CN113510049B - 液体材料吐出装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供可有效地加速柱塞并可降低装置的重心、而且维护性良好的液体材料吐出装置及搭载有该装置的涂布装置。一种液体材料吐出装置及其涂布装置，该液体材料吐出装置具备：液室，与吐出口连通且被供给液体材料；柱塞，较液室小径的前端部在液室内进行进退移动；弹性体，朝上方对柱塞施力；臂，以实质上朝水平方向延伸的方式被配置；臂驱动装置，成为使臂动作的驱动源；及基体，配置有臂驱动装置；具备与臂驱动装置连接且可摇动地支撑臂驱动装置及臂的摇动机构部；臂驱动装置具备被配置于臂的长度方向的多个致动器，臂具备将柱塞朝下方按压的按压部，柱塞具备被按压部按压的抵接部，柱塞通过臂的摇动运动而进行直线往返移动。

Description

液体材料吐出装置
本申请是申请日为2017年1月11日、申请号为201780006870.1、发明名称为液体材 料吐出装置的专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及具备在与喷嘴连通的液室内进行往返动作的柱塞、致动器及位移扩大机构的液体材料吐出装置及搭载有该吐出装置的涂布装置。此处，本说明书所记载的“柱塞”包含例如被称为针、杆、活塞的棒状构件。
背景技术
一直以来，提出有使用在与喷嘴连通的液室内进行往返移动的柱塞而使少量的液体材料呈液滴状吐出的各种技术。用于使柱塞移动的驱动源多使用利用马达、空气、压电元件等的致动器。作为使用空气压力来当作驱动源的吐出装置，例如，在申请人所涉及的专利文献1中公开有一种吐出装置，其通过利用空气压力的柱塞杆的后退动作将吐出口开放，并通过利用弹簧的弹性力的上述柱塞杆的前进动作而自上述吐出口吐出液滴。
在利用弹簧及空气压力使柱塞进行往返动作的吐出装置中，容易确保柱塞的移动距离，但由于空气具有压缩性，因此难以使柱塞的往返移动速度快到一定以上的速度。关于该点，在具备压电致动器的结构中，由于可通过电脉冲信号来控制压电元件的动作，因此冲程的再现性优异，也容易进行压电元件的动作的控制。
作为以压电致动器来当作驱动源而使针进行往返移动的吐出装置，例如，在专利文献2中公开有一种液体材料吐出装置，其具备与吐出口连通且被供给液体材料的液室、前端部在液室内进行进退移动的针、使针进行进退动作的驱动装置、及位移扩大机构，并自吐出口飞翔吐出液滴；其特征在于：驱动装置由被左右对称地配置的偶数台驱动装置构成，位移扩大机构具备在下部连结有针的可弹性变形的U字状构件，各驱动装置通过使U字状构件的两端部分离的力作用而使针进行后退移动并且通过使U字状构件的两端部接近的力作用而使针进行前进移动。
使用针(柱塞)的液体材料吐出装置由于可通过高速前进的柱塞赋予大的射出力，因此可将通过压电(piezo-electric)元件来挤出油墨室内的油墨而进行吐出的喷墨装置中无法进行吐出的高粘度的液体材料作为液滴进行吐出。
在专利文献3中公开有一种液滴射出装置，其具备：壳体，其具有被设置于前端的射出孔及汽缸孔；层叠型的压电元件，其配置于壳体内；及柱塞，其将压电元件作为驱动源，并微小伸缩移动自如地被收纳于汽缸孔内；压电元件是嵌合于元件保持器且被一体地安装的长方体，在元件保持器，在一部分形成薄壁弹性部而对压电元件赋予收缩侧的恢复力，将该元件保持器的上端部固定于上述壳体并且在元件保持器的下端形成柱塞。
专利文献3所公开的装置是具备与汽缸孔相同直径的柱塞，且吐出与通过柱塞的前进移动所减少的容积相同量的液体材料的吐出原理的装置。该吐出原理的装置由于会产生柱塞的侧周面与汽缸孔的内周面的滑动摩擦，因此不适用于每秒进行数百吐射(shot)以上的高速连续吐出。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-282740号公报
专利文献2：日本特开2015-51399号公报
专利文献3：日本专利第4786326号公报
发明内容
发明所要解决的问题
近年来，在使柱塞进行往返动作的吐出装置(分配器)中，要求飞翔吐出较现有更微量的液滴。例如，专利文献2所公开的装置由于具备使小径的针在大径的液室内进行往返动作的结构，因此可吐出较通过针的前进移动而减少的液室内的容积更少量的液体材料。为了通过此种吐出方式飞翔吐出微量的液滴，需要使柱塞加速至一定以上的速度。
在利用压电致动器使柱塞进行往返动作的吐出装置中，为了确保用于使柱塞加速的移动距离，需要设置将压电致动器的位移量扩大的位移扩大机构。然而，若因设置位移机构而造成吐出装置的重心变高，则存在有在使搭载吐出装置的涂布头开始移动、停止移动、变更移动速度、及转换方向时所产生的晃动或振动变大等的问题。
另一方面，为了增大位移量，也考虑增大压电元件其本身的位移，但使压电元件多层化或使用多个压电元件存在有会招致吐出装置的大型化而使制造成本也增大等的问题。
此外，要求吐出部的维护性良好的吐出装置。例如，要求具有可容易地进行被凝固的液体材料所堵塞的吐出口的清洗或已磨耗的柱塞的更换的构造的吐出部的吐出装置。
因此，本发明的目的在于提供一种可有效地加速柱塞，且可降低装置的重心，而且维护性良好的液体材料吐出装置、及搭载有该吐出装置的涂布装置。
解决问题的技术手段
本发明的液体材料吐出装置，其特征在于：其具备：液室，与吐出口相连通且被供给液体材料；柱塞，较液室小径的前端部在液室内进行进退移动；弹性体，朝上方对柱塞施力；臂，以实质上朝水平方向延伸的方式被配置；臂驱动装置，成为使臂动作的驱动源；及基体，配置有臂驱动装置；具备与上述臂驱动装置连接，可摇动地支撑上述臂的摇动机构部，上述臂驱动装置具备被配置于上述臂的长度方向的多个致动器，上述臂具备将柱塞朝下方按压的按压部，上述柱塞具备被上述按压部按压的抵接部，上述柱塞通过上述臂的摇动运动进行直线往返移动。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述多个致动器由层叠型压电元件构成，臂通过被配置于靠近上述按压部的一侧的致动器成为伸长状态且被配置于远离上述按压部的一侧的致动器成为非伸长状态或收缩状态而朝上方移动，臂通过被配置于靠近上述按压部的一侧的致动器成为非伸长状态或收缩状态且被配置于远离上述按压部的一侧的致动器成为伸长状态而朝下方移动。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述多个致动器由偶数个致动器构成，且优选其特征也可以在于，上述偶数个致动器由第一压电致动器及第二压电致动器构成。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述按压部或上述抵接部具备追随上述臂的摇动运动而确保上述按压部与上述抵接部的抵接状态的曲面。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，具备将上述臂装卸自如地固定于上述基体的紧固件，且优选其特征也可以在于，上述紧固件配置于上述多个致动器之间，且上述多个致动器通过上述紧固件而被夹装于上述臂及上述基体。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，进一步具备朝铅垂方向可移动地支撑上述柱塞的导引件，上述弹性体由始终朝上方对上述柱塞施力的线圈状的压缩弹簧构成，且上述柱塞装卸自如地被插通于上述弹性体及上述导引件。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述摇动机构部与上述臂驱动装置的下端部连接，或与上述臂驱动装置的上端部连接。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述摇动机构部构成为具备：第一摇动机构部，其与上述臂驱动装置的下端部连接；及第二摇动机构部，其与上述臂驱动装置的上端部连接。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述摇动机构部构成为具备：连接部，其与上述臂驱动装置的一端部连接；及支撑部，其摇动自如地支撑上述连接部；优选其特征也可以在于，上述支撑部具备由平滑的曲面构成的凸状或凹状的支撑面，上述连接部具备在上述支撑部的上述支撑面上滑动的凹状或凸状的滑动面。
在上述液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述按压部由装卸自如地被安装于上述臂的按压构件构成。
本发明的涂布装置，其特征在于，具备：上述的液体材料吐出装置；工件台，其载置被涂布物；相对移动装置，其使液滴吐出装置与被涂布物进行相对移动；及液体材料供给源，其将液体材料供给至液体材料吐出装置。
在上述涂布装置中，其特征也可以在于，上述液体材料吐出装置由多台液体材料吐出装置构成。
发明的效果
根据本发明，可提供能够有效地加速柱塞，且可降低装置的重心，而且维护性良好的液体材料吐出装置、及搭载有该吐出装置的涂布装置。
附图说明
图1为实施方式例1所涉及的液体材料吐出装置的侧面截面图。
图2为实施方式例1所涉及的摇动机构部的概略立体图。
图3为实施方式例1所涉及的液体材料吐出装置(上升位置)的侧面截面图。
图4为实施方式例1所涉及的液体材料吐出装置(下降位置)的侧面截面图。
图5为搭载有实施方式例1所涉及的液体材料吐出装置的涂布装置的立体图。
图6为实施方式例2所涉及的液体材料吐出装置的侧面截面图。
图7为实施方式例3所涉及的液体材料吐出装置的侧面截面图。
图8为实施方式例4所涉及的液体材料吐出装置的侧面截面图。
图9为实施方式例5所涉及的摇动机构部的概略立体图。
具体实施方式
本发明涉及一种液体材料吐出装置，其微量地且精度良好地吐出从水、溶剂、药剂等粘性低的液体材料至焊料膏体、银膏体、粘结剂等粘性比较高的液体材料。以下，对用于实施本发明的方式例进行说明。
《实施方式例1》
＜结构＞
图1为实施方式例1所涉及的液体材料吐出装置1的侧面截面图。
实施方式例1的液体材料吐出装置1涉及一种喷射式的吐出装置，其以基体10、臂驱动装置20、臂30、柱塞50、输液构件60、喷嘴单元70为主要的构成要素，且将液体材料作为液滴而飞翔吐出。
再者，为方便说明，有时将喷嘴单元70侧称为“下”，将臂30侧称为“上”，将喷嘴单元70侧(图1的右侧)称为“前方”，将臂驱动装置20侧(图1的左侧)称为“后方”。
基体10是块状构件，且具备设置有摇动机构部25的上表面11、及安装有喷嘴单元70的底面12。
上表面11其大部分由水平的平面构成，且具有设置有摇动机构部25的凹部13、及柱塞插通孔14的上部开口。在凹部13设置有构成摇动机构部25的一对支撑部27。摇动机构部25的细节在后面叙述。
再者，不需要将凹部13与柱塞插通孔14设置于同一构件，因此也可通过多个构件来构成基体10。
臂驱动装置20由沿着臂30的长度方向被配置的第一致动器21及第二致动器22构成。第一致动器21及第二致动器22由通过施加电压而可朝层叠方向(图1的上下方向)伸缩的相同规格的2个压电元件构成。本实施方式例的致动器(21、22)例如为将高应变率压电陶瓷材料、内部电极、外部电极及绝缘物堆积而构成的棒状的层叠型元件，其厚度例如为5～100mm，厚度方向的位移量例如为5～100μm左右。本实施方式例使用2个致动器，但致动器的数量并不限定于此，也可将3个以上(优选为偶数个)的致动器相对配置而构成。致动器(21、22)的位移通过臂30被扩大至例如3～100倍(优选为5～50倍)而被传递至柱塞50。
图2为实施方式例1所涉及的摇动机构部25的概略立体图。
摇动机构部25构成为具备：连接部(26、26)，其分别被连结于致动器(21、22)的下端；及支撑部(27、27)，其配置于基体10的凹部13。
2个连接部26是在下表面具有由平滑的曲面构成的凹部(半球状的凹陷)的构件，且沿着基体10的长度方向排列而被配置。
本实施方式例的支撑构件27是将柱状构件插入被设置在基体10的侧面的贯通孔而加以固定的方式。支撑部27的上表面由具有相较于连接部26的凹部相同或更小的曲率的平滑的曲面(半球状的突起)构成。再者，也可构成为与本实施方式例不同，在连接部26侧设置凸部，并在支撑部27侧设置凹部。
摇动机构部25可通过连接部26一边沿着臂30的长度方向滑动一边进行移动，而使臂驱动装置20及臂30相对于基体10倾斜。另外，由于通过摇动机构部25可吸收致动器(21、22)的剪切变形，因此可使臂30的摇动动作稳定，甚至可提高吐出精度。
臂30是实质上沿水平方向(也包含与水平面存在30度以下的角度的情况)延伸的长条构件，且以由平面构成的底面32与上表面11平行的方式，通过未图示的固定件直接或间接地被固定于基体10。臂30由挠曲较少的金属等硬质材料构成，将臂驱动装置20的驱动力直接传递至柱塞50。臂30由于自基体10仅分开臂驱动装置20的高度，因此可降低吐出装置1的重心。
臂30至少具有较臂驱动装置20的伸长更大的长度，且作为扩大致动器(21、22)的位移量的位移扩大机构而发挥作用。通过调节致动器(21、22)的位移量使臂30相对于基体10成为所期望的倾斜角度，而可动态地调节冲程。
在臂30的前方部，设置有构成按压构件的臂杆33进行插通且被固定的贯通孔。在臂杆33的下端，设置有凸状的按压部34。臂杆33装卸自如地被固定于臂30，从而更换作业较简单。按压部34由于与柱塞的后端部53的接触位置及接触角度通过其上下位置而变化，因此优选构成为与后端部53的相对面具有曲面的形状(例如，半球或半椭圆球)。再者，按压构件不需要为杆状，例如，也可由在下端具备凸部，且装卸自如地被固定于臂的块状构件构成。
臂30进行以臂驱动装置20附近为支点的摇动运动，并通过按压部34抵接于柱塞的后端部53而使柱塞50以高速进行进入移动。这样，由可与柱塞50分开的不同构件来构成臂杆33，由此可削减位移扩大机构的部件数并可降低吐出装置1的重心。
柱塞50构成为具备：杆部51，其由沿着铅垂方向笔直地延伸的杆状的构件构成；半椭圆球状的前端部52；及后端部53，其由较杆部51更大径的圆盘状的构件构成。柱塞50例如由耐腐蚀性优异的金属材料、陶瓷材料、树脂材料构成。
柱塞的杆部51被插通于由线圈状的压缩弹簧构成的弹性体54、被配置于柱塞插通孔14的环状的导引件41及环状的密封构件42。臂30以圆弧状的轨迹抵接于柱塞的后端部53，但柱塞50的动作方向通过导引件41而直线性地被规定。再者，导引件41也可由被配置为环状的多个构件构成。
柱塞的前端部52配置于较杆部51更大径的液室74内，不抵接于液室74的内周面地进行往返移动。即，柱塞的前端部52由于可不滑动摩擦地进行往返移动，因此可进行高速移动。柱塞的前端部52的形状可设为任意的形状，例如，公开有设为平面、球状或在前端设置有突起的形状。
柱塞的后端部53构成为较弹性体54更大径，并通过弹性体54而始终朝上方被施力。柱塞的后端部53位于与臂的按压部34相对的位置，且构成被抵接于按压部34的抵接部。若臂的按压部34以超过弹性体54的作用力之势压下后端部53，则对位于柱塞的前端部52的前方的液体材料施加惯性力而以液滴的状态吐出较所推开的体积量更少量的液体材料。若臂的按压部34上升，则柱塞50也通过弹性体54的作用力而上升，且最高上升位置(即，冲程)通过臂的按压部34而被规定。
柱塞的后端部53由于未与按压部34连结，因此柱塞50的自柱塞插通孔14的拆卸较容易。即，作为消耗品的柱塞50的更换作业较简单。
再者，在本实施方式例中，使柱塞的前端部52落座于液室74的内底面构成的阀座72而停止柱塞50的前进移动，但不使其落座于阀座的方式也包含于本发明的技术思想中。
输液构件60是沿着基体10朝水平方向延伸的构件，且装卸自如地被安装于基体的下表面12。在输液构件60的内部形成有供给流路61，供给流路61的一端部与液室74相连通，另一端部与供给口62相连通。由于液室74配置于吐出装置1的前方端部附近，因此供给流路61的长度相较于其他吐出装置相对较短，所以会浪费的液体材料量也相对变少。
在供给口62经由输液管(包含管状的管)而连接有贮存容器。贮存容器内的液体材料通过压缩气体而被加压，且液体材料经由供给流路61而被供给至液室74。再者，在液体材料为流动性较高的材料的情况下，也可不对贮存容器加压。
喷嘴单元70构成为具备喷嘴构件71、阀座72及罩73。
喷嘴构件71是形成有液室74的圆筒状的构件，且在前端部配设有阀座72及罩73。
阀座72是在中心设置有朝下方开口的吐出口75的圆盘状的构件，且通过将罩73螺合于喷嘴构件71的前端而被固定。液室74、吐出口75及柱塞50的各中心线配置于同一直线上。通过柱塞50落座或离开于阀座72而使吐出口75被开闭，而使液体材料被吐出。液室74使液体材料被充满至密封构件42的附近，密封构件42防止液体材料朝向导引件41的侵入。
在喷嘴单元70也可设置用于将液室74内的液体材料加温至规定的温度的调温机构。
＜动作＞
(1)空档位置(neutral position)
图1显示致动器(21、22)处于非动作状态且臂30处于空档位置的情况。此时，柱塞杆的前端部52处于与阀座72非接触状态，吐出口75被开放。柱塞杆的后端部53通过弹性体54的施力作用而处于与臂杆的按压部34抵接状态。
在空档位置，也可与图1不同而将前端部52与阀座72设为接触状态。在设为接触状态的情况下，可防止液体材料自吐出口的漏出。
(2)上升位置
图3显示使第一致动器21工作且臂30处于上升位置的情况。
若对第一致动器21通电而使其进入位移(使全长伸长)，则臂杆33通过杠杆原理而朝上方移动。不对第二致动器22通电，维持与空档位置相同的位置。此时，各致动器的连接部26、26在各支撑部27、27上移动，第一致动器21及第二致动器22也朝后方(图3的左侧)倾斜。与上述不同，也可对第二致动器22施加收缩信号而使其收缩位移，使按压部34及柱塞50产生更大的位移。
若臂杆33朝上方移动，则由于柱塞50也通过弹性体54的施力作用而朝上方移动，因此臂杆的按压部34与柱塞的后端部53成为抵接状态。此处，在臂杆33朝上方移动的期间，不需要保持按压部34与柱塞的后端部53的抵接状态，也可在暂时性地成为非接触状态之后成为抵接状态。
在臂杆33的上方移动时，按压部34具有在致动器(21、22)侧取中心的圆弧状的轨迹地进行上升移动。另一方面，柱塞50通过导引件41的作用而直线地进行上升移动。即，在臂杆33的上方移动时，按压部34与柱塞的后端部53的位置关系会产生偏移。因此，在本实施方式例中，以球面等的曲面构成按压部34的下表面来确保适当的抵接状态。此处，与图示的结构不同，也可以球面等的曲面构成柱塞的后端部53的上表面，且以平面(或曲面)构成按压部34的下表面。
再者，将柱塞的后端部53构成为能够追随按压部34的轨迹的大小也是重要的。
(3)下降位置
图4显示使第一致动器21返回空档位置，使第二致动器22工作，且臂30处于下降位置的情况。
若停止对第一致动器21的通电，对第二致动器22进行通电而使其进入位移(使全长伸长)，则臂杆33通过杠杆原理而朝下方移动。此时，各致动器的连接部26、26在各支撑部27、27上移动，第一致动器21及第二致动器22也朝前方(图4的右侧)倾斜。与上述不同，也可对第一致动器21施加收缩信号而使其收缩位移，使按压部34及柱塞50产生更大的位移。
若臂杆33朝下方移动，则臂按压部34以超过弹性体54的作用力的力按压柱塞的后端部53。由此，柱塞50朝下方移动，前端部52落座于阀座72，而将液体材料以液滴的状态自吐出口75吐出。此处，在臂杆33朝下方移动的期间，不需要保持按压部34与柱塞的后端部53的抵接状态，也可在暂时性地成为非接触状态之后成为抵接状态。
臂杆33具有圆弧状的轨迹地进行下降移动，且柱塞50通过导引件41的作用而直线地下降移动的方面与上述(2)的情况相同。
若重复以上的动作，则致动器(21、22)左右连续地摇动，使柱塞50例如在1秒钟以100～500次或其以上的频率进行往返移动。从提高吐出精度的观点出发，优选为将施加于致动器(21、22)的脉冲信号的振荡频率设为一定。
＜涂布装置＞
如图5所示，被收纳于筐体内且与贮存容器(注射器)连接的液体材料吐出装置1搭载于涂布装置100的涂布头，并通过XYZ轴驱动装置(111、112、113)使涂布头(吐出装置)1与工件台103进行相对移动，且使用于在工件上涂布液体材料的作业。例示的涂布装置100构成为具备：架台101；工件台103，其载置作为涂布对象物的工件102；X驱动装置111，其使液体材料吐出装置1与工件台103朝X方向121进行相对移动；Y驱动装置112，其使液体材料吐出装置1与工件台103朝Y方向122进行相对移动；Z驱动装置113，其使液体材料吐出装置1与工件台103朝Z方向123进行相对移动；未图示的分配控制器(吐出控制部)，其以所期望的条件朝向贮存容器供给来自未图示的压缩气体源的压缩气体；及涂布动作控制部104，其控制XYZ驱动装置(111、112、113)的动作。如以虚线所图示的那样，涂布装置100优选由罩覆盖架台上部以防止颗粒或发尘物到达工件102。
XYZ驱动装置(111、112、113)构成为具备例如公知的XYZ轴伺服马达及螺杆，可以任意的速度使液体材料吐出装置1的吐出口移动至工件的任意的位置。图5中，在涂布装置搭载有3台液体材料吐出装置1，但搭载台数并不限定于例示的数量，可为1台，也可为2台、4台等多台。另外，图5中，在1台Z驱动装置113搭载有3台液体材料吐出装置1，但也可设置与液体材料吐出装置1相同数量(图5的例子中为3台)的Z驱动装置，且构成为各液体材料吐出装置1可独立地朝Z方向(及X方向)移动。
根据以上所说明的实施方式例1所涉及的液体材料吐出装置1，由于通过降低吐出装置1的重心，可抑制涂布头的晃动或振动，因此可更高速地移动涂布头。另外，由于来自臂驱动装置20的驱动力经由由硬质材料构成的臂30而被直接地传递至柱塞50，因此冲程的再现性较高，而且可吐出高粘度的液体材料。
《实施方式例2》
实施方式例2的液体材料吐出装置1与实施方式例1相同，是将液体材料作为液滴而飞翔吐出的喷射式的吐出装置。以下，以与实施方式例1的不同点所涉及的结构为中心进行说明，并对相同的结构省略说明。
图6为实施方式例2所涉及的液体材料吐出装置1的侧面截面图。
在本实施方式例中，将在后端部具有圆盘状构件的紧固件35插通于被设置在臂30的后方部的贯通孔(未图示)，将臂30固定于基体10。紧固件35构成为以适当地按压臂驱动装置20的状态固定臂30的长度。即，第一致动器21及第二致动器22通过臂30及基体10而被夹装。
在基体的凹部13的上表面，形成有一对支撑部27。即，在本实施方式例中，一对支撑部27与基体10一体地被形成。在一对支撑部27之间，设置有用于固定紧固件35的螺孔(未图示)。杆状的紧固件35在前端部形成有螺纹槽，且螺合于凹部13的螺孔而被固定。紧固件35装卸自如地被固定于凹部13的螺孔，在臂驱动装置20达到使用寿命时可容易地进行更换。
输液构件60是从侧面观察大致L字状的构件，且在上端部设置有具有供给口62的接头65。在接头65直接连接有贮存有液体材料的贮存容器(注射器)、或经由输液管(包含管状的管)而连接有贮存容器。
在输液构件60的内部，形成有供给流路61、流入流路63及排气流路64。在液体材料首先自接头65被供给时，残留于各流路的空气自被设置于排气流路64的端部的开口被排出。在残留空气被排出之后，通过闭塞栓66将排气流路64堵塞而使用。输液构件60由于在同一直线上配置有各构成要素(61～65)，因此可纤细地构成吐出装置1的宽度(图6的纸面垂直方向的宽度)。
本实施方式例的液体材料吐出装置1的动作与实施方式例1相同。
通过以上所说明的实施方式例2所涉及的液体材料吐出装置1，也可实现与实施方式例1相同的作用效果。
《实施方式例3》
实施方式例3的液体材料吐出装置1与实施方式例1相同，是将液体材料作为液滴而飞翔吐出的喷射式的吐出装置。以下，以与实施方式例1的不同点所涉及的结构为中心进行说明，并对相同的结构省略说明。
图7为实施方式例3所涉及的液体材料吐出装置1的侧面截面图。
实施方式例3所涉及的液体材料吐出装置1在摇动机构部125被配置于致动器(21、22)的上端的方面与实施方式例1不同。即，摇动机构部125配置于致动器(21、22)与臂30之间。
构成摇动机构部125的连接部126、126及支撑部127、127的结构除了配置场所，与实施方式例1的连接部26及支撑部27相同。与实施方式例1相同，连接部126是在上表面具有由曲面构成的凹部的构件，在相对的支撑部127的下表面一边进行滑动一边进行往返动作。
在本实施方式例中，仅在致动器(21、22)的上端设置摇动机构125，但除此之外，也可在致动器(21、22)的下端设置实施方式例1的摇动机构部25。即，也可设为在致动器(21、22)的上端及下端分别设置摇动机构部的结构。根据这样的结构，可通过2个摇动机构部而更高水平地吸收致动器(21、22)的剪切变形。
本实施方式例的液体材料吐出装置1的动作与实施方式例1相同。
通过以上所说明的实施方式例3所涉及的液体材料吐出装置1，也可实现与实施方式例1相同的作用效果。
《实施方式例4》
实施方式例4的液体材料吐出装置1与实施方式例2(图6)相同，是将液体材料作为液滴而飞翔吐出的喷射式的吐出装置。以下，以与实施方式例2的不同点所涉及的结构为中心进行说明，并对相同的结构省略说明。
图8为实施方式例4所涉及的液体材料吐出装置1的侧面截面图。
实施方式例4所涉及的液体材料吐出装置1在具有臂杆33的方面与实施方式例2不同。关于其他结构，与实施方式例2相同。
通过以上所说明的实施方式例4所涉及的液体材料吐出装置1，也可实现与实施方式例2相同的作用效果。
《实施方式例5》
实施方式例5的液体材料吐出装置1与实施方式例11相同，是将液体材料作为液滴而飞翔吐出的喷射式的吐出装置。以下，以与实施方式例1的不同点所涉及的结构为中心进行说明，并对相同的结构省略说明。
图9为实施方式例5所涉及的摇动机构部225的概略立体图。
实施方式例5所涉及的液体材料吐出装置1在摇动机构部225由4个连接部226及4个支撑部227构成的方面与实施方式例1不同。关于其他结构，与实施方式例1相同。
4个连接部226均是在下表面具有由平滑的曲面构成的凹部(半球状的凹陷)的构件，且被配置为2×2的矩阵状。各致动器(21、22)以横跨2个连接部226的方式被配设，该2个连接部226排列于与臂30的长度方向正交的方向而配置。与此不同，可将4个致动器分别配设于4个连接部226，也可以横跨2个连接部226的方式配设3个致动器中的1个，将2个分别配设于2个连接部226。
支撑部227的上表面由具有与连接部226的凹部相同的曲率的平滑的曲面(半球状的突起)构成。
摇动机构部225通过连接部226一边沿着臂30的长度方向滑动一边进行移动，而可使臂驱动装置20及臂30相对于基体10倾斜(朝图9中的两个箭头的方向移动)。另外，由于连接部226的上表面的面积较宽，因此可搭载较实施方式例1更大型的致动器。
通过以上所说明的实施方式例5所涉及的液体材料吐出装置1，也可实现与实施方式例1相同的作用效果。
符号的说明
1：液体材料吐出装置、10：基体、11：(基体的)上表面、12：(基体的)底面、13：凹部、14：柱塞插通孔、20：臂驱动装置、21：第一致动器、22：第二致动器、25：摇动机构部、26：连接部、27：支撑部、30：臂、31：(臂的)上表面、32：(臂的)底面、33：臂杆(按压构件)、34：按压部、35：紧固件、41：导引件、42：密封构件、50：柱塞、51：(柱塞的)杆部、52：(柱塞的)前端部、53：(柱塞的)后端部(抵接部)、54：弹性体、60：输液构件、61：供给流路、62：供给口、63：流入流路、64：排气流路、65：接头、66：闭塞栓、70：喷嘴单元、71：喷嘴构件、72：阀座、73：罩、74：液室、75：吐出口、100：涂布装置、101：架台、102：工件、103：工件台、104：涂布动作控制部、111：X轴驱动装置、112：Y轴驱动装置、113：Z轴驱动装置、121：X方向、122：Y方向、123：Z方向、125：摇动机构部、126：连接部、127：支撑部、225：摇动机构部、226：连接部、227：支撑部。

Claims (20)

1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，
具备：
液室，与吐出口连通且被供给液体材料；
柱塞，较液室小径的前端部在液室内进行进退移动；
弹性体，朝上方对柱塞施力；
臂，以实质上朝水平方向延伸的方式配置；
臂驱动装置，成为使臂动作的驱动源；及
基体，配置有臂驱动装置，
具备与所述臂驱动装置连接且可摇动地支撑所述臂的摇动机构部，
所述臂驱动装置具备沿着所述臂的长度方向排列而配置且沿着与所述臂的长度方向正交的方向进行伸缩的多个致动器，
所述臂具备将柱塞朝下方按压的按压部，
所述柱塞具备被所述按压部按压的抵接部，
所述柱塞通过所述臂的摇动运动而进行直线往返移动，
在所述臂的摇动动作中，所述柱塞的抵接部和所述按压部未被连结，并且所述按压部相对于所述柱塞的抵接部能够沿所述臂的延伸方向移动。
2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
具备将所述臂装卸自如地固定于所述基体的紧固件。
3.如权利要求2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述紧固件是配置于所述多个致动器之间且沿所述多个致动器的长边方向延伸的杆状的紧固件，所述多个致动器通过所述紧固件而被夹装于所述臂及所述基体。
4.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述多个致动器由层叠型压电元件构成，
臂的配置有按压部的一侧通过被配置于靠近所述按压部的一侧的致动器成为伸长状态且被配置于远离所述按压部的一侧的致动器成为非伸长状态或收缩状态而朝上方移动，
臂的配置有按压部的一侧通过被配置于靠近所述按压部的一侧的致动器成为非伸长状态或收缩状态且被配置于远离所述按压部的一侧的致动器成为伸长状态而朝下方移动。
5.如权利要求4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述多个致动器由偶数个致动器构成。
6.如权利要求5所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述偶数个致动器由第一压电致动器及第二压电致动器构成。
7.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述按压部或所述抵接部具备为了追随所述臂的摇动运动而确保所述按压部与所述抵接部的抵接状态而与所述抵接部或所述按压部的端面相对且抵接的凸状的曲面。
8.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
进一步具备朝铅垂方向可移动地支撑所述柱塞的导引件，
所述弹性体由始终朝上方对所述柱塞施力的线圈状的压缩弹簧构成，
所述柱塞装卸自如地被插通于所述弹性体及所述导引件。
9.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述摇动机构部与所述臂驱动装置的下端部连接，或与所述臂驱动装置的上端部连接。
10.如权利要求1～3中任一项的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述摇动机构部构成为具备：
第一摇动机构部，与所述臂驱动装置的下端部连接；及
第二摇动机构部，与所述臂驱动装置的上端部连接。
11.如权利要求9所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述摇动机构部构成为具备：
连接部，与所述臂驱动装置的一端部连接；及
支撑部，摇动自如地支撑所述连接部。
12.如权利要求11所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述支撑部具备由平滑的曲面构成的凸状或凹状的支撑面，
所述连接部具备在所述支撑部的所述支撑面上滑动的凹状或凸状的滑动面。
13.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述按压部由装卸自如地被安装于所述臂的按压构件构成。
14.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述多个致动器的全部被配置于所述臂的下方。
15.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述臂驱动装置被配置于所述臂和所述基体之间，
所述摇动机构部被配置于所述臂驱动装置和所述基体之间。
16.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
具备将所述臂可摇动地固定于所述基体的紧固件，
所述多个致动器由第一致动器和第二致动器构成，
所述摇动机构部具备与所述第一致动器的一端部连接的第一连接部、与所述第二致动器的一端部连接的第二连接部、可摇动地支撑所述第一连接部的第一支撑部、以及可摇动地支撑所述第二连接部的第二支撑部。
17.如权利要求16所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述紧固件是沿所述第一致动器及所述第二致动器的长边方向延伸的杆状的紧固件。
18.如权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，
所述臂朝下方按压所述柱塞，而不朝上方按压所述柱塞。
19.一种涂布装置，其特征在于，
具备：
权利要求1～3中任一项所述的液体材料吐出装置；
工件台，载置被涂布物；
相对移动装置，使液体材料吐出装置与被涂布物进行相对移动；及
液体材料供给源，将液体材料供给至液体材料吐出装置。
20.如权利要求19所述的涂布装置，其特征在于，
所述液体材料吐出装置由多台液体材料吐出装置构成。
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