气体来压送液体材料，并以阀杆21进行开闭的结构，因此可进行响应性良好、高速(高流量)且稳定的吐出。
此外，通过具备位置检测机构34，可可靠地进行利用阀杆21的下端的树脂膜301的贯通孔302(及阀座构件6的连通孔7)的关闭。而且，在第一实施方式中，通过利用位置检测机构34正确地检测出阀杆21的下端与树脂膜301的抵接位置，可消除在长时间的使用后产生液体材料的泄漏的危险性。
此外，通过在阀座构件6与阀杆21之间设置树脂膜301，可防止关闭时的自吐出口的液体材料的泄漏，可提高吐出精度。
<涂布装置>
图8中显示搭载有第一实施方式所涉及的吐出装置1的涂布装置101的概略立体图。
第一实施方式所涉及的涂布装置101在台架102之上具备载置作为涂布对象物的工件103的工作台104、以及使上述的吐出装置1相对于工件103相对地移动的X驱动装置105、Y驱动装置106及Z驱动装置107。相对驱动装置(105、106、107)可分别朝向符号108、109、110的方向移动。在台架102的内部具备对上述的吐出装置1的动作进行控制的吐出控制装置33、及对上述的各驱动装置(105、106、107)的动作进行控制的驱动控制装置111。台架102之上被以虚线所示的罩112所包围，并通过使用未图示的真空泵等，可使内部成为负压环境。在罩112也可设置用于向内部进入(access)的门。再者，在本实施方式中，将内部设为负压环境，但也可设为大气压而进行涂布作业。
<<第二实施方式>>
图9所示的第二实施方式的液体材料吐出装置1在树脂膜303被固定设置于阀杆21的下端部的方面与第一实施方式不同。以下，以与第一实施方式的不同点为中心进行说明，对共同的要素省略说明。
图9中显示第二实施方式所涉及的吐出装置的部分剖面正面图的阀座构件附近放大图。
第二实施方式的阀杆21与第一实施方式相同，被构成为下端部为窄径的圆柱状。树脂膜303是覆盖阀杆21的下端部的盖状或凹状的构件，且通过未图示的固定构件(例如环状构件)而被机械性地固定。也可将与该固定构件卡合的凸部或凹部设置于阀杆21的侧面。
第二实施方式的树脂膜303与第一实施方式不同，不存在连通孔。树脂膜303与阀杆21一起上下移动，在朝向构成阀座的阀座构件6的就座时，通过阀杆21的下端面而朝向阀座构件6被按压。关于其他的结构，与第一实施方式相同。
在第二实施方式中，与第一实施方式不同，通过阀杆21的动作，在阀座构件6与树脂膜303之间进行接触及分离，但通过位于阀座构件6与阀杆21之间的树脂膜303，可发挥与第一实施方式相同的效果。即，由于将树脂膜303以机械强度及耐热性优异的工程塑料构成为薄壁，并设为以面与阀杆21接触，由此可一边将变形量抑制为较小一边得到充分的紧贴性(关闭性)，因此可防止阀关闭时的自吐出口的液体材料的泄漏，可提高吐出精度。在第二实施方式中，对于防止吐出装置1处于真空气氛中时的自吐出口的泄漏来说，也是非常有效的。
再者，只要喷嘴安装构件5的底部的厚度(强度)足够，则即使不设置阀座构件6而由喷嘴安装构件5的内底面来构成阀座，也可发挥相同的效果。
符号的说明
1：吐出装置、2：贮存容器/注射器、3：喷嘴、4：吐出流路、5：喷嘴安装构件、6：阀座构件、7：连通孔、8：内筒(杆前端部插通孔)、9：凸缘部、10：主体下部构件、11：凸缘支撑构件、12：插入部、18：压缩气体流路、19：气体供给接头、20：压缩气体供给管、21：阀杆、28：致动器、31：致动器杆、32：控制配线、33：吐出控制装置、34：位置检测机构、43：传感器、44：安装板、45：检测板、101：涂布装置、102：台架、103：涂布对象物/工件、104：工作台、105：X驱动装置、106：Y驱动装置、107：Z驱动装置108：X移动方向、109：Y移动方向、110：Z移动方向、111：驱动控制装置、112：罩、201：外框、202：嵌入孔、203：开口部(侧面)、204：延长部、205：背面部、206：开口部(背面)、207：突出部、208：第1轴衬、209：第2轴衬、210：第1轴衬压紧件、211：第2轴衬压紧件、212：第1轴衬插通孔、213：第2轴衬插通孔、214：密封构件、215：致动器支撑构件、216：滑块、217：滑轨、218：内框、219：第1贯通孔、220：第2贯通孔、221：杆连动构件、222：第1固定构件、223：第2固定构件、224：弹性构件、225：中心轴线、226：滑块上升、227：内框上升、228：杆保持构件上升、229：阀杆上升、230：滑块下降、231：内框下降、232：杆保持构件下降、233：阀杆下降、234：滑块下降、235：内框下降、236：将杆保持构件朝向下方施力的力、237：将阀杆压附至树脂膜的力、301：树脂膜、302：贯通孔(树脂膜)、303：树脂膜。

Claims (15)

1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，
具备：
贮存容器，其贮存液体材料；
压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；
喷嘴，其具有吐出流路；
进行往返动作的阀杆；
致动器，其驱动阀杆；
阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及
吐出控制装置，其控制致动器并利用阀杆的下端对连通孔进行开闭，
所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，
所述液体材料吐出装置具备被配置于所述阀座的上表面且具有与所述连通孔连通的贯通孔的树脂膜、及具有插装有所述贮存容器的下端部的凹部且设置有所述喷嘴的喷嘴安装构件，
所述阀座由被机械性地固定且具有平坦的上表面的阀座构件所构成，并且能够进行更换，
所述树脂膜被机械性地固定，并且能够进行更换，
所述树脂膜的厚度为所述阀座构件的厚度的1/10以下，
利用安装于所述喷嘴安装构件的凹部的阀座构件和所述贮存容器的前端，所述树脂膜被机械性地固定。
2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述阀座构件由通过所述阀杆的按压不产生变形的材质所构成。
3.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述树脂膜具有10～1000μm的厚度。
4.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述阀杆的下端或所述阀座构件的上表面与所述树脂膜面接触。
5.如权利要求4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述阀杆的下端为平面，且所述阀座构件的上表面为平面。
6.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述树脂膜由工程塑料所构成。
7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述阀杆的下端及所述阀座构件由金属所构成。
8.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au控制在2～300ms的范围内。
9.如权利要求8所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的上升时的目标速度V1控制在0.2～30mm/s的范围内，且/或将利用所述致动器的阀杆的下降时的加速时间Ad控制在2～300ms的范围内。
10.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述阀杆经由滑动构件而与致动器连接，
具备：位置检测机构，其具备检测所述滑动构件位于规定的位置的传感器机构，通过检测所述滑动构件的位置而检测所述阀杆的下端位于抵接于所述阀座的位置。
11.如权利要求10所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
具备：
杆连动构件，其与所述阀杆相连接，可分离地抵接并配置于滑动构件；及
弹性构件，其赋予使杆连动构件与滑动构件可分离地抵接的作用力，
在所述阀杆抵接于所述阀座之后，在通过所述致动器作用使所述阀杆进一步前进的力时，所述滑动构件与所述杆连动构件分离而朝下方移动，通过传感器机构检测该滑动构件的移动，从而检测所述阀杆的下端位于抵接于所述阀座的位置。
12.一种涂布装置，其特征在于，
具备：
权利要求1或2所述的液体材料吐出装置；
工件台，其设置工件；
相对驱动装置，其使所述液体材料吐出装置与所述工件台相对移动；
罩，其构成配置所述液体材料吐出装置、所述工件台、及所述相对驱动装置的负压空间；
减压装置，其将所述罩内设为负压；及
驱动控制装置，其控制相对驱动装置。
13.如权利要求12所述的涂布装置，其特征在于，
所述减压装置为真空泵。
14.一种涂布方法，其特征在于，
是使用权利要求12所述的涂布装置的涂布方法，在通过所述减压装置将所述罩内设为负压的状态下，一边使所述工件与所述液体材料吐出装置相对移动，一边在工件上涂布液体材料。
15.如权利要求14所述的涂布方法，其特征在于，
所述罩内实质上为真空。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11167511B2 (en) 2019-08-07 2021-11-09 Anthony Nicholson Methods, systems, and apparatuses for facilitating manufacturing a mechanical transfer (MT) optical fiber connector
WO2021107924A1 (en) * 2019-11-26 2021-06-03 Compagnie Generale Des Etablissements Michelin Adhesive ribbon mix head with attachment for mix applicator
WO2021182146A1 (ja) * 2020-03-11 2021-09-16 武蔵エンジニアリング株式会社 面状液膜形成方法および面状液膜形成装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000317369A (ja) * 1999-05-07 2000-11-21 Cimeo Precision Co Ltd 定量吐出装置
CN1498136A (zh) * 2001-03-27 2004-05-19 武藏工程株式会社 液滴的形成方法及液滴定量排出装置
CN101743423A (zh) * 2007-05-18 2010-06-16 恩菲尔德技术责任有限公司 电子控制阀和包含该电子控制阀的系统
CN101861487A (zh) * 2007-09-20 2010-10-13 西港能源有限公司 带有应变式致动器的直接致动式阀以及这种阀的操作方法
CN102006943A (zh) * 2008-02-21 2011-04-06 武藏工业株式会社 液体材料的排出装置以及方法
CN203098881U (zh) * 2013-02-01 2013-07-31 罗艳芳 一种无外泄漏阀门
CN104011444A (zh) * 2011-12-27 2014-08-27 大丰工业株式会社 阀装置
CN104668152A (zh) * 2013-11-27 2015-06-03 芝浦机械电子装置株式会社 涂布装置及方法、显示装置用部件的制造装置及制造方法

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2629953B1 (fr) * 1988-04-06 1991-07-05 Sagem Composant electrique, notamment moteur electrique, equipe de double paires de contacts, notamment pour autoriser deux implantations differentes sur une plaque a circuits imprimes
JPH059099Y2 (zh) * 1988-12-23 1993-03-05
JP2652259B2 (ja) * 1990-05-14 1997-09-10 富士写真フイルム株式会社 流量コントロールバルブ
JP3552431B2 (ja) * 1996-11-26 2004-08-11 株式会社スリーボンド 材料塗布装置
US5875922A (en) 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
JPH11197571A (ja) 1998-01-12 1999-07-27 Nordson Kk 吐出ガンの弁機構の開閉速度制御方法及び装置並びに液状体の吐出塗布方法
JP3401215B2 (ja) * 1998-12-15 2003-04-28 オリンパス光学工業株式会社 内視鏡用光学アダプタ及び内視鏡装置
JP2001113212A (ja) * 1999-10-20 2001-04-24 Noiberuku Kk 液体吐出装置
US6679685B2 (en) 2000-03-07 2004-01-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and device for discharging viscous fluids
DE60124332D1 (de) 2000-03-07 2006-12-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flüssigkeitsspender
JP2001246298A (ja) * 2000-03-07 2001-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体吐出装置及び流体吐出方法
JP2002021715A (ja) * 2000-07-10 2002-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体供給装置及び流体供給方法
JP4636729B2 (ja) 2001-05-01 2011-02-23 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の吐出方法およびその装置
CN101428263B (zh) * 2003-07-14 2012-07-04 诺信公司 用于分配不连续量的粘性物质的装置和方法
JP4311549B2 (ja) 2004-02-02 2009-08-12 Ｔｄｋ株式会社 液体材料塗布方法
JP2006281178A (ja) * 2005-04-05 2006-10-19 Noiberuku Kk シリンジポンプ
JP5068942B2 (ja) 2005-10-18 2012-11-07 アピックヤマダ株式会社 真空ディスペンス装置
KR101600432B1 (ko) * 2007-03-08 2016-03-08 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액적 토출 장치 및 방법
JP2010022881A (ja) 2007-03-30 2010-02-04 Musashi Eng Co Ltd 液材吐出装置および液材吐出方法
WO2009108377A1 (en) 2008-02-27 2009-09-03 Enfield Technologies, Llc Method and device for controlling load and voltage in voice coils
JP2009219993A (ja) * 2008-03-14 2009-10-01 Riso Kagaku Corp 粘性流体吐出装置及び粘性流体吐出方法
US9162249B2 (en) 2008-10-01 2015-10-20 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Paste dispenser for applying paste containing fillers using nozzle with pin and application method using the same
JP5164774B2 (ja) * 2008-10-01 2013-03-21 パナソニック株式会社 ペースト塗布装置およびペースト塗布方法
JP5419616B2 (ja) 2009-09-25 2014-02-19 武蔵エンジニアリング株式会社 気泡混入防止機構および該機構を備える液体材料吐出装置並びに液体材料吐出方法
MY169189A (en) * 2012-02-06 2019-02-25 Musashi Eng Inc Liquid material discharge device and discharge method
JP6041421B2 (ja) * 2012-03-15 2016-12-07 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出機構および液体材料吐出装置
KR101544070B1 (ko) * 2012-06-25 2015-08-12 한국생산기술연구원 하드 로이 유리 제조장치 및 이를 이용한 하드 로이 유리 제조방법
JP6364168B2 (ja) * 2013-09-30 2018-07-25 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置および塗布方法
JP6180283B2 (ja) * 2013-11-06 2017-08-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置および方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000317369A (ja) * 1999-05-07 2000-11-21 Cimeo Precision Co Ltd 定量吐出装置
CN1498136A (zh) * 2001-03-27 2004-05-19 武藏工程株式会社 液滴的形成方法及液滴定量排出装置
CN101743423A (zh) * 2007-05-18 2010-06-16 恩菲尔德技术责任有限公司 电子控制阀和包含该电子控制阀的系统
CN101861487A (zh) * 2007-09-20 2010-10-13 西港能源有限公司 带有应变式致动器的直接致动式阀以及这种阀的操作方法
CN102006943A (zh) * 2008-02-21 2011-04-06 武藏工业株式会社 液体材料的排出装置以及方法
CN104011444A (zh) * 2011-12-27 2014-08-27 大丰工业株式会社 阀装置
CN203098881U (zh) * 2013-02-01 2013-07-31 罗艳芳 一种无外泄漏阀门
CN104668152A (zh) * 2013-11-27 2015-06-03 芝浦机械电子装置株式会社 涂布装置及方法、显示装置用部件的制造装置及制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
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